TWI510713B - 流體輸送裝置 - Google Patents

Description

流體輸送裝置

本案係關於一種流體輸送裝置，尤指一種可有效縮減體積且減少成本之流體輸送裝置。

隨著科技的進步，醫藥、能源、電腦科技、列印等各種工業領域之產品無不朝精緻化及薄型化的方向發展，其中微幫浦、噴霧器、噴墨頭、工業列印設備等產品所包含之流體輸送裝置係為其關鍵技術，是以如何藉創新技術突破原有瓶頸，實為當前發展之重要內容。

請參閱第1圖，其係為習知流體輸送裝置之結構示意圖，習知流體輸送裝置1係由閥體座11、閥體蓋體12、閥體薄膜13、致動組件14及蓋體15所組成，其中，閥體薄膜13係包含入口閥門結構131及出口閥門結構132，閥體座11包含入口流道111及出口流道112、閥體蓋體12與致動組件14間定義形成一壓力腔室123，閥體薄膜13設置在閥體座11與閥體蓋體12之間。

當一電壓作用在致動組件14的上下兩極時，會產生一電場，使得致動組件14在此電場之作用下產生彎曲，當致動組件14朝箭號x所指之方向向上彎曲變形，將使得壓力腔室123之體積增加，因而產生一吸力，使閥體薄膜13之入口閥門結構131開啟，故液體 可自閥體座11上之入口流道111被吸取進來，並流經閥體薄膜13之入口閥門結構131及閥體蓋體12上之入口閥門通道121而流入壓力腔室123內，反之當致動組件14因電場方向改變而朝箭號x之反方向向下彎曲變形時，則會壓縮壓力腔室123之體積，使得壓力腔室123對內部之流體產生一推力，並使閥體薄膜13之入口閥門結構131、出口閥門結構132承受一向下推力，而出口閥門結構132將開啟，並使液體由壓力腔室123經由閥體蓋體12上之出口閥門通道122、閥體薄膜13之出口閥門結構132，而從閥體座11之出口流道112流出流體輸送裝置1外，因而完成流體之傳輸過程。

然而由於習知流體輸送裝置1使用單一致動器配合單一壓力腔室、單一流通管道、單一進出口以及單一對的閥門結構之設計實難以增加流體傳輸量，因此若要使用流體輸送裝置1來提升流量，必須先利用銜接機構將多個流體輸送裝置1進行連接，例如額外設置管路於多個流體輸送裝置1之閥體座之間，使該些閥體座彼此連通，再將多個流體輸送裝置1以上下堆疊的方式進行設置，此種連接方式不但需額外耗費銜接機構之成本外，多個流體輸送裝置1所組合起來的體積將過大，使得最終產品之體積增加而無法符合薄型化之趨勢。

有鑑於此，如何發展一種可改善上述習知技術缺失之流體輸送裝置，實為目前迫切需要解決之問題。

本案之主要目的為提供一種流體輸送裝置，藉由該流體輸送裝置之閥體承載部上可平行串併第一流體輸送模組及第二流體輸送模組整合為一，相較於習知流體輸送裝置使用單一流體輸送模組之 設計，可藉由平行串併之第一流體輸送模組及第二流體輸送模組來增加流體傳輸量及揚程，且無須習知流體輸送裝置欲提升流量時需利用銜接機構，例如管線，將多個習知流體輸送裝置進行連接及連通方式進行設置，而且整合兩組流體輸送模組可同步或非同步作動的方式，進而提升流體傳輸之流量及揚程，無需額外耗費於銜接機構而可減少生產成本，且縮小流體輸送裝置之整體體積之符合薄型化等優點。

