JP4369360B2 - 超高純度液体中の粒子の生成を最小限にするための装置および方法 - Google Patents
超高純度液体中の粒子の生成を最小限にするための装置および方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4369360B2 JP4369360B2 JP2004501257A JP2004501257A JP4369360B2 JP 4369360 B2 JP4369360 B2 JP 4369360B2 JP 2004501257 A JP2004501257 A JP 2004501257A JP 2004501257 A JP2004501257 A JP 2004501257A JP 4369360 B2 JP4369360 B2 JP 4369360B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liner
- container
- high purity
- ultra
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
- B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
- B67D7/02—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants
- B67D7/0238—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants utilising compressed air or other gas acting directly or indirectly on liquids in storage containers
- B67D7/0255—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants utilising compressed air or other gas acting directly or indirectly on liquids in storage containers squeezing collapsible or flexible storage containers
- B67D7/0261—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants utilising compressed air or other gas acting directly or indirectly on liquids in storage containers squeezing collapsible or flexible storage containers specially adapted for transferring liquids of high purity
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
- B67C—CLEANING, FILLING WITH LIQUIDS OR SEMILIQUIDS, OR EMPTYING, OF BOTTLES, JARS, CANS, CASKS, BARRELS, OR SIMILAR CONTAINERS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; FUNNELS
- B67C3/00—Bottling liquids or semiliquids; Filling jars or cans with liquids or semiliquids using bottling or like apparatus; Filling casks or barrels with liquids or semiliquids
- B67C3/02—Bottling liquids or semiliquids; Filling jars or cans with liquids or semiliquids using bottling or like apparatus
- B67C3/22—Details
- B67C3/222—Head-space air removing devices, e.g. by inducing foam
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
- B05B15/30—Dip tubes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65B—MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
- B65B3/00—Packaging plastic material, semiliquids, liquids or mixed solids and liquids, in individual containers or receptacles, e.g. bags, sacks, boxes, cartons, cans, or jars
- B65B3/04—Methods of, or means for, filling the material into the containers or receptacles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65B—MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
- B65B3/00—Packaging plastic material, semiliquids, liquids or mixed solids and liquids, in individual containers or receptacles, e.g. bags, sacks, boxes, cartons, cans, or jars
- B65B3/22—Defoaming liquids in connection with filling
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65B—MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
- B65B31/00—Packaging articles or materials under special atmospheric or gaseous conditions; Adding propellants to aerosol containers
- B65B31/04—Evacuating, pressurising or gasifying filled containers or wrappers by means of nozzles through which air or other gas, e.g. an inert gas, is withdrawn or supplied
- B65B31/044—Evacuating, pressurising or gasifying filled containers or wrappers by means of nozzles through which air or other gas, e.g. an inert gas, is withdrawn or supplied the nozzles being combined with a filling device
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
- B67C—CLEANING, FILLING WITH LIQUIDS OR SEMILIQUIDS, OR EMPTYING, OF BOTTLES, JARS, CANS, CASKS, BARRELS, OR SIMILAR CONTAINERS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; FUNNELS
- B67C3/00—Bottling liquids or semiliquids; Filling jars or cans with liquids or semiliquids using bottling or like apparatus; Filling casks or barrels with liquids or semiliquids
- B67C3/02—Bottling liquids or semiliquids; Filling jars or cans with liquids or semiliquids using bottling or like apparatus
- B67C3/22—Details
- B67C3/28—Flow-control devices, e.g. using valves
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Basic Packing Technique (AREA)
- Filling Of Jars Or Cans And Processes For Cleaning And Sealing Jars (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Containers And Packaging Bodies Having A Special Means To Remove Contents (AREA)
Description
多くの業界で、超高純度液体中の粒子の数および粒度を制御して、純度を確保する必要がある。特に、超高純度液体は超小型電子製品製造プロセスの多くの態様で使用されているため、半導体メーカーは、プロセス薬品および化学処理機器に関する厳密な粒子濃度仕様を確立した。これらの仕様は、製造プロセスの改善と共により厳密になり続けている。こうした仕様は必要であり、つまり、製造プロセスで使用される流体が高レベルの粒子を含む場合、これらの粒子は固体表面上に蒸着するからである。その結果、製品が不完全になるか、またはさらに意図した目的に使用できなくなる可能性がある。
本発明は、液体中に生成される粒子の量を最小限にするように、容器に超高純度液体を充填するシステムおよび方法に関する。容器中における空気−液体界面の存在は、液体中に観察される粒子濃度を増加させることが分かった。本発明は、液体を充填、搬送および容器から分配する時の空気−液体界面を最小限にするシステムおよび方法に関する。
図1は、容器に超高純度液体を充填するための標準上部充填装置の図である。図1には、容器1と、液体2と、スピゴット3と、充填ライン4と、バルブ5と、超高純度液体源6とが示されている。バルブ5は、充填ライン4上の超高純度液体源6とスピゴット3との間に位置する。バルブ5が開くと、超高純度液体2はスピゴット3において容器1に入る。スピゴットは、容器1の上部にある開口部上に位置する。
図2は、液体2中の粒子濃度を低下させる図1の充填システムの変形を示す。図2には、充填ライン4に接続されたスピゴット3と、バルブ5と、超高純度液体源6とを備え、図1に類似する容器7が示されている。しかし、図1のシステムと違って、図2の充填システムは、スピゴット3に接続された充填管8をさらに備える。充填管8は水没先端9で終端し、容器7の内部容積内に下方に延在し水没先端9は容器7の底部付近に位置する。
図3は、超高純度液体のパッケージに使用される別のタイプの容器を示す。図3の容器10は、剛性外側容器12と、圧潰可能なライナ14と、中間領域16と、浸漬管18と、付属部品20とを備える。容器10に充填する標準的な方法は、ライナ14を剛性の外側容器12内に挿入することである。次に、ライナ14が外側容器12を圧迫するまで、ライナ14を膨張させる。ライナ14が膨張したら、容器10に液体を従来の方法で充填する。
図8Aおよび8Bは、ノズル170を使用して超高純度液体を分配する2つの方法を比較する図である。図8Aには、液体を容器172内に排出するノズル170が示されている。ノズル170は充填ライン174に接続され、充填ライン174は超高純度液体源176に接続され、バルブ178により調整される。排出ノズル170は容器172上に位置するため、液体がノズル170から排出される時、液体は容器172内の開放槽上に噴霧される。その結果、空気が混入して、容器172に液体を充填する時に空気−液体界面領域が増加する。
