JP4381944B2 - パーティクル除去方法および基板処理装置 - Google Patents
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図1は、本発明の基板処理装置1を基板Wと平行な平面で切断した縦断面図である。図1には、併せて配管や制御系の構成も示している。図2は、基板処理装置1を基板Wと垂直な平面で切断した縦断面図である。
続いて、基板処理装置1の動作について説明する。図4は、基板処理装置1の動作の流れを示したフローチャートである。なお、以下に説明する動作は、制御部80が、リフタ20、ポンプ41、ヒータ90、バルブ43〜46,73、可変流量バルブ61c,62c等を制御することにより進行する。
上記のように、この基板処理装置1では、処理槽10内に気泡を供給し、その気泡を気泡除去部61,62で除去することができる。このため、処理槽10内のパーティクルを気泡に吸着させ、気泡とともに除去することができる。したがって、フィルタを用いることなくパーティクルを除去することができ、フィルタの交換作業等による作業負担を軽減することができる。また、装置稼動率の低下も防止することができる。
10 処理槽
11 処理液吐出部
12 外槽
20 リフタ
30 バブラー
40 循環系
50 フィルタ
60c 流量計
61,62 気泡除去部
61c,62c 可変流量バルブ
70 処理液供給系
80 制御部
W 基板
Claims (11)
- 基板を液体により処理する基板処理装置であって、
液体を貯留する処理槽と、
前記処理槽内の液体へ気泡を供給する気泡供給手段と、
前記処理槽の上部からオーバーフローする液体を前記処理槽の底部へ帰還させる循環手段と、
前記循環手段の経路途中において、液体を旋回させることにより液体中の気泡を旋回中心に集めて気泡を除去する気泡除去手段と、
前記気泡除去手段において気泡とともに除去される液体の量を調節する調節手段と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記循環手段は、第1の経路と第2の経路とを有し、
前記第1の経路途中に前記気泡除去手段を備えるとともに、前記第2の経路途中にフィルタを備え、
前記第1の経路と前記第2の経路のいずれかを選択する選択手段をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置であって、
前記選択手段は、前記処理槽に貯留された液体による基板の処理中には前記第2の経路を選択し、基板の処理を行う前または基板の処理間には前記第1の経路を選択することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置であって、
前記選択手段は、前記処理槽に貯留された液体が基板の表面を親水化する処理液である場合には、前記第1の経路を選択し、前記処理槽に貯留された液体が基板の表面を疎水化する処理液である場合には、前記第2の経路を選択することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から4のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記気泡除去手段において気泡とともに除去される液体の量を計測する計測手段と、
前記処理槽へ液体を補充する補充手段と、
前記計測手段の計測結果に基づいて前記補充手段を動作させる制御手段と、
をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2から4のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記循環手段の経路途中において、複数の前記第1の経路が並列に設けられていることを特徴とする基板処理装置。 - 処理槽に貯留された液体に基板を浸漬して処理する基板処理装置において、前記処理槽内のパーティクルを除去するパーティクル除去方法であって、
前記処理槽内の液体へ気泡を供給する第1の工程と、
前記処理槽の上部からオーバーフローした液体を、前記処理槽の底部へ帰還させる第2の工程と、
を備え、
前記第2の工程においては、帰還途中の液体を旋回させることにより、液体に含まれる気泡を旋回中心に集めて除去し、
気泡とともに除去される液体の量を調節する工程をさらに備えることを特徴とするパーティクル除去方法。 - 請求項7に記載のパーティクル除去方法であって、
前記処理槽の上部からオーバーフローした液体を、フィルタを通して前記処理槽の底部へ帰還させる第3の工程をさらに備えることを特徴とするパーティクル除去方法。 - 請求項8に記載のパーティクル除去方法であって、
前記処理槽に貯留された液体による基板の処理中には前記第3の工程を実行し、基板の処理を行う前または基板の処理間には前記第1および第2の工程を実行することを特徴とするパーティクル除去方法。 - 請求項8に記載のパーティクル除去方法であって、
前記処理槽に貯留された液体が基板の表面を親水化する処理液である場合には、前記第1および第2の工程を実行し、前記処理槽に貯留された液体が基板の表面を疎水化する処理液である場合には、前記第3の工程を実行することを特徴とするパーティクル除去方法。 - 請求項7から10のいずれかに記載のパーティクル除去方法であって、
気泡とともに除去される液体の量を計測する第5の工程と、
第5の工程における計測結果に基づいて前記処理槽へ液体を補充する第6の工程と、
をさらに備えることを特徴とするパーティクル除去方法。
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