為達上述目的，本案較廣義實施樣態為提供一種流體輸送裝置，用以傳送流體，包含閥體承載部、第一流體輸送模組以及第二流體輸送模組，其中閥體承載部具有入口流道以及出口流道；第一流體輸送模組組設於閥體承載部上，具有致動組件、閥體蓋體及閥體薄膜，其中閥體薄膜設置於閥體承載部及閥體蓋體之間，致動組件設置於閥體蓋體上，且與閥體蓋體之表面形成第一壓力腔室；以及第二流體輸送模組組設於閥體承載部上，具有致動組件、閥體蓋體及閥體薄膜，其中閥體薄膜設置於閥體承載部及閥體蓋體之間，致動組件設置於閥體蓋體上，且與閥體蓋體之表面形成第二壓力腔室；藉此，第一流體輸送模組及第二流體輸送模組之致動組件以相同振動頻率且具有一相位差作動，分別致使第一壓力腔室及第二壓力腔室體積改變，進而產生壓力差以推動流體由閥體承載部之入口流道流入，經第一流體輸送模組、閥體承載部及第二流體輸送模組之間流動，再由閥體承載部之出口流道流出。

習知元件符號：

1‧‧‧流體輸送裝置

11‧‧‧閥體座

111‧‧‧入口流道

112‧‧‧出口流道

12‧‧‧閥體蓋體

121‧‧‧入口閥門通道

122‧‧‧出口閥門通道

123‧‧‧壓力腔室

13‧‧‧閥體薄膜

131‧‧‧入口閥門結構

132‧‧‧出口閥門結構

14‧‧‧致動組件

15‧‧‧蓋體

本案構件符號：

2‧‧‧流體輸送裝置

20‧‧‧閥體承載部

200‧‧‧第一閥體座

201‧‧‧第二閥體座

202‧‧‧入口流道

203‧‧‧出口流道

204‧‧‧腔室覆蓋片

205‧‧‧連通腔室

2000、2010‧‧‧開口

2001、2011‧‧‧出口暫存腔

21‧‧‧第一流體輸送模組

22‧‧‧第二流體輸送模組

210、220‧‧‧閥體薄膜

2100、2101、2200、2201‧‧‧鏤空閥開關

2100a、2101a、2200a、2201a‧‧‧閥片

2100b、2101b、2200b、2201b‧‧‧鏤空孔洞

2100c、2101c、2200c、2201c‧‧‧延伸部

211、221‧‧‧閥體蓋體

2110、2210‧‧‧入口閥門通道

2111、2211‧‧‧出口閥門通道

2112、2212‧‧‧入口暫存腔

2113‧‧‧第一壓力腔室

2213‧‧‧第二壓力腔室

212、222‧‧‧致動組件

2120、2220‧‧‧振動薄膜

2121、2221‧‧‧致動器

213、223‧‧‧蓋體

214、224‧‧‧第一密封環

215、225‧‧‧第二密封環

216、226‧‧‧第三密封環

200a、200b、201a、201b、211a、211b、211c、221a、221b、221c‧‧‧凹槽

206、207、217、227‧‧‧微凸結構

第1圖為習知流體輸送裝置之結構示意圖。

第2A圖為本案一較佳實施例之流體輸送裝置的外觀示意圖。

第2B圖為第2A圖所示之流體輸送裝置正面分解結構示意圖。

第2C圖第2A圖所示之流體輸送裝置反面分解結構示意圖。

第3圖為第2B圖所示之閥體薄膜的結構放大圖。

第4圖為第2A圖所示之流體輸送裝置的A-A剖面圖。

第5A圖為第4圖所示之流體輸送裝置之第一流體輸送模組及第二流體輸送模組同向作動時之第一示意圖。

第5B圖為第5A圖所示之流體輸送裝置之第一流體輸送模組及第二流體輸送模組同向作動時之第二示意圖。

第6A圖為第4圖所示之流體輸送裝置之第一流體輸送模組及第二流體輸送模組反向作動時之第一示意圖。

第6B圖為第6A圖所示之流體輸送裝置之第一流體輸送模組及第二流體輸送模組反向作動之第二示意圖。

第7A圖為第一流體輸送模組及第二流體輸送模組之同向作動振動頻率示意圖。

第7B圖為第一流體輸送模組及第二流體輸送模組之相位差作動振動頻率示意圖。

第8圖為第一流體輸送模組及第二流體輸送模組之反向作動振動頻率示意圖。

體現本案特徵與優點的一些典型實施例將在後段的說明中詳細敘 述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化，其皆不脫離本案的範圍，且其中的說明及圖示在本質上係當作說明之用，而非用以限制本案。

本案之流體輸送裝置可應用於醫藥生技、能源、電腦科技或是列印等工業，俾用以傳送氣體或液體等流體，但不以此為限。請參閱第2A圖至第2C圖、第3圖及第4圖所示，流體輸送裝置2包含有一閥體承載部20、一第一流體輸送模組21及一第二流體輸送模組22。

閥體承載部20包含第一閥體座200、第二閥體座201、一入口流道202、一出口流道203及一連通腔室205，其中第一閥體座200及第二閥體座201相鄰設置於同一平面上，於一些實施例中，第一閥體座200及第二閥體座201可為一體成形，但不以此為限。第一閥體座200具有一與入口流道202連通之一開口2000及一與第一流體輸送模組21所構成之出口暫存腔2001，使流體可經由入口流道202流至開口2000，該出口暫存腔2001用以暫時儲存流體。第二閥體座201也具有一開口2010及一與第二流體輸送模組22所構成之一出口暫存腔2011，該出口暫存腔2011與出口流道203連通，用以暫時儲存流體，並使流體由出口流道203排出。該第一閥體座200之出口暫存腔2001及該第二閥體座201之開口2010分別與連通腔室205相連接而彼此相連通(如第4圖所示)。

第一流體輸送模組21設置於該第一閥體座200上，包含彼此堆疊設置之一閥體薄膜210、一閥體蓋體211、一致動組件212及一蓋體213。其中閥體薄膜210位於第一閥體座200及閥體蓋體211之間，並與第一閥體座200及閥體蓋體211相對應設置，而該閥體蓋體 211相對應位置上組設致動組件212，該致動組件212主要包含一振動薄膜2120及一致動器2121，供以受電壓驅動而振動，至於蓋體213設置於致動組件212上，用以密封整個第一流體輸送模組21。當閥體薄膜210、閥體蓋體211、致動組件212及蓋體213依序堆疊利用鎖固元件(未圖示)等設置於第一閥體座200上後，便可構成第一流體輸送模組21。

第二流體輸送模組22設置於該第二閥體座201上，且與該第一流體輸送模組21位於該閥體承載部20相同一側，並同樣包含彼此堆疊設置之一閥體薄膜220、一閥體蓋體221、一致動組件222及一蓋體223。此外，致動組件222亦包含一振動薄膜2220及一致動器2221，由於閥體薄膜220、閥體蓋體221、致動組件222及蓋體223等元件之結構特徵及組裝方式皆相似於第一流體輸送模組21之閥體薄膜210、閥體蓋體211、致動組件212及蓋體213等元件，故於此不再贅述。

前述第一流體輸送模組21之閥體蓋體211及第二流體輸送模組22之閥體蓋體221分別可為兩獨立之構件，或可為一體成型之單一構件，可依照生產或使用之需求而調整兩閥體蓋體211、221間之連接關係。

閥體薄膜210、220各自為一厚度實質上相同之薄片結構，其上分別具有複數個鏤空閥開關2100、2101、2200、2201，該鏤空閥開關2100、2101、2200、2201分別具有閥片2100a、2101a、2200a、2201a及複數個環繞閥片2100a、2101a、2200a、2201a週邊而設置之鏤空孔洞2100b、2101b、2200b、2201b，在鏤空孔洞2100b、2101b、2200b、2201b之間具有與閥片2100a、2101a、 2200a、2201a相連接之延伸部2100c、2101c、2200c、2201c。

第一流體輸送模組21之閥體蓋體211具有一入口閥門通道2110及一出口閥門通道2111，分別對應閥體薄膜210之鏤空閥開關2100、2101之位置，在鏤空閥開關2100及閥體蓋體211之間且與入口閥門通道2110連通具有一入口暫存腔2112，而在閥體蓋體211一表面上可與致動組件212定義出一第一壓力腔室2113(如第4圖所示)，該第一壓力腔室2113具一通口經由入口閥門通道2110連通於入口暫存腔2112，具另一通口與出口閥門通道2111相連通。而第二流體輸送模組22之閥體蓋體221具有一入口閥門通道2210及一出口閥門通道2211，分別對應於閥體薄膜220之鏤空閥開關2200、2201之位置，在鏤空閥開關2200及閥體蓋體221之間且與入口閥門通道2210連通具有一入口暫存腔2212，而在閥體蓋體221一表面可與致動組件222定義出一第二壓力腔室2213(如第4圖所示)，該第二壓力腔室2213具有一通口經由入口閥門通道2210連通於入口暫存腔2212，也具有另一通口與出口閥門通道2211相連通。

另外，於一些實施例中，第一流體輸送模組21及第二流體輸送模組22更各自具有複數個第一密封環214、224、第二密封環215、225、第三密封環216、226。此外，在第一閥體座200具有複數個凹槽結構，例如環繞設置於開口2000之凹槽200a及環繞設置於出口暫存腔2001之凹槽200b；在第二閥體座201上具有複數個凹槽結構，例如環繞設置於開口2010之凹槽201a及環繞設置於出口暫存腔2011之凹槽201b。這些凹槽200a、200b、201a、201b用以供對應之第一密封環214、224設置於其中，便可使該第一閥體座 200與閥體薄膜210之間及該第二閥體座201與閥體薄膜220之間緊密貼合，以防止流體外洩。而在閥體蓋體211、221上亦具有複數個凹槽結構，例如環繞設置於閥體蓋體211之入口暫存腔2112之凹槽211a、環繞設置於閥體蓋體211之出口閥門通道2111之凹槽211b、環繞設置於閥體蓋體221之入口暫存腔2212之凹槽221a以及環繞設置於閥體蓋體221之出口閥門通道2211之凹槽221b，這些凹槽211a、211b、221a、221b用以供對應之第二密封環215、225設置於其中，便可使該閥體蓋體211與閥體薄膜210之間以及該閥體蓋體221與閥體薄膜220之間緊密的貼合，以防止流體外洩。以及在閥體蓋體211、221之另一側亦各自具有環繞於第一壓力腔室2113以及第二壓力腔室2213而設置之凹槽211c、221c，以供對應之第三密封環216、226設置，使致動組件212之振動薄膜2120與閥體蓋體211之間以及致動組件222之振動薄膜2220與閥體蓋體221之間可緊密貼合，以防止流體外洩。

當致動組件212、222之致動器2121、2221受電壓驅動而造成彎曲變形時，與致動器2121連接之振動薄膜2120將連動而使第一壓力腔室2113的體積改變，且與致動器2221連接之振動薄膜2220亦將連動而使第二壓力腔室2213的體積改變，進而產生壓力差推動流體，使由入口流道202流入之流體可分別流經閥體薄膜210、220之鏤空閥開關2100、2200，並進入第一壓力腔室2113及第二壓力腔室2213，再分別由鏤空閥開關2101、2201流出，最後由出口流道203排出，進而達到流體輸送之目的。

此外，於一些實施例中，該閥體承載部20之第一閥體座200之開口2000邊緣具有微凸結構206，供與該第一流體輸送模組21之閥 體薄膜210的鏤空閥開關2100之閥片2100a相抵觸施一預力作用，以及第二閥體座201之開口2010邊緣也具有微凸結構207，供與該第二流體輸送模組22之閥體薄膜220的鏤空閥開關2200之閥片2200a相抵觸施一預力作用。而在該第一流體輸送模組21之閥體蓋體211的出口閥門通道2111邊緣具有微凸結構217，供與該第一流體輸送模組21之閥體薄膜210的鏤空閥開關2101之閥片2101a相抵觸施一預力作用，以及第二流體輸送模組22之閥體蓋體221的出口閥門通道2211邊緣具有微凸結構227，供與第二流體輸送模組22之閥體薄膜220的鏤空閥開關2201之閥片2201a相抵觸施一預力作用。以及，閥體承載部20更具有一腔室覆蓋片204，可拆卸地設置於閥體承載部20上，且對應於第一閥體座200之出口暫存腔2001與第二閥體座201之開口2010連通之位置，用以覆蓋第一閥體座200之出口暫存腔2001與第二閥體座201之開口2010連通處。

請參閱第5A圖、第5B圖及第7A圖並配合第2A-2C圖及第4圖所示，當第一流體輸送模組21之致動組件212及第二流體輸送模組22之致動組件222受電壓驅動，以使兩者致動組件212、222具有相同振動頻率，並以同步壓縮或同步擴張第一壓力腔室2113與第二壓力腔室2213的方式作動，亦即使兩者致動組件212、222同向作動方式，該致動組件212、222會向上產生彎曲變形，如第5A圖所示，使得第一壓力腔室2113及第二壓力腔室2213之體積增加，因而產生吸力，並使具有一預力之閥片2100a及2200a迅速開啟，因此流體將可大量地經由入口流道202被吸取進來，而流體會從閥體薄膜210上之鏤空閥開關2100一側之鏤空孔洞2100b進入閥體蓋 體211上之入口暫存腔2112、入口閥門通道2110而流入第一壓力腔室2113內，且流體亦會從閥體薄膜220上之鏤空閥開關2200一側之鏤空孔洞2200b進入閥體蓋體221上之入口暫存腔2212、入口閥門通道2210而流入第二壓力腔室2213之內。

請參閱第5B圖及第7A圖所示，當第一流體輸送模組21之致動組件212及第二流體輸送模組22之致動組件222因電場方向改變而向下彎曲變形時，則會分別壓縮第一壓力腔室2113及第二壓力腔室2213的體積，使得第一壓力腔室2113及第二壓力腔室2213分別對內部之流體產生一推力，並使第一流體輸送模組21之閥體薄膜210之鏤空閥開關2101及第二流體輸送模組22之閥體薄膜220之鏤空閥開關2201各自承受一推力，此時，第一流體輸送模組21之閥片2101a及第二流體輸送模組22之閥片2201a可迅速開啟，使液體瞬間大量宣洩。同時，分別藉由第一壓力腔室2113及第二壓力腔室2213之引導，使得於第一壓力腔室2113之流體可朝向第一流體輸送模組21之出口閥門通道2111，從閥體薄膜210上之鏤空孔洞2101b進入第一閥體座200上之出口暫存腔2001，而往相連通第二閥體座201之開口2010流動，而第二閥體座201之第二壓力腔室2213之流體亦朝向第二流體輸送模組22之出口閥門通道2211，從閥體薄膜220上之鏤空孔洞2201b進入第二閥體座201上之出口暫存腔2011，而經由出口流道203排出。

同樣地，此時由於第一流體輸送模組21之鏤空閥開關2100承受該推力，使鏤空閥開關2100整個平貼於第一閥體座200上，以及第二流體輸送模組22之鏤空閥開關2200承受該推力，使鏤空閥開關2200整個平貼於第二閥體座201上，此時第一流體輸送模組21之 閥片2100a及第二流體輸送模組22之閥片2200a會分別緊貼於第一閥體座200之微凸結構206及第二閥體座201之微凸結構207上，而各自密封住第一閥體座200上之開口2000及第二閥體座201之開口2010，且第一流體輸送模組21之鏤空孔洞2100b及延伸部2100c則順勢浮貼於第一閥體座200上，第二流體輸送模組22之鏤空孔洞2200b及延伸部2200c也順勢浮貼於第二閥體座201上，故第一流體輸送模組21之鏤空閥開關2100及第二流體輸送模組22之鏤空閥開關2200產生關閉作用，使流體無法流出。藉此，透過第一流體輸送模組21之致動組件212及第二流體輸送模組22之致動組件222作動，使第一壓力腔室2113及第二壓力腔室2213因膨脹或收縮，進而趨動流體各自從第一流體輸送模組21之鏤空閥開關2100及第二流體輸送模組22之鏤空閥開關2200而大量流入第一壓力腔室2113及第二壓力腔室2213內，再藉由第一壓力腔室2113及第二壓力腔室2213將流體導引至對應第一流體輸送模組21之鏤空閥開關2101及第二流體輸送模組22之鏤空閥開關2201分別流出第一流體輸送模組21之閥體蓋體211及第二流體輸送模組22之閥體蓋體221外。由於在流體輸送裝置2的每一暫存腔室之間皆具有第一密封環214、224、第二密封環215、225及第三密封環216、226等結構予以密封，因此可有效防止流體洩漏。

