JP4422325B2 - 化学的機械研磨装置のための局部圧力制御装置を有するキャリヤヘッド - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
関連出願とのクロスレファレンス
本出願は、本発明の譲受人に譲渡された、Zuniga 他による、1996年11月8日に出願された後、放棄された米国特許出願第 08/745,670 号、発明の名称「化学的機械研磨システム用の可撓性膜を有するキャリヤヘッド」、の一部継続出願として、1997年5月21日に出願された、現在係属中の米国特許出願第 08/861,260 号の一部継続出願であり、その全体を引用によって本出願に援用する。
発明の背景
本発明は、一般的に基板の化学的機械研磨に関し、より詳細には化学的機械研磨装置用キャリヤヘッドに関する。
【0002】
集積回路は普通、導体、半導体、又は絶縁体の層を、基板上へ、特にウェーハ上へ順次堆積させることによって形成される。各層を堆積した後、層をエッチングして回路フィーチャを作り出す。一連の層が順次、堆積されてエッチングされるにつれ、基板の外側面即ち最上面、つまり基板の露出面は、次第に非平坦となる。この非平坦面は、集積回路製造工程のフォトリソグラフィック段階において問題を起こす。従って、基板面を定期的に平坦化する必要がある。
【0003】
化学的機械研磨(CMP)は、広く行なわれている平坦化の一つの方法である。この平坦化方法は普通、基板をキャリヤヘッド即ち研磨ヘッド上に取付ける必要がある。基板の露出面を回転研磨パッドに押し付ける。研磨パッドは、「標準」パッドでも固定砥粒パッドでもよい。標準研磨パッドが耐久性のある粗面を備える一方、固定砥粒パッドは、封入媒体中に砥粒を含んでいる。キャリヤヘッドは、基板を研磨パッドに押し付けるよう、基板上へ調整可能な荷重、即ち圧力を与える。研磨パッドの表面へは研磨スラリーが供給されるが、この中には少なくとも一種類の化学反応性薬品と、標準パッドを用いる場合には、砥粒とを含有する。
【0004】
CMPプロセスの有効性は、その研磨レートにより、そしてその結果としての仕上がり(小縮尺の粗さがないこと)と平坦度(大縮尺のトポグラフィがないこと)により測定される。研磨レート、仕上がり、及び平坦度は、パッドとスラリの組合せ、基板とパッドとの間の相対速度、及び基板をパッドに押し付ける力によって定まる。
【0005】
CMPにおいて頻発する問題は、いわゆる「エッジ効果」即ち基板の端部が中心部とは異なる研磨レートで研磨されることである。エッジ効果は普通、基板周囲(例えば、200mmウェーハの最外側、5乃至10mm)を過剰研磨(基板から材料を過剰に除去してしまう)する結果になる。この過剰研磨は、基板の全体的平坦度を下げ、基板の端部は集積回路製造に適さなくなり、工程歩留まりが低下する。
【0006】
上記に鑑み、必要な基板面の所望平坦度と仕上がりを提供する一方、エッジ効果を低下させる、又は最小化するCMPが必要である。
発明の要約
本発明は一局面において、化学的機械研磨装置用キャリヤヘッドに関する。このキャリヤヘッドは、ベースと、ベースへ可動接続された支持構造体と、ベースに接続された保持リングと、支持構造体へ接続されるとともに、その下方に延びた可撓部材とを含む。可撓部材の下面は基板受け面を提供する。また、支持構造体から一つの突起が延びて、基板受け面の外周の内側の位置で、可撓部材の上面に接触するとともに、基板受け面は保持リングの内面の内側にある。
【0007】
本発明の実施は以下を含むことができる。キャリヤヘッドは、支持構造体へ下向きの力を加えるため、ブラダのような加圧機構を備える。保持リングをベースヘ接続して、基板受け凹部を画成してもよい。接触域は、研磨不足になる可能性のある基板の領域と実質的に隣接している。突起は、基板受け面の中心の近傍において、実質的に環状の接触面積、又は実質的に円形の接触面積をもって、可撓部材の上面に接触する。突起は支持部材から取り外し可能であってもよい。支持構造体の下面は、一つ又は複数の環状凹部を含んでもよく、突起は凹部に嵌合する1個又は複数のOリングを備えてもよい。支持構造体の外側端部は下方へ突出するリムを含んでもよく、可撓部材は支持構造体の外側端部の周りに延びてもよく、突起はリムの内側に配置されてもよい。
【0008】
本発明は他の局面において、流体の流れを発生するように、通過する流体が方向付けられるチャンバに流体連通するポートを有する化学的機械研磨装置用のキャリヤヘッドに関する。キャリヤヘッドは、ベースと、ベースへ接続されるとともにその下方に延びてチャンバを画成する可撓部材とを含む。可撓部材の下面は、基板受け面を提供する。流れは、可撓部材の上面に衝突して、増加した圧力の局在領域を形成する。
【0009】
本発明の実施は以下を含むことができる。増加した圧力の局在領域は、基板の、研磨不足になる可能性のある領域に実質的に隣接してもよく、基板受け面の外端部の内側に配置されてもよい。流体は空気でよい。キャリヤヘッドは、貫通する通路を有する支持構造体を備えてもよく、その通路の一端はポンプに流体接続され、通路の他端はポートに流体接続される。
【0010】
本発明は他の局面において、チャンバを画成する、ベースと、支持構造体と、可撓部材とを有するキャリヤヘッドに関する。可撓部材の下側面は基板受け面を提供する。チャンバは、可撓部材の上側面へ第一の力を与えるよう加圧可能である。キャリヤヘッドも、可撓部材の上面の、基板受け面の外側端部の内側にある、局部接触域へ第二の追加の力を与える手段を有する。
