JP4482866B2 - 巨大磁気抵抗素子を持った方位計 - Google Patents
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その平面コイル面の同じ側にあって、平面コイル面に平行で近接した平面内に設けられた巨大磁気抵抗素子2個からなる少なくとも1組の巨大磁気抵抗素子対とを有しており、
巨大磁気抵抗素子それぞれは、強磁性層と非磁性層とを交互に積層した積層薄膜であり、その長手方向寸法に対して薄膜の幅方向寸法が十分に小さな形状をしており、
巨大磁気抵抗素子対の各巨大磁気抵抗素子の長手方向は平面コイルの対辺対の各1辺のみと実質的に直交して対辺対の当該1辺を流れる直流電流による直流磁界が各巨大磁気抵抗素子の当該長手方向に印加されるものであり、
巨大磁気抵抗素子対の巨大磁気抵抗素子の一方の端部同士が接続されているとともに、他方の端部間に測定用電圧が印加されるようになっており、一方の端部から中間電圧を取り出すようになっている。
巨大磁気抵抗素子に前にかけた直流磁界よりも小さな所定の直流磁界を印加する直流電流を平面コイルに供給し、
巨大磁気抵抗素子の磁化が前とは逆方向に飽和する大きさの直流磁界を巨大磁気抵抗素子に印加するのに十分な直流電流を平面コイルに供給し、そして
巨大磁気抵抗素子に前回の所定の直流磁界と逆方向の所定の直流磁界を印加する直流電流を平面コイルに供給するものであることが好ましい。
巨大磁気抵抗素子に最初とは逆方向の所定の直流磁界を印加している間に各巨大磁気抵抗素子対の一方の端部から第二の中間電圧を取り出し、
第一と第二の中間電圧の差に基づいて外部磁界の方位を求める演算器を有していることが好ましい。
本発明の実施例1の方位計を分解斜視図で図1に、またその回路図を図2に示している。図1、図2で1は平行四辺形状(ここでは正方形)をした平面コイルで数十回巻かれている。この平面コイル面の同じ側に、この図では下側に、この平面コイル面に平行で近接した平面内に巨大磁気抵抗素子対2,3,4,5が4組設けられている。巨大磁気抵抗素子対2,3,4,5それぞれは2個の巨大磁気抵抗素子21と22,31と32,41と42,51と52からなっている。
R21=Rb−βl・Hex・cosθ−βv・Hex・sinθ
巨大磁気抵抗素子22,31には外部磁界Hexと反対方向のバイアス磁界が印加されており、巨大磁気抵抗素子32には巨大磁気抵抗素子21に印加されているバイアス磁界と同じバイアス磁界が印加されているので、巨大磁気抵抗素子それぞれの抵抗R22,R31,R32は次のようになる。
R22=Rb+βl・Hex・cosθ−βv・Hex・sinθ
R31=Rb+βl・Hex・cosθ−βv・Hex・sinθ
R32=Rb−βl・Hex・cosθ−βv・Hex・sinθ
巨大磁気抵抗素子21と巨大磁気抵抗素子22の第一の中間電圧V2(正方向バイアス電流を流しているときの電圧を「第一」と呼ぶ)、巨大磁気抵抗素子31と巨大磁気抵抗素子32の第一の中間電圧V3それぞれは、
V2=Vcc・(Rb+βl・Hex・cosθ−βv・Hex・sinθ)/2(Rb−βv・Hex・sinθ)
V3=Vcc・(Rb−βl・Hex・cosθ−βv・Hex・sinθ)/2(Rb−βv・Hex・sinθ)
なので、これらの第一の中間電圧差Vx(+)(正方向バイアス電流を流している状態を「+」とする)は
Vx(+)=V2−V3=Vcc・βl・Hex・cosθ/(Rb−βv・Hex・sinθ)
となる。同様にして、巨大磁気抵抗素子対4と巨大磁気抵抗素子対5との第一の中間電圧差Vy(+)を求めると、
Vy(+)=V4−V5=Vcc・βl・Hex・sinθ/(Rb−βv・Hex・cosθ)
となる。
Vx(−)=−Vcc・βl・Hex・cosθ/(Rb−βv・Hex・sinθ)
Vy(−)=−Vcc・βl・Hex・sinθ/(Rb−βv・Hex・cosθ)
となる。
Vx=Vx(+)−Vx(−)=2Vcc・βl・Hex・cosθ/(Rb−βv・Hex・sinθ)
Vy=Vy(+)−Vy(−)=2Vcc・βl・Hex・sinθ/(Rb−βv・Hex・cosθ)
となり、ここでβvはβlよりも極めて小さく、Rb>>βv・Hex・sinθ、Rb>>βv・Hex・cosθといえるので、
Vx≒2Vcc・βl・Hex・cosθ/Rb
Vy≒2Vcc・βl・Hex・sinθ/Rb
となる。
これらの式から、外部磁界の加わる角度θは、
θ=tan−1(Vy/Vx)
となるので、実施例1の方位計によって外部磁界の加わる角度θを求めることができる。
本発明の方位計の実施例2について回路図を図7に示している。ここに示している方位計は図2の回路図に示した方位計から、巨大磁気抵抗素子対3と5を除いたものである。そのために、図2では巨大磁気抵抗素子対2と3の中間電圧差、及び巨大磁気抵抗素子対4と5の中間電圧差を求めていたのに対して、図7の方位計では巨大磁気抵抗素子対2と4それぞれの中間電圧を求めるようになっている。参照符号は図1、図2と同じものを用いて示している。
