JP4470171B2 - 半導体チップ、その製造方法およびその用途 - Google Patents
半導体チップ、その製造方法およびその用途 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4470171B2 JP4470171B2 JP2004362283A JP2004362283A JP4470171B2 JP 4470171 B2 JP4470171 B2 JP 4470171B2 JP 2004362283 A JP2004362283 A JP 2004362283A JP 2004362283 A JP2004362283 A JP 2004362283A JP 4470171 B2 JP4470171 B2 JP 4470171B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor chip
- semiconductor
- peripheral circuit
- memory
- back surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 256
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 30
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 56
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 50
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 13
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 11
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 31
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 9
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 7
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 5
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 238000011056 performance test Methods 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 2
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000007730 finishing process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/562—Protection against mechanical damage
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- H10B99/22—Subject matter not provided for in other groups of this subclass including field-effect components
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/10—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
- H01L27/105—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration including field-effect components
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00011—Not relevant to the scope of the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01079—Gold [Au]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/1015—Shape
- H01L2924/10155—Shape being other than a cuboid
- H01L2924/10158—Shape being other than a cuboid at the passive surface
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
半導体チップの厚みが薄くなればなるほど、半導体チップに動作不良が発生しやすくなる傾向がある。このことから、信頼性の高い薄型半導体チップの製造方法やその製造方法により得られた薄型半導体チップが提案されている(特許文献1)。
本発明の目的は、リーク電流が少なく信頼性の高い半導体装置を与える半導体チップおよびその製造方法を提供することにある。
[1]メモリ部と周辺回路部とを備えた半導体チップであって、
前記メモリ部および前記周辺回路部は、前記半導体チップの主表面部に形成され、
前記周辺回路部が形成された前記主表面部の一部であって各前記メモリ部に隣接する所定部を通る前記半導体チップ断面の厚みは、前記半導体チップの表面に対する法線方向を基準として、各前記メモリ部が形成された前記主表面部を通る前記半導体チップ断面の厚みと略等しく、
かつ、前記メモリ部が形成された前記主表面部を通る前記半導体チップ断面の厚みは、同法線方向を基準として各前記メモリ部に隣接する所定部を除く前記周辺回路部が形成された前記主表面部を通る前記半導体チップ断面の厚みに対して大きいことを特徴とする半導体チップを提供するものであり、
[2]前記半導体チップの裏面に平坦部と溝部とを備え、
前記半導体チップ表面に対する法線方向を基準として、前記平坦部は、前記メモリ部および前記所定部の、前記裏面に対する投影面に対応する位置に設けられ、
前記溝部は、前記所定部を除く前記周辺回路部の、前記裏面に対する投影面に対応する位置に設けられ、
前記平坦部に対する前記溝部の深さは、前記半導体チップ表面に対する法線方向を基準として、前記半導体チップ表面から前記半導体チップ裏面の前記平坦部までの長さの5〜60%の範囲であることを特徴とする上記[1]に記載の半導体チップを提供するものであり、
[3](1)半導体ウエハの主表面部にメモリ部と周辺回路部とを所定の位置に形成する工程と、
(2)前記半導体ウエハの裏面を研削する工程と、
(3)前記周辺回路部が形成された前記主表面部の一部であって、前記メモリ部が形成された前記主表面部に隣接する所定部と、前記メモリ部との、前記半導体ウエハ裏面に対する投影面に対応する位置に平坦部を設け、
前記所定部を除く前記周辺回路部の、前記裏面に対する投影面に対応する位置に溝部を設ける工程と、
(4)前記半導体ウエハをダイシングする工程と、
を含むことを特徴とする上記[1]または[2]に記載の半導体チップの製造方法を提供するものであり、
[4]前記溝部は、前記半導体ウエハ裏面を研削する工程およびレジスト法による工程からなる群より選ばれる少なくとも一つの工程により設けられることを特徴とする上記[3]に記載の半導体チップの製造方法を提供するものであり、
[5](1)半導体ウエハの裏面に平坦部と溝部とを前記裏面の所定の位置に設ける工程と、
(2)前記平坦部と前記溝部との上に酸化保護膜層を設ける工程と、
(3)前記酸化膜保護膜層の上に、さらに半導体基板を貼着する工程と、
(4)前記半導体ウエハの主表面部にメモリ部を設ける工程であって、
前記平坦部に対する法線方向を基準として、前記半導体ウエハの表面に対する、前記平坦部の投影面に対応する位置に、前記メモリ部を設ける工程と、
(5)前記半導体ウエハの主表面部に周辺回路部を設ける工程であって、
前記前記平坦部に対する法線方向を基準として、前記半導体ウエハの表面に対する、前記溝部の投影面に対応する位置に、前記周辺回路部を設ける工程と、
(6)上記工程(4)および(5)の後に、工程(3)により貼着した半導体基板および工程(2)により設けた酸化保護膜を除去する工程と、
を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体チップの製造方法を提供するものであり、
[6]上記[1]または[2]のいずれかに記載の半導体チップを備えた半導体装置を提供するものである。
まず、本発明の半導体チップについて説明する。
図1は、本発明の半導体チップの一実施態様を例示したものである。
本発明の半導体チップ1は、メモリ部2と周辺回路部3とを備えることが必要である。
前記メモリ部2および前記周辺回路部3は、前記半導体チップの主表面部7に形成されていることが必要である。
ここで前記主表面部7とは、前記半導体チップ1の表面に対する法線を基準として、図2に例示される通り、前記表面から半導体チップ1内部までの領域の部分を示す。前記メモリ部2および前記周辺回路部3は、前記主表面部7に形成されている。
また前記所定部4は、図2に例示される様に、前記周辺回路部3が形成された前記主表面部7の一部であることと、各前記メモリ部2に隣接することが必要である。
ここで前記所定部4とは、図2の場合により説明すれば、前記主表面部7に形成された前記周辺回路部3のうち、各前記メモリ部に隣接する部位であって、図2における一点破線cおよびdにより囲まれた各領域を意味する。
図2の場合には、一点鎖線bが半導体チップの断面を横切る長さL3が前記厚みに対応する。
中でも本発明の半導体チップは、その裏面に平坦部5と溝部6とを備えたものが好ましい。
前記溝部6は、前記所定部4を除く前記周辺回路部3の、前記裏面に対する投影面に対応する位置に設けられたもの等を挙げることができる。
前記長さが5%に満たない場合および前記長さが60%を超えた場合には、本発明の半導体チップを備えた半導体装置の信頼性が低下する。
ここで前記所定部4の幅L5とは、図2の場合に例示される通り、一点破線cとdとの最短距離をいう。
本発明の半導体チップを製造するためには、例えば、図8〜図11に示す通り、まず半導体ウエハ11の主表面部に前記メモリ部2と前記周辺回路部3とを所定の位置に形成する工程が必要である。
前記メモリ部2と前記周辺回路部3とを形成する方法に限定はなく、通常実施される方法に従って実施することができる。
かかる平坦部は、例えば図11に示される様に、前記周辺回路部3が形成された前記主表面部の一部であって、各前記メモリ部2が隣接する所定部と、前記メモリ部2との、前記半導体ウエハ裏面に対する投影面に対応する位置に設けられる。
かかる平坦部と溝部との構造とを設ける工程の一態様としては、例えば、図9に例示される様に、前記半導体ウエハ11の裏面上にレジストマスク12を形成することにより前記裏面の所定部をマスクしておき、図10に例示される様に、ドライエッチング、ウエットエッチング等のエッチング処理等により溝部6を形成し、続いて図11に例示される様に前記レジストマスク12を除去する方法等を挙げることができる。前記ウエットエッチング法、ドライエッチング法等の条件に特に限定はなく、通常、半導体ウエハの製造工程にて実施されている方法により実施することができる。