【0011】
本発明は他の局面において、基板を研磨する方法に関する。この方法は、基板の第一面を、キャリヤヘッドの可撓部材の基板受け面へ載置すること、可撓部材が、キャリヤヘッドの支持構造体へ接続されるとともにその下方に延びて一つのチャンバを画成すること、基板の第二面を研磨パッドに当接させること、を含む。このチャンバは加圧されて、第一の力を可撓部材の上面へ加え、第二の追加の力を可撓部材の局在接触域内の上面へ加える。
【0012】
本発明の実施は以下を含むことができる。局在接触域は、基板受け面の外側端部の内側に配置されてもよく、基板の、研磨不足になる可能性のある領域へ実質的に隣接してもよい。追加の力は、可撓部材の上側面を、保持リングの内面の内側の領域で支持構造体から延びる突起に接触させるか、又は可撓部材の上側面を流体流に接触させて加えることができる。
【0013】
本発明は他の局面において、化学的機械研磨装置用キャリヤヘッドに関する。このキャリヤヘッドは、ベースと、ベースへ可動自在に接続された支持構造体と、支持構造体へ接続されるとともにその下方に延びた可撓部材とを含む。可撓部材の下面は基板受け面を提供する。環状シールがベースに接続されるとともに可撓部材の上面に突接して、内側チャンバと、内側チャンバの周りの外側チャンバとを画成する。内側チャンバと外側チャンバとは、両者間で実質的に流体を漏らさないシールを形成するために、環状シールを可撓部材へ押し付けるよう圧力を加えることができる。
【0014】
本発明の実施は以下を含むことができる。キャリヤヘッドは、内側チャンバに流体接続された第一ポンプと、外側チャンバに流体接続された第二ポンプとを含んで、両チャンバ内の圧力が独立して調整されるようにしてもよい。環状シールは、可撓部材に接触するベース部と、ベースにクランプされるステム部とを含んでもよい。本発明は下記の利点を含む。エッジ効果が低減され、その結果、基板の平坦度と仕上がりが実質的に均一になる。
【0015】
本発明のその他の利点と特徴は、以下の説明、図面、及び特許請求の範囲から明らかになる。
【0016】
各図における類似符号は、類似の要素を表す。符号にダッシュ(’)は、要素が、変更された機能、作用、又は構造を有することを示す。
好ましい実施の形態の説明
図1に関し、化学的機械研磨(CMP)装置20により、1枚又は複数の基板10が研磨される。類似するCMP装置20は、本発明の譲受人に譲渡され、現在係属中の、 Periov 他により1995年10月27日に出願された、合衆国特許出願番号第 08/549,336 号、発明の名称「化学的機械研磨用連続処理システム」に、見られ、その全開示を引用して本出願に援用する。
【0017】
CMP装置20は、上に取付けられたテーブルトップ23を有する下部マシンベース22と、着脱可能な上側外側カバー(図示せず)とを含む。テーブルトップ23は、一連の研磨ステーション25a、25b、25cと移送ステーション27とを支持する。移送ステーション27は、3ヶ所の研磨ステーション25a、25b、25cと共に略正方形に編成される。移送ステーション27は、ローディング装置(図示せず)から個々の基板10を受取ること、基板を洗浄すること、基板をキャリヤヘッドへローディングすること(下記で説明)、基板をキャリヤヘッドから受取ること、基板を再び洗浄すること、及び最後に、基板をローディング装置へ戻すこと、の複数の機能を持つ。
【0018】
各研磨ステーション25a〜25cは、上に研磨パッド32を載置した回転プラテン30を含む。基板10が直径8インチ(200mm)のディスクである場合、プラテン30と研磨パッド32の直径は約20インチになろう。プラテン30は、プラテン駆動軸(図示せず)によってプラテン駆動モータ(同じく図示せず)に接続される。
【0019】
各研磨ステーション25a〜25cは更に、関連するパッドコンディショナ装置40を含む。各パッドコンディショナ装置40は、独立して回転するコンディショナヘッド44と、連動する洗浄容器46とを保持する回転可能アーム42を有する。このコンディショナ装置は、研磨パッドの回転中、研磨パッドに押し付けられる基板を効果的に研磨するよう、研磨パッドの状態を維持する。
【0020】
反応性薬品(例えば酸化物研磨用消イオン水)と化学反応触媒(例えば酸化物研磨用水酸化ナトリウム)を含むスラリ50を、組合せスラリ/リンスアーム52によって、研磨パッド32の表面へ供給してよい。研磨パッド32が標準パッドである場合、スラリ50は更に砥粒(例えば、酸化物研磨用二酸化珪素)を含んでいてもよい。研磨パッド32全体をカバーし濡らすため、十分なスラリが供給される。スラリ/リンスアーム52は、研磨とコンディショニングの各サイクルの終りに研磨パッド32の高圧リンスを提供する数個のスプレノズル(図示せず)を含む。
【0021】
カルーセル支持プレート66とカバー68とを含む回転可能なマルチヘッドカルーセル60は、下部マシンベース22の上方に配置されている。カルーセル支持プレート66は、センタポスト62によって支持され、その上で、マシンベース22内に配置されたカルーセルモータアセンブリによってカルーセル軸64を中心として回動される。マルチヘッドカルーセル60は、カルーセル軸64の周りに等角度間隔でカルーセル支持プレート66に取付けられた4個のキャリヤヘッドシステム70a、70b、70c、70dを含む。これらキャリヤヘッドシステムのうち3個は、基板を受けて保持し、それらを研磨ステーション25a〜25cの研磨パッドへ押し付けて研磨する。キャリヤヘッドシステムのうちの1個は、移送ステーション27との間で基板を授受する。カルーセルモータは、キャリヤヘッドシステム70a〜70dと、それらに取り付けられた基板とを、カルーセル軸64を中心として、研磨ステーションと移送ステーションとの間で周回させてもよい。
【0022】
各キャリヤヘッドシステム70a〜70dは、研磨ヘッド即ちキャリヤヘッド100を含む。各キャリヤヘッドシステム100は独立して自らの軸を中心として回転し、カルーセル支持プレート66に形成された放射スロット72内で横方向に独立して揺動する。キャリヤ駆動軸74が駆動軸ハウジング78(図3参照)を貫通して延びてキャリヤヘッド回転モータ76をキャリヤヘッド100に接続する(カバー68の4分の1を除去して示す)。各ヘッドには、キャリヤ駆動軸とモータとが各1個ある。
【0023】
図2において、カルーセル60のカバー68は除去されている。カルーセル支持プレート66の頂部は、スロット付キャリヤヘッド支持スライド80を4個支持する。各スライド80は、ラジアルスロット72の一つに整列し、ラジアル揺動モータ87によってスロットに沿って駆動されてもよい。4個のモータ87は、独立して作動可能であって、4個のスライドを、カルーセル支持プレート66のラジアルスロット72に沿い独立して動かす。
【0024】
図3において、駆動モータ76の頂部にあるロータリカップリング90は、3個又はそれ以上の流体ライン92a、92b、92cを3個又はそれ以上の、駆動軸74内にあるチャネル94a、94b、94cへそれぞれ接続している。ポンプ、ベンチュリ、又は圧力調整器などの3つの真空源又は圧力源(以下、単にポンプと称する)93a、93b、93cが流体ライン92a、92b、92cへそれぞれ接続されている。3個の圧力センサ即ちゲージ96a、96b、96cを流体ライン92a、92b、92cへそれぞれ接続してもよい。制御可能な弁98a、98b、98cが、流体ライン92a、92b、92c中にそれぞれ接続されてもよい。ポンプ93a〜93c、圧力ゲージ96a〜96c、及び弁98a〜98cが、汎用ディジタルコンピュータ99へ適宜接続されてもよい。コンピュータ99は、以下詳述するように、キャリヤヘッド100へ空圧パワーを与えるために、ポンプ93a〜93cを作動させる。
【0025】
実際の研磨中、キャリヤヘッドのうちの3個、例えばキャリヤヘッドシステム70a〜70cのキャリヤヘッドは、研磨ステーション25a〜25cのところの上方に位置決めされる。各キャリヤヘッド100は、基板を降下させて研磨パッド32に接触させる。前記のように、スラリ50が、基板の化学的機械研磨のための媒体として作用する。
【0026】
一般的に、キャリヤヘッド100は、基板を所定位置に保持して研磨パッドへ押し付け、基板の背面全体にわたって力を分布させる。キャリヤヘッドは、駆動軸から基板へトルクも伝達する。
【0027】
図4において、キャリヤヘッド100は、ハウジング102、ベース104、ジンバル機構106、ローディングチャンバ200、保持リング110、及び基板バッキングアセンブリ112を含む。同様なキャリヤヘッドの記載は、前記の米国特許出願第 08/745,670 号に見られ、この出願は引用により援用する。
【0028】
ハウジング102は、駆動軸74に接続され、研磨中、研磨パッド面に実質的に垂直な回転軸107を中心として駆動軸74とともに回転できる。ローディングチャンバ200は、ベース104へ荷重を、即ち下向きの圧力を加えるように、ハウジング102とベース104との間に配置されている。研磨パッド32に対するベース104の垂直位置は、ローディングチャンバ200によっても制御可能である。以下述べるように、ベース104と基板バッキングアセンブリ112との間に配置されたチャンバ276の加圧によって、基板が研磨パッドへ押し付けられる。
【0029】
基板バッキングアセンブリ112は、支持構造体114、支持構造体114とベース104との間に接続された撓み(flexure)ダイヤフラム116、及び支持構造体114に接続された可撓部材即ち可撓性薄膜118を含む。可撓性薄膜118は、支持構造114の下方に延びて基板用取付面274を提供する。これら要素の各々について以下により詳しく説明する。
【0030】
ハウジング102の形状は、被研磨基板の円形状に対応して、略円形である。ハウジングは、環状ハウジングプレート120と、略円筒形のハウジングハブ122とを含む。ハウジングプレート120は、ハウジングハブ122を取り囲み、ボルト128によってハウジングハブ122へ固定される。円筒形ブッシュ124が、ハウジングハブを貫通する垂直孔126に嵌合してもよく、ハウジングハブを貫通して2本の通路130、132が延びてもよい。
【0031】
ベース104は、ハウジング102の下方に配置される略リング状の物体である。ベース104は、アルミニウム、ステンレス鋼、又は繊維強化プラスチック等の剛性材料で形成してよい。ベースの上面152と下面150とを接続するために、通路156がベースを貫通して延びてもよい。
【0032】
ブラダ160が、クランプリング166によってベース104の下面150に取付けられてもよい。ブラダ160は、シリコンゴムなどの可撓材料製の薄膜162を含むことができる。薄膜162は、加圧されたら下方へ膨張するように、弾性を持つのがよい。クランプリング166は、T形断面の環状体でもよい。薄膜162の端部164は、クランプリング166のクロスバーとベースの下面との間にクランプされる。クランプリング166はねじ又はボルト(図示せず)によってベース104に固定されてもよい。
【0033】
ポンプ93b(図3参照)は、流体ライン92b、ロータリカップリング90、駆動軸74内のチャネル94b、ハウジング102内の通路132、可撓チューブ(図示せず)、ベース104内の通路156、及びクランプリング166内の通路168を経由して、ブラダ160へ接続される。2個の固定具140、142が、ハウジング102とベース104との間の可撓チューブを接続するための取付点を提供する。ポンプ93bが、流体を、例えば空気のような気体を、ブラダ160内へ導入すれば、ブラダは下方へ膨張する。他方、ポンプ93bがブラダ160を排気すれば、ブラダは収縮する。以下検討するように、ブラダ160を用いて、支持構造体114と可撓性薄膜118とへ、下向きの圧力をかけることができる。
【0034】
ジンバル機構106は、ベース104が研磨パッドの表面に実質的に平行なままでいることができるように、ベース104がハウジング102に対して枢動可能にする。ジンバル機構106は、ジンバルロッド180と、撓み(flexure)リング182とを含む。ジンバルロッド180の上端は、円筒ブッシュ124を介して通路188に嵌合する。ジンバルロッド180の下端は、例えばねじ186によって、撓みリング182の内側部分に固定された環状フランジ184を含む。撓みリング182の外側部分は、例えばねじ(図示せず)によってベース104に固定される。ジンバルロッド180が通路188に沿って上下にスライド可能であってもよく、それによって、ベース104はハウジング102に対して垂直に移動できる。しかし、ジンバルロッド180は、ハウジング102に対するベース104の横方向の動きを阻止する。
【0035】
ローディングチャンバ200は、ベース104とハウジング102との間にシールを設けることによって形成される。このシールは、転動ダイヤフラム202と、内側クランプリング204と、外側クランプリング206とによって提供される。転動ダイヤフラム202は、厚さ60ミル(約1.52mm)のシリコンシート製であってもよく、略リング状で、中央部が平坦で、端部が突出している。
【0036】
内側クランプリング204は、転動ダイヤフラム202をハウジング102にクランプする。内側クランプリング204は、転動ダイヤフラム202の内側端部をハウジング102にしっかりと保持するように、例えばボルト208によって、ベース104に固定される。
【0037】
外側クランプリング206は、転動ダイヤフラム202をベース104へクランプする。外側クランプリング206は、転動ダイヤフラム202の外側端部をベース104の上面に保持するように、例えばボルト(図示せず)によってベース104に固定される。このようにして、ハウジング102とベース104との間のスペースがシールされてローディングチャンバ200が形成される。
【0038】
ポンプ93a(図3参照)は、流体ライン92a、ロータリカップリング90、駆動軸74内のチャネル94a、及びハウジング102内の通路130、を経由してローディングチャンバ200へ接続されてもよい。流体、例えば空気などの気体を、ローディングチャンバ200の中へ、そして外へ圧送してベース104へ加える荷重を調節する。ポンプ93aが流体をローディングチャンバ200に送り込むと、ベース104が下方へ押されるにつれて、チャンバ容積が増加する。他方、ポンプ93aがローディングチャンバ200内の流体をポンプ排気すると、ベース104が引き上げられるにつれて、チャンバ容積が減少する。
【0039】
図5において、保持リング110がベース104の外側端部104に固定されてもよい。保持リング110は、実質的に平坦な底面230を有する略環状のリングである。流体がローディングチャンバ200内へ圧送されてベース104が押し下げられると、保持リング110も押し下げられ、研磨パッド32へ荷重が加えられる。保持リング110の内面232は、可撓性薄膜118の取付面274と連携して基板受入凹部234を画成する。保持リング110は、基板が基板受入凹部から脱出しないようにし、基板からの横方向荷重をベースへ伝達する。
【0040】
基板バッキングアセンブリ112は、ベース104の下方に配置される。基板バッキングアセンブリ112は、支持構造体114、撓みダイヤフラム116、及び可撓性薄膜118を含む。可撓性薄膜118は、支持構造体114へ接続されるとともに、その下に延びている。
【0041】
支持構造体114は、支持プレート240と、環状の下側クランプ270と、環状の上側クランプ272を含む。支持プレート240は、略円板形の剛性部材であって、複数の貫通開口を有する。支持プレート240は、環状溝250が形成されている上面244を有してもよい。更に、支持プレート240は、下方へ突出するリップ248を外側端部に有する略平坦な下側面246を有してもよい。
【0042】
支持プレート240は更に、下側面246から延びる略環状の突起264を含む。環状突起264は、支持プレート240の外側端部から距離Dを隔てて配置され、幅がWで高さがHである。キャリヤフィルムなどの圧縮性材料の層266が、突起264に取付けられてもよい。以下説明するように、突起264は、エッジ効果低減のため、基板10の所定の部分に追加圧力を加える。このようにして、突起264は、基板受入面の外側端部の内側に位置する領域で、可撓性薄膜118の上面262に接触可能である。圧縮性材料の層266は、基板への損傷を防ぐソフトコンタクト領域を提供する。
【0043】
基板バッキングアセンブリ112の撓みダイヤフラム116は、略平坦な環状リングである。撓みダイヤフラム116は可撓性で弾力性であるが、半径方向と接線方向には剛性であろう。撓みダイヤフラム116は、ネオプレンなどのゴム、NYLONTM又はNOMEXTMなどのエラストマ被覆繊維、又はガラス繊維などの複合材料で形成してもよい。
【0044】
可撓性薄膜118は、クロロプレンゴム又はエチレンプロピレンゴムなどの可撓性で弾力性のある材料で形成された略円形のシートである。薄膜118の一部分252は、リップ248のところで支持プレート240の下側コーナ周りに延びて、支持プレートの外側円筒面258の周りで上に向かい、支持プレートの上側面244に沿って内側へ向かって延びている。薄膜118の突出端部254は、環状溝250に嵌合し、下側クランプ270と支持プレートとの間にクランプされる。
【0045】
研磨中、基板10は、基板の裏側が取付面274に位置決めされる状態で、基板受入凹部234に位置決めされる。支持プレート240の立ち上がりリップ248は、可撓性薄膜118を介して基板の端部を押し付けてもよい。更に、環状突起264が可撓性薄膜を介して基板10を押し付けてもよい。
【0046】
可撓性薄膜118、支持構造体114、撓みダイヤフラム116、ベース104、及びジンバル機構106の間の空間が、チャンバ276を画成する。ポンプ93c(図3参照)は、流体ライン92c、ロータリカップリング90、駆動軸74内のチャネル94c、及びジンバルロッド180を貫通する通路190を経由して、チャンバ276に接続されてもよい。ポンプ93cが、流体例えば空気などの気体を、チャンバ276内へ供給すると、可撓性薄膜118が強制的に下げられるにつれて、チャンバ容積が増加する。他方、ポンプ93cがチャンバ276を排気すると、薄膜が引き上げられるにつれて、チャンバ容積が減少する。気体の方が圧縮性が高いので、液体よりも気体を用いる方が有利である。
【0047】
研磨中のキャリヤヘッド100の動作を検討する前に、エッジ効果を復習するのが有用と思われる。先に検討したように、エッジ効果は典型的には、基板の周辺部が過剰研磨される原因である。更に、エッジ効果は基板の一部を研磨不足にする。エッジ効果の結果は、図10を参照して説明できる。図10には、円形であると仮定した基板の、CMP工程を受けた後の厚さ(y軸)を、基板の端部からの距離(x軸)の関数として示す。図示のように、研磨後、基板の中央部310は実質的に平坦である。しかし、基板の周辺の実質的に環状である領域312は過剰研磨されている。更に、過剰研磨された領域312の内側に近く、基板の周辺312に近い内側にある実質的に環状の領域314では、基板は研磨不足であるかもしれない。集積回路製造にとって、研磨過剰も研磨不足も不適当である。研磨過剰領域と研磨不足領域の幅は、研磨パッド、スラリと基板層の組成、プラテンとキャリヤヘッドの回転速度、及び基板上への総荷重など、CMP工程のパラメータに依存する。しかし、200mmウェーハに関しては、各領域の幅は3mmと30mmの間が普通である。
【0048】
過剰研磨に関してあり得る一つの原因は、基板の周辺で発生する高圧領域の存在である。研磨不足の、可能な原因の一つは、基板周辺の近傍で発生する環状の低圧領域の存在である。図11の曲線320は、基板上の圧力(y軸)を基板の端部からの距離(x軸)の関数として示す。基板が研磨パッドに対して動くと、高圧領域322が基板の先行端部(leading edge)に形成してもよく、低圧領域324が、高圧領域322の内側に隣接して形成されてもよい。高圧領域では研磨レートが増大し、その結果、研磨過剰となり(領域312)、一方、低圧領域では研磨レートが低下し、その結果、研磨不足となる(領域314)。
【0049】
特定の理論に限定はしないが、低圧領域324の存在に関してなし得る一つの説明は、「変位」効果と称されるものである。即ち、基板の下向き圧力が、研磨パッド材が「流動」させられ、基板の端部全面にわたって変位させられ、圧縮が弱い領域を発生する。今一つなし得る説明は、可撓性薄膜118が保持リングに付着し、それにより薄膜の外側端部が保持されて、相対的に固定され、より少ない圧力が薄膜によって、基板の端部付近に加えられるということである。更にもう一つの説明は、基板が保持リングの端部に接触すると、基板が変形し、基板の一部が上方へ撓んで、研磨パッドへの圧縮がより少なくなる領域が発生するということである。
【0050】
図5に戻ると、研磨中、環状突起264は、可撓性薄膜118を介して基板10の裏側へ力を及ぼす。この接触により、基板上に増加圧力の領域が生成される。この増圧領域は、低圧領域324の位置に対応する(図10参照)。従って、環状突起264は、さもなければ研磨不足になるであろう領域314の研磨レートを高めることができ、基板の使用可能域を高める。
【0051】
より具体的には、ポンプ93aは、流体をローディングチャンバ200内へ送り込み、基板を研磨パッド上へ下降させる。ポンプ93cも、流体をチャンバ276内へ送り込み、基板10へ下向きの力を加える。更に、上記で検討したように、ブラダが支持構造体114に下向きの圧力を加えるように、ポンプ93bがブラダ160を加圧してもよい。このようにして、突起264は、可撓性薄膜118を介して追加の下向き荷重を、基板の研磨不足になる可能性のある領域へ加える。研磨不足を低減するためブラダ160とチャンバ276とに加える具体的な圧力は、実験的に決められる。
【0052】
距離Dと幅Wとは、実験的に決められ、突起264が全般的に、さもなければ研磨不足となる基板の領域314に重なるように選ばれてもよい。例えば、IC1000研磨パッド(IC1000は、デラウェア州ニューアーク市所在の Rodel, Inc. の製品名)を用いて200mmのシリコンウェーハ上のタングステン層を研磨するCMP作業では、Dが約10mm、Wが約12mm、Hが約20ミル(約0.51mm)であった。ブラダ160内の圧力は約5.2psi(約35.9kPa)、チャンバ200内の圧力は約3.5psi(約24.1kPa)であった。
【0053】
突起264によって生成される追加圧力は、突起の高さ、層266(もしあれば)の圧縮性、撓みダイヤフラム116の弾性、支持構造体114の重量など、複数の要因に依存する。更に、ブラダが支持構造体へ追加の下向き力を加えるように、ブラダ160を加圧することにより、突起264が加える下向圧力を増加させてもよい。従って、突起264からの補足的な下向荷重は、支持構造体の重量と撓みダイヤフラムの弾性など、機械的要因単独の関数であるか、又は機械的要因とブラダ160の圧力内との両方の関数であるか、のいずれかにしてよい。
【0054】
研磨条件次第では、基板の端部が研磨不足になる、即ち、研磨過剰領域312が存在せず、研磨不足領域314が基板の端部にまで延びていることに注目するとよい。このような状況では、キャリヤヘッド100は突起264を含む必要がない。その代わり、リム240によって追加圧力が基板の端部へ加えられてもよい。リム240の幅は、さもなければ研磨不足になる領域314の幅に略対応するように調整されてもよい。ブラダ160を加圧して支持構造体112へ下向きの力を加え、リム240によって加えられる圧力を増やしてもよい。このようにして、リム240からの追加圧力は、上記検討のように機械的要因単独の関数か、又は機械的要因とブラダ160内の圧力との両方の関数か、のいずれかにしてよい。
【0055】
図6において、キャリヤヘッド100’は、着脱及び調節可能な突起284を含んでもよく、支持プレート240’の下面246’は複数の環状溝280を含んでもよい。溝280は、支持プレート240’の外側端部近傍に同心状に編成されてよい。各溝280は、1個のOリング282を受け入れてよいが、Oリングを備えない溝が幾つかあってもよい。各Oリング282の、下面246’の下方に延びた部分は、実質的に突起284を提供する。突起284は、上記突起264と同様な機能を持つ。
【0056】
更に、溝280からOリング282を取り外すことにより突起284を取り外し、異なる直径を有する異なるOリングを、異なる溝に入れて突起の位置を調節してもよい。もしオペレータが複数の溝の複数の直径に適合する複数のOリングのキットを持っていれば、一つの単体キャリヤヘッド又は一つの単体キャリヤプレートを、突起の最適位置が異なる様々な研磨作業に用いてもよい。着脱可能な突起284を、溝に嵌合するOリングとして図示したが、この突起はマグネットを使って、又は弾発嵌合の編成によって実施することも可能である。
【0057】
図7において、更に別の実施の形態では、キャリヤヘッド100''は、研磨不足になる可能性のある領域で局在に圧力を上げるための流体噴口を含む。複数の流体噴口が、キャリヤヘッドの回転軸の周りに等角度間隔であるようにしてもよい(図7の展開断面図では、1個のみが示される)。薄膜162''は、支持構造体114''を通る通路294に整列する開口292を含んでもよい。通路294は、支持プレート240''の下面246''における出口296で終端を成す。研磨中、ポンプ93bは空気をブラダ160''へ送り込む。次に、ブラダ160''内の流体は、開口292と通路294とを通って流れて出口296を出て、局在エアジェットを生じる(矢印298で示す)。このエアジェットは、可撓性薄膜118上に局在な下向き圧力を発生し、これによって、基板10の裏側にかかる圧力を局在に増大させ、研磨不足になる可能性のある領域の研磨レートを高める。
【0058】
CMPで遭遇するもう一つの問題は、基板の中央がしばしば研磨不足になることである。この問題は「センタスロー効果」と称することができ、基板の裏側へ均一に圧力が加えられても発生する可能性がある。特定の理論にこだわる訳ではないが、センタスロー効果に関してなし得る一つの説明は、基板中央に到達するスラリが比較的少なく、その結果、研磨レートが低下するということである。
【0059】
図8においては、センタスロー効果を低減又は最少にするため、キャリヤヘッド100'''を用いてもよい。具体的には、基板受け面の中央近傍の略円形の接触領域において可撓性薄膜の上側面に接触する突起264'''を、支持プレート240'''に設けることにより、基板中央の研磨不足になる可能性のある領域へ追加の圧力を加えてもよい。この追加圧力が基板中央の研磨レートを高め、研磨の均一性を改善し、センタスロー効果を低減する。
【0060】
図9において、更に別の実施の形態では、センタスロー効果を低減するため、キャリヤヘッド100''''は、基板の中央部と端部とへ独立して調整可能な圧力を提供するように設計されている。キャリヤヘッド100''''はブラダを含まない。むしろ、キャリヤヘッド100''''は、ベース104''''と可撓性薄膜118との間に配置されたチャンバシール400を含む。ベース104''''はリング状であって中央開口410を備え、チャンバシール400は開口を通って延びる。チャンバシール400は略環状体であって、断面は略字形である。チャンバシール400は、可撓性薄膜118の上側面404に載置される略平坦なベース部分402と、ベース104''''に固定され、湾曲したステム部406とを含む。ステム部406は、クランプリング420とベース104''''との間に嵌まる突出端部部408で終端を成す。クランプリング420をベース104''''に固定するには、ねじ又はボルト422を用いる。
【0061】
チャンバシール400は、薄膜118とベース104''''との間のスペース(上記ではチャンバ276と称した)を内側チャンバ430と、実質的に環状の外側チャンバ432とに分割する。内側チャンバ430と外側チャンバ432の両方の内部の加圧流体がベース部402を薄膜118へ押し付け、両チャンバ430と432との間に流体密シールを形成する。ポンプ93bは、流体ライン92b、ロータリカップリング90、駆動軸74内のチャネル94b、ハウジング102内の通路132、可撓チューブ(図示せず)、及びベース104''''内の通路(図示せず)を経由して、外側チャンバ432へ接続されてもよい。同様に、ポンプ93cも、流体ライン92c、ロータリカップリング90、駆動軸74内のチャネル94c、ジンバルロッド180内の通路190を経由して内側チャンバ430へ接続される。両チャンバ430と432内の圧力を独立して調整することにより、薄膜118の内側部分434と外側環状部分436にかかる下向き荷重を独立して調整してもよい。このようにして、基板の内側域と外側環状域にかかる圧力を独立して調整してもよい。適切な圧力を選ぶことにより、研磨の均一性が改善でき、センタスロー効果を低減することができる。チャンバシール400のもう一つの利点は、ベースから保持リングを取り外すことによって、ハウジング102からベース104''''の接続を外さずにキャリヤヘッドからバッキングアセンブリ112が取り外してもよい。
【0062】
本発明を幾つかの実施の形態に関して説明した。しかし本発明は、図示説明した実施の形態に限定はされず、むしろ、本発明の範囲は付帯する特許請求の範囲によって定義される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は、化学的機械研磨装置の分解斜視図である。
【図2】 図2は、カルーセルの概略平面図で、上側ハウジングを取り外した図である。
【図3】 図3は、図2のカルーセルの3−3部分的断面図と、CMP装置に用いられる圧力レギュレータの概略部分図である。
【図4】 図4は、本発明によるキャリヤヘッドの概略断面図である。
【図5】 図5は、図4のキャリヤヘッドの拡大図で、支持プレートの下面から延びる突起を示した図である。
【図6】 図6は、着脱可能な突起を有するキャリヤヘッドの概略断面図である。
【図7】 図7は、エアー噴口を含むキャリヤヘッドの概略断面図である。
【図8】 図8は、突起が支持プレートの中心にあるキャリヤヘッドの概略断面図である。
【図9】 図9は、チャンバシールを有するキャリヤヘッドの概略断面図である。
【図10】 図10は、基板から除去された材料の量を、基板の端部からの距離の関数として示すグラフである。
【図11】 図11は、研磨パッドの圧縮を、基板の端部からの距離の関数として示すグラフである。
Claims (20)
- 化学的機械研磨装置用キャリヤヘッドであって、
ベースと、
前記ベースに可動接続された支持構造体と、
前記ベースに接続された保持リングと、
前記支持構造体に接続されるとともにその下方に延びる可撓部材であって、前記支持構造体と前記可撓部材の間でチャンバを画成し、下面が基板受け面を提供するとともに上面が前記チャンバとの境界となる可撓部材と、
前記支持構造体から延びて、前記基板受け面の外周から距離を隔てた内側の位置で前記可撓部材の上面に接触する突起と、を備え、
前記基板受け面は、前記可撓部材の下面の一部であって、前記保持リングの内面の内側にある、化学的機械研磨装置用キャリヤヘッド。 - 更に前記支持構造体へ下向きの力を加えるための加圧機構を備える、請求項1に記載のキャリヤヘッド。
- 前記加圧機構が、加圧可能なブラダを含む、請求項2に記載のキャリヤヘッド。
- 前記突起が前記可撓部材と接触する接触域が、基板の研磨不足になる可能性のある領域に隣接する、請求項1に記載のキャリヤヘッド。
- 前記突起が環状の接触域で前記可撓部材の前記上面に接触する、請求項1に記載のキャリヤヘッド。
- 前記突起が、前記基板受け面の中央近傍の円形の接触域で前記可撓部材の前記上面に接触する、請求項1に記載のキャリヤヘッド。
- 前記突起が前記支持部材から取り外し可能である、請求項1に記載のキャリヤヘッド。
- 前記支持構造体がその下側面に環状凹部を含み、前記突起が、前記凹部に嵌合するOリングを備える、請求項7に記載のキャリヤヘッド。
- 前記支持構造体の外側端部が、下方に突出するリムを含み、前記可撓部材が前記支持構造体の外側端部の周りに延びて、前記突起が前記リムの内側に配置される、請求項1に記載のキャリヤヘッド。
- 化学的機械研磨装置用キャリヤヘッドであって、
ベースと、
前記ベースに可動で接続された支持構造体と、
前記ベースに接続された保持リングと、
前記支持構造体に接続されるとともにその下方に延びる可撓部材であって、前記支持構造体と前記可撓部材の間でチャンバを画成し、下面が基板受け面を提供するとともに上面が前記チャンバとの境界となる可撓部材と、
前記基板受け面上に配置される基板の一部により大きな荷重を加えるため、前記支持構造体から延びて、前記基板受け面の外周から距離を隔てた内側の位置で前記可撓部材の上面に接触する突起と、を備え、
前記基板受け面は、前記可撓部材の下面の一部であって、前記保持リングの内面の内側にある、化学的機械研磨装置用キャリヤヘッド。 - 化学的機械研磨装置用キャリヤヘッドであって、
ベースと、
下面に環状の凹部を有し、前記ベースに可動状態で接続された支持構造体と、
前記支持構造体に接続されるとともにその下方に延びる可撓部材であって、前記支持構造体と前記可撓部材の間でチャンバを画成し、下面が基板受け面を提供するとともに上面が前記チャンバとの境界となる可撓部材と、
前記凹部に嵌合されるとともに前記支持構造体から延びるOリングであって、前記基板受け面の外周から距離を隔てた内側の位置で前記可撓部材の上面に接触するOリングと、
を備える化学的機械研磨装置用キャリヤヘッド。 - 化学的機械研磨装置用キャリヤヘッドであって、
ベースと、
前記ベースに接続されるとともにその下方に延びる可撓部材であって、支持構造体と前記可撓部材の間でチャンバを画成し、下面が基板受け面を提供するとともに上面が前記チャンバとの境界となる可撓部材と、
基板の研磨不足になる可能性のある領域に隣接する局部に、より大きな圧力を加えるため、前記可撓部材の上面へポートを通して流体を方向付けて衝突させるように、前記チャンバに流体連通するポートと、
を備える、化学的機械研磨装置用キャリヤヘッド。 - 化学的機械研磨装置用キャリヤヘッドであって、
ベースと、
前記ベースに接続されるとともにその下方に延びる可撓部材であって、支持構造体と前記可撓部材の間でチャンバを画成し、下面が基板受け面を提供するとともに上面が前記チャンバとの境界となる可撓部材と、
前記チャンバに流体連通し、増加された圧力の局在域を形成するように、通過する流体を方向付けて前記可撓部材の上面に衝突する流体の流れを発生させるポートと、
を備える、化学的機械研磨装置用キャリヤヘッド。 - 前記増加された圧力の局在域が、基板の研磨不足になる可能性のある領域に隣接する、請求項13に記載のキャリヤヘッド。
- 前記増加された圧力の局在域が、前記基板受け面の外側端部の内側にある、請求項13に記載のキャリヤヘッド。
- 前記流体が空気である、請求項13に記載のキャリヤヘッド。
- 前記支持構造体が、一端がポンプに流体結合され、他端が前記ポートに流体結合される、貫通して延びた通路を有する、請求項13に記載のキャリヤヘッド。
- 基板を研磨する方法であって、
チャンバを画成するようにキャリヤヘッドの支持構造体に接続されるとともに前記支持構造体の下方に延びる前記キャリヤヘッドの可撓部材であって、前記支持構造体と前記可撓部材の間で前記チャンバを画成し、下面が基板受け面を提供するとともに上面が前記チャンバとの境界となる可撓部材の前記基板受け面に、前記基板の第一面を当接させること、
前記基板の第二面を研磨パッドに当接させること、
前記可撓部材の上面に第一の力を加えるように前記チャンバを加圧すること、
保持リングの内周から距離を隔てた内側の領域で前記支持構造体から延びる突起を前記可撓部材の上面に接触させることで、前記可撓部材の局部接触域における上面に第二の追加の力を加えること、
を含む基板を研磨する方法。 - 前記基板の第二面がタングステン層を含み、前記突起は、圧縮性材料からなる環状のリングであり、かつ前記基板受け面の端部から10mmの位置にあり、幅が12mm、高さが0.51mmである、請求項18に記載の方法。
- 基板を研磨する方法であって、
チャンバを画成するようにキャリヤヘッドの支持構造体に接続されるとともに前記支持構造体の下方に延びる前記キャリヤヘッドの可撓部材であって、前記支持構造体と前記可撓部材の間で前記チャンバを画成し、下面が基板受け面を提供するとともに上面が前記チャンバとの境界となる可撓部材の前記基板受け面に、基板の第一面を当接させること、
前記基板の第二面を研磨パッドに当接させること、
前記可撓部材の上面に第一の力を加えるように前記チャンバを加圧すること、
前記可撓部材の上面を流体の流れに接触させることで、前記可撓部材の局部接触域における上面に第二の追加の力を加えること、
を含む基板を研磨する方法。
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