JP4423008B2 - 多層配線基板の製造方法 - Google Patents
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3 導体パターン
5 貫通孔
7 ビア導体
Claims (1)
- ガラス粉末を含有するセラミックグリーンシートの表面に、銅、銀、金の少なくとも1種である金属粉末を含む導体ペーストからなる表面粗さ(Ra)が1μm以上の導体パターンを形成する工程と、該導体パターンの上方側からレーザ光を照射し、前記導体パターンおよび前記セラミックグリーンシートに貫通孔を形成する工程と、前記貫通孔に導体を充填してビア導体とする工程と、前記導体パターンおよび前記ビア導体を形成した前記セラミックグリーンシートを複数積層し焼成する工程とを具備する多層配線基板の製造方法であって、前記金属粉末として、平均粒径d50が10μm以下であり、10%累積粒径をd10、90%累積粒径をd90としたとき、d90/d10<4の関係を満足するものを用いることを特徴とする多層配線基板の製造方法。
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