JP2010070432A - 高均質性硝材の加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】高均質性硝材の加工方法は、石英母材1を焼結炉17内の炉心管12で熱処理し、炉心管12内の石英母材1をヒータ13で加熱する。そして、石英母材1を1400℃〜1700℃の範囲で加熱して透明化した後に冷却して切削加工等を行う。石英母材1は、アニールで、1000℃〜1250℃、1次冷却工程で、冷却速度0.001℃〜3.0℃/分の範囲で、冷却温度を1150℃〜950℃まで冷却する。さらに、2次冷却工程で、冷却速度0.4℃〜10.0℃/分の範囲で、且つ1次冷却工程の冷却速度より速く、冷却温度を1050℃〜室温まで冷却する。
【選択図】図2
Description
図1〜図3は本発明に係る高均質性硝材の加工方法の一実施形態を示すもので、図1は本発明の一実施形態に係る高均質性硝材の加工方法の炉温プロセスにおける炉温と時間との関係図、図2は図1の高均質性硝材の加工方法に適用されるガラス製造装置の断面図、図3は図1の高均質性硝材の加工方法に適用されるフローチャートである。
(焼結工程)
石英の微粒子を体積させたすす体を焼結炉内において、1400℃〜1700℃の範囲で加熱し、透明化を行う。
(アニール工程)
1400℃〜1700℃の範囲で加熱し透明化された石英母材を、1200℃の温度で4時間かけてアニールする。なお、アニール温度は、1000℃〜1250℃の範囲が好ましく、アニール時間は温度に応じて1時間〜36時間の範囲が好ましい。
アニール後の1200℃の石英母材を1100℃まで、毎分0.17℃の冷却速度で10時間かけて冷却する。なお、冷却速度は、毎分0.001℃〜3.0℃の範囲が好ましく、冷却温度は、1150℃〜950℃の範囲が好ましい。
1100℃まで1次冷却された石英母材を1000℃まで、毎分0.5℃の冷却速度で約3.5時間かけて冷却する。その後、1000℃から室温までは炉自体の冷却に依存する自然冷却を行う。なお、冷却速度は、毎分0.4℃〜10.0℃の範囲が好ましく、冷却温度は、1050℃〜室温の範囲が好ましい。また、焼結プロセスと冷却プロセスとは、同一の炉を用いて行っても良く、異なる炉を用いて行っても良い。
歪みの影響により変動する屈折率Δnの変動を調べた。結果を表1及び図4に示す。
歪みの影響により変動する複屈折率の変動を調べた。結果を表2及び図5に示す。
10 ガラス製造装置
12 炉心管
13 ヒータ
17 焼結炉
50 研磨プロセスフロー
Claims (1)
- 石英母材を焼結炉内で1400℃〜1700℃に加熱して透明化した後に冷却させ、その後に研削加工により成形する高均質性硝材の加工方法であって、
前記石英母材の冷却プロセスは、アニール工程と1次冷却工程と2次冷却工程からなり、
前記アニール工程は、アニール温度が1000℃〜1250℃であり、
前記1次冷却工程は、冷却速度が0.001℃〜3.0℃/分で、冷却温度を1150℃〜950℃まで冷却するとともに、
前記2次冷却工程は、冷却速度が0.4℃〜10.0℃/分で且つ前記1次冷却工程の冷却速度より速く、冷却温度を1050℃〜室温まで冷却することを特徴とする高均質性硝材の加工方法。
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2008
- 2008-09-22 JP JP2008242194A patent/JP2010070432A/ja active Pending
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