由於習知流體輸送裝置僅採用單一致動組件時，則實際上僅可達到50ml/min之流速，且揚程為45kPa，然而，本案藉由閥體承載部20之一第一閥體座200及第二閥體座201相鄰設置於同一平面上，且第一閥體座200及第二閥體座201經由連通腔室205而彼此相連通，因此當第一流體輸送模組21之致動組件212及第二流體輸 送模組22之致動組件222以同向作動時，本案之流體輸送裝置2可達到95ml/min之傳輸流量，且其揚程可提升為90kPa。

當然，如第7B圖所示，於一些實施例中，第一流體輸送模組21之致動組件212及第二流體輸送模組22之致動組件222亦可相同振動頻率，但以非同步壓縮或擴張第一壓力腔室2113與第二壓力腔室2213的方式作動，使第一流體輸送模組21之致動組件212及第二流體輸送模組22之致動組件222作動具一θ相位差，如此便可藉由調整θ相位差之大小，以達成調整流體輸送裝置之傳輸流量及揚程，以配合各種不同需求而達到最適流量及揚程之輸出，進而更靈活地運用於多樣的產品，更富應用性。

請參閱第6A圖、第6B圖以及第8圖並配合第2A-2C圖及第4圖所示，當第一流體輸送模組21之致動組件212及第二流體輸送模組22之致動組件222受相同振動頻率且相互反向作動方式，此時第一流體輸送模組21之致動組件212向上產生彎曲變形，且第二流體輸送模組22之致動組件222向下產生彎曲變形，第一壓力腔室2113之體積增加而第二壓力腔室2213之體積壓縮，因此在非同向作動之狀態下，也可使流體可由入口流道202流入，並經由出口流道203排出。本案第一流體輸送模組21之致動組件212及第二流體輸送模組22之致動組件222以反向作動時，流體輸送裝置2仍可達到50ml/min之流速，且其揚程更可提升為最大值，例如100kPa。

由上述可知，由於本案流體輸送裝置之閥體承載部由平行設置於同一平面上之第一閥體座及第二閥體座所構成，且第一閥體座之出口暫存腔及第二閥體座之開口相互連通，第一流體輸送模組及 第二流體輸送模組分別設置於第一閥體座及第二閥體座上，因此相較於習知流體輸送裝置使用單一致動組件配合單一壓力腔室、單一流通管道、單一進出口以及單一對的閥門結構之設計，本案流體輸送裝置可藉由第一流體輸送模組及第二流體輸送模組而增加流體傳輸量及揚程，且無須如習知流體輸送裝置欲提升流量時，必須利用銜接機構，例如管線，將多個習知流體輸送裝置進行連接及連通方式進行設置，如此本案流體輸送裝置之體積可大幅減少而符合薄型化，且無須需額外耗費於銜接機構而可減少生產成本，更甚者，本案可藉由調整第一致動器與第二致動器之間於同向或反向作動或相位差作動來控制流體輸送裝置的流量及揚程。

綜合上述，本案之流體輸送裝置可應用於微泵浦結構，藉由該流體輸送裝置之閥體承載部上可平行串併第一流體輸送模組及第二流體輸送模組整合為一，相較於習知流體輸送裝置使用單一流體輸送模組之設計，可藉由架組之第一流體輸送模組及第二流體輸送模組來增加流體傳輸量及揚程，且無須習知流體輸送裝置欲提升流量時需利用銜接機構，例如管線，將多個習知流體輸送裝置進行連接及連通方式進行設置，而且整合兩組流體輸送模組可同步或非同步作動的方式，進而提升流體傳輸之流量及揚程，無須需額外耗費於銜接機構而可減少生產成本，且縮小流體輸送裝置之整體體積之符合薄型化等優點。縱使本發明已由上述之實施例詳細敘述而可由熟悉本技藝之人士任施匠思而為諸般修飾，然皆不脫如附申請專利範圍所欲保護者。

2‧‧‧流體輸送裝置

20‧‧‧閥體承載部

200‧‧‧第一閥體座

201‧‧‧第二閥體座

202‧‧‧入口流道

203‧‧‧出口流道

21‧‧‧第一流體輸送模組

22‧‧‧第二流體輸送模組

Claims (7)

