JP4483574B2 - 蒸着被膜形成方法 - Google Patents
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Description
そこで本発明は、サイズの大きい被処理物に対しても、被処理物の欠けや被膜ハガレの発生率を抑えて、その表面に蒸着被膜を効率的に形成することができる、蒸着被膜形成方法を提供することを目的とする。
また、本発明の蒸着被膜形成方法は、請求項2記載の通り、真空処理室内に、蒸着材料の蒸発部と、その表面に蒸着材料が蒸着される被処理物を収容するための多孔性周面を有する筒型バレルを備え、筒型バレルを横設して水平方向の回転軸線を中心に回転させながら被処理物の表面に蒸着材料を蒸着させる蒸着被膜形成装置を用いた蒸着被膜形成方法であって、金属製スプリングをテンションを付加して架設した筒型バレル内に、被処理物を多数収容し、被処理物の表面に蒸着材料を蒸着させることを特徴とする。
また、請求項3記載の蒸着被膜形成方法は、請求項1または2記載の蒸着被膜形成方法において、蒸着材料がアルミニウムであることを特徴とする。
また、請求項4記載の蒸着被膜形成方法は、請求項1乃至3のいずれかに記載の蒸着被膜形成方法において、被処理物が板状体であることを特徴とする。
また、請求項5記載の蒸着被膜形成方法は、請求項1乃至4のいずれかに記載の蒸着被膜形成方法において、被処理物が希土類系永久磁石であることを特徴とする。
図2に示したような、直径110mm×長さ575mmのステンレス製のメッシュ金網で形成された円筒形バレル内に、磁石体試験片80個と、直径15mm×長さ20mmのステンレス製スプリング部材(磁石体試験片の体積を1とした場合の体積は0.8)80個を収容し、図1に示した蒸着被膜形成装置により、磁石体試験片の表面にアルミニウム被膜を形成した(円筒形バレルの装置への装着方法は図3に示した方法を採用したことから、装置全体では24個の円筒形バレルを装着したので、一度に処理した磁石体試験片の総数は1920個である)。なお、蒸着条件は、蒸着時間35分、円筒形バレル回転数4.7rpmとした。
図7に示したような、4本の直径15mmのステンレス製スプリングを、両端面間にテンションを付加して架設した、直径110mm×長さ575mmのステンレス製のメッシュ金網で形成された円筒形バレル内に、磁石体試験片80個を収容し、図1に示した蒸着被膜形成装置により、磁石体試験片の表面にアルミニウム被膜を形成した(円筒形バレルの装置への装着方法は図3に示した方法を採用したことから、装置全体では24個の円筒形バレルを装着したので、一度に処理した磁石体試験片の総数は1920個である)。なお、蒸着条件は、実施例1と同様の条件とした。
図2に示したような、直径110mm×長さ575mmのステンレス製のメッシュ金網で形成された円筒形バレル内に、磁石体試験片80個を収容し、図1に示した蒸着被膜形成装置により、磁石体試験片の表面にアルミニウム被膜を形成した(円筒形バレルの装置への装着方法は図3に示した方法を採用したことから、装置全体では24個の円筒形バレルを装着したので、一度に処理した磁石体試験片の総数は1920個である)。なお、蒸着条件は、実施例1と同様の条件とした。
実施例1、実施例2、比較例それぞれについて、磁石体試験片の表面に形成されたアルミニウム被膜の膜厚(n=10:断面観察による)を表1に示す。また、アルミニウム被膜が表面に形成された磁石体試験片10000個について調べた、磁石体試験片の欠けと被膜ハガレの発生率と、磁石体試験片の欠けと被膜ハガレが認められず良品と判断されたアルミニウム被膜が表面に形成された磁石体試験片に対するプレッシャークッカ試験(PCT試験:条件は温度125℃×相対湿度85%×2atmの環境下に60時間放置)の結果(n=5)を表1に示す。
2,102 ボート
3,103 支持テーブル
4,104 ボート支持台
5,105 円筒形バレル
6,106 回転シャフト
7 支持部材
8 支持軸
9 アルミニウムワイヤー
10 繰り出しリール
11 保護チューブ
12 切り欠き窓
13 ギア
30,130 希土類系永久磁石
31 金属製スプリング部材
32 金属製スプリング
Claims (5)
- 真空処理室内に、蒸着材料の蒸発部と、その表面に蒸着材料が蒸着される被処理物を収容するための多孔性周面を有する筒型バレルを備え、筒型バレルを横設して水平方向の回転軸線を中心に回転させながら被処理物の表面に蒸着材料を蒸着させる蒸着被膜形成装置を用いた蒸着被膜形成方法であって、被処理物と金属製スプリング部材を、筒型バレル内にそれぞれ多数収容し、被処理物の表面に蒸着材料を蒸着させることを特徴とする蒸着被膜形成方法。
- 真空処理室内に、蒸着材料の蒸発部と、その表面に蒸着材料が蒸着される被処理物を収容するための多孔性周面を有する筒型バレルを備え、筒型バレルを横設して水平方向の回転軸線を中心に回転させながら被処理物の表面に蒸着材料を蒸着させる蒸着被膜形成装置を用いた蒸着被膜形成方法であって、金属製スプリングをテンションを付加して架設した筒型バレル内に、被処理物を多数収容し、被処理物の表面に蒸着材料を蒸着させることを特徴とする蒸着被膜形成方法。
- 蒸着材料がアルミニウムであることを特徴とする請求項1または2記載の蒸着被膜形成方法。
- 被処理物が板状体であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の蒸着被膜形成方法。
- 被処理物が希土類系永久磁石であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の蒸着被膜形成方法。
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