JP4371360B2 - フラッシュメモリ素子のフローティングゲート形成方法 - Google Patents
フラッシュメモリ素子のフローティングゲート形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4371360B2 JP4371360B2 JP2003386204A JP2003386204A JP4371360B2 JP 4371360 B2 JP4371360 B2 JP 4371360B2 JP 2003386204 A JP2003386204 A JP 2003386204A JP 2003386204 A JP2003386204 A JP 2003386204A JP 4371360 B2 JP4371360 B2 JP 4371360B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polysilicon film
- gas
- film
- oxide film
- floating gate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/30—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B69/00—Erasable-and-programmable ROM [EPROM] devices not provided for in groups H10B41/00 - H10B63/00, e.g. ultraviolet erasable-and-programmable ROM [UVEPROM] devices
Landscapes
- Non-Volatile Memory (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
(化1)
SiO2 → Si*+O
(化2)
N*+2H2 → NH3(outgassing)
N*+O → NO(outgassing)
上述したように、本発明によれば、第1ポリシリコン膜を形成した後SiH4ガスを流入させ、SiH4とSiO2をそれぞれSiとH2、SiとO2に分解させ、N2アニール工程によって、分解されたH2ガス及びO2ガスがN2ガスと反応してアウトガスされるようにし、SiH4ガス及びPH3ガスを流入させて第2ポリシリコン膜を形成することにより、第1ポリシリコン膜と第2ポリシリコン膜との界面内の自然酸化膜を除去してデータフラッシュメモリ素子の特性を向上させることができる。
12、22 トンネル酸化膜
13、23 第1ポリシリコン膜
14、24 窒化膜
15、25 酸化膜
16、26 第2ポリシリコン膜
17 自然酸化膜
Claims (3)
- 半導体基板上にトンネル酸化膜及び第1ポリシリコン膜を形成する段階と、
前記第1ポリシリコン膜及び前記トンネル酸化膜の所定の領域をエッチングした後、露出した前記半導体基板を所定の深さにエッチングしてトレンチを形成する段階と、
前記トレンチが埋め込まれるように全体構造上に酸化膜を形成した後、前記酸化膜を研磨して素子分離膜を形成する段階と、
前記第1ポリシリコン膜上に成長する自然酸化膜を分解させ、アニール工程によって、分解された物質をアウトガスさせた後、第2ポリシリコン膜を形成する段階と、
前記第2ポリシリコン膜及び第1ポリシリコン膜とをパターニングしてフローティングゲートを形成する段階とを含み、
前記自然酸化膜の分解は反応炉の温度及び圧力をそれぞれ510〜590℃及び200〜600mTorr程度に保った状態でSiH 4 ガスを0.1〜1.9SLM程度流入させ、5分〜20分間反応させてSiH 4 とSiO 2 をそれぞれSiとH 2 、SiとO 2 に分解し、
前記アニール工程は、前記反応炉の温度及び圧力をそれぞれ750〜950℃及び100〜300mTorr程度に保った状態でN 2 ガスを0.1〜1.9SLM程度流入させ、5分〜20分間反応させてH 2 ガスとO 2 ガスがN 2 ガスと反応させてアウトガスされるようにする
ことを特徴とするフラッシュメモリ素子のフローティングゲート形成方法。 - 前記素子分離膜を形成した後、HF溶液、希釈したHF溶液又はRCAを用いて前記第1ポリシリコン膜の表面をクリーニングする段階をさらに含むことを特徴とする請求項1記載のフラッシュメモリ素子のフローティングゲート形成方法。
- 前記第2ポリシリコン膜は、前記反応炉の温度及び圧力をそれぞれ510〜590℃及び200〜600mTorr程度に保った状態でSiH4ガスとPH3ガスとの混合ガスを0.5〜2.0SLM程度流入させ、20分〜40分間反応させて形成することを特徴とする請求項1記載のフラッシュメモリ素子のフローティングゲート形成方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2002-0079204A KR100482765B1 (ko) | 2002-12-12 | 2002-12-12 | 플래쉬 메모리 소자의 플로팅 게이트 형성 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004193583A JP2004193583A (ja) | 2004-07-08 |
JP4371360B2 true JP4371360B2 (ja) | 2009-11-25 |
Family
ID=32501383
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003386204A Expired - Fee Related JP4371360B2 (ja) | 2002-12-12 | 2003-11-17 | フラッシュメモリ素子のフローティングゲート形成方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6780743B2 (ja) |
JP (1) | JP4371360B2 (ja) |
KR (1) | KR100482765B1 (ja) |
TW (1) | TWI282149B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4671775B2 (ja) * | 2004-06-25 | 2011-04-20 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US7183161B2 (en) * | 2004-09-17 | 2007-02-27 | Freescale Semiconductor, Inc. | Programming and erasing structure for a floating gate memory cell and method of making |
US20080150028A1 (en) * | 2006-12-21 | 2008-06-26 | Advanced Micro Devices, Inc. | Zero interface polysilicon to polysilicon gate for semiconductor device |
CN102623319A (zh) * | 2012-03-22 | 2012-08-01 | 上海华力微电子有限公司 | 一种制备浮栅的方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5010028A (en) * | 1989-12-29 | 1991-04-23 | Texas Instruments Incorporated | Method of making hot electron programmable, tunnel electron erasable contactless EEPROM |
JPH05343698A (ja) * | 1992-06-09 | 1993-12-24 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造方法 |
US5493140A (en) * | 1993-07-05 | 1996-02-20 | Sharp Kabushiki Kaisha | Nonvolatile memory cell and method of producing the same |
US5604141A (en) * | 1994-03-15 | 1997-02-18 | National Semiconductor Corporation | Method for forming virtual-ground flash EPROM array with reduced cell pitch in the X direction |
JP4131896B2 (ja) * | 2000-03-31 | 2008-08-13 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置の製造方法 |
KR20010065186A (ko) * | 1999-12-29 | 2001-07-11 | 박종섭 | 플래쉬 메모리 소자의 제조방법 |
KR100753401B1 (ko) * | 2001-06-15 | 2007-08-30 | 주식회사 하이닉스반도체 | 플래쉬 메모리 소자의 제조방법 |
KR100426485B1 (ko) * | 2001-12-22 | 2004-04-14 | 주식회사 하이닉스반도체 | 플래쉬 메모리 셀의 제조 방법 |
-
2002
- 2002-12-12 KR KR10-2002-0079204A patent/KR100482765B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-07-10 TW TW092118850A patent/TWI282149B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-07-31 US US10/631,200 patent/US6780743B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-11-17 JP JP2003386204A patent/JP4371360B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100482765B1 (ko) | 2005-04-14 |
KR20040051301A (ko) | 2004-06-18 |
TW200414451A (en) | 2004-08-01 |
TWI282149B (en) | 2007-06-01 |
US20040115885A1 (en) | 2004-06-17 |
US6780743B2 (en) | 2004-08-24 |
JP2004193583A (ja) | 2004-07-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI255012B (en) | Method of manufacturing a flash memory cell | |
US20020072197A1 (en) | Method for self-aligned shallow trench isolation and method of manufacturing non-volatile memory device using the same | |
US7037785B2 (en) | Method of manufacturing flash memory device | |
JP2006310845A (ja) | U字状浮遊ゲートを有するフラッシュメモリの製造方法 | |
CN106206596B (zh) | 分栅式闪存器件制造方法 | |
KR100537277B1 (ko) | 반도체 소자의 제조 방법 | |
WO2005122281A2 (en) | Gate stack of nanocrystal memory and method for forming same | |
TWI325163B (en) | Method for manufacturing flash memory device and flash memory device | |
CN106206598A (zh) | 分栅式闪存器件制造方法 | |
KR100753134B1 (ko) | 반도체 소자의 제조방법 | |
JP2006108605A (ja) | フラッシュメモリ素子のウォール酸化膜形成方法及び素子分離膜形成方法 | |
CN100468659C (zh) | 制造闪存器件的电介质膜的方法 | |
JP4371360B2 (ja) | フラッシュメモリ素子のフローティングゲート形成方法 | |
JP2006086486A (ja) | 不揮発性メモリ素子のゲート電極形成方法 | |
JP4843205B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP4992012B2 (ja) | フラッシュメモリ素子の製造方法 | |
KR100537276B1 (ko) | 반도체 소자의 제조 방법 | |
JP2004200660A (ja) | フラッシュメモリ素子の製造方法 | |
US8865582B2 (en) | Method for producing a floating gate memory structure | |
KR100523918B1 (ko) | 플래시 소자의 제조 방법 | |
KR20070036521A (ko) | 플래시 메모리 소자의 제조방법 | |
KR100482760B1 (ko) | 플래시 메모리 소자의 제조 방법 | |
JP2009238903A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR20060005177A (ko) | 비휘발성 메모리 소자의 게이트 전극 및 그 형성방법 | |
KR20020007862A (ko) | 플래쉬 메모리 셀의 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060125 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090410 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090421 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090717 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090811 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090828 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120911 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130911 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |