JP4474592B2 - 部品保持性能検査方法および検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、電子回路部品装着機等に設けられ、吸着ノズルにより電子回路部品を保持する部品保持装置に関するものであり、特に、部品保持装置の保持性能を検査する方法および装置に関するものである。

負圧供給装置から供給される負圧に基づいて吸着ノズルにより電子回路部品を吸着保持する電子回路部品保持装置は、電子回路部品装着機等において広く使用されている。電子回路部品装着機は、一般に、電子回路部品を供給する部品供給装置と、プリント配線板等の回路基板を保持する基板保持装置と、部品供給装置から電子回路部品を受け取り、基板保持装置に保持されている回路基板に装着する装着装置とを含むように構成される。その装着装置が、吸着ノズルにより電子回路部品を吸着保持する電子回路部品保持装置を備えたものとされることが多いのである。
吸着ノズルを備えた電子回路部品保持装置は、電子回路部品の保持と解放とを容易かつ迅速に行い得る優れたものであるが、吸着ノズルの曲がり，欠損および摩耗等のノズル不良や、吸着ノズル内の吸引孔，負圧供給通路内のフィルタ等の詰まりや、負圧供給装置の故障等、種々の理由により、吸着ノズルによる電子回路部品の吸着保持力が不十分となる可能性がある。吸着保持力が不十分となれば、吸着ノズルが部品供給装置により供給される電子回路部品の吸着保持に失敗する吸着ミスや、吸着はしても予定外の姿勢で吸着してしまう異常吸着等が発生するおそれがある。そこで、本出願人は、吸着ノズルを備えた部品保持装置の検査を行う方法および装置を開発し、特許出願した。特開平１０−１２６０９７号公報に記載のものがそれである。
この検査方法は、負圧検査器を使用するものであり、負圧検査器は、(a)検査器本体と、(b)その検査器本体に回転可能に取り付けられ、前記吸着ノズルの吸着面と接触可能な接触面に、内径を互いに異にする複数の検出孔が設けられた検出孔形成部材と、(c)前記検査器本体に、前記検出孔形成部材の前記回転に応じて前記複数の検出孔の各々と選択的に連通可能に設けられた検出通路と、(d)その検出通路の負圧を検出する負圧センサとを含むものである。電子回路部品保持装置は、吸引孔の内径を互いに異にする複数種類の吸着ノズルが取り付け可能なものであり、部品保持性能を検査すべき吸着ノズルに応じて検出孔形成部材が手動で回転させられ、検出孔が選択される。その選択された検出孔が開口している接触面に、吸着ノズルの吸着面が接触させられるとともに、負圧供給装置から吸着ノズルに負圧が供給され、その結果、検出孔に生じる負圧が負圧センサにより検出される。そして、検出負圧に基づいて電子部品保持装置の部品保持性能の良否が判定される。

本発明は、以上の事情を背景とし、上記電子回路部品保持装置の検査方法および検査装置をさらに改良することを課題としてなされたものである。

上記課題は、負圧供給装置から供給される負圧に基づいて吸着ノズルにより電子回路部品を吸着保持する電子回路部品保持装置の部品保持性能を検査する方法を、(a)前記吸着ノズルの吸着面と接触可能な接触面に、その接触面に前記吸着ノズルが接触した状態でその吸着ノズルの吸引孔と連通可能な状態で開口する検出孔と、その検出孔の負圧を検出する負圧センサとを備えた負圧検査器を準備する準備工程と、(b)前記吸着ノズルの前記吸着面と前記負圧検査器の前記接触面とを接触させるとともにその吸着ノズルに前記負圧供給装置から負圧を供給させ、その負圧供給により前記検出孔の負圧が増大する過程の複数時点において前記負圧センサにその検出孔の負圧を検出させる負圧検出工程と、(c)その負圧検出工程において検出された前記複数時点の負圧値に基づいて前記電子回路部品保持装置の部品保持性能の良否を判定する判定工程とを含み、かつ、前記負圧検査器を複数の吸着ノズルについて共通に用いて検査を行い、前記判定工程において、前記複数の吸着ノズルのうちの一部のものについて部品保持性能が不良、他の吸着ノズルについて部品保持性能が良好と判定された場合には、部品保持性能が不良と判定された吸着ノズル自体が不良と推定し、前記一部のものの数より多い数の吸着ノズルについて部品保持性能が不良と判定された場合には、前記負圧供給装置と前記負圧センサとの少なくとも一方が不良と推定する原因推定工程を含むものとすることによって解決される。
複数の吸着ノズルのうちの１つについて部品保持性能が不良、他の吸着ノズルについては良好と判定された場合には、その１個の吸着ノズルが不良であり、全ての吸着ノズルについて部品保持性能が不良と判定された場合には、負圧供給装置と負圧センサとの少なくとも一方が不良と推定する態様が本項の態様の代表的なものであるが、それに限定されるわけではない。本項の特徴によれば、負圧供給装置や負圧センサの故障と、吸着ノズルの不良とを分別することができ、部品保持性能検査の信頼性が高くなる。
前記課題は、負圧供給装置から供給される負圧に基づいて吸着ノズルにより電子回路部品を吸着保持する電子回路部品保持装置の部品保持性能を検査する方法を、(A)(a)前記吸着ノズルの吸着面と接触可能な接触面に、その接触面に前記吸着ノズルが接触した状態でその吸着ノズルの吸引孔と連通可能な状態で開口する検出孔と、その検出孔の負圧を検出する負圧センサとを備えた負圧検査器を準備する準備工程と、(b)前記吸着ノズルの前記吸着面と前記負圧検査器の前記接触面とを接触させるとともに前記負圧供給装置に負圧を供給させ、少なくとも、その負圧供給により前記検出孔の負圧が増大する傾向を取得可能な１時点と、定常状態に達した後の１時点とを含む複数時点において前記負圧センサにその検出孔の負圧を検出させる負圧検出工程と、(B)(c)その負圧検出工程において検出された負圧の値に基づいて、前記負圧が増大する傾向を取得可能な１時点における負圧の値がその１時点についての基準負圧値より小さく、かつ、前記定常状態に達した後の１時点における負圧の値がその１時点についての基準負圧値以上である場合に、前記吸着ノズルが前記吸引孔に異物が詰まった状態にあると判定する判定工程とを含むもとのすることによっても解決される。
吸着ノズルに詰まりが生じている場合には、吸引できる量が制限されるため、最終的には、到達すべき値が得られるが、そこに到達するまでに時間がかかる傾向がある。一方、吸着ノズルの吸着管の変形や、破損によりいずれかの部位に漏れが生じている場合には、一定時間が経過しても到達すべき値が得られない。上記構成の部品保持性能検査装置によれば、この事実に基づいて吸着ノズルの詰まりを確実に検出することができる。
前記課題はまた、負圧供給装置から供給される負圧に基づいて吸着ノズルにより電子回路部品を吸着保持する電子回路部品保持装置の部品保持性能を検査する装置を、(A)(a)前記吸着ノズルの吸着面と接触可能な接触面に、その接触面に前記吸着ノズルが接触した状態でその吸着ノズルの吸引孔と連通可能な状態で開口する検出孔と、(b)その検出孔の負圧を検出する負圧センサとを備えた負圧検査器と、(B)(c)前記吸着ノズルの前記吸着面と前記負圧検査器の前記接触面とを接触させるとともに前記負圧供給装置に負圧を供給させ、その負圧供給により前記検出孔の負圧が増大する過程の複数時点において前記負圧センサにその検出孔の負圧を検出させる負圧検出制御部と、(d)その負圧検出制御部の制御により前記負圧センサによって検出された前記複数時点の負圧値に基づいて前記電子回路部品保持装置の保持部品性能の良否を判定する判定部とを備えた主制御装置とを含むものとするとともに、前記負圧検出制御部を、複数の吸着ノズルについて前記負圧センサに前記負圧を検出させるものとし、かつ、前記主制御装置を、前記判定部により前記複数の吸着ノズルのうちの一部のものについて部品保持性能が不良、他の吸着ノズルについて部品保持性能が良好と判定された場合には、部品保持性能が不良と判定された吸着ノズル自体が不良と推定し、前記一部のものの数より多い数の吸着ノズルについて部品保持性能が不良と判定された場合には、前記負圧供給装置と前記負圧センサとの少なくとも一方が不良と推定する原因推定部を含むものとすることによって解決される。
この構成の部品保持性能検査装置によれば、前述の部品保持性能検査方法を実施することが可能になる。
前記課題はさらに、負圧供給装置から供給される負圧に基づいて吸着ノズルにより電子回路部品を吸着保持する電子回路部品保持装置の部品保持性能を検査する装置を、(A)(a)前記吸着ノズルの吸着面と接触可能な接触面に、その接触面に前記吸着ノズルが接触した状態でその吸着ノズルの吸引孔と連通可能な状態で開口する検出孔と、(b)その検出孔の負圧を検出する負圧センサとを備えた負圧検査器と、(B)前記吸着ノズルの前記吸着面と前記負圧検査器の前記接触面とを接触させるとともにその吸着ノズルに前記負圧供給装置から負圧を供給させ、少なくとも、その負圧供給により前記検出孔の負圧が増大する傾向を取得可能な１時点と、定常状態に達した後の１時点とを含む複数時点において前記負圧センサにその検出孔の負圧を検出させる負圧検出制御部と、(C)その負圧検出制御部の制御により前記負圧センサによって検出された負圧の値に基づいて、前記負圧が増大する傾向を取得可能な１時点における負圧の値がその１時点についての基準負圧値より小さく、かつ、前記定常状態に達した後の１時点における負圧の値がその１時点についての基準負圧値以上である場合に、前記吸着ノズルが前記吸引孔に異物が詰まった状態にあると判定する判定部とを含むものとすることによって解決される。
この構成の部品保持性能検査装置によれば、前述の部品保持性能検査方法を実施することが可能になる。

発明の態様

本発明によってさらに、下記各態様の部品保持性能検査方法および部品保持性能検査装置が得られる。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも本発明の理解を容易にするためであり、本明細書に記載の技術的特徴およびそれらの組合わせが以下の各項に記載のものに限定されると解釈されるべきではない。また、一つの項に複数の事項が記載されている場合、それら複数の事項を常に一緒に採用しなければならないわけではない。一部の事項のみを選択して採用することも可能なのである。
