JP4490506B1 - 積層シート及びその製造方法、加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基体となるのは黒鉛シート11であり、少なくともその一方の主面(上面)にめっき層(金属層)12が形成されている。黒鉛シート11は、黒鉛粉末が圧縮成形されることによって形成される。ここで、その嵩密度は、0.7g/cm3以上となるように圧縮されている。嵩密度が0.7g/cm3以上となるように黒鉛シート11の嵩密度を調整した上でめっきを施した場合には、黒鉛粉末間に浸透しためっき液の膨張等の悪影響を除去でき、高温における剥離やボイドの発生が抑止できる。
【選択図】図1
Description
本発明の積層シートの製造方法は、黒鉛粉末からなる黒鉛シートの表面に金属層が形成された構成の積層シートを製造する、積層シートの製造方法であって、嵩密度が0.5g/cm3以下である黒鉛粉末からなる黒鉛シートを加圧し、前記黒鉛シートの嵩密度を0.7g/cm3以上にする圧縮工程と、該圧縮工程後に、めっきによって前記金属層を形成するめっき工程と、を具備することを特徴とする。
本発明の積層シートの加工方法は、黒鉛粉末からなり、嵩密度が0.7g/cm3以上である黒鉛シートと、めっきによって前記黒鉛シート表面に形成された金属層とを具備する積層シートを切断して所望の形状にする、積層シートの加工方法であって、所望の形状となるように前記積層シートを切断加工した後に、めっきを行うことにより、切断面において露出した前記黒鉛シート上に金属層を形成することを特徴とする。
黒鉛シートとして、嵩密度1.0g/cm3、厚さ0.1mmのものを一軸加圧を用いて作成した。この黒鉛シートの熱伝導率は、面方向で300W/m・K、厚さ方向では8W/m・Kであった。この黒鉛シートの両面に厚さ5μmの銅を電解めっきで形成し、図1(a)の構造の積層シートを製造した。その後、大気中でこの積層シートを120℃に加熱したところ、めっき層(銅)の剥離やボイドは全く見られなかった。なお、銅の代わりに、銀、ニッケル、金を用いた場合でも同様の結果が得られた。
上記と同様の黒鉛シートの両面に、めっき層を形成する代わりに、厚さ20μmのアルミニウム箔を厚さ10μmの粘着シートで貼り付けた構造の積層シートを製造した。
黒鉛シートとして、嵩密度を0.7g/cm3とした以外は実施例1と同様のものを作成した。この黒鉛シートの面方向の熱伝導率は240W/m・Kであった。この黒鉛シートに実施例1と同様のめっき層を形成した後で、同様に120℃での加熱試験を行った。その結果、実施例1と同様に、剥離やボイドは全く発生しなかった。
黒鉛シートとして、嵩密度を0.6g/cm3とした以外は実施例1、2と同様のものを作成した。この黒鉛シートの熱伝導率は、面方向で210W/m・K、厚さ方向で6W/m・Kであった。この黒鉛シートに実施例1、2と同様のめっき層を形成した後で、同様に120℃での加熱試験を行った。その結果、めっき層にボイドが発生し、120℃においては最大で10mmφ程度の大きさのボイドが見られた。
実施例1と同様の黒鉛シートに対し、めっき層として1μmの厚さの銅を形成した。その120℃における耐熱性、熱伝導率は、実施例1と同等であった。
実施例1と同様の黒鉛シートに対し、めっき層として0.5μmの厚さの銅を形成した。その結果、黒鉛シートの全面にわたってめっき層を形成することができず、部分的に黒鉛シートが露出した。
厚さを0.05mm以下とした以外は実施例1と同様の黒鉛シートを用い、実施例1と同様のめっき層を形成した。この場合には、基体となる黒鉛シートが薄すぎ、機械的強度が保たれないために、反りが発生した。また、この反りを矯正した場合には、めっき層に割れが発生した。
11 黒鉛シート
12 めっき層(金属層)
31 樹脂層
Claims (2)
- 黒鉛粉末からなる黒鉛シートの表面に金属層が形成された構成の積層シートを製造する、積層シートの製造方法であって、
嵩密度が0.5g/cm3以下である黒鉛粉末からなる黒鉛シートを加圧し、前記黒鉛シートの嵩密度を0.7g/cm3以上にする圧縮工程と、
該圧縮工程後に、めっきによって前記金属層を形成するめっき工程と、
を具備することを特徴とする積層シートの製造方法。 - 黒鉛粉末からなり、嵩密度が0.7g/cm3以上である黒鉛シートと、めっきによって前記黒鉛シート表面に形成された金属層とを具備する積層シートを切断して所望の形状にする、積層シートの加工方法であって、
所望の形状となるように前記積層シートを切断加工した後に、めっきを行うことにより、切断面において露出した前記黒鉛シート上に金属層を形成することを特徴とする、積層シートの加工方法。
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Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2805818B1 (en) * | 2012-01-16 | 2017-06-28 | Kaneka Corporation | Graphite composite film |
KR101385697B1 (ko) * | 2013-01-31 | 2014-04-15 | 김선기 | 유연성을 갖는 전자파 흡수체 |
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KR102351081B1 (ko) * | 2016-06-02 | 2022-01-14 | 주식회사 아이에스시 | 인터페이스 모듈 및 이를 구비하는 반도체 소자 테스트 장치 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03197129A (ja) * | 1989-11-16 | 1991-08-28 | Le Carbone Lorraine | 金属により機械的、電気的及び熱的に強化された可撓性黒鉛を含む多層材料とその製造方法 |
JPH11286070A (ja) * | 1998-02-04 | 1999-10-19 | Sgl Technik Gmbh | 金属で補強したグラファイト積層材 |
JP2001079977A (ja) * | 1999-09-14 | 2001-03-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複合体及びその製造方法 |
JP2001177024A (ja) * | 1999-12-21 | 2001-06-29 | Ts Heatronics Co Ltd | 熱拡散用複合プレート |
US20060068205A1 (en) * | 2004-09-24 | 2006-03-30 | Carbone Lorraine Composants | Composite material used for manufacturing heat exchanger fins with high thermal conductivity |
JP2006298700A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Japan Matekkusu Kk | 膨張黒鉛を用いたシート材料並びに膨張黒鉛を用いたシート材料の製造方法 |
JP2009253170A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | Otsuka Denki Kk | 熱伝導部材および電子機器 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03197129A (ja) * | 1989-11-16 | 1991-08-28 | Le Carbone Lorraine | 金属により機械的、電気的及び熱的に強化された可撓性黒鉛を含む多層材料とその製造方法 |
JPH11286070A (ja) * | 1998-02-04 | 1999-10-19 | Sgl Technik Gmbh | 金属で補強したグラファイト積層材 |
JP2001079977A (ja) * | 1999-09-14 | 2001-03-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複合体及びその製造方法 |
JP2001177024A (ja) * | 1999-12-21 | 2001-06-29 | Ts Heatronics Co Ltd | 熱拡散用複合プレート |
US20060068205A1 (en) * | 2004-09-24 | 2006-03-30 | Carbone Lorraine Composants | Composite material used for manufacturing heat exchanger fins with high thermal conductivity |
JP2006298700A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Japan Matekkusu Kk | 膨張黒鉛を用いたシート材料並びに膨張黒鉛を用いたシート材料の製造方法 |
JP2009253170A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | Otsuka Denki Kk | 熱伝導部材および電子機器 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017213167A1 (ja) | 2016-06-07 | 2017-12-14 | 株式会社カネカ | グラファイトシート加工物、及びグラファイトシート加工物の製造方法 |
US10988384B2 (en) | 2016-06-07 | 2021-04-27 | Kaneka Corporation | Graphite-sheet processed article and graphite sheet processed article manufacturing method |
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