JP4466175B2 - 石英ルツボ - Google Patents
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Description
SiO2 + Si → 2SiO ………… (1)
シリコン融液に混入したSiOの大半は、シリコン融液の自由表面からSiOガスとして蒸発するが、一部がシリコン単結晶とシリコン融液の界面である固液界面からシリコン単結晶に取り込まれ不純物酸素の源となる。シリコン単結晶の引上げ初期段階では、シリコン融液と石英ルツボ内壁部が接触する面積が比較的広いため、シリコン融液に溶解する酸素濃度は非常に高い。しかし、結晶成長が進んで、シリコン単結晶が形成されるとシリコン融液の液面は下がり、シリコン融液と石英ルツボ内壁部の接触面積は引上げ初期段階と比べて小さくなる。融液とルツボの接触面積の減少は石英ルツボからシリコン融液に溶解する酸素量を減少させる。従って、十分に成長したシリコン単結晶は、その軸方向で不均一な酸素分布を示す。より詳しくは酸素濃度は、その測定が結晶のシード端部、結晶の中央部、又は結晶のテール端部でなされるかによって、変化する。
本発明の目的は、シリコン単結晶引き上げ中のシリコン融液中に酸素を均一に融解させることのできるシリコン単結晶の引上げ装置における石英ルツボを提供することにある。
その特徴ある構成は、図6〜図8に示すように、石英ルツボの内底部にルツボ回転中心Aを中心としかつ互いに所定の間隔をあけてそれぞれリング状の一対の凸条13b,13cが形成され、一対の凸条13b,13cの間にルツボ回転中心Aを中心とするリング状の溝13dである凹みが形成され、凹み13dが凹み開口部Bが凹み内部Cより小さくなるように形成されたところにある。
この請求項1に記載された石英ルツボ13では、凹み13dに澱んだシリコン融液12は特に加熱されて多くの酸素が溶け出すため、その酸素濃度は飽和状態となる。一方、図3及び図8に示すように、ルツボ13に貯留されたシリコン融液12にはテイラープラウドマン(Taylor-Proudman)循環流Pが発生し、凹み13dに澱むことにより酸素濃度が飽和状態になった凹み13d内部のシリコン融液12はこの循環流Pにより上昇してシリコン単結晶24に取り込まれる。即ち、シリコン単結晶24の直胴部を形成する時に、酸素濃度の比較的高いシリコン融液12が凹み13dから循環流Pにより上昇してその単結晶24に取り込まれ、酸素濃度の低下を抑制する効果が得られる。
この請求項2に記載された石英ルツボでは、酸素濃度が飽和状態となる凹み13d内部のシリコン融液12を循環流Pに乗せてシリコン単結晶24に有効に取り込ませることができ、酸素濃度の低下を更に有効に抑制することができる。
図4に示すように、シリコン単結晶引上げ装置10のチャンバ11内には、シリコン融液12を貯える石英ルツボ13が設けられ、この石英ルツボ13はグラファイトサセプタ14により外周面及び外底面を包囲されて支持される。サセプタ14は支軸16の上端に固定され、この支軸16の下部はルツボ駆動手段17に接続される。ルツボ駆動手段17は図示しないが石英ルツボ13を回転させる第1回転用モータと、石英ルツボ13を昇降させる昇降用モータとを有し、これらのモータにより石英ルツボ13が所定の方向に回転し、かつ上下方向に移動できるようになっている。サセプタ14の外周面はヒータ18により包囲され、このヒータ18は保温筒19により包囲される。ヒータ18は石英ルツボ13に充填された高純度の多結晶シリコン原料を加熱融解してシリコン融液12にする。
先ず高純度の多結晶シリコン原料を石英ルツボ13に充填し、ヒータ18でシリコンの融点以上に加熱融解してシリコン融液12にする。次いで石英ルツボ13に貯えられたシリコン融液12に種結晶26を浸し、種結晶26そのものを融解した後にルツボ駆動手段17によりそのルツボ13を回転させ、その状態でワイヤケーブル23を回転させながら引上げることにより円柱状のシリコン単結晶24を育成する。このとき石英ルツボ13はワイヤケーブル23の回転と逆の回転をさせる。
この実施の形態の特徴ある構成は、図6に示すように、内底部にルツボ回転中心Aを中心としかつ互いに所定の間隔を開けてそれぞれリング状の一対の凸条13b、13cが形成されたところにある。そして、一対の凸条13b,13cの間に形成されたリング状の溝が、シリコン融液12が澱む凹み13dを形成する。そしてこの凹み13dは、図7及び図8に示すように、凹み開口部Bが凹み内部Cより小さくなるように形成され、引き上げられるシリコン単結晶をルツボ内底部に投影したときにその単結晶の直径Dに相当する径の範囲内で内底部に形成される。
12 シリコン融液
13 石英ルツボ
13a 溝(凹み)
13b,13c 凸条
13d 溝(凹み)
14 サセプタ
24 シリコン単結晶
A ルツボ回転中心
B 凹み開口部
C 凹み内部
D シリコン単結晶の直径
Claims (2)
- チャンバ(11)内にグラファイトサセプタ(14)により支持されて設けられシリコン単結晶(24)を引上げるためのシリコン融液(12)が貯留される石英ルツボ(13)において、
前記石英ルツボの内底部にルツボ回転中心(A)を中心としかつ互いに所定の間隔をあけてそれぞれリング状の一対の凸条(13b,13c)が形成され、前記一対の凸条(13b,13c)の間にルツボ回転中心(A)を中心とするリング状の溝(13d)である凹みが形成され、
前記凹み(13d)が凹み開口部(B)が凹み内部(C)より小さくなるように形成されたことを特徴とする石英ルツボ。 - 凹み(13d)が引き上げられるシリコン単結晶(24)をルツボ内底部に投影したときにその単結晶の直径(D)に相当する径の範囲内で内底部に形成された請求項1記載の石英ルツボ。
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