本発明のもう1つの態様は、堰から溢出領域へ溢出した液体中における粒子の生成を最小限にすることに関する。これは、堰と溢出領域における水位との間の距離を最小限にすることにより達成される。図10Aおよび10Bは、堰の溢出距離の減少という概念を示す。図10Aには、堰212を有し、液体が堰の上から溢出トラフまたは水溜め214内に溢出する再循環槽210が示されている。溢出トラフ214は、液体を槽システム内で再循環させるための再循環ポンプ218に接続する。再循環ポンプ218は、液体をフィルタ220から逆に再循環槽210内に楊送する。
図14は、サイフォンの一般的な方法の図である。図14には、充填管272を備えるタンク270が示されている。充填管272には、超高純度水源276からタンク内に入る流れを調節して、水を水源276から水再利用領域278に迂回させる3方バルブ274が接続される。タンク270には、サイフォン管280および粒子サンプル管282も接続される。最後に、容量センサ284をタンク270上に配置する。
部分的に充填された容器を揺動すると、液体中に高い粒子濃度が生じる。この同じ現象は、容器を搬送する時に見られることが多い。何種類かの液体をパッケージする場合、容器内の液体が膨張することができるように、容器内にある量のヘッドスペースを残すことが必要であるか、または望ましい。このヘッドスペースを設けるため、容器には細大容量まで充填するのではなく、ある量の空気が液体の上部と容器の上部との間に存在するレベルまで充填する。容器を搬送する時、容器内の液体は、このヘッドスペースにより容器内で飛散して揺動する。粒子の生成を減少させるもう1つの方法は、充填後にヘッドスペースの空気を容器から除去し、容器内の空気−液体界面を減少させるか、または排除し、その結果として、容器の搬送またはその他の移動時における粒子の生成を最小限にすることである。
同一ロットの酸化物スラリOS−70KL材料(コネチカット州、ダンベリー(Danbury,CT)のATMIマテリアルズライフサイクルソリューションズ(ATMI Materials Lifecycle Solutions))から、OS−70KL材料を含む数種類のサンプルガラス瓶を構成し、本明細書および同時係属米国特許出願[ATMI代理人名簿番号522CIP]および[ATMI代理人名簿番号565]に一般に図示および説明されているタイプのドラム容器内の袋中における液体の挙動をシミュレートした。これらの特許出願は、ライナの内部容積におけるヘッドスペースを変更して、引用することにより本明細書に全体を援用する。
Claims (24)
- 内部に配置された圧潰可能なライナを有する剛性容器を用いて、超高純度材料の処理時における固体粒子の生成を最小限にする方法であって、
前記ライナの内部容積に液体含有超高純度材料を供給する工程と、
前記剛性容器に接続された外部源からの加圧気体の供給を制御して、前記ライナを圧縮するように、前記液体含有超高純度材料を供給されたライナと前記剛性容器との間の中間領域を加圧する工程と、
前記ライナを圧縮する時に、前記ライナの内部容積内の気体が出て行くことを可能にするように前記液体含有超高純度材料を供給されたライナを排気する工程と、
を含む方法。 - 前記ライナを圧縮した後、前記ライナを封止する工程をさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記ライナの内部容積に前記液体含有超高純度材料が供給される時に、前記中間領域を排気する工程を更に含む、請求項1または2に記載の方法。
- 前記液体含有超高純度材料を供給する工程が、前記ライナの内部容積に前記超高純度材料が供給される時に、浸漬管の先端を前記超高純度材料に入れる工程を含む、請求項1〜3のいずれかに記載の方法。
- 前記液体含有超高純度材料を供給する工程が、前記ライナの内部容積に前記超高純度材料が供給される時に、ノズルを前記超高純度材料に入れる工程を含む、請求項1〜3のいずれかに記載の方法。
- 前記容器が第1の容器であり、前記超高純度材料を前記ライナ内に供給する工程が、前記超高純度材料を第2の容器から前記ライナ内にサイフォンで移す工程を含み、サイフォン作用が中断しないように前記サイフォンが制御される、請求項1から5のいずれかに記載の方法。
- 前記超高純度材料が、酸、塩基、有機溶剤、フォトリソグラフィー化学薬品、CMPスラリおよびLCD市販化学薬品からなる群から選択される、請求項1〜6のいずれかに記載の方法。
- 前記容器が第1の容器であり、前記超高純度材料を前記ライナ内に供給する工程が、初期固体粒子濃度を有する前記超高純度材料を第2の容器から前記ライナに搬送する工程を含み、前記超高純度材料が前記ライナ内にある時の前記液体含有超高純度材料の最終固体粒子濃度が、前記初期固体粒子濃度を実質的に超えないように、搬送時の空気−液体界面が制御される、請求項1〜7のいずれかに記載の方法。
- 前記第2の容器が、剛性容器内に設けられるライナを備える、請求項8に記載の方法。
- 前記超高純度材料を供給後のライナ内の前記超高純度材料が、約0.2μmの粒子サイズを有する固体粒子の場合、1mL当たり約2粒子未満の粒子濃度を有する、請求項1〜6のいずれかに記載の方法。
- 前記中間領域を加圧することにより、前記液体含有超高純度材料を供給されたライナから前記超高純度材料を分配することによって、前記第ライナから前記超高純度材料を分配する工程をさらに含む、請求項1〜6のいずれかに記載の方法。
- 前記容器が第1の容器であり、前記ライナが第1のライナであり、前記超高純度材料を前記第1のライナから分配する工程が、前記超高純度材料を前記第1のライナから第2の剛性容器内に配置された第2のライナに搬送する工程を含む、請求項11に記載の方法。
- 前記第1のライナと前記第2のライナとの間に流体接続を設ける工程と、
前記第2のライナ内の気体を除去するように、前記第2剛性容器内の前記第2のライナを圧潰する工程と、
前記超高純度材料を前記第1のライナから前記第2のライナに移動させるように、前記第1の容器の中間領域を加圧する工程と、
