JP4494828B2 - 光ファイバの製造方法 - Google Patents

光ファイバの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4494828B2
JP4494828B2 JP2004057869A JP2004057869A JP4494828B2 JP 4494828 B2 JP4494828 B2 JP 4494828B2 JP 2004057869 A JP2004057869 A JP 2004057869A JP 2004057869 A JP2004057869 A JP 2004057869A JP 4494828 B2 JP4494828 B2 JP 4494828B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
preform
optical fiber
profile
refractive index
index distribution
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2004057869A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2005247612A (ja
Inventor
淳 阿部
伸康 萬徳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority to JP2004057869A priority Critical patent/JP4494828B2/ja
Publication of JP2005247612A publication Critical patent/JP2005247612A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4494828B2 publication Critical patent/JP4494828B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/02Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor
    • C03B37/025Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor from reheated softened tubes, rods, fibres or filaments, e.g. drawing fibres from preforms
    • C03B37/0253Controlling or regulating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2201/00Type of glass produced
    • C03B2201/06Doped silica-based glasses
    • C03B2201/30Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi
    • C03B2201/34Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi doped with rare earth metals, i.e. with Sc, Y or lanthanides, e.g. for laser-amplifiers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2205/00Fibre drawing or extruding details
    • C03B2205/40Monitoring or regulating the draw tension or draw rate
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Description

