JP4483247B2 - 多層フレキシブル配線基板の製造方法及び多層フレキシブル配線基板 - Google Patents
多層フレキシブル配線基板の製造方法及び多層フレキシブル配線基板 Download PDFInfo
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導体層による給電では電気抵抗が高くなる。その結果絶縁基材の発熱、添加剤の効果の減少等が要因となり、所望のめっき状態が得られない。所望のめっき状態を得るためには、給電方法を変更するなどの装置の改造が必要となってくる。
法により多層フレキシブル配線基板を製造する方法であって、少なくとも以下の工程を有
し、電解銅めっき工程における給電が少なくとも一対以上の導体層と薄膜導体層からなる
複合導体層にて行われ、且つ、導体層、薄膜導体層及びビアが、少なくとも銅を主成分と
する導体で形成されていること、を特徴とする多層フレキシブル配線基板の製造方法とし
たものである。
(a)絶縁性樹脂フィルムからなる絶縁基材(11)の一方の面に導体層(21)を形成し、前記絶縁基材(11)の他方の面の所定位置に導体層(21)に達するビア用孔(12)を形成する工程。
(b)絶縁基材(11)上、ビア用孔(12)及びビア用孔(12)内底の導体層(21)上に、ならびに導体層(21)の他方の面に、薄膜導体層(31)を形成することで、導体層(21)上に薄膜導体層(31)を有する複合導体層(61)を形成する工程。
(c)前記ビア用孔(12)が形成されている側の薄膜導体層(31)上にパターンめっき用のレジストパターン(41)を形成する工程。
(d)複合導体層(61)をカソードにして電解銅めっきを行い、前記ビア用孔(12)が形成されている側の前記薄膜導体層(31)上に所定厚の導体層(51)及びビア(52)を形成し、前記複合導体層(61)上に所定厚の導体層(51)を有する複合導体層(62)を形成する工程。
(e)レジストパターン(41)を剥離処理し、絶縁基材11の一方の面にランド(51a)、配線層(51b)及び信号配線層(51c)のうち少なくとも一つを形成し、他方の面に複合導体層(62)を形成し、前記ランド(51a)と前記複合導体層(62)がフィルドビア(52)にて電気的に接続された中間配線基板(50)を作製する工程。
(f)中間配線基板(50)の配線層側に、絶縁シート(13)の一方の面に導体層(22)が、他方の面に接着剤層(71)が形成された積層材(60)の接着剤層(71)面を貼り合わせ、積層して積層配線基板(70)を作製する工程。
(g)積層配線基板(70)の導体層(22)及び絶縁シート(13)の所定位置にビア用孔(14)を形成する工程。
(h)導体層(22)上とビア用孔(14)内に、及び他方の面の複合導体層(62)上に、薄膜導体層(32)を形成することで、ビア用孔(14)側の面に導体層(22)上に薄膜導体層(32)を有する複合導体層(63)及び他方の面に複合導体層(62)上に薄膜導体層(32)を有する複合導体層(64)を形成する工程。
(i)複合導体層(64)をカソードにして電解銅めっきを行い、複合導体層(63)の面に所定厚の導体層(54)及びビア(55)を、また複合導体層(64)の面には所定厚の導体層(54)を形成することで、複合導体層(63)上に導体層(54)を有する複合導体層(65)及び複合導体層(64)上に導体層(54)を有する複合導体層(66)を形成する工程。
(j)複合導体層(65)及び複合導体層(66)を薄膜化するためのエッチング処理を行って、導体層(21)及び導体層(22)を形成し、導体層(21)及び導体層(22)上にレジストパターン(42)を形成する工程。
(k)レジストパターン(42)をマスクにして、導体層(21)及び導体層(22)をエッチングし、レジストパターン(42)を剥離処理することによりランド、配線層等を形成する工程。
また、必要最低限の工数で該多層フレキシブル基板の製造が可能である。
図2(a)〜(f)、図3(g)〜(j)及び図4(k)〜(o)は本発明の多層フレキシブル配線基板の製造方法の一例を工程順に示す模式構成断面図である。
以下、本発明の多層フレキシブル配線基板の製造方法について図面を用いて説明する。
次に、絶縁基材11の他方の面の所定位置にレーザー加工にて導体層21に達するビア用孔12を形成し、ビア用孔底、またはビア用孔内壁に付着した樹脂残渣を、ドライデスミア、またはウェットデスミア等のデスミア処理にて除去する(図2(b)参照)。
次に、図6に示すようなリールツーリール工法のめっき装置を用いて、給電ローラー93にて複合導体層61に給電を行って、フィルドビア用銅めっき液を用いて電解銅めっきを行い所定厚の導体層51、フィルドビア52を形成し、複合導体層62が形成される(図2(e)参照)。ここで、電解銅めっきの給電が複合導体層61にて行われるため、給電ローラー93からの複合導体層61の電気抵抗は問題にならず、所望のめっき状態を再現できる。