（１）負圧供給装置から供給される負圧に基づいて吸着ノズルにより電子回路部品を吸着保持する電子回路部品保持装置の部品保持性能を検査する方法であって、
前記吸着ノズルの吸着面と接触可能な接触面に、その接触面に前記吸着ノズルが接触した状態でその吸着ノズルの吸引孔と連通可能な状態で開口する検出孔と、その検出孔の負圧を検出する負圧センサとを備えた負圧検査器を準備する準備工程と、
前記吸着ノズルの前記吸着面と前記負圧検査器の前記接触面とを接触させるとともに前記負圧供給装置に負圧を供給させ、その負圧供給により前記検出孔の負圧が増大する過程の複数時点において前記負圧センサにその検出孔の負圧を検出させる負圧検出工程と、
その負圧検出工程において検出された前記複数時点の負圧値に基づいて前記電子回路部品保持装置の部品保持性能の良否を判定する判定工程と
を含むことを特徴とする部品保持性能検査方法。
負圧供給装置による負圧供給によって検出孔の負圧が増大する過程の複数時点において、負圧センサにより検出された検出孔の負圧値に基づけば、一時点のみにおける負圧値に基づく場合に比較して、部品保持装置の部品保持性能の良否を的確に判定することができる。一時点のみの負圧値に基づいては発見できない不良も、複数時点の負圧値に基づけば発見することができるのである。例えば、検出孔内の負圧が変化しなくなる最終段階（ないし定常状態）における負圧である最終到達負圧値（ないし定常負圧値）が不足する場合は、部品保持性能が不良であることは明瞭であるが、最終到達負圧値に不足がないからといって、必ずしも部品保持性能が良好であるとは言えない。例えば、吸着ノズルの吸引孔に異物が詰まっている場合には、最終到達負圧に不足がなくても、それに到達する途中の負圧値が不足することがあるのである。その場合には、吸着ノズルによる電子回路部品の吸着力が未だ不十分であるうちに吸着ノズルの後退が開始され、電子回路部品が吸着ノズルに保持されない吸着ミス、あるいは異常な姿勢で保持される異常吸着が発生する可能性がある。したがって、その場合には部品保持性能は不足であると判定されるべきなのであるが、１時点のみの検出負圧値（この例では定常状態に近い時点の検出負圧）に基づいて判定される場合には、それが不可能なのである。
なお、負圧検出の複数時点は、吸引孔内における負圧増加の傾向を把握し得る複数時点であればいかなる時点であってもよいが、例えば、負圧供給装置による負圧供給開始時点や、吸着面の接触面への接触時点からの経過時間を異にする複数時点とするのが便利である。吸着ノズルが負圧検査器に接触させられた後に負圧供給装置による負圧供給が開始される場合には、上記経過時間の計時開始時点を負圧供給装置から吸着ノズルへの負圧供給開始時点とすることが望ましく、負圧供給装置による負圧の供給が開始された後に吸着ノズルが負圧検査器に接触させられる場合には、吸着ノズルの負圧検査器への接触時点が計時開始時点とされることが望ましい。しかし、多くの場合、吸着ノズルの負圧検査器への接近開始，負圧供給装置による負圧供給開始および吸着ノズルの負圧検査器への接触の間には一定の時間的関係があり、その場合には、それらのいずれを計時開始時点とすることも可能である。吸着ノズルの負圧検査器への接近開始時点を計時開始時点とすることもできるのである。
（２）前記複数時点が３時点以上である (1)項に記載の部品保持性能検査方法。
複数時点は、２時点でもよいが、３時点以上とすれば、電子回路部品保持装置の保持部品性能の良否をより的確に判定することができ、また、検出孔の負圧の変化を曲線的に把握することが可能となって、保持部品性能が不良の場合の原因の推定精度が向上する効果が得られる。検出孔の負圧変化を表す曲線（経過時間と検出された負圧値との関係を表す曲線）を取得し、その曲線の形状に基づいて部品保持性能の良否を判定することも可能である。その場合には、負圧変化を表す曲線が無限数時点の負圧値を表すと考えるのである。
（３）前記判定工程が、前記検出工程で検出された前記複数時点の検出孔の負圧値と、前記複数時点の予め設定された各標準負圧値との比較を行う比較工程を含み、その比較工程における比較結果に基づいて部品保持性能の良否を判定する工程である (1)項または (2)項に記載の部品保持性能検出工程。
複数時点における検出負圧値と標準負圧値とを比較すれば、部品保持性能の良否を容易にかつ的確に判定することができる。特に３時点以上における比較を行えば、部品保持性能の良否判定の信頼性が高くなるとともに、不良が発生した場合における不良原因の推定が容易となる。
（４）前記複数時点の検出負圧値のそれらに対応する前記標準負圧値からの外れ方の違いに基づいて部品保持性能低下の原因を推定する第一原因推定工程を含む
(3)項に記載の部品保持性能検査方法。
（５）複数の吸着ノズルについて、共通の負圧検査器を用いて検査を行い、前記判定工程において、前記複数の吸着ノズルのうちの一部のものについて部品保持性能が不良、他の吸着ノズルについて部品保持性能が良好と判定された場合には、部品保持性能が不良と判定された吸着ノズル自体が不良と推定し、前記一部のものの数より多い数の吸着ノズルについて部品保持性能が不良と判定された場合には、前記負圧供給装置と前記負圧センサとの少なくとも一方が不良と推定する第二原因推定工程を含む (1)項ないし (4)項のいずれかに記載の部品保持性能検査方法。
（６）前記複数の吸着ノズルのうちの一部のものが、前記複数の吸着ノズルの数と第一設定比率との積以下の数の吸着ノズルであり、前記一部のものの数より多い数が、前記第一設定比率より大きい第二設定比率と前記複数の吸着ノズルの数との積以上の数である (5)項に記載の部品保持性能検査方法。
本項の特徴は、検査対象となる吸着ノズルの数が多い場合に特に有効である。
（７）負圧供給装置から供給される負圧に基づいて、互いに吸引孔の内径を異にする複数種類の吸着ノズルによりそれぞれ電子回路部品を吸着保持する電子回路部品保持装置の部品保持性能を検査する方法であって、
前記複数種類の吸着ノズルの各々の吸着面と接触可能な複数の接触面に、それら接触面に前記複数種類の吸着ノズルがそれぞれ接触した状態でそれら吸着ノズルの各吸引孔と連通可能な状態で開口する複数の検出孔と、それら検出孔の負圧を検出する少なくとも１つの負圧センサとを備えた負圧検査器を準備する準備工程と、
前記複数種類の吸着ノズルの前記吸着面の各々と前記負圧検査器の前記複数の接触面の各々とを接触させるとともに前記負圧供給装置に負圧を供給させ、その負圧供給により前記複数の検出孔の各々の負圧が増大する過程の複数時点において前記少なくとも１つの負圧センサに前記複数の検出孔の各々の負圧を検出させる負圧検出工程と、
その負圧検出工程において検出された前記少なくとも複数時点の負圧値に基づいて、前記複数種類の吸着ノズルを含む前記電子回路部品保持装置の保持部品性能の良否を判定する判定工程と
を含むことを特徴とする部品保持性能検査方法。
吸着ノズルの吸引孔の内径が小さければ、負圧検査器の検出孔の内径も小さくしなければならないか、あるいは小さくすることが望ましい。その場合には、同じ負圧供給装置および負圧センサを使用しても、検出孔の負圧の変化状態が異なる。したがって、そのことを考慮に入れて部品保持性能の良否を判定することが望ましい。次項に記載の方法がその一例である。なお、上記複数の接触面は互いに連続したもの（例えば、一平面の各一部）でもよく、互いに連続していないものでもよい。
（８）前記判定工程が、前記複数種類の吸着ノズルの各々について予め設定された前記複数時点の各標準負圧値と、前記負圧検出工程で検出された前記複数時点の各負圧値との比較を行う比較工程を含み、その比較工程における比較結果に基づいて部品保持性能の良否を判定する工程である (7)項に記載の部品保持性能検査方法。
吸引孔の内径を異にする複数種類の吸着ノズルについて、それぞれ複数時点の標準負圧値を設定し、それらと検出負圧値とを比較すれば、部品保持性能の良否判定の信頼性を高めることができる。
（９）前記少なくとも１つの負圧センサとして、前記複数の検出孔に共通の１つの負圧センサを使用し、その１つの負圧センサと前記複数の検出孔の１つずつとを選択的に連通させ、その負圧センサに連通している検出孔が開口している接触面に前記複数種類の吸着ノズルの各吸着面を接触させる (7)項または (8)項に記載の部品保持性能検査方法。
本項の特徴によれば、吸引孔の内径を異にする複数種類の吸着ノズルについて、部品保持性能の良否検査を容易に行うことができる。また、負圧検査器の製造コストを低減し得る。
（１０）負圧供給装置から供給される負圧に基づいて吸着ノズルにより電子回路部品を吸着保持する電子回路部品保持装置の部品保持性能を検査する装置であって、(a)前記吸着ノズルの吸着面と接触可能な接触面に、その接触面に前記吸着ノズルが接触した状態でその吸着ノズルの吸引孔と連通可能な状態で開口する検出孔と、(b)その検出孔の負圧を検出する負圧センサとを備えた負圧検査器を含むことを特徴とする部品保持性能検査装置。（１１）(a)前記吸着ノズルの前記吸着面と前記負圧検査器の前記接触面とを接触させるとともに前記負圧供給装置に負圧を供給させ、その負圧供給により前記検出孔の負圧が増大する過程の複数時点において前記負圧センサにその検出孔の負圧を検出させる負圧検出制御部と、(b)その負圧検出制御部の制御により前記負圧センサにより検出された前記複数時点の負圧値に基づいて前記電子回路部品保持装置の保持部品性能の良否を判定する判定部とを備えた主制御装置を含む(10)項に記載の部品保持性能検査装置。
本項の部品保持性能検査装置は、前記 (1)項に記載の部品保持性能検査方法の実施に好適なものである。
（１２）前記複数時点が３時点以上である(11)項に記載の部品保持性能検査装置。
本項の部品保持性能検査装置は、前記 (2)項に記載の部品保持性能検査方法の実施に好適なものである。
（１３）前記判定部が、前記負圧検出制御部の制御により検出された前記複数時点の検出孔の負圧値と、前記複数時点の予め設定された各標準負圧値との比較を行う比較部を有し、その比較部による比較結果に基づいて部品保持性能の良否を判定するものである(11)項または(12)項に記載の部品保持性能検出装置。
本項の部品保持性能検査装置は、前記 (3)項に記載の部品保持性能検査方法の実施に好適なものである。
（１４）前記主制御装置が、前記複数時点の検出負圧値のそれらに対応する前記標準負圧値からの外れ方の違いに基づいて部品保持性能低下の原因を推定する第一原因推定部を備えた(13)項に記載の部品保持性能検査装置。
本項の部品保持性能検査装置は、前記 (4)項に記載の部品保持性能検査方法の実施に好適なものである。
（１５）前記負圧検出制御部が、複数の吸着ノズルについて前記負圧センサに前記負圧を検出させるものであり、かつ、前記主制御装置が、前記判定部により前記複数の吸着ノズルのうちの一部のものについて部品保持性能が不良、他の吸着ノズルについて部品保持性能が良好と判定された場合には、部品保持性能が不良と判定された吸着ノズル自体が不良と推定し、前記一部のものの数より多い数の吸着ノズルについて部品保持性能が不良と判定された場合には、前記負圧供給装置と前記負圧センサとの少なくとも一方が不良と推定する第二原因推定部を含む(11)項ないし(14)項のいずれかに記載の部品保持性能検査装置。
本項の部品保持性能検査装置は、前記 (5)項に記載の部品保持性能検査方法の実施に好適なものである。
（１６）前記負圧検出制御部が、互いに吸引孔の内径を異にする複数種類の吸着ノズルについて前記負圧センサに前記負圧を検出させるものであり、かつ、前記判定部が、前記複数種類の吸着ノズルの各々について検出された前記複数時点の負圧値に基づいて、前記複数種類の吸着ノズルを含む前記電子回路部品保持装置の保持部品性能の良否を判定するものである(11)項ないし(15)項のいずれかに記載の部品保持性能検査装置。
本項の部品保持性能検査装置は、前記 (7)項に記載の部品保持性能検査方法の実施に好適なものである。
（１７）前記判定部が、前記複数種類の吸着ノズルの各々について予め設定された前記複数時点の各標準負圧値と、前記複数種類の吸着ノズルの各々について検出された前記複数時点の各負圧値との比較を行う比較部を有し、その比較部による比較結果に基づいて部品保持性能の良否を判定するものである(16)項に記載の部品保持性能検出装置。
本項の部品保持性能検査装置は、前記 (8)項に記載の部品保持性能検査方法の実施に好適なものである。
（１８）負圧供給装置から供給される負圧に基づいて、互いに吸引孔の内径を異にする複数種類の吸着ノズルの各々により複数種類の電子回路部品を吸着保持する電子回路部品保持装置の部品保持性能を検査するための装置であって、
検査器本体と、
その検査器本体に相対移動可能に取り付けられ、前記吸着ノズルの吸着面と接触可能な接触面に、内径を互いに異にする複数の検出孔が設けられた検出孔形成部材と、
その検出孔形成部材を、前記複数種類の吸着ノズルのうち次に検査すべきものの種類に応じて移動させることにより、前記複数の検出孔の切換えを自動で行う検出孔切換装置と、
前記検査器本体に、前記検出孔形成部材の前記移動に応じて前記複数の検出孔の各々と選択的に連通可能に設けられた検出通路と、
その検出通路の負圧を検出する負圧センサと
を含み、前記検査器本体，前記検出孔形成部材，前記検出通路および前記負圧センサが前記検出孔切換装置の前記検査器本体に取り付けられた部分と共同して負圧検査器を構成していることを特徴とする部品保持性能検査装置。
互いに吸引孔の内径を異にする複数種類の吸着ノズルについての保持性能検査を行う必要がある場合に、検出孔切換装置により検出孔形成部材が自動で移動させられることにより、内径を互いに異にする複数の検出孔のうち次に検査されるべき吸着ノズルの吸引孔の内径に対応するものが検出通路と連通させられる。そして、その吸引孔が開口する接触面に吸着ノズルの吸着面が接触させられ、その吸着ノズルの吸引孔に負圧供給装置により負圧が供給され、検出孔の負圧が負圧センサにより検出される。したがって、複数種類の吸着ノズルについての保持性能検査を容易に迅速に行うことができる。
（１９）前記検出孔形成部材が、回転軸線まわりに回転可能に前記検査器本体に取り付けられ、前記回転軸線を中心とする円周上に前記複数の検出孔が形成された回転型検出孔形成部材であり、前記検出孔切換装置が、回転型検出孔形成部材を、前記複数の検出孔の各々が前記検出通路と連通する回転位置へ回転させる検出孔形成部材回転装置を含む(18)項に記載の部品保持性能検査装置。
直線運動する直線運動型検出孔形成部材を採用することも可能であるが、回転型検出孔形成部材によれば、比較小さいスペースに多くの検出孔を形成することができる。また、検出孔形成部材の移動装置を構成が単純で安価なものとすることが容易である。
（２０）前記検出孔切換装置が、
前記検査器本体，検出孔形成部材，検出通路および負圧センサを備えた負圧検査器の外部に設けられた駆動源の駆動力により前記検出孔形成部材を移動させる検出孔形成部材移動装置と、
前記複数種類の吸着ノズルのうち次に検査すべきものの種類の情報に基づいて前記駆動源を制御する駆動源制御装置と
を含む(18)項または(19)項に記載の部品保持性能検査装置。
検出孔形成部材移動装置の駆動源として負圧検査器の外部の駆動源を利用するため、装置コストの低減が可能となる。
（２１）前記検出孔切換装置が、
前記検査器本体に取り付けられた駆動源により前記検出孔形成部材を移動させる検出孔形成部材移動装置と、
前記複数種類の吸着ノズルのうち次に検査すべきものの種類の情報に基づいて前記駆動源を制御する駆動源制御装置と
を含む(18)項または(19)項に記載の部品保持性能検査装置。
（２２）前記吸着ノズルの前記負圧検査器への接近開始時点，前記負圧供給装置による負圧供給開始時点，および前記吸着ノズルの前記負圧検査器への接触時点のいずれかに対して予め定められた一定の関係を有する時点に、前記負圧センサに前記検出孔の負圧の検出を開始させる負圧検出開始制御装置を含む(10)項ないし(21)項のいずれかに記載の部品保持性能検査装置。
（２３）前記吸着ノズルの吸着面を前記負圧検査器の接触面に接触，離間させるべく昇降させるノズル昇降装置と、
そのノズル昇降装置による吸着ノズルの下降運動に連動して前記負圧供給装置に負圧の供給を開始させる負圧供給開始制御装置と、
前記負圧供給装置による前記吸着ノズルへの負圧供給開始時点に対して予め定められた一定の関係を有する時点に前記負圧センサに前記検出孔の負圧の検出を開始させる負圧検出開始制御装置と
を含む(10)項ないし(21)項のいずれかに記載の部品保持性能検査装置。
このように、負圧供給開始制御装置と負圧検出開始制御装置とを、ノズル昇降装置による吸着ノズルの昇降と連動ないし関連付けて負圧供給と負圧検出との開始を制御するものとすれば、負圧供給と負圧検出とを容易に適切な時点に開始させることができる。また、電子回路部品装着機においては、ノズル昇降装置と負圧供給開始制御装置とが連動させられていることが多く、その場合には、それらに負圧検出開始制御装置を関連付ければそれだけで本項の構成が得られる。
（２４）前記検出孔切換装置と前記負圧検出開始制御装置とがそれぞれ被駆動部材を備え、かつ、当該部品保持性能検査装置が、それら被駆動部材に共通に設けられ、両被駆動部材を選択的に駆動する駆動部材を備えた駆動装置を含む(22)項または(23)項に記載の部品保持性能検査装置。
本項の特徴によれば、検出孔制御装置と負圧検出開始制御装置との駆動装置を兼用とすることができ、装置コストの低減を図り得る。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１において符号１０は電子部品装着システム１２のベースを示す。ベース１０上には、部品供給装置１４，装着装置１６およびプリント配線板保持移動装置１８（以下、配線板保持移動装置１８と略称する）が設けられ、電子部品装着システム１２を構成している。
部品供給装置１４は、本実施形態においては２台の部品供給テーブル２０を含んでいる。これら部品供給テーブル２０はそれぞれ、フィーダ支持台２２と、フィーダ支持台２２上に搭載された複数のフィーダ２４とを有する。フィーダ２４は、詳細な図示は省略するが、本実施形態では電子部品を部品保持テープに保持させてテープ化電子部品とした状態で供給するものとされている。複数のフィーダ２４は、それの部品供給部が水平な一直線上に並ぶ状態でフィーダ支持台２２上に着脱可能に取り付けられている。以下、電子部品装着システム１２全体について、フィーダ２４の並びの方向に平行な方向をＸ軸方向とし、それと直交する方向をＹ軸方向とする。各部品供給テーブル２０は、それぞれの駆動源たる支持台駆動用モータ２６の駆動力が駆動力伝達装置２８を介して伝達されることにより、ガイドレール３０に沿ってＸ軸方向に移動させられる。それにより、複数のフィーダ２４の各部品供給部が部品供給位置に選択的に位置決めされる。
配線板保持移動装置１８は、回路基板の一種であるプリント配線板４０を保持する基板保持装置たるプリント配線板保持ユニット４２と、プリント配線板保持ユニット４２を移動させ、プリント配線板４０を移動させる基板保持装置移動装置たるプリント配線板保持ユニット移動装置４４とを備えている。プリント配線板保持ユニット移動装置４４は、Ｘ軸スライド５２とＹ軸スライド６０とを備えている。Ｘ軸スライド５２は、Ｘ軸スライド駆動用モータ４６および駆動力伝達装置４８により、ガイドレール５０を含む案内装置に案内されてＸ軸方向に移動させられる。Ｙ軸スライド６０は、Ｘ軸スライド５２上において、Ｙ軸スライド駆動用モータ５４および駆動力伝達装置５６により、ガイドレール５８を含む案内装置に案内されてＹ軸方向に移動させられる。
Ｙ軸スライド６０はプリント配線板保持ユニット４２を下方から支持し、プリント配線板保持ユニット４２はプリント配線板４０を下方から水平な姿勢で保持する。プリント配線板４０の表面は水平であり、プリント配線板４０はプリント配線板保持ユニット４２の移動により、表面に平行で水平な移動平面内の任意の位置へ移動させられる。プリント配線板保持ユニット４２は、図２に示すように、メインコンベヤ６６を備えている。このメインコンベヤ６６は、図示しない搬入コンベヤおよび搬出コンベヤと共同してプリント配線板コンベヤを構成し、プリント配線板４０を電子部品装着システム１２内に搬入し、所定の位置に位置決めして保持し、装着作業終了後にシステム１２外へ搬出する。プリント配線板保持ユニット４２はさらに、メインコンベヤ７２に対して昇降し、支持ピン６８等の支持部材によりプリント配線板４０を下方から支持する配線板支持装置７０を備えている。メインコンベヤ６６，配線板支持装置７０等によりプリント配線板保持ユニット４２が構成されているのである。
プリント配線板４０の表面には、図示は省略するが、複数、本実施形態においては２個の基準マークが設けられており、撮像装置たる基準マークカメラ７４（図１参照）によって撮像される。図示の例では、基準マークカメラ７４は、ＣＣＤ（電荷結合素子）とレンズ系とを備え、被写体の二次元像を一挙に取得する面撮像装置とされており、静止して設けられている。
装着装置１６を図３ないし図７に基づいて説明する。図３において、１００はフレームであり、前記ベース１０の上方に固定的に設けられている。フレーム１００には回転軸１０２が鉛直な回転軸線まわりに回転可能に保持されている。回転軸１０２は、駆動源たる間欠回転用モータ１０４（図８参照）の回転が図示を省略する間欠回転機構を介して伝達されることにより、一定角度ずつ間欠回転させられる。
上記回転軸１０２の下端部には、移動部材の一種である間欠回転体１０６が固定されている。間欠回転体１０６には、回転軸１０２の回転軸線を中心とする一円周上に複数組の部品装着ユニット１０８が等角度間隔に保持されている。これら複数組の部品装着ユニット１０８は、間欠回転体１０６の間欠回転につれて、上記保持角度間隔に等しい角度ずつ旋回させられ、その旋回軌跡上に設定された部品受取位置，部品保持姿勢検出位置，部品姿勢修正位置，部品装着位置，ノズル選択位置等を含む部品装着ユニット１０８と同数の停止位置に順次停止させられる。
フレーム１００の下面には、図３に示すように、円筒カム１１０が固定されている。円筒カム１１０の下部には、外周面に開口するカム溝（図示省略）が形成され、各部品装着ユニット１０８の昇降部材１１２に取り付けられた一対ずつのローラ１１４が回転可能に係合させられている。このカム溝は高さが周方向において漸変するものであり、部品装着ユニット１０８は、前述のように旋回させられるとき、ローラ１１４がカム溝内を移動することにより昇降させられる。間欠回転体１０６の外周面には、ガイドブロック１１６が複数等角度間隔に固定されて案内装置を構成しており、上記昇降部材１１２の昇降を案内する。
昇降部材１１２の外面に、支持部材たる筒状のスリーブ１１８が固定され、そのスリーブ１１８に、ロッド１２０が鉛直な回転軸線まわりに回転可能かつ軸方向に相対移動不能に嵌合されている。このロッド１２０の下端部に、取付部材１２２を介して回転保持体１２４が水平な回転軸線まわりに回転可能に保持され、それに複数の吸着ノズル１２６が等角度間隔で放射状に保持されている。これら吸着ノズル１２６の一つが、ノズル選択位置に設けられたノズル選択装置（図示省略）により回転保持体１２４が回転させられることによって、選択的に鉛直下向きの使用位置に位置決めされる。この使用位置においては、吸着ノズル１２６の軸線がロッド１２０の軸線と一致する。
複数の吸着ノズル１２６はそれぞれ、電子部品１３０（図５参照）を負圧により吸着して保持するものであり、図６に１つを代表的に示すように、ノズル本体１３２およびノズル本体１３２に嵌合された吸着管１３４を有する。なお、図示の例では、複数の吸着ノズル１２６は種類は異なるが、吸着管１３４の長さはいずれも同じにされている。使用位置に位置決めされた吸着ノズル１２６は、図４に示すように、ロッド１２０等の内部に設けられた通路，スリーブ１１８に固定の制御弁たる方向切換弁１３６等を介して負圧源の一種であるバキュームポンプ１３８（図７参照）に接続されている。これら通路が、バキュームポンプ１３８と吸着ノズル１２６とを接続する接続通路１３７を構成し、方向切換弁１３６と接続通路１３７とバキュームポンプ１３８とが負圧供給装置１３９（図７参照）を構成している。
フレーム１００および円筒カム１１０の部品受取位置と部品装着位置との近傍部にはそれぞれ、図３ないし図５に示すように部品装着ユニット１０８を昇降させ、吸着ノズル１２６を軸方向に移動させて昇降させるノズル軸方向移動装置たるノズル昇降装置１４０が設けられている。ノズル昇降装置１４０は、昇降部材１４２と昇降部材駆動装置１４４とを有する。昇降部材駆動装置１４４は、前記間欠回転用モータ１０４を駆動源として回転するカム１４５と、それに追従するカムフォロワ１４６と、カムフォロワ１４６の運動を昇降部材１４２に伝達する運動伝達装置１４８とを備えている。昇降部材１４２は、円筒カム１１０に固定のガイドレール１５０に沿って昇降可能である。昇降部材１４２には、それが上昇端位置にある状態で前記円筒カム１１０のカム溝と連なる水平な案内溝１５２が形成されており、この案内溝１５２に前記ローラ１１４が係合した状態で昇降部材１４２が昇降させられることにより、部品装着ユニット１０８および吸着ノズル１２６が昇降させられる。
前記方向切換弁１３６を説明する。方向切換弁１３６は、図７に示すように、ハウジング１６０の弁孔１６２に弁子たるスプール１６４が相対移動可能に嵌合され、接続通路１３７の切換を行うものである。ハウジング１６０には上から順に負圧ポート１６６，ノズルポート１６８および大気圧ポート１７０が形成されている。ノズルポート１６８は、前記ロッド１２０等に形成された通路を介して吸着ノズル１２６に連通させられている。負圧ポート１６６は、前記接続通路１３７を介して前記バキュームポンプ１３８に接続されている。接続通路１３７には、常閉の電磁開閉弁１６９が設けられている。大気圧ポート１７０は常時大気に連通させられている。
スプール１６４が、ハウジング１６０に対して下降端位置へ移動した状態では、方向切換弁１３６が吸着ノズル１２６をバキュームポンプ１３８に連通させる負圧供給状態となる。この状態において、スプール１６４の一部がハウジング１６０の下面から下方へ突出する。また、スプール１６４がハウジング１６０に対して上昇端位置に移動した状態では、方向切換弁１３６が吸着ノズル１２６を大気に連通させる大気連通状態となる。この状態では、スプール１６４の一部がハウジング１６０の上面から突出する。
前記スリーブ１１８に、図４に示すように、方向切換弁１３６の切換を補助する切換補助部材たる切換ピン１７４が設けられ、フレーム１００の部品受取位置に対応する部分には、前記方向切換弁１３６を切り換える切換レバー１７６が静止して設けられている。これら切換ピン１７４および切換レバー１７６が部品受取位置における弁切換装置１７８を構成している。一方、フレーム１００の部品装着位置に対応する部分には、図５に示すように、方向切換弁１３６を切り換える弁切換装置１８０と正圧供給装置１８２の一部とが設けられている。スリーブ１１８に設けられた方向切換弁１３６と、静止状態に保たれた弁切換装置１８０とは、方向切換弁１３６がノズル昇降装置１４０によって昇降させられることにより、上下方向に相対移動させられる。
ブラケット１９０のフレーム１００からの突出端部には、図７に示すように、切換部材１９２がブラケット１９０に対して昇降可能に保持されている。切換部材１９２は、ブラケット１９０に設けられたばね受け部１９４との間に設けられた弾性部材たる圧縮コイルスプリング１９６により、上方に、すなわち方向切換弁１３６のスプール１６４に接近する向きに付勢されている。切換部材１９２には、方向切換弁１３６と対向する面である上面に開口し、前述の大気圧ポート１７０に対向して開口する正圧供給通路１９８が設けられており、継手部材２００等を介して正圧源の一種であるエアポンプ２０２に接続されている。エアポンプ２０２と継手部材２００との間には、電磁制御弁たる常閉の電磁開閉弁２０４が設けられ、正圧供給通路１９８への正圧（圧縮エア）の供給を許容，遮断するようにされている。方向切換弁１３６が下降するとき、切換部材１９２が方向切換弁１３６を大気連通状態とするとともに、正圧供給通路１９８が大気圧ポート１７０に接続され、一定短時間の間正圧が供給されて吸着ノズル１２６による電子部品１３０の解放が促進されるようになっているのである。
本電子部品装着システム１２は、図８に示す制御装置２２０によって制御される。制御装置２２０は、ＣＰＵ２２２，ＲＯＭ２２４，ＲＡＭ２２６およびそれらを接続するバスを有するコンピュータ２２８を主体としている。バスには、入出力インタフェース２３０が接続され、図示を省略する各種センサ等が接続されている。入出力インタフェース２３０にはまた、駆動回路２３２を介して支持台駆動用モータ２６等の各種アクチュエータが接続されている。支持台駆動用モータ２６等はそれぞれ駆動源を構成し、本実施形態ではいずれもサーボモータにより構成されている。なお、図示は省略するが、支持台駆動用モータ２６等の回転位置はエンコーダにより検出され、その検出結果に基づいてモータ等が制御される。
入出力インタフェース２３０にはさらに、制御回路２３４を介して前記基準マークカメラ７４および部品カメラ２３６が接続されている。部品カメラ２３６は、部品保持姿勢検出位置に設けられており、図示の例では、基準マークカメラ７４と同様にＣＣＤおよびレンズ系を備えて面撮像装置とされている。これら駆動回路２３２，制御回路２３４およびコンピュータ２２８が制御装置２２０を構成している。さらにＲＡＭ２２６には、電子部品１３０をプリント配線板４０に装着するためのプログラム等、種々のプログラムおよびデータ等が記憶させられる。
前記部品供給装置１４のフィーダ支持台２２のＸ軸方向における一方の端には、図１に示すように、負圧検査器２５０が着脱可能に取り付けられている。この負圧検査器２５０の詳細を図９ないし図１３に示す。負圧検査器２５０の検査器本体２５２は、前記フィーダ２４のフィーダ本体と同様に構成されており、概して細長い板状を成し、下部にフィーダ支持台２２に係合するための係合部２５４を備えている。係合部２５４は、既に良く知られた構成であるので説明を省略する。なお、負圧検査器２５０は、フィーダ支持台２２上に形成されたフィーダ２４を搭載するためのスロットに着脱可能であり、いずれのスロットにでも搭載可能である。
負圧検査器２５０は、負圧センサ２６０（図１１参照）と、吸着ノズル１２６の吸引孔２６１（図６参照）と連通可能な状態で開口する検出孔２６２が複数形成された検出孔形成部材２６４と、それら複数の検出孔２６２のうちの一つを選択的に上記負圧センサ２６０に連通する作用位置に位置決めする検出孔切換装置２６６（図９参照）とを有する。検出孔形成部材２６４は円盤状に形成され、吸着ノズル１２６の吸着管１３４の吸着面に接触する接触面たる上面２６８に開口する検出孔２６２が複数、図示の例では１６個形成されている。各検出孔２６２の直径は、部品吸着ノズル１２６の吸引孔２６１の内径と等しくされている。検出孔形成部材２６４は、検査器本体２５２に対して水平な姿勢で鉛直軸線まわりに間欠回転可能に保持されている。
検出孔切換装置２６６は、検出孔形成部材２６４を間欠回転させる回転駆動装置２７０を備える。回転駆動装置２７０は、負圧検査器２５０の外部に設けられた駆動源の駆動力により検出孔形成部材２６４を回転させる。本実施形態においては、回転駆動装置２７０は、前記フィーダ２４のテープ送り装置を駆動する駆動部材たる駆動ローラ２７２（図９参照）の駆動力により作動し、検出孔形成部材２６４を回転させる。駆動ローラ２７２は、装着装置１６に設けられ、吸着ノズル１２６が電子部品１３０を吸着するとき、吸着ノズル１２６に同期して昇降させられる。
上記駆動ローラ２７２により駆動される被駆動部材２７４は、ほぼ鉛直な姿勢で設けられている。被駆動部材２７４は、Ｙ軸方向において、駆動ローラ２７２と一致する位置に設けられ、検査器本体２５２に回動可能に取り付けられたレバー２７６，２７８により保持されている。具体的には、被駆動部材２７４の上端部がレバー２７６の一方の端部に相対回動可能に連結されている。レバー２７６は、被駆動部材２７４とは反対側の端部において検査器本体２５２に回動可能に支持されている。レバー２７８は互いに直交する向きに延び出す一対のアーム２８０，２８２を備え、それらアームのうち、回転中心からほぼ水平な方向に延び出す第一アーム２８０の自由端部に、被駆動部材２７４の下端部が連結されている。レバー２７６，第一アーム２８０，被駆動部材２７４および検査器本体２５２の一部により、平行四辺形リンクが構成されており、被駆動部材２７４は鉛直な姿勢を保ってほぼ鉛直方向に昇降する。第一アーム２８０の自由端部近傍に弾性部材たる引張コイルスプリング２８４が係合させられ、リンク２７８を被駆動部材２７４を上昇させる向きに回動する向きに付勢している。一方、検査器本体２５２にストッパ２８６が設けられ、上記レバー２７６の被駆動部材２７４を上昇させる向きの回動限度を規定している。このことにより、被駆動部材２７４は、それの上昇端位置に位置決めされる。
レバー２７８の回動中心から鉛直下向きに他方のアームである第二アーム２８２が延び出している。第二アーム２８２の自由端は、被駆動部材２７４の昇降に伴ってレバー２７８が回動させられれば、ほぼ水平な方向に移動させられる。この軸方向移動がコネクティングロッド２８８により運動変換装置たるラチェット装置２９０に伝達され、間欠回転運動に変換される。ラチェット装置２９０のラチェットホイール２９２は回転軸２９８により、前記検出孔形成部材２６４と結合されており、一体的に回転する。検出孔形成部材２６４の外周面には位置決め凹部３００が、前記検出孔２６２の各々に対応して設けられており、この位置決め凹部３００に位置決め爪３０４が弾性部材としての圧縮コイルスプリング３０６により係合させられることによって、検出孔形成部材２６４の逆回転が防止されるとともに、回転停止位置が正確に規定される。それにより、複数の検出孔２６２の一つが正確に検出位置に位置決めされ、通路３１２を経て負圧センサ２６０に連通させられる。
本負圧検査器２５０は、さらに、負圧検出作業を開始するタイミングを指示するための検出指示装置３２０を備える。検出指示装置３２０は、駆動ローラ２７２により駆動される被駆動部材３２２を備え、この被駆動部材３２２は、検出孔切換装置２６６におけると同様に、レバー３２４，３２６および検査器本体２５２と共同で平行四辺形リンクを構成している。被駆動部材３２２にはドッグ３２８が固定的に設けられており、被駆動部材３２２の昇降に応じてフォトマイクロセンサ３３０をＯＮ，ＯＦＦさせる。
負圧検査器２５０にはさらに、方向切換弁１３６を、吸着ノズル１２６を大気に連通させる大気連通状態に戻す制御弁戻し装置３３２が設けられている。これは、方向切換弁１３６を、負圧検査のために一旦負圧供給状態に切り換えた後、部品装着ユニット１０８を、制御弁戻し装置としての弁切換装置１８０が設けられている部品装着位置まで旋回させることなく、方向切換弁１３６を大気連通状態に戻し得るようにするためである。制御弁戻し装置３３２は、検査器本体２５２に回動可能に取り付けられた第一レバー３３３と第二レバー３３４とを備えている。これら両レバー３３３，３３４は第一係合部としてのＵ字形の切欠３３５と、第二係合部としてのピン３３６とにより、互いに逆向きに回動するように係合させられている。また、第一レバー３３３が被駆動部材３２２と連携（図示の例では長穴とピンとの係合により）させられており、被駆動部材３２２の昇降につれて第一レバー３３３が回動させられ、第二レバー３３４を回動させる。第二レバー３３４は作用アーム３３８を一体的に備えており、被駆動部材３２２が下降端位置近傍まで下降したとき、作用アーム３３８の先端部が方向切換弁１３６のスプール１６４の下端に係合し、それを押し上げて、方向切換弁１３６を、負圧供給状態から大気連通状態に戻す。なお、作用アーム３３８は、部品受取位置、すなわち負圧検査位置になる部品装着ユニット１０８ではなく、負圧検査位置に隣接する停止位置に停止している部品装着ユニット１０８の方向切換弁１３６に作用して、それを大気連通状態に戻す。
本負圧検査器２５０は、図１４に示す負圧検出制御装置３４０によって制御される。負圧検出制御装置３４０は、内部電源３４２を備え、前記制御装置２２０と同様にＣＰＵ２２２，ＲＯＭ２２４，ＲＡＭ２２６およびそれらを接続するバスを備えるコンピュータ２２８を主体として構成されている。バスには、入出力インタフェース２３０が接続されている。入出力インタフェース２３０には、上記フォトマイクロセンサ３３０および前述の負圧センサ２６０が接続されている。フォトマイクロセンサ３３０の出力信号の変化に応じて負圧センサ２６０による負圧の検出が開始される。例えば、フォトマイクロセンサ３３０の出力信号がＯＦＦからＯＮに変化するのに応じて、コンピュータ２２８による負圧センサ２６０の出力値の読込みが開始されるのである。入出力インタフェース２３０はまた、本電子部品装着システム１２の制御装置２２０に接続されている。ＲＡＭ２２６には、負圧センサ２６０の検出値を取得し、得られた検出値に基づいて吸着ノズル１２６の状態を推定するための検査プログラムや必要な標準値等のデータ等が記憶されている。
なお、負圧検査器２５０は、常には制御装置２２０に接続されておらず、必要に応じて制御装置２２０に接続されるようにしてもよい。
以下、作動を説明する。電子部品装着システム１２の部品装着作業については、良く知られているので簡単に説明する。プリント配線板４０が搬入されれば、まず、基準マークカメラ７４が、それの撮像範囲内に基準マークが位置するように位置決めされて、基準マークとその周辺が撮像され、プリント配線板４０の表面に平行な方向の位置ずれが取得される。その後装着装置１６による電子部品１３０のプリント配線板４０への装着が行われる。間欠回転体１０６が、間欠回転装置により間欠回転させられ、複数個の部品装着ユニット１０８が順に、部品受取位置等へ移動させられる。
部品装着ユニット１０８が部品受取位置に停止させられ、電子部品１３０を受け取る際には、吸着ノズル１２６がノズル昇降装置１４０により下降させられる。吸着ノズル１２６が部品受取位置に移動するとき、方向切換弁１３６は大気連通状態に切り換えられており、部品装着ユニット１０８が下降する際、切換ピン１７４が切換レバー１７６に係合してその先端部を回動させる。その結果、切換レバー１７６がスプール１６４に係合して、スプール１６４をハウジング１６０に対して下方へ移動させ、方向切換弁１３６を大気連通状態から負圧供給状態に切り換える。それにより、吸着ノズル１２６に負圧が供給され、電子部品１３０を吸着する。電子部品１３０の吸着後、吸着ノズル１２６が上昇させられるとともに、旋回を開始させられ、切換ピン１７４が切換レバー１７６から外れれば、切換レバー１７６は、図４に示す原位置に戻され、次の部品装着ユニット１０８の切換ピン１７４とスプール１６４との間への進入に備えて待機する状態となる。
電子部品１３０を保持した吸着ノズル１２６は、間欠回転体１０６の間欠回転により次の停止位置へ移動させられる。吸着ノズル１２６が部品保持姿勢検出位置へ到達すれば、吸着ノズル１２６により保持された電子部品１３０が部品カメラ２３６により撮像される。そして、撮像データが画像処理され、吸着ノズル１２６による電子部品１３０の保持位置誤差の演算等が行われる。その後、部品装着ユニット１０８が部品保持姿勢修正位置へ移動させられれば、部品装着ユニット１０８が自身の軸線まわりに回転させられて、回転
位置誤差が修正される。部品装着ユニット１０８が部品装着位置へ到達する少し手前から、ノズル昇降装置１４０により吸着ノズル１２６が下降させられて、電子部品１３０をプリント配線板４０に載置する。
その際、吸着ノズル１２６の下降に連動して、方向切換弁１３６が負圧供給状態から大気連通状態に切り換えられる。昇降部材１４２が下降させられれば、スリーブ１１８に固定の方向切換弁１３６も下降させられ、弁切換装置１８０に接近し、切換部材１９２がスプール１６４に当接する。昇降部材１４２がさらに下降させられれば、スプール１６４が切換部材１９２により押され、ハウジング１６０内に押し込まれる。このスプール１６４のハウジング１６０に対する移動により、方向切換弁１３６が負圧供給状態から大気連通状態へ切り換えられる。このように吸着ノズル１２６が下降させられ、電子部品１３０がプリント配線板４０に載置されるとともに、方向切換弁１３６が負圧供給状態から大気連通状態に切り換えられるとき、正圧供給通路１７０が正圧供給通路１９８に接続され、正圧供給通路１７０に圧縮エアが吹き込まれ、吸着ノズル１２６に圧縮エアが供給されて、電子部品１３０の吸着ノズル１２６からの解放が促進される。
次に負圧検査器２５０の作動について図１５にフローチャートで示す検査プログラムに基づいて説明する。本実施形態における負圧検査器２５０による部品保持性能の検査をするために吸着ノズル１２６の負圧を検出する作業は、始業時あるいはノズル交換を含む段取り替え後の電子部品装着システム１２の起動時に実施されるが、作業中の一定時間ごと、あるいはいずれかの吸着ノズル１２６について吸着ミスあるいは異常吸着が発生した場合に実行されるようにしてもよい。
作業者の入力により、あるいは自動で検査の実行が指示されれば、まず、ステップＳ１（以下、単にＳ１と称する。他のステップについても同じ）において、フィーダ支持台２２が移動させられて、負圧検査器２５０が部品供給位置近傍に位置決めされる。具体的には、負圧検査器２５０が、それの被駆動部材２７４が駆動ローラ２７２の真下に位置する検出孔切換位置に位置決めされるのである。次にＳ２において、駆動ローラ２７２が昇降させられて被駆動部材２７４を昇降させることにより検出孔２６２が切り換えられる。今回検査すべき吸着ノズル１２６の吸着管１３４の内径が予め指示されており、それと同じ内径の検出孔２６２が負圧センサ２６０に連通する連通位置に位置決めされる。なお、本実施形態においては、検査の開始に先立って、作業者により検出孔形成部材２６４が予め定められた原位置に位置決めされ、その状態から被駆動部材２７４が下降させられた回数、すなわち検出孔２６２の変更が行われた回数がカウントされ、そのカウント数により、現在どの検出孔２６２が選択されているか（作用位置に位置決めされているか）が判るようになっている。しかし、現在選択されている検出孔２５２の特定を作業者の援助なしで行い得る選択検出孔特定装置を設けることも可能である。例えば、負圧検査器２５０に、検出孔形成部材２６４の回転位置を検出する回転位置検出器、あるいは回転原位置を検出する原位置検出器を設けるのである。
次に、Ｓ３において、フィーダ支持台２２を移動させることにより負圧検査器２５０が移動させられて、被駆動部材３２２が駆動ローラ２７２の真下に位置する負圧検出位置（本実施形態においては部品供給位置と同じである）に位置決めされる。この状態で、Ｓ４に進んで、部品受取位置に位置決めされている部品装着ユニット１０８が、部品供給位置に位置決めされているフィーダ２４から電子部品１３０を受け取る部品受取動作と同じ動作をさせられ、それに連動して部品装着ユニット１０８の部品保持性能の検査が行われる。
上記動作時には、駆動ローラ２７２が昇降させられ、それに伴ってドッグ３２８が昇降させられてフォトマイクロセンサ３３０を遮光する。このフォトマイクロセンサ３３０の遮光タイミングを、ドッグ３２８の下降タイミング、すなわち吸着ノズル１２６の下降タイミングとして検出し、負圧センサ２６０の検出値の読込みが開始（これを測定開始と称する）される。具体的には、測定開始時点から、予め設定された互いに異なる複数の設定時間が経過する毎に、負圧値が読み込まれる。本実施形態においては、図１６に示すように、１回の検査について４つの設定時間が設定され、各設定時間が経過する毎に負圧値が検出される。この負圧検出作業は、装着装置１６の全ての部品装着ユニット１０８の吸着ノズル１２６のうち同径のものについて連続的に行われる。また、負圧検出のために、負圧供給状態とされた方向切換弁１３６は前記制御弁戻し装置３３２により大気連通状態に戻される。
次にＳ５において、今回部品保持性能を検査すべき全ての吸着ノズル１２６について負圧の検出が終了したか否かが問われる。例えば、複数種類の吸着ノズル１２６について検査する場合であって、負圧検出が終了していない吸着ノズルが存在する場合には、Ｓ５の判定がＮＯとなり、本プログラムの１回の実行が終了する。検査すべき全ての吸着ノズル１２６について検査が終了するまで、Ｓ１ないしＳ５が繰り返し実行されるのである。これに対して、全ての吸着ノズル１２６について負圧検出が終了した場合には、Ｓ５の判定がＹＥＳとなりＳ６に進む。
Ｓ６において、各吸着ノズル１２６の負圧の検出値と予め設定された負圧値とが比較される。具体的には、負圧検出制御装置３４０のＲＡＭ２２６には、各種の吸着ノズル１２６について、正常な場合に検出されるべき標準的な負圧値（以下、標準値と称する）が設定時間ごとに予め記憶されている。図１６に示すように、吸着ノズル１２６が正常な場合には、比較的短い時間で高い負圧が得られ、その後比較的緩やかに最終的に到達すべき値に向かって負圧が増大する。このような知見に基づいて、上記標準値が設定されているのであり、本実施形態においては、標準値は幅を持たせて設定されている。検出値と標準値とを比較することにより、各測定点において、検出値が標準値の範囲内にあるか否かが判定される。
次Ｓ６の比較の結果に基づいて、Ｓ７において、図１７に示す良否判定テーブルに従って、吸着ノズル１２６の良否判定および異常原因の推定が行われる。図１７において、○は検出値が標準値の範囲内にある場合を示し、×は検出値が標準値の範囲外にある場合を示す。図示の例では、全ての測定点において、検出値が標準値の範囲内にある場合（図１７に（イ）で示す場合）に吸着ノズル１２６が正常であると判定される。それに対して、４つの測定点のうち検出値が標準値の範囲内にないものが少なくとも１つある場合には、何らかの部品保持性能不良（異常）があると判定される。
何らかの異常があると判定された場合に、検出値の変化に基づいて異常原因が推定される。例えば、吸着ノズル１２６に詰まりが生じている場合には、吸引できる量が制限されるため、最終的には、到達すべき値が得られるが、そこに到達するまでに時間がかかる傾向がある。一方、吸着ノズル１２６の吸着管１３４の変形や、破損によりいずれかの部位に漏れが生じている場合には、一定時間が経過しても到達すべき値が得られない。このような知見に基づいて、本実施形態においては、何らかの異常があると判定された場合であって、少なくとも第一測定点における検出値が標準値の範囲から外れていて、第三および第四測定点における検出値が標準値の範囲内にある場合（図１７に（ロ），（ハ）で示す場合）には、吸着ノズル１２６に詰まりが生じていると推定される。また、第一ないし第三測定点における検出値が標準値の範囲から外れていて、第四測定点における検出値のみが正常である場合（図１７に（ニ）で示す場合）には、吸着ノズル１２６に詰まりまたは漏れが生じていると推定される。さらに、全ての測定点において検出値が異常である場合（図に（ホ）で示す場合）には、吸着ノズル１２６に漏れが生じていると推定される。
次に、それら吸着ノズル１２６それぞれの良否判定に基づいて、負圧センサ２６０および負圧供給装置１３９の良否判定が行われる。異常があると判定された吸着ノズル１２６の数が比較的多い場合には、個々の吸着ノズル１２６が異常であるよりも、負圧センサ２６０や負圧供給装置１３９に異常がある可能性が高い。そこで、例えば、今回１２個の吸着ノズル１２６について負圧検査が行われたと仮定すると、Ｓ８において、全ての吸着ノズル１２６のうち、詰まりや漏れなどにより異常状態であると判定された不良吸着ノズルの数ｎが、予め設定された設定値Ｎ₁より小さいか否かが問われる。設定値Ｎ₁は、本実施形態においては、吸着ノズル１２６の全個体数である１２に設定されているが、１２未満の値でもよく、例えば、１０ないし１１に設定されてもよい。また、負圧検査が行われた吸着ノズル１２６の数が１２よりも多い場合には、その吸着ノズル１２６の総数に相当す
る数でもよく、例えば８０％以上の数に設定されてもよい。
今回の検査において不良であると判定された不良吸着ノズルの数ｎが１２であると仮定すると、Ｓ８の判定がＮＯとなり、Ｓ９に進んで、負圧センサ２６０および負圧供給装置１３９の少なくとも一方が異常であると推定され、その旨が作業者に報知される。
それに対して、不良吸着ノズルの数ｎが設定値Ｎ₁（＝１２）より小さい場合には、Ｓ８の判定がＹＥＳとなり、Ｓ１０に進んで、不良吸着ノズルの数ｎが設定値Ｎ₂以下であるか否かが問われる。設定値Ｎ₂は上述の設定値Ｎ₁より小さい数に設定されており、本実施形態においては１とされている。不良吸着ノズルの数ｎが設定値Ｎ₂（＝１）以下であ
る場合には、Ｓ１０の判定がＹＥＳとなりＳ１１に進んで、個々の吸着ノズル１２６について異常が生じていると推定され、異常が生じた吸着ノズル１２６を示す識別記号とＳ７において推定された異常の原因とが作業者に報知される。
それに対して、不良吸着ノズルの数ｎが設定値Ｎ₂（＝１）より大きい場合には、Ｓ１２に進んで、その旨が作業者に報知される。このような場合には、吸着ノズル１２６に異常がある場合と、負圧センサ２６０または負圧供給装置に異常がある場合との両方が考えられるので、他の情報等に基づいて作業者が判断するようにされている。なお、Ｓ１２において作業者に判断を委ねる代わりに自動的に推定を行うフローを作成して利用してもよい。以上で本プログラムの１回の実行が終了する。
上記負圧検出作業により吸着ノズル１２６に異常が生じていると推定され、その旨が作業者に伝達された場合には、作業者は、その情報に基づいて、吸着ノズル１２６の清掃、または交換作業を行う。なお、交換や清掃作業が自動的に実行されるようにしてもよい。例えば、吸着ノズル１２６に前記電子部品１３０の解放促進時よりも強い正圧をかけて埃等を吹き飛ばすようにしてもよく、自動清掃装置によりノズル内部を機械的に清掃するようにしてもよい。後者は、前者による吹飛ばし効果が不十分である場合に実行されるようにしてもよい。
以上の説明から明らかなように、本実施形態においては、負圧検出制御装置３４０のコンピュータ２２８であって、検査プログラムのＳ６を実行する部分が比較部を構成し、Ｓ７を実行する部分が第一原因推定部を構成し、Ｓ８ないしＳ１２を実行する部分が第二原因推定部を構成している。
上記実施形態においては、正圧供給装置１８２の一部が弁切換装置１８０に設けられ、別の一部が方向切換弁１３６に設けられていたが、方向切換弁および弁切換装置と正圧供給装置とは別々に設けられてもよい。その一実施形態を図１８に示す。なお、上記実施形態における作用と同じ作用を為す構成要素等には、同一の符号を付して説明を省略する。本実施形態の装着装置４００においては、図１８に概略的に示すように、吸着ノズル１２６は、方向切換弁４０２，４０４の切換えにより、バキュームポンプ１３８とエアポンプ２０２と大気とに選択的に連通させられる。
方向切換弁４０２は、吸着ノズル１２６とバキュームポンプ１３８とを接続する接続通路４０６に設けられ、吸着ノズル１２６およびバキュームポンプ１３８の他、方向切換弁４０４が接続されている。方向切換弁４０４は、方向切換弁４０２の他、エアポンプ２０２および大気に接続されている。方向切換弁４０２は、弁子の移動により、吸着ノズル１２６をバキュームポンプ１３８に連通させる負圧供給状態と、方向切換弁４０４を介して大気あるいはエアポンプ２０２に連通させる状態とに切り換えられる。この弁子は、方向切換弁４０２を上記２つの状態に切り換える位置に移動させられれば、その位置に維持されるように構成されている。
方向切換弁４０４は、吸着ノズル１２６をエアポンプ２０２に連通させ、正圧を供給する正圧供給状態と、大気に連通させる大気連通状態とに切り換えられる。方向切換弁４０４の弁子は、ばねにより、方向切換弁４０４を大気連通状態に切り換える向きに付勢されている。方向切換弁４０２，４０４を切り換える弁切換装置４０８，４１０は、二点鎖線で示す同じ部材に設けられ、ノズル昇降装置１４０による吸着ノズル１２６の昇降に連動して作動する。
以上の各実施形態において、吸着ノズルは、ノズル旋回装置により一軸線周りに旋回させられて部品受取位置および部品装着位置へ移動させられ、電子部品の受け取りと装着とを行うようにされていたが、部品保持装置移動装置ないし部品装着ユニット移動装置たるＸＹロボットにより、回路基板の表面に平行な任意の位置に移動させられて、電子部品の受け取りおよび装着を行うようにしてもよい。なお、この種の電子部品装着システムは、例えば、特許第２８２４３７８号公報等において既に知られているので、簡単に説明する。
図１９において符号５００は電子部品装着システム５０２のベースを表す。ベース５００上に、部品供給装置５０４，５０６，装着装置５０８，プリント配線板保持装置５１０および配線板コンベヤ５１２等が設けられ、電子部品装着システム５０２が構成されている。プリント配線板保持装置５１０は、前記プリント配線板保持ユニット４２のプリント配線板支持装置７０と同様の装置と配線板コンベヤ５１２の一部とにより構成され、プリント配線板４０を水平に保持する。配線板コンベヤ５１２の搬送方向をＸ軸方向とし、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向と称する。
部品供給装置５０４，５０６は、配線板コンベヤ５１２のＹ軸方向の両側にそれぞれ設けられている。一方の部品供給装置５０６は、フィーダ型部品供給装置であって、位置を固定して設けられている。他方の部品供給装置５０４は、トレイ型部品供給装置とされ、位置を固定して設けられている。
装着装置５０８は、吸着ノズルを保持するノズルホルダを含む部品保持装置５１４およびＸＹロボット５１６を備えている。ＸＹロボット５１６は、Ｘ軸スライド５１８、Ｘ軸スライド駆動用モータ５２０を駆動源とするＸ軸スライド移動装置５２２、Ｘ軸スライド５１８上に設けられたＹ軸スライド５２４、Ｙ軸スライド駆動用モータ５２６を駆動源とするＹ軸スライド移動装置５２８を含む。部品保持装置５１４は、Ｙ軸スライド５２４に取り付けられ、ＸＹ座標面上の任意の位置へ移動可能な可動部材に、鉛直軸線まわりに回転可能に、かつ、軸方向に昇降可能に設けられており、可動部材に設けられた昇降装置５３０により昇降させられて、部品供給装置５０４，５０６から電子部品１３０を受け取り、プリント配線板４０に装着する。昇降装置５３０は、サーボモータを駆動源としている。部品保持装置５１４の吸着ノズルは、前記吸着ノズル１２６と同様に、負圧により電子部品１３０を吸着し、正圧の供給により解放する。
電子部品装着システム５０２は、図２０に示すように、前記実施形態における方向切換弁１３６，弁切換装置１７８，１８０の代わりに、電磁方向切換弁５４０，５４２から成る方向切換弁装置（複数の電磁開閉弁の組合わせから成るものとすることもできる）を備えている。電磁方向切換弁５４０，５４２への切換指令信号は、部品保持装置５１４を昇降させる昇降装置５３０の作動と同期して出される。図２０には、本発明と関連が深い電磁方向切換弁５４０への負圧供給開始のための切換指令信号の出力に関連する部分を示すが、コンピュータ５４４から昇降装置５３０への作動開始指令信号が遅延回路５４６により一定時間遅延させられた信号が、電磁方向切換弁５４０への切換指令信号とされるのである。また、フィーダ型の部品供給装置５０６には、フィーダ２４の代わりに前記実施形態における負圧検査器２５０と類似の負圧検査器５４８（図１９参照）が取り付け可能である。ただし、負圧検査器５４８は、検出孔切換装置の駆動源としてエアシリンダ５５０を内蔵している一方、検出指示装置３２０に相当するものは備えていない。負圧センサ２６０の検出値の読込開始は、部品保持装置５１４の方向切換弁装置への切換指令信号を利用して行われる。方向切換弁装置を負圧供給状態に切り換えるための電磁方向切換弁５４０への切換指令信号がコンピュータ５４４に供給され、それに応じてコンピュータ５４４による負圧センサ２６０の検出値の読込みが開始されるようになっているのである。
なお、コンピュータ５４４自身が、昇降装置５３０へ部品保持装置５１４の下降を開始させるべき旨の指令を出した後、一定時間の経過を待って電磁方向切換弁５４０への切換指令信号を出すようにすることも可能である。また、部品保持装置５１４が所定の位置まで下降したことを検出する下降検出器（例えばフォトマイクロセンサを使用し得る）の検出信号に応じて、コンピュータ５４４が負圧センサ２６０の検出値の読込みを開始するようにすることも可能である。
以上、本発明のいくつかの実施形態を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、本発明は、前記〔発明の開示〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。

本発明の一実施形態である部品保持性能検査装置を備えた電子部品装着システムを概略的に示す平面図である。 上記電子部品装着システムのプリント配線板保持ユニットを示す正面図（一部断面）である。 上記電子部品装着システムの装着装置を示す正面図（一部断面）である。 上記装着装置の要部を拡大して示す正面図（一部断面）である。 上記装着装置の別の要部を拡大して示す正面図（一部断面）である。 上記装着装置の吸着ノズルを示す正面断面図である。 上記装着装置の方向切換弁および弁切換装置を抜き出して示す正面断面図である。 上記電子部品装着システムを制御するための制御装置を概念的に示す機能ブロック図である。 上記電子部品装着システムにおける負圧検査器の右側面図である。 上記負圧検査器の左側面図である。 上記負圧検査器の測定部を拡大して示す平面図である。 図１１に示す測定部の正面断面図である。 図１１に示す測定部を示す底面図である。 上記負圧検査器を制御するための負圧検出制御装置を概念的に示す機能ブロック図である。 前記電子部品装着システムにおける部品装着ユニットの部品保持性能を検査するための検査プログラムを示すフローチャートである。 吸着ノズルの負圧値の時間変化を説明するための図である。 吸着ノズルの良否判定を行うためのテーブルを概念的に示す図である。 本発明の別の実施形態である電子部品装着システムにおける正圧・負圧供給装置を示す回路図である。 本発明のさらに別の実施形態である部品保持性能検査装置を備えた電子部品装着システムを示す平面図である。 上記電子部品装着システムの制御装置の本発明に関連の深い部分のみを取り出して示す回路図である。

Claims (17)

1. 負圧供給装置から供給される負圧に基づいて吸着ノズルにより電子回路部品を吸着保持する電子回路部品保持装置の部品保持性能を検査する方法であって、
   前記吸着ノズルの吸着面と接触可能な接触面に、その接触面に前記吸着ノズルが接触した状態でその吸着ノズルの吸引孔と連通可能な状態で開口する検出孔と、その検出孔の負圧を検出する負圧センサとを備えた負圧検査器を準備する準備工程と、
   前記吸着ノズルの前記吸着面と前記負圧検査器の前記接触面とを接触させるとともにその吸着ノズルに前記負圧供給装置から負圧を供給させ、その負圧供給により前記検出孔の負圧が増大する過程の複数時点において前記負圧センサにその検出孔の負圧を検出させる負圧検出工程と、
   その負圧検出工程において検出された前記複数時点の負圧値に基づいて前記電子回路部品保持装置の部品保持性能の良否を判定する判定工程と
