JP4436646B2 - マイクロ空間配線基板及びその製造方法 - Google Patents
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Description
また、溝に液体や気体などを流通させる場合には、溝の壁面が流通を妨げる要因となるが、溝の断面を略半円とすることで、溝の断面積に対する壁面の比率を小さくすることができるため、流体抵抗を小さくすることができる。
の熱可塑性樹脂が用いられる。とくに、分光学的測定における検出器として用いる場合には、透明性が重要となるので、透明な樹脂基板が得られるような加工条件を選択したり、透明度の高い樹脂基板を選択することが好ましい。
厚み100μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム13の表面にアクリル系樹脂からなる接着剤15を3μm塗布し、厚さ12μm、表面粗さ0.8μmの銅箔3を接着剤15に接着し、転写フィルムAとした。この転写フィルムAに対して配線形成用マスク、DFR(ドライフィルムレジスト)を用いてフォト工程、エッチング工程を行い配線付き転写フィルムBとした。このエッチング工程の条件を変化させ、導体配線層3の溝基板1b側の主面の幅W1と、導体配線層3の配線基板1a側の主面の幅W2の値が表の値となるようにした。なお、この配線付き転写フィルムBを用いて配線導体3を形成する方法を転写法という。
まず、凹凸基板21であるガラス基板21に従来のリソグラフィー、およびエッチング技術を用いて凹凸構造を作製し、平坦な厚み500μmのPMMAからなる溝基板1bに、ガラス基板21の凹凸構造を有する側の面を当接させ、ホットプレスを用い160℃、3MPa、5分間の条件で溝基板1bにガラス基板21を押し付けて処理することによりガラス基板上の凹凸をPMMAからなる溝基板1bに転写し、表に示す幅W3の溝5を形成した。なお、溝5の断面状は矩形とし、溝5の深さは150μmとして統一して試験を行なった。
(マイクロ配線基板の作製)
次に、上記の方法で予め作製しておいた回路基板19と、溝5を形成した溝基板1bとを、溝基板1bの溝5と回路基板19の導体配線層3aとが重なるように位置合わせし、2枚の熱板に挟み、表に示す密着温度で、3MPa、5分間ホットプレス処理することにより、溝基板1bと導体配線層3を密着させた。
次に、配線基板1aに対して炭酸ガスレーザを用いて穴径100μmの貫通孔7を形成した。
導体配線層3aの溝基板1b側の主面の幅をW1とし、導体配線層3aの配線基板1b側の主面の幅をW2としたときの、W2/W1と導体配線層3aのピール強度との関係を表1に示す。
1b・・・溝基板
3・・・導体配線層、金属箔
3a・・・導体配線層、第一の導体配線層、金属箔
3b・・・導体配線層、第二の導体配線層、金属箔
5・・・溝
7・・・貫通孔
9・・・ビア
11・・・マイクロ空間配線基板
13・・・フィルム、樹脂フィルム、金属板
15・・・接着層
17・・・レジスト
19・・・回路基板
21・・・凹凸基板、ガラス基板
A・・・転写フィルム
B・・・配線付き転写フィルム
W1・・・導体配線層の溝基板側の主面の幅
W2・・・導体配線層の他の主面の幅
W3・・・溝の幅
Claims (8)
- 熱可塑性樹脂からなる樹脂基板の少なくとも一方の主面に、銅をめっき成長させた銅箔からなる導体配線層が埋設された配線基板と、熱可塑性樹脂からなる樹脂基板の少なくとも一方の主面に幅W3の溝を有する溝基板とを具備し、前記配線基板の前記導体配線層が埋設された主面と、前記溝基板の前記溝が形成された主面とを、前記導体配線層が前記溝基板の前記溝の位置に合うように当接させ、前記配線基板と前記溝基板とを一体化させてなり、前記導体配線層の前記溝基板側の主面の幅W1が前記溝基板と反対側の主面の幅W2よりも大きく、該幅W2の前記幅W1に対する比率W2/W1が0.7〜0.9であるとともに、前記溝基板の前記溝の幅W3が、前記導体配線層の前記幅W1よりも小さく、かつ前記導体配線層のピール強度が1kN/m以上であることを特徴とするマイクロ空間配線基板。
- 前記導体配線層が、金、銀、銅およびアルミニウムのうちの少なくとも1種を含む低抵抗金属からなることを特徴とする請求項1に記載のマイクロ空間配線基板。
- 前記溝の断面が、略半円であることを特徴とする請求項1または2に記載のマイクロ空間配線基板。
- 前記溝の断面が、略矩形であることを特徴とする請求項1または2に記載のマイクロ空間配線基板。
- 前記配線基板に用いられた熱可塑性樹脂のガラス転移点が、前記溝基板に用いられた熱可塑性樹脂のガラス転移点よりも低いことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のマイクロ空間配線基板。
- 前記配線基板は、一方の主面に設けられた第一の導体配線層と、他方の主面に設けられた第二の導体配線層と、前記配線基板を貫通して設けられ、前記第一の導体配線層と前記第二の導体配線層とを電気的に接続するビアとを具備することを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれかに記載のマイクロ空間配線基板。
- 銅をめっき成長させた銅箔からなり略台形の断面を有する金属層が接着剤層を介してフィルムの表面に形成された金属層付きフィルムの前記金属層を導体配線層として用い、熱可塑性樹脂からなる配線基板の主面に、前記導体配線層の幅が狭い側の主面を当接させ、前記導体配線層を前記配線基板の主面に埋設させた後、前記フィルムおよび前記接着剤層を除去する工程と、熱可塑性樹脂からなる樹脂基板の主面に、リソグラフィーおよびエッチングにより凹凸が施された凹凸基板を高温で押し付けて、幅W3の溝を有する溝基板を形成する工程と、前記配線基板の前記導体配線層が形成された配線側主面と、前記溝基板の前記溝が形成された溝側主面とを、前記導体配線層が前記溝基板の前記溝の位置に合うように当接させ、前記配線基板と前記溝基板とを一体化する工程とを具備するとともに、前記導体配線層における幅が狭い側の主面の幅W2の他方の主面の幅W1に対する比率W2/W1を0.7〜0.9とし、前記溝基板の前記溝の幅W3を、前記導体配線層の前記幅W1よりも小さくすることを特徴とするマイクロ空間配線基板の製造方法。
- 前記導体配線層を前記配線基板に加熱しながら埋設することを特徴とする請求項7に記載のマイクロ空間配線基板の製造方法。
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