本発明は、光通信用に好適な光ファイバの製造方法に関する。
光ファイバは、軸付け法や外付け法と呼ばれる方法で、出発母材上にガラス微粒子(スート)を堆積して多孔質ガラス母材を形成し、これを焼結・透明ガラス化した後、必要に応じて所望の径に縮径して得られたガラスロッド、いわゆる光ファイバ用プリフォーム(以下、単にプリフォームと称する)を線引きして製造される。
このようにして得られるプリフォームには、残留歪があり、移動の際の僅かなショックや線引き工程での昇温時に、割れを発生することがある。このため特許文献1では、多孔質ガラス母材の焼結・透明ガラス化後に、特許文献2では、線引き前に歪を除去する加熱処理を行っている。
特開平4−238828号公報 特許第3017989号公報
しかしながら、従来の除歪方法では、コアとクラッドとのガラス軟化点の温度差が大きいプリフォームは、その径方向への屈折率分布の状態を表すプロファイル(以下、単にプロファイルと称する)と、これを線引きして得られた光ファイバのプロファイルとで、屈折率の絶対値が変化してしまうことが、多々あった。
このように、コアとクラッドのガラス軟化点の差が大きいプリフォームは、製造過程での熱履歴の受け方で、製造されたプリフォームの残留応力の大きさが異なり、その大きさによってプロファイルが変化する。
その結果、使用したプリフォームによって、線引きした光ファイバのロット間にバラツキがあったり、プリフォームのプロファイルから求めた光ファイバの推定特性値と、実際に線引きして得た光ファイバの特性値とが大きく異なるということがあった。
そこで、本発明は、上記事情に鑑み、プリフォームのプロファイルから推定して得られる光ファイバの特性値と、実際に線引きして得られる光ファイバの特性値とで差のない特性値を有する光ファイバの製造方法を提供することを目的としている。
光ファイバの製造方法に係る第1の発明は、プリフォームを十分にアニールして除歪した後に該プリフォームの屈折率分布を測定し、該屈折率分布の形状(プロファイル)から線引きして得られる光ファイバの特性を推定した後に、該プリフォームを線引きすることを特徴としている。
第2の発明は、プリフォームを十分にアニールして除歪した後に該プリフォームの屈折率分布を測定し、該屈折率分布の形状(プロファイル)から線引きして得られる光ファイバの特性を推定し、これに基づいて該プリフォームをエッチング加工した後に、線引きすることを特徴としている。
第3の発明は、プリフォームを十分にアニールして除歪した後に該プリフォームの屈折率分布を測定し、該屈折率分布の形状(プロファイル)から線引きして得られる光ファイバの特性を推定し、これに基づいて線引き時の張力を調整して線引きすることを特徴としている。
本発明において、プリフォームのプロファイルの測定は、電気炉を用いて所定の温度で所定の時間アニールした後に行うのが好ましい。なお、所定の温度としては、プリフォームの最大除歪温度の±100℃の範囲内の温度で適宜設定するとよく、また上記所定の時間としては、1時間以上とするのが好ましい。
上記製造方法を用いることで、優れた光学特性を有する希土類ドープ光ファイバ、分散補償光ファイバ、純粋シリカコア光ファイバが得られる。
本発明は、十分にアニールして除歪した後にプリフォームのプロファイルを測定して、線引きして得られる光ファイバの特性を推定し、これに基づいて、エッチング加工してプロファイルを修正したプリフォームを線引きすることで、あるいは線引き時の張力を調整して線引きすることで、所望の特性を有する光ファイバを製造することができる。
以下、図に基づいて本発明をさらに詳細に説明する。
図1は、アニール前後で測定したプリフォームのプロファイルを示すグラフであり、プリフォームのプロファイルに与えるアニール効果を示している。なお、縦軸は比屈折率差(△)、横軸はコア中心を零位置(中心)とする径方向位置である。
図1から、アニールによって残留応力の除かれたプリフォームの真のプロファイルと、アニール前の残留応力が存在するプリフォームのプロファイルとは、大きく相違する様子が見て取れる。これから、残留応力が存在するアニール前のプリフォームのプロファイルから、線引きして得られる光ファイバの特性を推定し、これに基づいてプリフォームをエッチング加工したり、線引き時の張力を調整して線引きしても、設計値通りの特性を有する光ファイバを得ることはできないことが分かる。
図2は、アニール無しのプリフォームのプロファイルと、これを線引きして得た光ファイバ(RNF)のプロファイルとを比較したグラフであり、両者のプロファイルが異なったものとなっている。さらに、プリフォームの製造ロットによって残留応力量が異なり、アニール無しのプリフォームのプロファイルから、線引きして得られる光ファイバの特性値を正確に推定することは困難であることが分かった。
図3は、アニール処理されたプリフォームのプロファイルと、これを線引きして得られる光ファイバ(RNF)のプロファイルとを比較したグラフであり、両者のプロファイルは極めて良く一致している。従って、十分にアニールして除歪したプリフォームのプロファイルから、線引きして得られる光ファイバの特性値を正確に推定することでき、これに基づいて、プリフォームをエッチング加工してそのプロファイルを修正することで、あるいは線引き時の張力を調整することで、設計値通りの特性を有する光ファイバを得ることができる。
本発明は、上記知見に基づき達成されたものである。すなわち、プリフォームのプロファイルを測定する段階で、プリフォームから熱履歴による残留応力を取り除き、プリフォームの真のプロファイルを求め、これに基づいて線引きして得られる光ファイバの特性を推定し、所定の特性が得られるように、プリフォームをエッチング加工するか、あるいは線引き時の張力を調整して線引きするものである。
これには、プリフォームの真のプロファイルを基準とし、線引き時の応力(張力)と真のプロファイルとの関係を予め把握しておくことにより、設計値通りの特性を有する光ファイバを得ることができ、また、歩留まりも向上する。
プリフォームに存在する残留応力の影響がプロファイルに出やすい光ファイバとしては、例えば、エルビウムドープファイバ、分散補償ファイバ、ピュアシリカコアファイバ等が挙げられるが、一般的には、コアとクラッドとのガラス粘度差、軟化温度差の大きい光ファイバである。
コアがピュアシリカ、クラッドがフッ素ドープ石英ガラスからなるピュアシリカコアファイバプリフォームを5本作製した。各プリフォームをそれぞれ二分割し、1本はアニールをせずに、もう1本は1000℃で3時間のアニールをした後に、それぞれプリフォームアナライザーで屈折率分布を測定してプロファイルを求めた。
アニール有りとアニール無しの各プリフォームに対して、そのプロファイルから線引きしたときに得られる光ファイバの推定カットオフ波長を求め、さらに、各プリフォームを同一条件(線引き張力70g)で線引きして得た光ファイバのカットオフ波長をそれぞれ実測し、その結果を表1に推定値と実測値とのずれ(差)としてまとめて示した。
Figure 0004494828
表1からは、プリフォームを十分に除歪することで、カットオフ波長の推定値と実測値のずれ(差)を極めて小さくできることが認められる。さらに、アニールした場合は、カットオフ波長の推定値と実測値のずれ量がある一定の関係にあるのに対し、アニールしていない場合は、プリフォーム製造時の熱履歴に差があるため、プリフォームの各ロット間で上記ずれ量が大きくばらついている。
実際には、プリフォームをアニールして除歪しても、線引き時に受ける熱応力で光ファイバ中に応力が残留すると考えられるが、線引き条件が一定であれば、熱応力を受ける割合も一定となり、光ファイバ特性をばらつかせる要因をかなり小さく抑えることが可能となる。これに対して、プリフォームの段階で熱履歴の差を小さく抑えようとしても、プリフォーム径等が異なると熱履歴も変わってしまうため、プリフォームを十分にアニール処理して熱履歴の影響をなくすのが、最もロット間のばらつきを抑えるという点では有効である。
カットオフ波長は、コア径と屈折率の平方根に比例するため、実際に推定カットオフ波長が大きくずれてしまった原因としては、屈折率の絶対値が変動してしまったことが考えられる。そのため、プリフォームの残留応力を十分なアニールによって取り除いた基準とするプロファイルと、光ファイバ化後のプロファイルとのずれ量を予め把握しておけば、プリフォームから求めた推定光ファイバ特性と実際の光ファイバ特性とを整合させることが可能となる。
本発明によれば、製造コストの低減に寄与し、かつ特性の安定した光ファイバが得られる。
アニール前後で測定したプリフォームのプロファイルを示すグラフであり、縦軸は比屈折率差△、横軸は径方向位置である。 アニール無しのプリフォームのプロファイルと、これを線引きして得られる光ファイバのプロファイルとを比較したグラフである。 アニール処理されたプリフォームのプロファイルと、これを線引きして得られる光ファイバのプロファイルとを比較したグラフである。