ダイシングの方法に特に限定はなく、いかなる方法によっても実施することができる。以下の場合も同様である。
前記回転研磨装置13により前記平坦部と溝部とを設けた後、例えば、図14の前記半導体ウエハの一点破線の部分をダイシングすることにより本発明の半導体チップを得ることができる。
前記酸化保護膜層14を設ける方法に限定はなく、例えば、前記半導体ウエハを構成する原料ガスと水蒸気ガス等とを高温にて反応させる等の方法を挙げることができる。
前記貼着工程前に、適宜前記酸化保護膜層14に対しポリッシュ仕上げを実施してもよい。
前記貼着工程としては、例えば、前記半導体ウエハがシリコンよりなる場合であれば、1100℃程度の熱処理を行なうことにより前記酸化保護膜層14上に、前記半導体基板15とを貼着して、組立工程用半導体ウエハ16を得ることができる。前記貼着工程の条件は半導体ウエハを構成する材料の性質に応じて適宜選択することができる。
前記メモリ部2と前記周辺回路部3とを形成する工程に特に限定はなく、通常実施される方法に従って実施することができる。
また、前記周辺回路部3は、同法線方向を基準として、前記半導体ウエハ11の表面に対する、前記溝部6の投影面に対応する位置に設けられる。
なお、本発明の半導体チップには、前記酸化保護膜層14が、図19に示す通り、前記半導体チップ裏面に形成された溝部6中に残された状態のものが含まれる。
図21および22はBGAの模式断面図を一例として示したものである。なおここではボンディングワイヤー等の電気的配線については特に図示していない。
本発明の半導体チップを用いて得られる半導体装置としては、図21に示す様に、半導体装置に一つの本発明の半導体チップを含む場合に限定されず、例えば、図22に例示される様に、二以上の本発明の半導体チップを含む半導体装置の他、本発明の半導体チップに加えて、他の半導体チップを積層したタイプの半導体装置等を挙げることができる。
本発明の半導体チップによれば、半導体装置から前記半導体チップに対して応力が掛けられた場合であっても、前記半導体チップの厚みの薄い周辺回路部分において応力が吸収されるため、前記半導体チップに設けられたメモリ部に対する応力が緩和される。これにより前記メモリ部における半導体内部の結晶歪み等に起因するリーク電流の発生を抑えることができ、信頼性の高い半導体装置を提供することができる。
図23は、本発明の半導体チップ1を備えたBGAタイプの半導体装置の模式断面図を示したものである。
前記半導体チップ1の主表面部には、メモリ部2と周辺回路部3とが設けられている。
図24は、本発明の半導体チップ1を備えたμBGAタイプの半導体装置の模式断面図を示したものである。
前記半導体チップ1の主表面部には、メモリ部2と周辺回路部3が設けられている。
前記半導体チップ1表面から、前記半導体チップ裏面に設けられた平坦部5までの距離tを基準とした前記溝部の深さの割合と、得られたμBGAタイプの半導体装置の標準的な性能試験における、リーク電流に関する不良発生率との関係は図27に示す通りである。
図25は、本発明の半導体チップ1を備えたTCPタイプの半導体装置の模式断面図を示したものである。
前記半導体チップ1の主表面部には、メモリ部2と周辺回路部3が設けられている。
2 メモリ部
3 周辺回路部
4 所定部
5 平坦部
6 溝部
7 主表面部
8 U字状の溝部
9 ディンプル状の溝部
10 凹部
11 シリコンウエハ
12 レジストマスク
13 回転研磨装置
14 酸化保護膜層
15 半導体基板
16 組立工程用半導体ウエハ
17 接着テープ
18 BGA基板
19 半田ボール
20 半導体封止用樹脂
21 接着用樹脂
22 リードフレーム
Claims (6)
- メモリ部と周辺回路部とを備えた半導体チップであって、
前記メモリ部および前記周辺回路部は、前記半導体チップの主表面部に形成され、
前記周辺回路部が形成された前記主表面部の一部であって各前記メモリ部に隣接する所定部を通る前記半導体チップ断面の厚みは、前記半導体チップの表面に対する法線方向を基準として、各前記メモリ部が形成された前記主表面部を通る前記半導体チップ断面の厚みと略等しく、
かつ、前記メモリ部が形成された前記主表面部を通る前記半導体チップ断面の厚みは、同法線方向を基準として各前記メモリ部に隣接する所定部を除く前記周辺回路部が形成された前記主表面部を通る前記半導体チップ断面の厚みに対して大きいことを特徴とする半導体チップ。 - 前記半導体チップの裏面に平坦部と溝部とを備え、
前記半導体チップ表面に対する法線方向を基準として、前記平坦部は、前記メモリ部および前記所定部の、前記裏面に対する投影面に対応する位置に設けられ、
前記溝部は、前記所定部を除く前記周辺回路部の、前記裏面に対する投影面に対応する位置に設けられ、
前記平坦部に対する前記溝部の深さは、前記半導体チップ表面に対する法線方向を基準として、前記半導体チップ表面から前記半導体チップ裏面の前記平坦部までの長さの5〜60%の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の半導体チップ。 - (1)半導体ウエハの主表面部にメモリ部と周辺回路部とを所定の位置に形成する工程と、
(2)前記半導体ウエハの裏面を研削する工程と、
(3)前記周辺回路部が形成された前記主表面部の一部であって、前記メモリ部が形成された前記主表面部に隣接する所定部と、前記メモリ部との、前記半導体ウエハ裏面に対する投影面に対応する位置に平坦部を設け、
前記所定部を除く前記周辺回路部の、前記裏面に対する投影面に対応する位置に溝部を設ける工程と、
(4)前記半導体ウエハをダイシングする工程と、