   を含み、かつ、前記負圧検査器を複数の吸着ノズルについて共通に用いて検査を行い、前記判定工程において、前記複数の吸着ノズルのうちの一部のものについて部品保持性能が不良、他の吸着ノズルについて部品保持性能が良好と判定された場合には、部品保持性能が不良と判定された吸着ノズル自体が不良と推定し、前記一部のものの数より多い数の吸着ノズルについて部品保持性能が不良と判定された場合には、前記負圧供給装置と前記負圧センサとの少なくとも一方が不良と推定する原因推定工程を含むことを特徴とする部品保持性能検査方法。
2. 前記複数の吸着ノズルのうちの一部のものが、前記複数の吸着ノズルの数と第一設定比率との積以下の数の吸着ノズルであり、前記一部のものの数より多い数が、前記第一設定比率より大きい第二設定比率と前記複数の吸着ノズルの数との積以上の数である請求項１に記載の部品保持性能検査方法。
3. 負圧供給装置から供給される負圧に基づいて吸着ノズルにより電子回路部品を吸着保持する電子回路部品保持装置の部品保持性能を検査する方法であって、
   前記吸着ノズルの吸着面と接触可能な接触面に、その接触面に前記吸着ノズルが接触した状態でその吸着ノズルの吸引孔と連通可能な状態で開口する検出孔と、その検出孔の負圧を検出する負圧センサとを備えた負圧検査器を準備する準備工程と、
   前記吸着ノズルの前記吸着面と前記負圧検査器の前記接触面とを接触させるとともに前記負圧供給装置に負圧を供給させ、少なくとも、その負圧供給により前記検出孔の負圧が増大する傾向を取得可能な１時点と、定常状態に達した後の１時点とを含む複数時点において前記負圧センサに前記検出孔の負圧を検出させる負圧検出工程と、
   その負圧検出工程において検出された負圧の値に基づいて、前記負圧が増大する傾向を取得可能な１時点における負圧の値がその１時点についての基準負圧値より小さく、かつ、前記定常状態に達した後の１時点における負圧の値がその１時点についての基準負圧値以上である場合に、前記吸着ノズルが前記吸引孔に異物が詰まった状態にあると判定する判定工程と
   を含むことを特徴とする部品保持性能検査方法。
4. 前記判定工程が、前記定常状態に達した後の１時点における負圧の値がその１時点についての基準負圧値より小さい場合に、前記吸着ノズルに漏れが発生していると判定する工程を含む請求項３に記載の部品保持性能検査方法。
5. 前記複数時点が３時点以上である請求項１ないし４のいずれかに記載の部品保持性能検査方法。
6. 前記準備工程が、前記負圧検査器として、(a)前記負圧センサに連通させられた通路を備えた検査器本体と、(b)その検査器本体に相対移動可能に取り付けられ、前記吸着ノズルの吸着面と接触可能な接触面に、内径を互いに異にする複数の検出孔が設けられた検出孔形成部材とを含み、その検出孔形成部材の前記検査器本体に対する相対移動によって、前記複数の検出孔が前記検査器本体の前記通路に選択的に連通可能なものを準備する工程であり、
   前記負圧検出工程が、前記検出孔形成部材の前記複数の検出孔の１つずつを選択的に前記検査器本体の前記通路に連通させた状態とするとともに、複数種類の吸着ノズルの各々のうち、前記通路に連通させられた検出孔に対応するものを、それら検出孔の各々が開口させられた接触面に接触させて、前記負圧センサに負圧の検出を行わせる工程であり、
   前記判定工程が、前記複数種類の吸着ノズルについての前記判定を行う工程である請求項１ないし５のいずれかに記載の部品保持性能検査方法。
7. 負圧供給装置から供給される負圧に基づいて吸着ノズルにより電子回路部品を吸着保持する電子回路部品保持装置の部品保持性能を検査する装置であって、
   (a)前記吸着ノズルの吸着面と接触可能な接触面に、その接触面に前記吸着ノズルが接触した状態でその吸着ノズルの吸引孔と連通可能な状態で開口する検出孔と、(b)その検出孔の負圧を検出する負圧センサとを備えた負圧検査器と、
   (c)前記吸着ノズルの前記吸着面と前記負圧検査器の前記接触面とを接触させるとともに前記負圧供給装置に負圧を供給させ、その負圧供給により前記検出孔の負圧が増大する過程の複数時点において前記負圧センサにその検出孔の負圧を検出させる負圧検出制御部と、(d)その負圧検出制御部の制御により前記負圧センサによって検出された前記複数時点の負圧値に基づいて前記電子回路部品保持装置の保持部品性能の良否を判定する判定部とを備えた主制御装置と
   を含み、前記負圧検出制御部が、複数の吸着ノズルについて前記負圧センサに前記負圧を検出させるものであり、かつ、前記主制御装置が、前記判定部により前記複数の吸着ノズルのうちの一部のものについて部品保持性能が不良、他の吸着ノズルについて部品保持性能が良好と判定された場合には、部品保持性能が不良と判定された吸着ノズル自体が不良と推定し、前記一部のものの数より多い数の吸着ノズルについて部品保持性能が不良と判定された場合には、前記負圧供給装置と前記負圧センサとの少なくとも一方が不良と推定する原因推定部を含むことを特徴とする部品保持性能検査装置。
8. 負圧供給装置から供給される負圧に基づいて吸着ノズルにより電子回路部品を吸着保持する電子回路部品保持装置の部品保持性能を検査する装置であって、
   (a)前記吸着ノズルの吸着面と接触可能な接触面に、その接触面に前記吸着ノズルが接触した状態でその吸着ノズルの吸引孔と連通可能な状態で開口する検出孔と、(b)その検出孔の負圧を検出する負圧センサとを備えた負圧検査器と、
   前記吸着ノズルの前記吸着面と前記負圧検査器の前記接触面とを接触させるとともにその吸着ノズルに前記負圧供給装置から負圧を供給させ、少なくとも、その負圧供給により前記検出孔の負圧が増大する傾向を取得可能な１時点と、定常状態に達した後の１時点とを含む複数時点において前記負圧センサにその検出孔の負圧を検出させる負圧検出制御部と、
   その負圧制御部の制御により前記負圧センサによって検出された負圧の値に基づいて、前記負圧が増大する傾向を取得可能な１時点における負圧の値がその１時点についての基準負圧値より小さく、かつ、前記定常状態に達した後の１時点における負圧の値がその１時点についての基準負圧値以上である場合に、前記吸着ノズルが前記吸引孔に異物が詰まった状態にあると判定する判定部と
   を含むことを特徴とする部品保持性能検査装置。
9. 前記判定部が、前記定常状態に達した後の１時点における負圧の値がその１時点についての基準負圧値より小さい場合に、前記吸着ノズルに漏れが発生していると判定する手段を含む請求項８に記載の部品保持性能検査装置。
10. 前記複数時点が３時点以上である請求項７ないし９のいずれかに記載の部品保持性能検査装置。
11. 前記負圧検査器が、(a)前記負圧センサに連通させられた通路を備えた検査器本体と、(b)その検査器本体に相対移動可能に取り付けられ、前記吸着ノズルの吸着面と接触可能な接触面に、内径を互いに異にする複数の検出孔が設けられた検出孔形成部材とを含み、その検出孔形成部材の前記検査器本体に対する相対移動によって、前記複数の検出孔が前記検査器本体の前記通路に選択的に連通可能なものであり、
    前記負圧検出制御部が、前記検出孔形成部材の前記複数の検出孔の１つずつを選択的に前記検査器本体の前記通路に連通させた状態とするとともに、複数種類の吸着ノズルの各々のうち、前記通路に連通させられた検出孔に対応するものを、それら検出孔の各々が開口させられた接触面に接触させて、前記負圧センサに負圧の検出を行わせる手段を含み、
    前記判定部が、前記複数種類の吸着ノズルについての前記判定を行う手段を含む請求項７ないし１０いずれかに記載の部品保持性能検査装置。
12. さらに、前記検出孔形成部材を、前記複数種類の吸着ノズルのうち次に検査すべきものの種類に応じて移動させることにより、前記複数の検出孔の切換えを自動で行う検出孔切換装置を含む請求項１１に記載の部品保持性能検査装置。
13. 前記検出孔形成部材が、回転軸線まわりに回転可能に前記検査器本体に取り付けられ、前記回転軸線を中心とする円周上に前記複数の検出孔が形成された回転型検出孔形成部材であり、前記検出孔切換装置が、回転型検出孔形成部材を、前記複数の検出孔の各々が前記通路と連通する回転位置へ回転させる検出孔形成部材回転装置を含む請求項１２に記載の部品保持性能検査装置。
14. 前記検出孔切換装置が、
    前記検査器本体，検出孔形成部材，通路および負圧センサを備えた負圧検査器の外部に設けられた駆動源の駆動力により前記検出孔形成部材を移動させる検出孔形成部材移動装置と、
    前記複数種類の吸着ノズルのうち次に検査すべきものの種類の情報に基づいて前記駆動源を制御する駆動源制御装置と
    を含む請求項１２または１３に記載の部品保持性能検査装置。
15. 前記検出孔切換装置が、
    前記検査器本体に取り付けられた駆動源により前記検出孔形成部材を移動させる検出孔形成部材移動装置と、
    前記複数種類の吸着ノズルのうち次に検査すべきものの種類の情報に基づいて前記駆動源を制御する駆動源制御装置と
    を含む請求項１２または１３に記載の部品保持性能検査装置。
16. 前記吸着ノズルの前記負圧検査器への接近開始時点，前記負圧供給装置による負圧供給開始時点，および前記吸着ノズルの前記負圧検査器への接触時点のいずれかに対して予め定められた一定の関係を有する時点に、前記負圧センサに前記検出孔の負圧の検出を開始させる負圧検出開始制御装置を含む請求項７ないし１５のいずれかに記載の部品保持性能検査装置。
17. 前記吸着ノズルを、その吸着ノズルの吸着面を前記負圧検査器の接触面に接触，離間させるべく昇降させるノズル昇降装置と、
    そのノズル昇降装置による吸着ノズルの下降運動に連動して前記負圧供給装置に負圧の供給を開始させる負圧供給開始制御装置と、
    前記負圧供給装置による前記吸着ノズルへの負圧供給開始時点に対して予め定められた一定の関係を有する時点に前記負圧センサに前記検出孔の負圧の検出を開始させる負圧検出開始制御装置と
    を含む請求項７ないし１５のいずれかに記載の部品保持性能検査装置。

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