Claims (6)

  1. 光ファイバ用プリフォームを十分にアニールして除歪した後に該プリフォームの屈折率分布を測定し、該屈折率分布の形状(プロファイル)から線引きして得られる光ファイバの特性を推定した後に、該プリフォームを線引きすることを特徴とする光ファイバの製造方法。
  2. 光ファイバ用プリフォームを十分にアニールして除歪した後に該プリフォームの屈折率分布を測定し、該屈折率分布の形状(プロファイル)から線引きして得られる光ファイバの特性を推定し、これに基づいて該プリフォームをエッチング加工した後に、線引きすることを特徴とする光ファイバの製造方法。
  3. 光ファイバ用プリフォームを十分にアニールして除歪した後に該プリフォームの屈折率分布を測定し、該屈折率分布の形状(プロファイル)から線引きして得られる光ファイバの特性を推定し、これに基づいて線引き時の張力を調整して線引きすることを特徴とする光ファイバの製造方法。
  4. 該プリフォームの屈折率分布の測定を、電気炉を用いて所定の温度で所定の時間アニールした後に行う請求項1乃至3のいずれかに記載の光ファイバの製造方法。
  5. 該所定の温度が、該プリフォームの最大除歪温度の±100℃の範囲内の温度である請求項4に記載の光ファイバの製造方法。
  6. 該所定の時間が、1時間以上である請求項4に記載の光ファイバの製造方法。
JP2004057869A 2004-03-02 2004-03-02 光ファイバの製造方法 Expired - Fee Related JP4494828B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004057869A JP4494828B2 (ja) 2004-03-02 2004-03-02 光ファイバの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004057869A JP4494828B2 (ja) 2004-03-02 2004-03-02 光ファイバの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005247612A JP2005247612A (ja) 2005-09-15
JP4494828B2 true JP4494828B2 (ja) 2010-06-30

Family

ID=35028473

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004057869A Expired - Fee Related JP4494828B2 (ja) 2004-03-02 2004-03-02 光ファイバの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4494828B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6136467B2 (ja) * 2013-03-29 2017-05-31 住友電気工業株式会社 光ファイバ用ガラス母材の製造方法、光ファイバ用ガラス母材、光ファイバおよび光ファイバの光学特性の計算方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000290033A (ja) * 1999-04-08 2000-10-17 Shin Etsu Chem Co Ltd 光ファイバプリフォームおよび光ファイバプリフォームの製造方法
JP2000351644A (ja) * 1999-06-14 2000-12-19 Shin Etsu Chem Co Ltd 光ファイバプリフォームの製造方法
JP2003012337A (ja) * 2001-06-28 2003-01-15 Shin Etsu Chem Co Ltd 光ファイバ用プリフォームの設計・製造方法
JP2004035367A (ja) * 2002-07-05 2004-02-05 Sumitomo Electric Ind Ltd ガラス線材の製造方法及び製造装置
JP2004043231A (ja) * 2002-07-10 2004-02-12 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバの製造方法、及び光ファイバ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000290033A (ja) * 1999-04-08 2000-10-17 Shin Etsu Chem Co Ltd 光ファイバプリフォームおよび光ファイバプリフォームの製造方法
JP2000351644A (ja) * 1999-06-14 2000-12-19 Shin Etsu Chem Co Ltd 光ファイバプリフォームの製造方法
JP2003012337A (ja) * 2001-06-28 2003-01-15 Shin Etsu Chem Co Ltd 光ファイバ用プリフォームの設計・製造方法
JP2004035367A (ja) * 2002-07-05 2004-02-05 Sumitomo Electric Ind Ltd ガラス線材の製造方法及び製造装置
JP2004043231A (ja) * 2002-07-10 2004-02-12 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバの製造方法、及び光ファイバ

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005247612A (ja) 2005-09-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5394734B2 (ja) 半導体ウエハを処理するための石英ガラスからなる保持器および保持器の製造方法
EP2749917A2 (en) Optical fiber and optical fiber silica glass base material
JP6764346B2 (ja) 光ファイバおよびプリフォーム形成方法
CN111801609B (zh) 光纤
JP4494828B2 (ja) 光ファイバの製造方法
US10118854B2 (en) Tubular semifinished product for producing an optical fiber
JP6351727B2 (ja) 鉄ドープシリカガラスの製造方法
CN110028235B (zh) 一种基于连熔石英套管的光纤预制棒及其制造方法
JP5345352B2 (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
JP2010070432A (ja) 高均質性硝材の加工方法
EP2123611A1 (en) Method for manufacturing grin lens
US11072560B2 (en) Neutralizing gas system for furnace
KR100591085B1 (ko) 싱글모드 광섬유용 모재의 제조 방법
EP3450409A1 (en) Method and furnace for preparing an optical fiber preform using etchant and neutralizing gases
CN113105119B (zh) 一种镧锑酸盐玻璃光纤及其制备方法与应用
JP4037799B2 (ja) 光ファイバ母材及びその製造方法
JP2002047013A (ja) ガラス物品の製造方法
NL2019811B1 (en) Gas system for furnace
JP2008214167A (ja) 光学ガラス素子の製造方法及びガラス成形品の屈折率の微調整方法
US20120231943A1 (en) Method of manufacturing fluorine-containing optical fiber base material and fluorine-containing optical fiber base material
JP3960867B2 (ja) 光ファイバおよびそれを用いた光信号処理装置
JP2003054958A (ja) ガラス物品の製造方法
JP2645717B2 (ja) 光フアイバ用母材の製造方法
EP1139522B1 (en) Silica glass composition with lasing properties, an optical waveguide and a method of amplifying optical signals
JP5758447B2 (ja) 光ファイバ用母材の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20051219

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080912

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080918

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081117

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090630

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100318

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100331

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100408

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4494828

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160416

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees