JP4483417B2 - 基板の分割方法及び接合面を有する素子 - Google Patents
基板の分割方法及び接合面を有する素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4483417B2 JP4483417B2 JP2004168163A JP2004168163A JP4483417B2 JP 4483417 B2 JP4483417 B2 JP 4483417B2 JP 2004168163 A JP2004168163 A JP 2004168163A JP 2004168163 A JP2004168163 A JP 2004168163A JP 4483417 B2 JP4483417 B2 JP 4483417B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- dicing
- groove
- bonding surface
- bonding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
以下、本発明の実施の形態1について、図1〜図5を参照して説明する。図1は、本発明の実施の形態1における基板の分割方法を示す断面図である。
図1(a)において、回路が形成された第1の基板1(シリコン)と第2の基板2(ガラス)とを接合してなる接合基板を準備する。次に、図1(b)のように、第2の基板2に対し、接合面とは反対側の面に切込み溝3を形成する。次いで、図1(c)のように、第1の基板1に対し、接合面とは反対側の面をハーフカットダイシングし、ダイシング溝4を形成する。そして、図1(d)のように、第1の基板1に対し、接合面とは反対側の面にプラズマを照射することにより、接合面とは反対側の面をエッチングする。このとき、第1の基板1の板厚が若干減少し、ダイシング溝4の溝幅が若干広がるとともに、ダイシング溝4が接合面にまで達する。
以下、本発明の実施の形態2について、図6〜図9を参照して説明する。図6は、本発明の実施の形態2における基板の分割方法を示す断面図である。
以下、本発明の実施の形態3について、図10を参照して説明する。
以下、本発明の実施の形態4について、図11を参照して説明する。
以下、本発明の実施の形態5について、図12を参照して説明する。
2 ガラス基板
3 切込み溝
4 ダイシング溝
Claims (6)
- シリコン基板とガラス基板とが接合してなる接合基板において、
前記ガラス基板のうち接合面とは反対側の面に切込み溝を形成するステップと、前記シリコン基板のうち接合面とは反対側の面、かつ、前記切込み溝と異なる位置にハーフカットダイシングすることでダイシング溝を形成するステップと、前記シリコン基板のうち前記ダイシング溝が形成される面にプラズマを照射することにより前記シリコン基板をエッチングするステップと、前記ガラス基板側から圧力を加えることで前記シリコン基板と前記ガラス基板の接合面で両基板が分割されるステップと、を有すること
を特徴とする基板の分割方法。 - シリコン基板とガラス基板とが接合してなる接合基板において、
前記ガラス基板のうち接合面とは反対側の面に切込み溝を形成するステップと、前記シリコン基板の片面に樹脂層を形成するステップと、前記シリコン基板の片面の前記切込み溝と異なる位置に対し、前記樹脂層を貫通しつつハーフカットダイシングすることでダイシング溝を形成するステップと、前記シリコン基板のうち前記ダイシング溝が形成される面にプラズマを照射することにより前記シリコン基板の片面をエッチングするステップと、前記ガラス基板側から圧力を加えることで前記シリコン基板と前記ガラス基板の接合面で両基板が分割されるステップと、を有すること
を特徴とする基板の分割方法。 - シリコン基板とガラス基板とが接合してなる接合基板において、
前記ガラス基板のうち接合面とは反対側の面に切込み溝を形成するステップと、前記シリコン基板のうち接合面とは反対側の面、かつ、前記切込み溝と異なる位置にハーフカットダイシングすることでダイシング溝を形成するステップと、ハーフカットダイシングにより形成された前記ダイシング溝内にプラズマを発生させることにより、前記ダイシング溝の深さ方向にエッチングを進行させるステップと、前記ガラス基板側から圧力を加えることで前記シリコン基板と前記ガラス基板の接合面で両基板が分割されるステップと、を有すること
を特徴とする基板の分割方法。 - 回路が形成されたシリコン基板とガラス基板とを接合してなる接合基板を分割するための基板の分割方法であって、
前記シリコン基板に対し、接合面とは反対側の面をハーフカットダイシングすることでダイシング溝を形成するステップと、前記シリコン基板に対し、接合面とは反対側の面にプラズマを照射することにより、接合面とは反対側の面をエッチングするステップと、前記ガラス基板に対し、接合面とは反対側の面、かつ、前記ダイシング溝と異なる位置に切込み溝を形成するステップと、圧力を加えて前記シリコン基板と前記ガラス基板の接合面で前記ガラス基板を分断するステップと、を有すること
を特徴とする基板の分割方法。 - 回路が形成されたシリコン基板とガラス基板とを接合してなる接合基板を分割するための基板の分割方法であって、
前記シリコン基板に対し、接合面とは反対側の面に樹脂層を形成するステップと、接合面とは反対側の面に対し、前記樹脂層を貫通しつつハーフカットダイシングすることでダイシング溝を形成するステップと、前記シリコン基板に対し、接合面とは反対側の面にプラズマを照射することにより、接合面とは反対側の面をエッチングするステップと、前記ガラス基板に対し、接合面とは反対側の面、かつ、前記ダイシング溝と異なる位置に切込み溝を形成するステップと、圧力を加えて前記シリコン基板と前記ガラス基板の接合面で前記ガラス基板を分断するステップと、を有すること
を特徴とする基板の分割方法。 - 回路が形成されたシリコン基板とガラス基板とを接合してなる接合基板を分割するための基板の分割方法であって、
前記シリコン基板に対し、接合面とは反対側の面をハーフカットダイシングすることでダイシング溝を形成するステップと、前記シリコン基板に対し、ハーフカットダイシングにより形成された前記ダイシング溝内にプラズマを発生させることにより、前記ダイシング溝の深さ方向にエッチングを進行させるステップと、前記ガラス基板に対し、接合面とは反対側の面、かつ、前記ダイシング溝と異なる位置に切込み溝を形成するステップと、圧力を加えて前記シリコン基板と前記ガラス基板の接合面で前記ガラス基板を分断するステップと、を有すること
を特徴とする基板の分割方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004168163A JP4483417B2 (ja) | 2004-06-07 | 2004-06-07 | 基板の分割方法及び接合面を有する素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004168163A JP4483417B2 (ja) | 2004-06-07 | 2004-06-07 | 基板の分割方法及び接合面を有する素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005347670A JP2005347670A (ja) | 2005-12-15 |
JP4483417B2 true JP4483417B2 (ja) | 2010-06-16 |
Family
ID=35499726
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004168163A Expired - Fee Related JP4483417B2 (ja) | 2004-06-07 | 2004-06-07 | 基板の分割方法及び接合面を有する素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4483417B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007208230A (ja) * | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Seiko Npc Corp | 貼り合わせ基板のダイシング方法 |
JP2013122984A (ja) * | 2011-12-12 | 2013-06-20 | Canon Inc | 半導体素子の製造方法 |
-
2004
- 2004-06-07 JP JP2004168163A patent/JP4483417B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005347670A (ja) | 2005-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6320505B2 (ja) | 半導体ウエハをプラズマ・ダイシングするための方法及び装置 | |
JP6450763B2 (ja) | 半導体ウエハをプラズマ・ダイシングするための方法及び装置 | |
US7629230B2 (en) | Wafer processing method | |
JP2002093749A (ja) | 基板ウェーハを複数の基板チップに分断するための方法 | |
US9368406B2 (en) | Method for manufacturing semiconductor chip | |
JP2019197899A (ja) | 半導体ウエハをプラズマ・ダイシングするための方法及び装置 | |
CN107180754B (zh) | 等离子体处理方法 | |
JP2015133459A (ja) | ウェーハの分割方法 | |
JP4483417B2 (ja) | 基板の分割方法及び接合面を有する素子 | |
JP2021190557A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP2004247443A (ja) | 半導体ウエーハの加工方法 | |
JP5785862B2 (ja) | 静電チャック及びその製造方法、基板温調固定装置 | |
JP7104559B2 (ja) | 被加工物の加工方法 | |
JP7128064B2 (ja) | 被加工物の加工方法 | |
JP2021027183A (ja) | チップの製造方法 | |
JP2019160883A (ja) | 素子チップの製造方法 | |
JP7214309B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP5691005B2 (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
JP7104558B2 (ja) | 被加工物の加工方法 | |
JP2023081007A (ja) | デバイスチップの製造方法 | |
KR20230135511A (ko) | 칩의 제조 방법 | |
JP2022160828A (ja) | 基板処理方法、素子チップの製造方法、樹脂膜形成方法、および樹脂膜形成装置 | |
JP2009038209A (ja) | 均一なエッチングを行うことができるシリコン電極板 | |
TW202345220A (zh) | 晶片之製造方法 | |
JP2022021712A (ja) | ウェーハの加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070327 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Effective date: 20070412 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20080930 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20081021 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20090714 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090827 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091120 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100302 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100315 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130402 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |