KR100835292B1 - 실리콘 단결정 제조용 도가니 및 이를 포함하는 실리콘단결정 제조장치 - Google Patents
실리콘 단결정 제조용 도가니 및 이를 포함하는 실리콘단결정 제조장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
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- 쵸크랄스키 법에 의해 실리콘 단결정을 제조하기 위하여 실리콘 융액을 담는 실리콘 단결정 제조용 도가니에 있어서,상기 실리콘 융액이 담기는 수용공간을 형성하는 몸체부; 및상기 수용공간 내에 상기 실리콘 융액이 담겨서 형성하는 하나 이상의 표면 높이에 대응하여, 상기 몸체부의 내면에 상기 실리콘 융액의 결정화제로 코팅된 코팅부;를 포함하여 구성되고, 상기 코팅부는,초기에 상기 실리콘 융액이 담겨서 형성하는 표면 높이에 대응하여 코팅된 제1코팅파트; 및초기에 상기 실리콘 융액에 의해 단결정이 성장한 후 남은 잔여 실리콘 융액이 형성하는 표면 높이에 대응하여 코팅된 제2코팅파트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조용 도가니.
- 제1항에 있어서,상기 코팅부는 상기 몸체부의 내면에서 상기 실리콘 융액이 형성하는 표면 높이가 변화될 수 있는 범위를 커버하도록 일정 길이만큼 코팅된 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조용 도가니.
- 제1항에 있어서,상기 몸체부는 석영을 포함하는 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조용 도가니.
- 삭제
- 제1항에 있어서,상기 결정화제는,알루미늄(Al), 바륨(Ba), 티타늄(Ti) 및 스트론튬(Sr) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조용 도가니.
- 쵸크랄스키 법에 의해 실리콘 단결정을 제조하는 장치에 있어서,챔버;상기 챔버의 내부에 설치되고 실리콘 융액을 담는 도가니; 및상기 도가니를 가열하는 히터를 포함하며;상기 도가니는 상기 실리콘 융액이 담기는 수용공간을 형성하는 몸체부 및 상기 수용공간 내에 상기 실리콘 융액이 담겨서 형성하는 하나 이상의 표면 높이에 대응하여 상기 몸체부의 내면에 상기 실리콘 융액의 결정화제로 코팅된 코팅부를 가지고, 상기 코팅부는,초기에 상기 실리콘 융액이 담겨서 형성하는 표면 높이에 대응하여 코팅된 제1코팅파트; 및초기에 상기 실리콘 융액에 의해 단결정이 성장한 후 남은 잔여 실리콘 융액이 형성하는 표면 높이에 대응하여 코팅된 제2코팅파트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조장치.
- 제6항에 있어서,상기 코팅부는 상기 몸체부의 내면에서 상기 실리콘 융액이 형성하는 표면 높이가 변화될 수 있는 범위를 커버하도록 일정 길이만큼 코팅된 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조장치.
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2006
- 2006-12-19 KR KR1020060130371A patent/KR100835292B1/ko active IP Right Grant
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