1. 一種流體輸送裝置，用以傳送一流體，包含：一閥體承載部，包含一第一閥體座、一第二閥體座、一入口流道、一出口流道及一連通腔室，該第一閥體座及該第二閥體座相鄰設置於同一平面上，該第一閥體座具有一出口暫存腔及一與該入口流道連通之開口，該第二閥體座具有一開口及一與該出口流道連通之出口暫存腔，而該第一閥體座之該出口暫存腔及該第二閥體座之該開口分別與該連通腔室相連接而彼此相連通；一第一流體輸送模組，組設於該閥體承載部之該第一閥體座上，具有一致動組件、一閥體蓋體及一閥體薄膜，其中該閥體薄膜設置於該閥體承載部及該閥體蓋體之間，具有複數鏤空閥開關分別對應於該第一閥體座之該開口及該出口暫存腔，該致動組件設置於該閥體蓋體上，且與該閥體蓋體一表面形成一第一壓力腔室，該閥體蓋體具有一入口閥門通道及一出口閥門通道，且分別對應該閥體薄膜之該鏤空閥開關，而在該閥體蓋體及該閥體薄膜之間且對應該第一閥體座之該開口具有一入口暫存腔連通，且該入口暫存腔經該入口閥門通道連通該第一壓力腔室，並經由該第一壓力腔室連通該出口閥門通道，而該出口閥門通道與該第一閥體座之該出口暫存腔相對應連通，促使該第一閥體座經該連通腔室相連接而與該第二閥體座彼此相連通；以及一第二流體輸送模組，組設於該閥體承載部之該第二閥體座上，具有一致動組件、一閥體蓋體及一閥體薄膜，其中該閥體薄 膜設置於該閥體承載部及該閥體蓋體之間，具有複數個鏤空閥開關分別對應於該第二閥體座之該開口及該出口暫存腔，該致動組件設置於該閥體蓋體上，且與該閥體蓋體一表面形成一第二壓力腔室；其中，該第一流體輸送模組之該致動組件及第二流體輸送模組之該致動組件以相同振動頻率且具有一相位差作動，分別致使該第一壓力腔室及該第二壓力腔室體積改變，進而產生壓力差以推動該流體由該閥體承載部之該入口流道流入，經該第一流體輸送模組、該第一閥體座、該第二閥體座及該第二流體輸送模組之間流動，再由該閥體承載部之該出口流道流出。
2. 如申請專利範圍第1項所述之流體輸送裝置，其中該第一及該第二流體輸送模組之該閥體薄膜為一厚度實質上相同之薄片結構，其上之該鏤空閥開關具有一閥片及複數個環繞該閥片週邊而設置之鏤空孔洞，且該複數個鏤空孔洞之間具有複數個與該閥片相連接之延伸部。
3. 如申請專利範圍第1項所述之流體輸送裝置，其中該第二流體輸送模組之該閥體蓋體具有一入口閥門通道及一出口閥門通道，且分別對應該閥體薄膜之該鏤空閥開關，在該閥體蓋體及該閥體薄膜之間且對應該第二閥體座之該開口具有一入口暫存腔連通，且該入口暫存腔經該入口閥門通道連通該第二壓力腔室，並經由該第二壓力腔室連通該出口閥門通道，而該出口閥門通道與該閥體承載部之該第二閥體座的該出口暫存腔、該出口流道相對應連通。
4. 如申請專利範圍第2項所述之流體輸送裝置，其中該閥體承載部之該第一閥體座及該第二閥體座之該兩開口邊緣分別具有一微凸 結構，分別與該第一及該第二流體輸送模組之該閥體薄膜的該鏤空閥開關之該閥片相抵觸施一預力作用。
5. 如申請專利範圍第1項所述之流體輸送裝置，其中該第一流體輸送模組之該閥體蓋體的該出口閥門通道邊緣具有一微凸結構，與該閥體薄膜的該鏤空閥開關之該閥片相抵觸施一預力作用。
6. 如申請專利範圍第1項所述之流體輸送裝置，其中該第二流體輸送模組之該閥體蓋體的該出口閥門通道邊緣具有一微凸結構，與該閥體薄膜的該鏤空閥開關之該閥片相抵觸施一預力作用。
7. 如申請專利範圍第1項所述之流體輸送裝置，其中該第一流體輸送模組及該第二流體輸送模組之該兩致動組件可為同步或非同步作動，以調整該流體輸送裝置之傳輸流量及揚程。