Vx(+)=Vcc・(Rb+βl・Hex・cosθ−βv・Hex・sinθ)/2(Rb−βv・Hex・sinθ)
であり、反対方向に所定の直流磁界を印加したときの第二の中間電圧は
Vx(−)=Vcc・(Rb−βl・Hex・cosθ−βv・Hex・sinθ)/2(Rb−βv・Hex・sinθ)
である。
Vy(+)=Vcc・(Rb+βl・Hex・sinθ−βv・Hex・cosθ)/2(Rb−βv・Hex・cosθ)
であり、反対方向に所定の直流磁界を印加したときの第二の中間電圧は
Vy(−)=Vcc・(Rb−βl・Hex・sinθ−βv・Hex・cosθ)/2(Rb−βv・Hex・cosθ)
なので、これら両中間電圧をx方向、y方向それぞれについて差を求めると、
x方向のVx=Vx(+)−Vx(−)
=Vcc・βl・Hex・cosθ/(Rb−βv・Hex・sinθ)
≒Vcc・βl・Hex・cosθ/Rb
y方向のVy=Vy(+)−Vy(−)
=Vcc・βl・Hex・sinθ/(Rb−βv・Hex・cosθ)
≒Vcc・βl・Hex・sinθ/Rb
となる。この出力を実施例1の出力と比べると、半分になっている。これは実施例1ではフルブリッジになっていたものが、ここではハーフブリッジになっているためである。外部磁界の水平成分がx軸となす角度θは
θ=tan−1(Vy/Vx)
として求めることができる。
実施例3
本発明の方位計の実施例3について、回路図を図8に示している。ここに示している方位計は図7の回路図に示した方位計から、更に巨大磁気抵抗素子対4を除いたものである。ここでは巨大磁気抵抗素子対2の中間電圧を求めるようになっている。参照符号は図1、2、7と同じものを用いて示している。
Vx(+)=Vcc・(Rb+βl・Hex・cosθ−βv・Hex・sinθ)/2(Rb−βv・Hex・sinθ)
であり、反対方向に電流を流して、所定の磁界を印加したときの巨大磁気抵抗素子対2の第二の中間電圧は同様にして
Vx(−)=Vcc・(Rb−βl・Hex・cosθ−βv・Hex・sinθ)/2(Rb−βv・Hex・sinθ)
となる。これら両方向磁界を印加したときの両中間電圧の間の差を求めると
x方向のVx=Vx(+)−Vx(−)≒Vcc・βlHex・cosθ/Rb
となる。この式から地磁気の水平成分のx軸との角度θを求めることができる。しかし、y方向の出力差Vを測定していないので+/−θの区別が出来ないという欠点がある。
11,12,13,14 (平面コイルの)辺
2,3,4,5 巨大磁気抵抗素子対
21,22,31,32,41,42,51,52,200 巨大磁気抵抗素子
201 下地層
211 強磁性層
212 磁化
221 非磁性層
300 外部磁界
6,7,8,9 磁気抵抗素子対
61,62,71,72,81,82,91,92 磁気抵抗素子
Claims (3)
- 互いに平行となっている対辺対を少なくとも部分的に有し直流電流を流すための平面コイルと、
それぞれが強磁性層と非磁性層とを交互に積層した積層薄膜であり、その長手方向寸法に対して薄膜の幅方向寸法が十分に小さな形状をしており、平面コイル面の同じ側にあって、平面コイル面に平行で近接した平面内に、それぞれの長手方向が平面コイルの対辺対の各1辺のみと実質的に直交して設けられて、対辺対の当該1辺を流れる直流電流による直流磁界がそれぞれの長手方向に印加される巨大磁気抵抗素子2個からなる少なくとも1組の巨大磁気抵抗素子対であって巨大磁気抵抗素子対を構成している2個の巨大磁気抵抗素子の一方の端部同士が接続されているとともに、他方の端部間に測定用電圧が印加されるようになっており、前記一方の端部から中間電圧を取り出すようになっているものと、
巨大磁気抵抗素子の磁化が長手方向に飽和する大きさの直流磁界を巨大磁気抵抗素子に印加するのに十分な直流電流を平面コイルに供給し、巨大磁気抵抗素子に前記直流磁界よりも小さな所定の直流磁界を印加する直流電流を平面コイルに供給し、巨大磁気抵抗素子の磁化が前記と逆方向に飽和する大きさの直流磁界を巨大磁気抵抗素子に印加するのに十分な直流電流を平面コイルに供給し、そして巨大磁気抵抗素子に前記所定の直流磁界と逆方向の所定の直流磁界を印加する直流電流を平面コイルに供給する電源と、
巨大磁気抵抗素子に前記所定の直流磁界を印加している間に各巨大磁気抵抗素子対の前記一方の端部から第一の中間電圧を取り出し、巨大磁気抵抗素子に前記逆方向の所定の直流磁界を印加している間に各巨大磁気抵抗素子対の前記一方の端部から第二の中間電圧を取り出し、第一と第二の中間電圧の差に基づいて外部磁界の方位を求める演算器を有していることを特徴とする方位計。 - 前記巨大磁気抵抗素子対は2組あり、前記平面コイルは前記巨大磁気抵抗素子対の各組と交差している対辺対を2組持っているとともに、その2組の対辺対は互いに垂直である請求項1記載の方位計。
