JP4404888B2 - 混晶膜の成長方法 - Google Patents
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本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、以下に述べる作用原理に基づいてシリコン−ゲルマニウム混晶膜を成長させることにより、所望の領域に炭素等の不純物を高精度にドープし得るとの結論を得るに至った。
図1〜9を参照して、本発明の混晶膜の成長方法、装置、及び半導体装置の第1の実施形態について説明する。まず、図2〜4を参照して、npn型ヘテロ接合バイポーラトランジスタHBTの製造方法の一例について説明する。図2(a)に示すように、p型のシリコン半導体基板101の表層にリン等のn型不純物をイオン注入して、n+拡散領域102を形成する。このn+拡散領域102がコレクタ層として機能することになる。
図10には、第2の実施形態の混晶膜の成長装置の概略構成を示す。以下では、上記第1の実施形態との相違点のみを説明し、第1の実施形態と同一部分についての説明は省略する。
2 基板
3 サセプタ
4 タングステンハロゲンランプ
5 真空ロードロック室
8 ドライポンプ
12 ガス供給配管
13〜17 ガスボンベ
18〜22 マスフローコントローラ
23〜27 バルブ
28 バルブ
30 ガスボンベ
31 マスフローコントローラ
32 バルブ
101 シリコン半導体基板
102 n+拡散領域
103 フィールド酸化膜
104 活性領域
105 シリコン酸化膜
106 多結晶シリコン膜
107 シリコン酸化膜
108 ベース開口部
109 シリコン−ゲルマニウム混晶膜
109a 底部
109b 側壁部
110 引き出し層
111 フォトレジスト
112 ベース層
113 サイドウォール
114 エミッタ層
Claims (8)
- 原料ガスを反応室に導入して、前記反応室内に置かれた基板上にシリコン−ゲルマニウム混晶膜を成長させる混晶膜の成長方法であって、
前記原料ガスは、シリコン原料ガス、ゲルマニウム原料ガス、第1の不純物原料ガス、前記第1の不純物の混晶膜中での拡散を抑制するための第2の不純物原料ガスを含み、
前記第2の不純物原料ガスを、前記第1の不純物原料ガスの供給タイミングより早く、不純物原料ガス供給源から供給することにより、前記シリコン−ゲルマニウム混晶膜の前記第2の不純物の濃度を、前記第1の不純物の濃度以上にすることを特徴とする混晶膜の成長方法。 - 原料ガスを反応室に導入して、前記反応室内に置かれた基板上にシリコン−ゲルマニウム混晶膜を成長させる混晶膜の成長方法であって、
前記基板を前記反応室内に配置する工程と、
前記基板を前記反応室内に配置した状態で、シリコン原料ガス及びゲルマニウム原料ガスを供給する工程と、
前記シリコン原料ガス及び前記ゲルマニウム原料ガスの導入を継続しつつ、P型不純物元素の原料ガスを供給する工程と、
前記シリコン原料ガス及び前記ゲルマニウム原料ガスの導入を継続しつつ、前記P型不純物元素の原料ガスを供給するよりも早いタイミングで、炭素の原料ガスを供給することにより、前記シリコン−ゲルマニウム混晶膜の炭素の濃度を、P型不純物元素の濃度以上にする工程と、
を有することを特徴とする混晶膜の成長方法。 - 前記炭素の原料ガスはメチルシランであることを特徴とする請求項2に記載の混晶膜の成長方法。
- 前記混晶膜の前記炭素の濃度は0.15〜0.5%であることを特徴とする請求項2又は3に記載の混晶膜の成長方法。
- 前記混晶膜の形成の前処理として、前記基板を水素ガスに曝す水素処理を行うことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の混晶膜の成長方法。
- 前記水素処理は、前記基板を800〜900℃に加熱して行うことを特徴とする請求項5に記載の混晶膜の成長方法。
- 前記混晶膜の形成は、前記基板を550〜750℃に加熱し、かつ、前記反応室内の圧力を10〜180Torrで行うことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の混晶膜の成長方法。
- 前記炭素の原料ガスの炭素濃度は10%以下であり、流量は5sccm以上であることを特徴とする請求項2〜4、7のいずれか1項に記載の混晶膜の成長方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006287928A JP4404888B2 (ja) | 2006-10-23 | 2006-10-23 | 混晶膜の成長方法 |
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JP2002053533A Division JP3914064B2 (ja) | 2002-02-28 | 2002-02-28 | 混晶膜の成長方法及び装置 |
Publications (2)
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JP2007043200A JP2007043200A (ja) | 2007-02-15 |
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JP (1) | JP4404888B2 (ja) |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090916 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121113 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121113 Year of fee payment: 3 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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