次に、無電解銅めっき、またはDPS、またはスパッタ等にて、ビア用孔12内、導体層22上及び複合導体層62上に薄膜導体層32を形成し、複合導体層63及び複合導体層64が形成される(図3(j)参照)。
3にて複合導体層64に給電を行って、フィルドビア用銅めっき液を用いて電解銅めっきを行い、所定厚の導体層54及びフィルドビア55を形成し、複合導体層65及び複合導体層66が形成される(図4(k)参照)。
次に、薄膜導体層31上に感光性レジストを塗布してパターン露光、現像等のパターニング処理を行って、パターンめっき用のレジストパターン41を形成した(図2(d)参照)。
、中間配線基板50のランド51a、配線層51b及び信号配線層51c側に絶縁層13a及び導体層22が形成された積層配線基板70を作製した(図3(h)参照)。
12、14、17……ビア用孔
13……絶縁樹脂フィルム
13a、16……絶縁層
21、22……導体層
21a、22a、51a、56a……ランド
21b、51b、55、56b……配線層
22c、51c……信号配線層
31、32、33……薄膜導体層
41、42、43……レジストパターン
50……中間配線基板
51、53、56……導体層
52、54、57……フィルドビア
60……積層材
61、62、63、64、65、66……複合導体層
70……積層配線基板
90……めっき槽
91……アノード
92……噴流ノズル
93……給電ロール
100……多層フレキシブル配線基板
Claims (2)
- リールツーリール工法により多層フレキシブル配線基板を製造する方法であって、少なくとも以下の工程を有し、電解銅めっき工程における給電が少なくとも一対以上の導体層と薄膜導体層からなる複合導体層にて行われ、且つ、導体層、薄膜導体層及びビアが、少なくとも銅を主成分とする導体で形成されていること、を特徴とする多層フレキシブル配線基板の製造方法。
(a)絶縁性樹脂フィルムからなる絶縁基材(11)の一方の面に導体層(21)を形成し、前記絶縁基材(11)の他方の面の所定位置に導体層(21)に達するビア用孔(12)を形成する工程。
(b)絶縁基材(11)上、ビア用孔(12)及びビア用孔(12)内底の導体層(21)上に、ならびに導体層(21)の他方の面に、薄膜導体層(31)を形成することで、導体層(21)上に薄膜導体層(31)を有する複合導体層(61)を形成する工程。
(c)前記ビア用孔(12)が形成されている側の薄膜導体層(31)上にパターンめっき用のレジストパターン(41)を形成する工程。
(d)複合導体層(61)をカソードにして電解銅めっきを行い、前記ビア用孔(12)が形成されている側の前記薄膜導体層(31)上に所定厚の導体層(51)及びビア(52)を形成し、前記複合導体層(61)上に所定厚の導体層(51)を有する複合導体層(62)を形成する工程。
(e)レジストパターン(41)を剥離処理し、絶縁基材11の一方の面にランド(51a)、配線層(51b)及び信号配線層(51c)のうち少なくとも一つを形成し、他方の面に複合導体層(62)を形成し、前記ランド(51a)と前記複合導体層(62)がフィルドビア(52)にて電気的に接続された中間配線基板(50)を作製する工程。
(f)中間配線基板(50)の配線層側に、絶縁シート(13)の一方の面に導体層(22)が、他方の面に接着剤層(71)が形成された積層材(60)の接着剤層(71)面を貼り合わせ、積層して積層配線基板(70)を作製する工程。
(g)積層配線基板(70)の導体層(22)及び絶縁シート(13)の所定位置にビア用孔(14)を形成する工程。
(h)導体層(22)上とビア用孔(14)内に、及び他方の面の複合導体層(62)上に、薄膜導体層(32)を形成することで、ビア用孔(14)側の面に導体層(22)上に薄膜導体層(32)を有する複合導体層(63)及び他方の面に複合導体層(62)上に薄膜導体層(32)を有する複合導体層(64)を形成する工程。
(i)複合導体層(64)をカソードにして電解銅めっきを行い、複合導体層(63)の面に所定厚の導体層(54)及びビア(55)を、また複合導体層(64)の面には所定厚の導体層(54)を形成することで、複合導体層(63)上に導体層(54)を有する複合導体層(65)及び複合導体層(64)上に導体層(54)を有する複合導体層(66)を形成する工程。
(j)複合導体層(65)及び複合導体層(66)を薄膜化するためのエッチング処理を行って、導体層(21)及び導体層(22)を形成し、導体層(21)及び導体層(22)上にレジストパターン(42)を形成する工程。
(k)レジストパターン(42)をマスクにして、導体層(21)及び導体層(22)をエッチングし、レジストパターン(42)を剥離処理することによりランド、配線層等を形成する工程。 - 請求項1に記載の製造方法によって作製されたことを特徴とする多層フレキシブル配線基板。
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