JP4423111B2 - 撮像素子および撮像システム - Google Patents

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Description

本発明は撮像素子および撮像システムに係わり、特に、行列状に光電変換素子等のセンシング素子が配列され、該センシング素子の列ごとにAD変換器が設けられた撮像素子および撮像システムに関する。
今日のイメージセンサにおいては、CMOSロジックプロセスとイメージセンサプロセスの融合により、センサチップ上に複雑なアナログ回路やデジタル回路、および信号処理部などを製作することが可能である。その応用の有力なものとして、2次元状に画素が配列されたイメージセンサチップ上にアナログ・デジタル変換器(A/D変換器)を搭載したものが存在している。
イメージセンサにA/D変換器を搭載する場合、特許文献1や非特許文献1に代表されるような構成のものがある。
図7に特許文献1に示されるランプ型AD変換器を有するイメージセンサの一例を示す。ランプ型AD変換器は、各列に電圧比較器10と、スイッチ11とデジタルデータ蓄積部12からなるデジタルメモリを有しており、なおかつデジタルメモリは共通のカウンタ5に接続されている。各AD変換器内の電圧比較器10の一端には画素からの信号がアナログ信号として転送スイッチ3を介して入力され、もう一端にはDA変換器9から三角波を印加し、各列の比較器が反転した時のカウンタの値を各列のデジタルメモリに保持することでAD変換を行う。
また、前述の非特許文献1の例は、図8のように、ランプ型AD変換器にグレイコードを応用した例である。本チップにおいては、アナログランプ電圧(三角波)を外部で生成し、端子501から入力し画素ごとの出力とアナログランプ電圧の比較結果に基づき内部のグレイコードカウンタ502の出力する値を画素ごとの8ビットメモリで保持する。
内部のカウンタをグレイコードカウンタに変更したことで、サンプリング誤りによるデータ誤りを、最小であるハミング距離1にとどめることができる。また、グレイコードカウンタは常に全ビット中一つのビットしか反転しないため、消費電力が低減でき、なおかつ貫通電流の低減もできるために電源変動やグラウンドバウンスなどを減らすことができる。
特開平05−048460号公報 「A 10,000 Frames/s 0.18 μm CMOS Digital Pixel Sensor with Pixel-Level Memory」スタンフォード大学,ISSCC2001
特許文献1に代表されるような、デジタル・アナログ変換回路をランプ電圧発生回路として内蔵する撮像素子においては、DACを駆動するためにバイナリコードが要求され、グレイコードカウンタをそのまま利用することができなかった。
また、前述した非特許文献1においては、外部にグレイコードをそのまま出力するため、画像処理システム側でグレイコードをバイナリコードに変換する必要がありそれがソフトウェア的な、もしくはハードウェア的なオーバーヘッドとなっていた。また、ランプ電圧を内部で生成させることができず、外部で別に生成して入力する必要があり、PCB基板上での引き回しによるノイズ混入によるAD変換誤差の影響も無視できない。
そこで、本発明は、電圧比較器と前記比較器からのデジタルメモリからなるA/D変換器と、行列状に配列された撮像素子を有するイメージセンサなどの撮像素子において、チップ内にバイナリコードとグレイコードの両方を共存させ、センサのS/NやAD変換精度の向上を達成しながら、システムのオーバーヘッドの解消や部品点数の削減が可能な撮像素子を提供することを目的とする。
本発明の撮像素子は、行列状に配列された複数のセンシング素子と、デジタルカウンタと、前記複数のセンシング素子のうちの一列の複数のセンシング素子からの信号を、前記デジタルカウンタの値としてグレイコードで記憶するデジタルメモリと、前記デジタルメモリに記憶した値をグレイコードからバイナリコードに変換する第1のグレイコード・バイナリコード変換器と、を有し、前記デジタルメモリは前記第1のグレイコード・バイナリコード変換器を介して出力回路に接続され、前記出力回路は、前記デジタルメモリおよび前記第1のグレイコード・バイナリコード変換器とは異なる電源系統により駆動されることを特徴とする。
このような撮像素子によれば、チップ内部はグレイコードにより低ノイズ、低電力に動作し、チップ外部とのやりとりにはバイナリコードを用いることによるシステム構築の容易性、およびソフトウェア・ハードウェア上のオーバーヘッドを軽減することができる。
本発明の撮像素子において、前記デジタルメモリはグレイコードからバイナリコードへの第1のグレイコード・バイナリコード変換器を介して出力回路に接続されることが好ましい。このような撮像素子によれば、内部で用いているグレイコードで保持される変換結果をチップ内にバイナリコードへ変換し、外部からはコードの違いを全く気にせずセンサを使用することができる。
本発明の撮像素子においては、前記デジタルカウンタはバイナリカウンタであって、前記バイナリカウンタと前記デジタルメモリはバイナリコードからグレイコードへのバイナリコード・グレイコード変換器を介して接続されることが好ましい。このような撮像素子によれば、内部でデジタル・アナログ変換回路とバイナリカウンタを同期させて動作させたいときに、両者を直接接続することが可能であり、チップ面積の削減につながる。
本発明の撮像素子においては、前記デジタルカウンタはグレイコードカウンタであって、
前記グレイコードカウンタの出力をグレイコードからバイナリコードへ変換し、前記DA変換器へ出力する第2のグレイコード・バイナリコード変換器を有することが好ましい。このような撮像素子によれば、内部にグレイコードカウンタしか持たない場合においても、デジタル・アナログ変換回路へバイナリコードを送ることができ、両者の同期を図ることができる。
本発明の撮像素子においては、前記出力回路は、前記デジタルメモリおよび前記変換器とは異なる電源系統により駆動されることが好ましい。このような撮像素子によれば、バイナリコードで駆動される出力バッファの電源変動の影響がチップ内の他の素子に及ぼす影響を軽減できる。
上述した本発明の撮像素子は、撮像素子と、撮像素子へ光を結像する光学系と、撮像素子からの出力信号を処理する信号処理回路とを有する、スチルカメラ、ビデオカメラ等の撮像システム用の撮像素子として用いることができる。
本発明に係る撮像素子によれば、AD変換器を内蔵するイメージセンサなどの撮像素子において、デジタル系の駆動によるノイズや消費電力を低減しながらインターフェース簡素化が可能となる。またインターフェースの簡素化により内部にDACを内蔵することも可能となり、外部部品点数の削減、およびAD変換器の精度向上につながる。
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。
本発明の第一の実施形態について図1を用いて説明する。
図1において、101はセンシング素子としての画素であり、それらが行列状に並べられて画素部(画素エリア)102を構成している。これらセンシング素子としての画素101はたとえばホトダイオードで構成されるCCD,CMOSセンサ、近赤外センサ、もしくは遠赤外線を熱に変えてそれをさらに電気信号に変換するセンサなどのことである。もちろんこれらの例には限定されず、センシング素子が例えば圧力センサ等であってもよい。
図1において、103は撮像装置に一つ設けられたグレイコードカウンタである。グレイコードカウンタ103の出力は共通信号線104を介して、比較器106とデジタルメモリ107で構成されるAD変換器105へ接続されている。AD変換器105は列ごとに一つずつ設けられており、ここでは3列の例を示したが、列数は設計項目でありこの例には限定されない。また列一つあたりにAD変換器を設ける場合、たとえば二列以上に一つのAD変換器、もしくは一列に二つ以上のAD変換器を設ける場合もある。
108はデジタル・アナログ変換器(DAC)であり、グレイコード・バイナリ変換器109を介してグレイコードカウンタ103と接続され、同期して動作している。DAC108からはAD変換時に三角波が出力され、比較器106にて画素からのデータ110と比較される。デジタルメモリ107は選択的に水平デジタル出力線111に接続され、水平デジタル出力線111はグレイコード・バイナリコード変換器112を介して出力バッファ113に接続される。以上説明した各部材は半導体チップ上に形成され、出力バッファ113を介してセンサチップ外に出力される。
各メモリは、不図示のスイッチを介して水平デジタル出力線111と接続されており、そのスイッチを一度に一つONすることで選択的出力を行う。スイッチパルスは、アドレスをデコードする方法、もしくはデジタルシフトレジスタを用いて一列ずつ順次ONさせていく方法などがある。このようにして、デジタルメモリから水平デジタル信号線111への選択的出力が行われる。
なお、本実施形態では列あたりにAD変換器を一つ設けたが、たとえば画素一つあたりにAD変換器を設けても良い。
画素部102は行単位で走査され、それらの出力がそれぞれの比較器106の片側に入力される。その後DAC108からカウンタ103に同期した三角波が出力され、同時にカウンタ103の値はすべてのデジタルメモリ107に分配される。比較器106は画素の出力の大小に応じた時刻に反転し、反転した信号をトリガとしてデジタルメモリ107にその時刻を保持することでAD変換を行う。AD変換結果は水平デジタル出力線111を介してグレイコード・バイナリコード変換器112に渡され、そこでCPUなど他のデジタル機器が扱うことができるバイナリコードに変換され、出力バッファ113から外部に出力される。カウンタは三角波が印加スタートした時刻からカウントを開始し、比較器が反転したときのカウント値がメモリに保持される。DACを内蔵すると言うことはイメージセンサにおいては特に重要であり、特に好適に本実施形態の構成が用いられる。イメージセンサは微小なアナログ電圧を扱うために低ノイズ性が特に重要であり、画素からの信号を低ノイズでA/D変換することが要求される。
また、今後三角波の周期を早め、AD変換の周期を早めるためにはさらなる低ノイズ化が求められ、DACを内蔵し、DACの出力端子を最短距離でAD変換器に接続することが求められる。
グレイコードからバイナリコードへの変換回路を内蔵し、DACを内蔵したことで、イメージセンサにおいて、グレイコードの長所である、低消費電力、低ノイズ性などの効果を得ながら、DACの出力から比較器の入力部への外乱を最小におさえて正確なAD変換を行うことが可能となる。
また、内部にDACを内蔵することが可能となり、外部に必要とされるDAC周辺の部品点数削減の効果が得られる。
また、グレイコードからバイナリコードへ変換してからチップ外にデータを渡すことで、外部のチップは本半導体装置の特殊性を全く意識することなく画像信号を得ることができ、ソフトウェアでのコード変換や外部ハードウェアによるコード変換などのオーバーヘッドを軽減することが可能となる。
センシング素子の画素が光電変換画素である場合の構成例を図5に示す。図5に示す画素はCMOSセンサの一画素を示している。
図5において、PDはホトダイオード、Q1はホトダイオードに蓄積された電荷をフローティングディフュージョン(FD)領域(浮遊拡散領域)に転送する転送用MOSトランジスタ、Q2はFD領域をリセットするリセット用MOSトランジスタ、Q3は増幅用トランジスタ、Q4は選択用MOSトランジスタである。
信号φRSTをハイレベルとしてリセット用MOSトランジスタQ2をオンしてFD領域をリセットし、ノイズ信号Nとして選択トランジスタQ4を介して出力する。そして、ホトダイオードPDに蓄積された電荷を信号φTXをハイレベルとして転送用MOSトランジスタQ1を介してにFD領域に読み出す。この浮遊拡散領域FDの容量CFDにより信号電荷Qsig をQsig /CFDに電圧変換し、浮遊拡散領域FDとゲートが接続される増幅用MOSトランジスタにより信号が増幅されて、選択用MOSトランジスタから信号Sを読み出す。信号SはCDS回路によりノイズ信号Nが減算処理される。このような画素が行列状に配されて図1の画素部102が構成される。行方向に配された一画素行の各画素は、転送用トランジスタQ1のゲートが共通の転送線に接続され、リセット用トランジスタQ2のゲートが共通のリセット線に接続され、選択用トランジスタQ4のゲートが共通の選択線に接続され、不図示の垂直走査回路により、行ごとに順次、φRST,φTX,φTが各行ごとに設けられたリセット線、転送線、選択線に印加されて、行ごとに信号転送動作、リセット動作、画素選択動作(信号出力動作)が制御される。なお、1つの増幅用トランジスタQ3のゲートに複数の転送トランジスタを介して複数のホトダイオードを接続し、増幅用トランジスタ、リセット用トランジスタを共用するような構成としてもよい。
本発明の第2の実施形態を図2を用いて説明する。本実施形態は前述の第一の実施形態と同等の効果を異なる構成で得るための例であり、異なる点は、バイナリカウンタ201がDAC108に直接接続され、共通信号線104へはバイナリ変換器202を介してデータが伝達されている点である。
本発明の第3の実施形態を図3を用いて説明する。前述の実施形態1,2と異なる点は、本実施形態ではDACを必要としないADC(アナログ・デジタル変換器)401を用いている点である。DACを必要としないADCの例としては、たとえばMulti-Slope integrating AD Converterなどが挙げられる。ADC401はトリガを上位ビット保持用デジタルメモリ402と下位ビット保持用デジタルメモリ403に伝達し、それら二つのメモリはそれぞれ上位mビットのグレイコードカウンタ404と下位nビットのグレイコードカウンタ405からの計数信号を保持する。メモリ402、403はそれぞれ変換器(1)406および変換器(2)407、バイナリコード上位ビット出力バッファおよびバイナリコード下位ビット出力バッファを介してバイナリデータとして外部に出力される。
画素からの信号はADC401に渡されて、第一ステップで上位mビットの変換を荒く行いそのときのカウンタの値を上位用デジタルメモリ402に取り込み、第二のステップで下位nビットの変換を精細に行いそのときの値を下位用デジタルメモリ403に取り込む。バイナリデータであれば上位ビットと下位ビットを並べればそのままデコード可能であるが、グレイコードは二つをそのまま並べても意味をなさないので、上位ビットと下位ビットをそれぞれ変換回路406と407バイナリデータに変換してから出力する。
上に説明した、上位ビットと下位ビットを分けて変換を行うことで、同一の変換速度を仮定した場合、高精度化を図ることが可能となる。その際に、内部で伝達されるコードをグレイコードとし、低ノイズ化をあわせて図ることで上記の手法の効果を最大限発揮させることができるようになる。
そのような場合、グレイコードからバイナリコードに変換する回路406と407を内蔵しない場合、外部においては上位のビットと下位のビット、二つについてコード変換を行わなくてはならず、上位のビットと下位のビットがどのように分割されているかを常に考慮しながらデコードを行わなくてはならない。また、その分割数の情報がなければデコードができないと言う状態も発生する。さらにたとえばソフトウェアで処理している場合は処理ステップが二倍になり、処理速度が低下する。
本実施形態のように、グレイコードからバイナリコードに変換する変換回路を内蔵することにより、上位ビットと下位ビットを分けて変換を行うAD変換器内蔵型イメージセンサにおいても、撮像装置の外部からは内部のビット分割などを全く意識せずに普通のセンサとして使用することができ、また余分なハードウェア/ソフトウェアを外部に必要としないので処理速度や部品点数の面で有利である。
また、本実施形態では上位mビットと下位nビットと2分割したが、3分割以上の分割AD変換においても同じ効果を得ることができる。その際はカウンタ、メモリ、変換器などのセットを分割数に応じた数だけ用意すればよい。これは設計項目である。
また、本実施形態では上位ビットも下位ビットも両者ともグレイコードであつかったが、下位ビットもしくは上位ビットのグレイコード・バイナリコード変換回路を省略し、すべてをバイナリコードで扱うことも可能である。そうすることで、効果はある程度減少するが、付加回路の占める面積を極限まで抑えることをできる。
本発明の第4の実施形態を図4を用いて説明する。第3の実施形態と異なる点は、上位ビットと下位ビットのビット数がnと、両者共通であることで、それによって内部の回路を簡略化していることである。501が上位nビットと下位nビットで共通に用いられるグレイコードカウンタで、それらの出力は上位用デジタルメモリ402と下位用デジタルメモリ403に分配されている。それらのデジタルメモリはスイッチ502を介してグレイコード・バイナリ変換器503に接続され、その変換結果はそれぞれnビットずつのラッチ504と505に接続され、バイナリコード上位ビット出力バッファおよびバイナリコード下位ビット出力バッファを介してバイナリデータとして外部に出力される。
まずは上位ビットを変換してから下位ビットを変換する点は実施形態3と同様だが、本実施形態ではビット長が同じなので同一のカウンタを用いている。また、上位ビットの変換結果と下位ビットの変換結果は別時刻に現れるので、スイッチで切り替えることで単一のグレイコード変換器を用いることができる。変換結果はそれぞれ上位ビット用、下位ビット用に分けられたラッチに渡されて、タイミングをそろえて外部に出力される。
本実施形態の効果は実施形態3で得られる効果に加えてカウンタと変換器の内部の部品点数を減らすことができ、チップ面積の削減が可能となる。
また部品点数の削減を行いたい場合、デジタルメモリ側では上位ビット、下位ビットの区別を行わず、まず上位ビットを変換した後それをバイナリ信号に変換して外部へ出力し、その後下位ビットを変換しそれをバイナリ信号に変換して外部に出力することもできる。
図6に基づいて、本発明に係わる撮像素子をスチルカメラに適用した場合の一実施形態について詳述する。
図6は、本発明に係わる撮像素子を「スチルビデオカメラ」に適用した場合を示すブロック図である。
図6において、2101はレンズのプロテクトとメインスイッチを兼ねるバリア、2102は被写体の光学像を撮像素子2104に結像させるレンズ、2103はレンズ2102を通った光量を可変するための絞り、2104はレンズ2102で結像された被写体を画像信号として取り込むための撮像素子、2107は出力された画像データに各種の補正を行ったりデータを圧縮する信号処理部、2108は撮像素子2104、撮像信号処理回路2105、信号処理部2107に、各種タイミング信号を出力するタイミング発生部、2109は各種演算とスチルビデオカメラ全体を制御する全体制御・演算部、2110は画像データを一時的に記憶する為のメモリ部、2111は記録媒体に記録または読み出しを行うためのインターフェース部、2112は画像データの記録または読み出しを行う為の半導体メモリ等の着脱可能な記録媒体、2113は外部コンピュータ等と通信する為のインターフェース部である。
次に、前述の構成における撮影時のスチルビデオカメラの動作について説明する。
バリア2101がオープンされるとメイン電源がオンされ、次にコントロール系の電源がオンし、更に撮像系回路の電源がオンされる。
それから、露光量を制御する為に、全体制御・演算部2109は絞り2103を開放にし、撮像素子2104から出力された信号は信号処理部2107に入力される。そのデータを基に露出の演算を全体制御・演算部2109で行う。
この測光を行った結果により明るさを判断し、その結果に応じて全体制御・演算部2109は絞りを制御する。
次に、撮像素子2104から出力された信号をもとに、高周波成分を取り出し被写体までの距離の演算を全体制御・演算部2109で行う。その後、レンズを駆動して合焦か否かを判断し、合焦していないと判断した時は、再びレンズを駆動し測距を行う。そして、合焦が確認された後に本露光が始まる。
露光が終了すると、撮像素子2104から出力された画像信号は、信号処理部2107を通り全体制御・演算部2109によりメモリ部2110に書き込まれる。
その後、メモリ部10に蓄積されたデータは、全体制御・演算部2109の制御により記録媒体制御I/F部2111を通り半導体メモリ等の着脱可能な記録媒体2112に記録される。
また、外部I/F部2113を通り直接コンピュータ等に入力して画像の加工を行ってもよい。
本発明は、該センシング素子の列ごとにAD変換器が設けられた撮像素子、特にセンシング素子として光電変換画素を用いる撮像素子に用いられる。本発明に係わる撮像素子はスチルカメラ、ビデオカメラ等の撮像システム用の撮像素子として用いることができる。
本発明の第一の実施形態を説明する図である。 本発明の第二の実施形態を説明する図である。 本発明の第三の実施形態を説明する図である。 本発明の第四の実施形態を説明する図である。 CMOSセンサの一画素を示す図である。 本発明に係わる撮像素子を「スチルビデオカメラ」に適用した場合を示すブロック図である。 従来の撮像素子の例を示す図である。 従来の撮像素子の例を示す図である。
符号の説明
101 画素
102 画素部(画素エリア)
103 グレイコードカウンタ
104 共通信号線
105 AD変換器
106 比較器
107 デジタルメモリ
108 デジタル・アナログ変換器(DAC)
109 グレイコード・バイナリ変換器
110 画素からのデータ
111 水平デジタル出力線111
112 グレイコード・バイナリコード変換器
113 出力バッファ
201 バイナリカウンタ
202 バイナリ・グレイコード変換器
401 アナログ・デジタル変換器
402 上位ビット保持用デジタルメモリ
403 下位ビット保持用デジタルメモリ
404 上位mビットのグレイコードカウンタ
405 下位nビットのグレイコードカウンタ
406,407 変換器
501 グレイコードカウンタ
502 スイッチ
503 グレイコード・バイナリ変換器
504,505 ラッチ

Claims (6)

  1. 行列状に配列された複数のセンシング素子と、
    デジタルカウンタと、
    前記複数のセンシング素子のうちの一列の複数のセンシング素子からの信号を、前記デジタルカウンタの値としてグレイコードで記憶するデジタルメモリと、
    前記デジタルメモリに記憶した値をグレイコードからバイナリコードに変換する第1のグレイコード・バイナリコード変換器と、を有し、
    前記デジタルメモリは前記第1のグレイコード・バイナリコード変換器を介して出力回路に接続され、
    前記出力回路は、前記デジタルメモリおよび前記第1のグレイコード・バイナリコード変換器とは異なる電源系統により駆動されることを特徴とする撮像素子。
  2. 請求項1に記載の撮像素子において、
    前記デジタルカウンタの値がバイナリコードで入力されるDA変換器と、
    前記DA変換器の出力と、前記一列の複数のセンシング素子から順次出力される信号とを比較する比較器とを有し、
    前記デジタルメモリは、前記比較器による比較結果をトリガとして、前記デジタルカウンタの値をグレイコードで記憶してなることを特徴とする撮像素子。
  3. 請求項1に記載の撮像素子において、
    前記一列の複数のセンシング素子から順次出力されるアナログ信号と、前記デジタルカウンタの値をバイナリコードで表現した場合の該バイナリコードに対応するアナログ信号とを比較する比較器を含むAD変換器を有し、
    前記デジタルメモリは、前記AD変換器の比較による比較結果をトリガとして、前記デジタルカウンタの値をグレイコードで記憶してなることを特徴とする撮像素子。
  4. 前記デジタルカウンタはバイナリカウンタであって、前記バイナリカウンタは、バイナリコードからグレイコードへ変換するバイナリコード・グレイコード変換器を介して前記デジタルメモリと接続されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の撮像素子。
  5. 前記デジタルカウンタはグレイコードカウンタであって、前記グレイコードカウンタの出力をグレイコードからバイナリコードへ変換し、前記DA変換器へ出力する第2のグレイコード・バイナリコード変換器を有することを特徴とする請求項に記載の撮像素子。
  6. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の撮像素子と、該撮像素子へ光を結像する光学系と、該撮像素子からの出力信号を処理する信号処理回路とを有することを特徴とする撮像システム。
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