- 前記巨大磁気抵抗素子対は4組あり、前記平面コイルは前記巨大磁気抵抗素子対の各2組と交差している対辺対を2組持っているとともに、その2組の対辺対は互いに垂直である請求項1記載の方位計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004102764A JP4482866B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 巨大磁気抵抗素子を持った方位計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004102764A JP4482866B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 巨大磁気抵抗素子を持った方位計 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005291728A JP2005291728A (ja) | 2005-10-20 |
JP2005291728A5 JP2005291728A5 (ja) | 2006-08-31 |
JP4482866B2 true JP4482866B2 (ja) | 2010-06-16 |
Family
ID=35324841
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004102764A Expired - Fee Related JP4482866B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 巨大磁気抵抗素子を持った方位計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4482866B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4915996B2 (ja) * | 2006-10-06 | 2012-04-11 | 株式会社リコー | センサ・モジュール、補正方法、プログラム及び記録媒体 |
JP4985522B2 (ja) * | 2008-03-28 | 2012-07-25 | Tdk株式会社 | 磁界測定方法及び磁気センサ |
JP2009250931A (ja) * | 2008-04-10 | 2009-10-29 | Rohm Co Ltd | 磁気センサおよびその動作方法、および磁気センサシステム |
US8451003B2 (en) * | 2009-07-29 | 2013-05-28 | Tdk Corporation | Magnetic sensor having magneto-resistive elements on a substrate |
JP5343936B2 (ja) * | 2010-07-06 | 2013-11-13 | 株式会社デンソー | 磁気センサ装置 |
JP6222897B2 (ja) * | 2012-06-22 | 2017-11-01 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 多軸磁気センサ、および、その製造方法 |
WO2015125699A1 (ja) * | 2014-02-19 | 2015-08-27 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
CN107015171B (zh) * | 2017-03-24 | 2023-10-24 | 江苏多维科技有限公司 | 一种具有磁滞线圈的磁传感器封装结构 |
CN109061528B (zh) * | 2018-08-02 | 2020-08-18 | 华中科技大学 | 一种基于巨磁阻抗效应的三轴平面化磁传感器 |
CN113981334B (zh) * | 2021-11-02 | 2022-04-26 | 浙江大学 | 具有超高磁阻抗的非晶丝平面结构及其传感应用 |
-
2004
- 2004-03-31 JP JP2004102764A patent/JP4482866B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005291728A (ja) | 2005-10-20 |
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A521 | Written amendment |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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