を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体チップの製造方法。 - 前記溝部は、前記半導体ウエハ裏面を研削する工程およびレジスト法による工程からなる群より選ばれる少なくとも一つの工程により設けられることを特徴とする請求項3に記載の半導体チップの製造方法。
- (1)半導体ウエハの裏面に平坦部と溝部とを前記裏面の所定の位置に設ける工程と、
(2)前記平坦部と前記溝部との上に酸化保護膜層を設ける工程と、
(3)前記酸化膜保護膜層の上に、さらに半導体基板を貼着する工程と、
(4)前記半導体ウエハの主表面部にメモリ部を設ける工程であって、
前記平坦部に対する法線方向を基準として、前記半導体ウエハの表面に対する、前記平坦部の投影面に対応する位置に、前記メモリ部を設ける工程と、
(5)前記半導体ウエハの主表面部に周辺回路部を設ける工程であって、
前記前記平坦部に対する法線方向を基準として、前記半導体ウエハの表面に対する、前記溝部の投影面に対応する位置に、前記周辺回路部を設ける工程と、
(6)上記工程(4)および(5)の後に、工程(3)により貼着した半導体基板および工程(2)により設けた酸化保護膜を除去する工程と、
を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体チップの製造方法。 - 請求項1または2のいずれかに記載の半導体チップを備えた半導体装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004362283A JP4470171B2 (ja) | 2004-12-15 | 2004-12-15 | 半導体チップ、その製造方法およびその用途 |
US11/290,509 US7696609B2 (en) | 2004-12-15 | 2005-12-01 | Semiconductor device comprising a memory portion and a peripheral circuit portion |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004362283A JP4470171B2 (ja) | 2004-12-15 | 2004-12-15 | 半導体チップ、その製造方法およびその用途 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006173291A JP2006173291A (ja) | 2006-06-29 |
JP4470171B2 true JP4470171B2 (ja) | 2010-06-02 |
Family
ID=36582841
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004362283A Active JP4470171B2 (ja) | 2004-12-15 | 2004-12-15 | 半導体チップ、その製造方法およびその用途 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7696609B2 (ja) |
JP (1) | JP4470171B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100735496B1 (ko) * | 2006-05-10 | 2007-07-04 | 삼성전기주식회사 | 수직구조 질화갈륨계 led 소자의 제조방법 |
TWI431218B (zh) | 2011-03-11 | 2014-03-21 | Lingsen Precision Ind Ltd | The manufacturing method and structure of LED light bar |
DE102015116092B4 (de) | 2015-09-23 | 2018-06-14 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelements |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2824818B2 (ja) * | 1991-08-02 | 1998-11-18 | キヤノン株式会社 | アクティブマトリックス液晶表示装置 |
US6245587B1 (en) * | 1997-02-25 | 2001-06-12 | International Business Machines Corporation | Method for making semiconductor devices having backside probing capability |
JP2001313350A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Sony Corp | チップ状電子部品及びその製造方法、並びにその製造に用いる疑似ウエーハ及びその製造方法 |
JP2003031693A (ja) * | 2001-07-19 | 2003-01-31 | Toshiba Corp | 半導体メモリ装置 |
JP3813079B2 (ja) * | 2001-10-11 | 2006-08-23 | 沖電気工業株式会社 | チップサイズパッケージ |
US6756562B1 (en) * | 2003-01-10 | 2004-06-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor wafer dividing apparatus and semiconductor device manufacturing method |
US7129114B2 (en) * | 2004-03-10 | 2006-10-31 | Micron Technology, Inc. | Methods relating to singulating semiconductor wafers and wafer scale assemblies |
US20060076694A1 (en) * | 2004-10-13 | 2006-04-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor device package with concavity-containing encapsulation body to prevent device delamination and increase thermal-transferring efficiency |
-
2004
- 2004-12-15 JP JP2004362283A patent/JP4470171B2/ja active Active
-
2005
- 2005-12-01 US US11/290,509 patent/US7696609B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060125060A1 (en) | 2006-06-15 |
JP2006173291A (ja) | 2006-06-29 |
US7696609B2 (en) | 2010-04-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5183708B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
TWI493676B (zh) | Semiconductor device and manufacturing method of metal shielding plate | |
US6753238B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
KR0178134B1 (ko) | 불연속 절연층 영역을 갖는 반도체 집적회로 소자 및 그 제조방법 | |
US6894380B2 (en) | Packaged stacked semiconductor die and method of preparing same | |
TWI647753B (zh) | 半導體元件之製造方法及半導體元件 | |
US20090152683A1 (en) | Rounded die configuration for stress minimization and enhanced thermo-mechanical reliability | |
JP2002043356A (ja) | 半導体ウェーハ、半導体装置及びその製造方法 | |
JP4470171B2 (ja) | 半導体チップ、その製造方法およびその用途 | |
WO2016129076A1 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2000091274A (ja) | 半導体チップの形成方法およびそれを用いた半導体装置の製造方法 | |
TWI443771B (zh) | 封裝用基板固定裝置及半導體晶片封裝體的製造方法 | |
JP2001168139A (ja) | 半導体装置およびそれを用いた接合構造 | |
JP2013069720A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2006108254A (ja) | 半導体チップの製造方法および半導体装置の製造方法 | |
JPH04305945A (ja) | 半導体集積回路装置及びその製造方法 | |
CN111312664B (zh) | 承载半导体组件的基板结构、半导体晶圆与晶圆制造方法 | |
US20220108895A1 (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
JP2005243909A (ja) | 表面保護テープおよび半導体装置の製造方法 | |
JP2000252266A (ja) | 半導体装置 | |
JP6699515B2 (ja) | 半導体ウエハおよびその製造方法 | |
JP2002373909A (ja) | 半導体回路装置及びその製造方法 | |
JP2003037030A (ja) | 半導体装置 | |
JP2002134641A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法ならびに半導体装置の実装方法 | |
JP2005294677A (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070417 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20070618 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100127 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100218 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4470171 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140312 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |