JP4489035B2 - 光電変換素子 - Google Patents
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Description
2 n+層
3 反射防止膜
4 主面電極
11 不活性化膜
12 裏面電極
13 反転防止膜
14 SiN下のn型反転層
15 アルミニウム・シリコン合金p+層中央部
16 アルミニウム・シリコン合金p+層周辺部
17 p+層周辺部不整準位中に蓄えられた正孔
18 SiNシリコン基板界面に存在する電子
21 不活性化膜
22 裏面電極
24 SiN下のn型反転層層
25 アルミニウム・シリコン合金p+層中央部
26 アルミニウム・シリコン合金p+層周辺部
27 p+層周辺部不整準位中の正孔
28 SiNシリコン基板界面に存在する電子
31 p型単結晶シリコン基板
32 マスク
33 反転防止膜
34 不活性化膜
35 裏面電極
Claims (6)
- 半導体基板と、この半導体基板の受光側表面である主面に設けられた主面電極と、この主面の反対側表面である裏面に設けられた不活性化膜と、該裏面に設けられた裏面電極とを備えてなり、半導体基板の裏面のうち裏面電極周辺に、不活性化膜直下の半導体基板における第1導電型半導体から第2導電型半導体への反転の影響が裏面電極近傍の高電荷層に及ぶのを防止するための反転防止膜が設けられていることを特徴とする光電変換素子。
- 反転防止膜は誘電体材質からなる膜である請求項1に記載の光電変換素子。
- 不活性化膜により半導体基板の裏面に形成される反転層が、反転防止膜によってまたは反転防止膜によりその直下の半導体基板裏面に誘起される電界によって、裏面電極およびその近傍の高電荷層とは分離されている請求項1または2に記載の光電変換素子。
- 半導体基板の裏面上に反転防止膜、不活性化膜および裏面電極がこの順に形成されている請求項1〜3のいずれか1つに記載の光電変換素子。
- 半導体基板はその厚さが10〜100μmである請求項1〜4のいずれか1つに記載の光電変換素子。
- 裏面電極はその主材質が銀またはアルミニウムである請求項1〜5のいずれか1つに記載の光電変換素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006050732A JP4489035B2 (ja) | 2006-02-27 | 2006-02-27 | 光電変換素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006050732A JP4489035B2 (ja) | 2006-02-27 | 2006-02-27 | 光電変換素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007234641A JP2007234641A (ja) | 2007-09-13 |
JP4489035B2 true JP4489035B2 (ja) | 2010-06-23 |
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ID=38554965
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006050732A Expired - Fee Related JP4489035B2 (ja) | 2006-02-27 | 2006-02-27 | 光電変換素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4489035B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2365534A4 (en) | 2008-12-02 | 2014-04-02 | Mitsubishi Electric Corp | METHOD FOR PRODUCING A SOLAR BATTERY CELL |
JP5865490B2 (ja) * | 2012-04-18 | 2016-02-17 | 株式会社日立製作所 | 太陽電池およびその製造方法 |
JP6238884B2 (ja) * | 2014-12-19 | 2017-11-29 | 三菱電機株式会社 | 光起電力素子およびその製造方法 |
CN109494264A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-03-19 | 苏州腾晖光伏技术有限公司 | 一种晶硅太阳能电池及其制作方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59150483A (ja) * | 1983-02-15 | 1984-08-28 | Toshiba Corp | 太陽電池 |
JPS6292341A (ja) * | 1985-10-17 | 1987-04-27 | Nec Yamagata Ltd | 半導体装置 |
JPH07226532A (ja) * | 1993-12-16 | 1995-08-22 | Nikon Corp | 多分割アバランシェフォトダイオード |
JPH09199738A (ja) * | 1996-01-19 | 1997-07-31 | Hitachi Ltd | 太陽電池 |
JP2002305314A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-10-18 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 太陽電池モジュール及び太陽電池モジュールの設置方法 |
JP2004335867A (ja) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 太陽電池及びその製造方法 |
JP2005123447A (ja) * | 2003-10-17 | 2005-05-12 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 太陽電池及びその製造方法 |
-
2006
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59150483A (ja) * | 1983-02-15 | 1984-08-28 | Toshiba Corp | 太陽電池 |
JPS6292341A (ja) * | 1985-10-17 | 1987-04-27 | Nec Yamagata Ltd | 半導体装置 |
JPH07226532A (ja) * | 1993-12-16 | 1995-08-22 | Nikon Corp | 多分割アバランシェフォトダイオード |
JPH09199738A (ja) * | 1996-01-19 | 1997-07-31 | Hitachi Ltd | 太陽電池 |
JP2002305314A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-10-18 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 太陽電池モジュール及び太陽電池モジュールの設置方法 |
JP2004335867A (ja) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 太陽電池及びその製造方法 |
JP2005123447A (ja) * | 2003-10-17 | 2005-05-12 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 太陽電池及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007234641A (ja) | 2007-09-13 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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