JP4387333B2 - 真空処理装置 - Google Patents
真空処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4387333B2 JP4387333B2 JP2005201369A JP2005201369A JP4387333B2 JP 4387333 B2 JP4387333 B2 JP 4387333B2 JP 2005201369 A JP2005201369 A JP 2005201369A JP 2005201369 A JP2005201369 A JP 2005201369A JP 4387333 B2 JP4387333 B2 JP 4387333B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- etched
- substrate
- chamber
- vacuum processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
(2)エッチング反応;M+Cl*→MCl(g)
(3)基板への吸着反応;MCl(g)→MCl(ad)
(4)成膜反応;MCl(ad)+Cl* →M+Cl2↑
基板が載置される支持台と、
前記基板が対向する位置におけるガスノズルの下側の真空容器に設けられる金属製の被エッチング部材と、
前記ガスノズルにハロゲンを含有する作用ガスを供給して真空処理容器内に作用ガスを噴出させる作用ガス供給手段と、
前記真空処理容器の内部をプラズマ化して、作用ガスプラズマを発生させてハロゲンラジカルを生成し、ハロゲンラジカルで被エッチング部材をエッチングすることにより被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンとからなる前駆体を生成するプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材の温度よりも低くすることにより前駆体の金属成分を基板側に成膜させる制御手段と
を備えたことを特徴とする。
図1に基づいて第1実施形態例を説明する。
ここで、Cl*は塩素ラジカルを表す。
Cu(s)+Cl*→CuCl(g) ・・・・(2)
ここで、sは固体状態、gはガス状態を表す。式(2)は、Cuがガスプラズマ(塩素ラジカルCl*)によりエッチングされ、前駆体24とされた状態である。
CuCl(g)→CuCl(ad) ・・・・(3)
基板3に吸着したCuClは、塩素ラジカルCl*により還元されてCu成分となる。
CuCl(g)+Cl*→Cu(g)+Cl2↑ ・・・・(4)
この後、ガス状態のCu成分は、基板3に吸着される。
図4、図5に基づいて第2実施形態例を説明する。尚、図1に示した第1実施形態例と同一部材には同一符号を付してある。
CuCl(g)→CuCl(ad)
CuCl(ad)+Cl*→Cu(s)+Cl2↑
2 支持台
3 基板
4 ヒータ
5 冷媒流通手段
6 温度制御手段
7 天井板
8 プラズマアンテナ
9 整合器
10 電源
11、31 被エッチング部材
12、34 リング部
13 長尺板部材
14、21、25 ガスノズル
15、22、27 ガス噴出口
16 流量制御器
17 作用ガス(Cl2ガス)
18 円錐突起
19 排気口
20 真空装置
23、26 水平ガス噴出口
32 ヒータ手段
33 材料供給手段
35 長尺部材
36 枠部材
37 ヒータ枠
38 ヒータ棒
Claims (1)
- 真空処理容器の中央部に延びるガスノズルを設け、真空容器の天井側に開口するガス噴出口をガスノズルの先端部に設け、頂点がガス噴出口の位置に略一致する状態で真空容器内側に突出する円錐状の整流突起を天井に設けた真空処理装置であって、更に、
基板が載置される支持台と、
前記基板が対向する位置におけるガスノズルの下側の真空容器に設けられる金属製の被エッチング部材と、
前記ガスノズルにハロゲンを含有する作用ガスを供給して真空処理容器内に作用ガスを噴出させる作用ガス供給手段と、
前記真空処理容器の内部をプラズマ化して、作用ガスプラズマを発生させてハロゲンラジカルを生成し、ハロゲンラジカルで被エッチング部材をエッチングすることにより被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンとからなる前駆体を生成するプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材の温度よりも低くすることにより前駆体の金属成分を基板側に成膜させる制御手段と
を備えたことを特徴とする真空処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005201369A JP4387333B2 (ja) | 2005-07-11 | 2005-07-11 | 真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005201369A JP4387333B2 (ja) | 2005-07-11 | 2005-07-11 | 真空処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007016295A JP2007016295A (ja) | 2007-01-25 |
JP4387333B2 true JP4387333B2 (ja) | 2009-12-16 |
Family
ID=37753708
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005201369A Expired - Fee Related JP4387333B2 (ja) | 2005-07-11 | 2005-07-11 | 真空処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4387333B2 (ja) |
-
2005
- 2005-07-11 JP JP2005201369A patent/JP4387333B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007016295A (ja) | 2007-01-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6679591B2 (ja) | プロセス均一性を高めるための方法およびシステム | |
US7588799B2 (en) | Metal film production apparatus | |
TW200931508A (en) | Shower plate electrode for plasma CVD reactor | |
JP4387333B2 (ja) | 真空処理装置 | |
JP4374332B2 (ja) | 薄膜作製装置及び薄膜作製方法 | |
JP4411249B2 (ja) | 被処理部材の処理装置及び被処理部材の処理方法 | |
JP4317120B2 (ja) | 金属膜作製装置及び金属膜作製方法 | |
JP2008081757A (ja) | 処理装置 | |
JP4401340B2 (ja) | 薄膜作製装置及び薄膜作製方法 | |
JP2008081755A (ja) | 処理装置及び処理方法 | |
JP4386873B2 (ja) | 薄膜作製装置 | |
JP3910957B2 (ja) | 金属膜作製装置及び金属膜作製方法 | |
JP4387330B2 (ja) | 材料供給装置 | |
JP4317156B2 (ja) | 金属膜作製装置 | |
JP3771865B2 (ja) | 金属膜作製装置及び金属膜作製方法 | |
JP2008081756A (ja) | 半導体製造装置 | |
JP3975207B2 (ja) | 金属膜作製装置及び金属膜作製方法 | |
TW202400822A (zh) | 膜形成設備 | |
JP3649687B2 (ja) | 金属膜作製装置及び金属膜作製方法 | |
JP3692326B2 (ja) | 金属膜作製装置及び金属膜作製方法 | |
JP3801595B2 (ja) | 薄膜作製方法及び薄膜作製装置 | |
JP2007169676A (ja) | 薄膜作製装置及び薄膜作製方法 | |
JP2008081754A (ja) | 薄膜作製装置及び薄膜作製方法 | |
JP2005307355A (ja) | 金属膜作製方法及び金属膜作製装置 | |
JP2009174057A (ja) | 金属膜作製装置及び金属膜作製方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20061030 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20061116 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20070215 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20070307 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20081125 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20081125 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090611 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090619 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090721 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090901 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090903 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090929 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090930 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121009 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131009 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |