JP4487272B2 - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の垂直磁気記録媒体の一実施例を示す断面模式図で、図中符号1は非磁性基体、2は下地層、2aは高ガス圧成膜、2bは低ガス圧成膜、3は磁気記録層、4は保護膜、5は液体潤滑材層を示している。この垂直磁気記録媒体は、非磁性基体1上に少なくとも、下地層2と磁気記録層3と及び保護膜4が順に形成された構造を有しており、さらにその上に液体潤滑材層5が形成されている。
非磁性基体として表面が平滑な化学強化ガラス基板(例えば、HOYA社製N−5ガラス基板)を用い、これを洗浄後スパッタ装置内に導入し、非磁性のNi基合金であるNi58Fe15Cr27ターゲットを用い、Arガス圧5mTorr下でNiFeCrシード層を15nm成膜した。
Ru下地層を成膜後、CoCrPt−SiO2磁気記録層成膜前に、Arに5%のO2を添加した雰囲気中で10sec暴露する以外は全て参考例1と同様にして単層垂直磁気記録媒体とした。このときのAr+O2の圧力は5mTorrで流量は60sccmとした。
Ru下地層を形成する際、初期層は、5nmはArガス30mTorr下で成膜し、表面層5nmは、Arに0.5%のO2を添加した混合ガスを用いてガス圧10mTorr下で成膜すること以外は全て参考例1と同様にして単層垂直磁気記録媒体とした。
Ru下地層を成膜後、CoCrPt−SiO2磁気記録層成膜前に、Arに5%のO2を添加した雰囲気中で10sec暴露する以外は全て参考例2と同様にして単層垂直磁気記録媒体とした。このときのAr+O2の圧力は5mTorrで流量は60sccmとした。
参考例1及び2の比較例として、Ru成膜時のArガス圧を30mTorr一定として成膜し、膜厚を10nm若しくは20nmとすること以外は全て参考例1と同様にして単層垂直磁気記録媒体を2種類作製した。
実施例1及び参考例3の比較例として、Ru下地層を成膜後、CoCrPt−SiO2磁気記録層成膜前に、Arに5%のO2を添加した雰囲気中で10sec暴露する以外は全て比較例1と同様にして単層垂直磁気記録媒体を2種類作製した。このときのAr+O2の圧力は5mTorrで流量は60sccmとした。
非磁性基体として表面が平滑な化学強化ガラス基板(例えば、HOYA社製N−5ガラス基板)を用い、これを洗浄後スパッタ装置内に導入し、Co86Zr5Nb9ターゲットを用いてArガス圧5mTorr下でCoZrNbを300nm形成した後、軟磁性のNi基合金であるNi80Fe12Nb3B5ターゲットを用い、Arガス圧5mTorr下でNiFeNbB軟磁性シード層を30nm成膜した。
Ru下地層を形成する際、初期層6nmは、Arガス10mTorr下で成膜し、表面層2nmは、Arに0.5%のO2を添加したガスを用いてガス圧10mTorrで成膜すること以外は全て実施例2と同様にして二層垂直磁気記録媒体とした。
非磁性基体として表面が平滑な化学強化ガラス基板(例えば、HOYA社製N−5ガラス基板)を用い、これを洗浄後スパッタ装置内に導入し、Co92Ta3Zr5ターゲットを用いてArガス圧5mTorr下でCoTaZrを300nm形成した後、軟磁性のNi基合金であるNi80Fe12Nb8ターゲットを用い、Arガス圧5mTorr下でNiFeNbシード層を30nm成膜した。
RuW下地層を形成する際、初期層6nmは、Arガス10mTorr下で成膜し、表面層2nmは、Arに0.5%のN2を添加した混合ガスを用いてガス圧10mTorr下で成膜すること以外は全て実施例3と同様にして二層垂直磁気記録媒体とした。
実施例2及び参考例4の比較例として、Ru成膜時のArガス圧を30mTorr一定としてRu下地層を成膜すること以外は全て実施例2と同様にして二層垂直磁気記録媒体とした。この時、Ru膜厚を8nm、20nmとした2種類を作製した。
実施例3及び参考例5の比較例として、RuW成膜時のArガス圧を30mTorr一定としてRuW下地層を成膜すること以外は全て実施例3と同様にして二層垂直磁気記録媒体とした。この時、RuW膜厚を8nm、20nmとした2種類を作製した。
2 下地層
2a 高ガス圧成膜
2b 低ガス圧成膜
3 磁気記録層
4 保護膜
5 液体潤滑材層
12 下地層
12a O2或いはN2添加ガス成膜
12b Arガス成膜
21 軟磁性裏打ち層
22 シード層
Claims (5)
- 非磁性基体上に少なくとも下地層と磁気記録層と保護膜及び液体潤滑材層が順次積層されてなる垂直磁気記録媒体において、前記磁気記録層は、強磁性を有する結晶粒とそれを取り巻く酸化物の非磁性結晶粒界からなり、かつ前記下地層は、表面層部分が初期層部分よりも高ガス圧で形成され、前記表面層部分の結晶粒界幅が前記初期層部分の結晶粒界幅よりも大きく、前記下地層の成膜後、前記磁気記録層の成膜前に前記基体をO 2 雰囲気若しくは希ガスにO 2 を添加した混合ガス雰囲気中に暴露した後に、前記磁気記録層を形成したものであることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
- 非磁性基体上に少なくとも下地層と磁気記録層と保護膜及び液体潤滑材層が順次積層されてなる垂直磁気記録媒体において、前記磁気記録層は、強磁性を有する結晶粒とそれを取り巻く窒化物の非磁性結晶粒界からなり、かつ前記下地層は、表面層部分が初期層部分よりも高ガス圧で形成され、前記表面層部分の結晶粒界幅が前記初期層部分の結晶粒界幅よりも大きく、前記下地層の成膜後、前記磁気記録層の成膜前に前記基体をN 2 雰囲気若しくは希ガスにN 2 を添加した混合ガス雰囲気中に暴露した後に、前記磁気記録層を形成したものであることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
- 前記下地層の前記初期層部分の形成時のガス圧が30mTorr以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記下地層が、Ru或いはRuW、RuTi、RuAl、RuCu、RuSi、RuC、RuB、RuCoCrなどの少なくともRuを含む合金であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記下地層の直下に、NiFe、NiFeNb、NiFeSi、NiFeB、NiFeNbB、NiFeCrなどのNi基合金であるシード層を備えたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の垂直磁気記録媒体。
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