前記第2のライナに前記第1のライナからの前記超高純度材料が供給される時、前記第2ライナと前記第2の剛性容器との間に位置する中間領域を排気する工程と、
をさらに含む、請求項12に記載の方法。 - 超高純度材料パッケージであって、
剛性容器と、
前記剛性容器内に設置されるように構成され、液体含有超高純度材料を保持する内部容積を有するライナと、
充填・分配通路を含み、加圧気体源に接続するよう構成された気体供給通路を含むアセンブリであり、前記充填・分配通路が前記ライナの内部容積と連通するように、前記アセンブリが前記剛性容器に接続されるように構成され、前記気体供給通路が前記剛性容器と前記ライナとの間の中間領域と連通し、前記超高純度材料が前記ライナの内部容積内にあるとき、前記アセンブリが前記超高純度材料の上の気体−液体界面を最小限にするよう構成されたアセンブリと、
を備え、
(a)前記アセンブリが前記剛性容器と前記ライナとの間の前記中間領域に設けられる膨張可能な空気袋を備える、特徴、
(b)前記容器の外部のバルブが、前記中間領域に供給される気体の流れを制御するように構成される、特徴、
(c)前記容器の外部の加圧流体源が、前記中間領域と流体で接続している、特徴、
のうち少なくとも1つの特徴を有する、超高純度材料パッケージ。 - 前記ライナが、圧潰状態で前記剛性容器に設置され、そのような圧潰状態において前記充填・分配通路を通して前記超高純度材料を充填されるように構成される、請求項14に記載の超高純度材料パッケージ。
- 前記アセンブリが、前記剛性容器と前記ライナとの間の前記中間領域に設けられる膨張可能な空気袋を備える、請求項14に記載の超高純度材料パッケージ。
- 前記ライナ内に浸漬管を更に備え、前記浸漬管が前記ライナに対する前記超高純度材料の浸入および排出のいずれかを許可するように構成される、請求項14〜16のいずれかに記載の超高純度材料パッケージ。
- 酸、塩基、有機溶剤、フォトリソグラフィー化学薬品、CMPスラリおよびLCD市販化学薬品からなる群から選択される前記超高純度材料を含む、請求項14〜17のいずれかに記載の超高純度材料パッケージ。
- 前記超高純度材料が、約0.2μmの粒子サイズを有する粒子の場合、1mL当たり約2粒子未満の粒子濃度を有する、請求項14〜18のいずれかに記載の超高純度材料パッケージ。
- 液体含有超高純度材料を超小型電子製品製造プロセスに供給するために、動作可能に接続される、請求項14〜19のいずれかに記載の、超高純度材料パッケージ。
- 前記気体供給通路は、前記中間領域の選択的な加圧が可能となるように加圧気体源に動作可能に接続される、請求項14〜20のいずれかに記載の超高純度材料パッケージ。
- 超高純度材料の処理時における前記超高純度材料中の粒子の生成を最小限にする方法であって、
初期粒子濃度を有する液体含有超高純度材料を超高純度材料源から容器へとスマートサイフォンシステムによるサイフォンで搬送する工程であって、前記容器内に気体を含むヘッドスペースが残るように、前記容器に最大容量未満まで前記高純度材料を充填する工程を含む工程と、
混入気体によりサイフォン作用を中断しないように前記サイフォンを制御される工程と、
不活性空気袋を前記ヘッドスペース内に挿入して、ヘッドスペースの気体を減少させる工程と、を含む方法において、
前記容器内に配置された時の前記超純度材料の最終粒子濃度が初期粒子濃度を実質的に超えない、方法。 - 前記容器の外部のバルブが、前記中間領域に供給される気体の流れを制御するように構成される、請求項14に記載の超高純度材料パッケージ。
- 前記容器の外部の加圧流体源が、前記中間領域と流体で接続している、請求項14に記載の超高純度材料パッケージ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/139,185 US7188644B2 (en) | 2002-05-03 | 2002-05-03 | Apparatus and method for minimizing the generation of particles in ultrapure liquids |
PCT/US2003/013115 WO2003093109A1 (en) | 2002-05-03 | 2003-04-28 | Apparatus and method for minimizing the generation of particles in ultrapure liquids |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005538902A JP2005538902A (ja) | 2005-12-22 |
JP2005538902A5 JP2005538902A5 (ja) | 2008-06-19 |
JP4369360B2 true JP4369360B2 (ja) | 2009-11-18 |
Family
ID=29269523
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004501257A Expired - Fee Related JP4369360B2 (ja) | 2002-05-03 | 2003-04-28 | 超高純度液体中の粒子の生成を最小限にするための装置および方法 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7188644B2 (ja) |
EP (2) | EP2447167B1 (ja) |
JP (1) | JP4369360B2 (ja) |
KR (3) | KR101083459B1 (ja) |
AT (1) | ATE554005T1 (ja) |
AU (1) | AU2003225188A1 (ja) |
MY (1) | MY135340A (ja) |
TW (2) | TWI335307B (ja) |
WO (1) | WO2003093109A1 (ja) |
Families Citing this family (48)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6879876B2 (en) | 2001-06-13 | 2005-04-12 | Advanced Technology Materials, Inc. | Liquid handling system with electronic information storage |
US6698619B2 (en) * | 2002-05-03 | 2004-03-02 | Advanced Technology Materials, Inc. | Returnable and reusable, bag-in-drum fluid storage and dispensing container system |
US20050224523A1 (en) * | 2004-04-13 | 2005-10-13 | Advanced Technology Materials, Inc. | Liquid dispensing method and system with headspace gas removal |
WO2005102067A1 (en) * | 2004-04-26 | 2005-11-03 | Ipn Ip B.V. | Packaged flowable ice product, such as a milk shake |
US20050279207A1 (en) * | 2004-06-16 | 2005-12-22 | Advanced Technology Materials, Inc. | Liquid delivery system |
US7156132B2 (en) * | 2004-06-16 | 2007-01-02 | Advanced Technology Materials, Inc. | Collapsible fluid container |
US7968250B2 (en) | 2004-06-25 | 2011-06-28 | Ultracell Corporation | Fuel cartridge connectivity |
US7172096B2 (en) * | 2004-11-15 | 2007-02-06 | Advanced Technology Materials, Inc. | Liquid dispensing system |
MY169584A (en) * | 2005-04-25 | 2019-04-22 | Entegris Inc | Liner-based liquid storage and dispensing system with empty detection capability |
CN101208255B (zh) * | 2005-04-25 | 2013-03-06 | 高级技术材料公司 | 用于物质储存和分配的包装及方法 |
EP1896359B1 (en) * | 2005-06-06 | 2017-01-11 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and dispensing systems and processes |
CN101484782B (zh) | 2006-06-13 | 2013-07-17 | 高级技术材料公司 | 包含气体移出设备的液体分配系统 |
KR20140023430A (ko) * | 2006-07-10 | 2014-02-26 | 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 | 정보 저장 엘리먼트를 갖는 물질 저장 용기를 관리하기 위한 시스템 및 방법 |
US20090321443A1 (en) * | 2007-03-09 | 2009-12-31 | Taggart Jeffrey S | Method for filling a vessel with a gas entrained beverage and a consumable consumer product including the beverage |
SG166102A1 (en) | 2007-03-31 | 2010-11-29 | Advanced Tech Materials | Methods for stripping material for wafer reclamation |
KR20100017695A (ko) * | 2007-05-09 | 2010-02-16 | 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 | 재료 혼합과 분배를 위한 시스템 및 방법 |
KR20100056537A (ko) | 2007-08-20 | 2010-05-27 | 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 | 이온-주입된 포토레지스트를 제거하기 위한 조성물 및 방법 |
KR101470051B1 (ko) | 2007-08-28 | 2014-12-05 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 유체 분배용 방법 및 장치 |
EP2223332A4 (en) * | 2007-12-06 | 2012-07-11 | Foresight Proc Llc | SYSTEMS AND METHODS FOR DELIVERING COMBINATIONS OF TREATMENT MATERIAL CONTAINING FLUID |
SG188848A1 (en) | 2008-03-07 | 2013-04-30 | Advanced Tech Materials | Non-selective oxide etch wet clean composition and method of use |
EP2385800B1 (en) * | 2008-12-05 | 2015-08-19 | Synthes GmbH | Anchor-in-anchor system for use in bone fixation |
CN102460640A (zh) * | 2009-06-10 | 2012-05-16 | 高级技术材料公司 | 流体处理系统和方法 |
CN102548868B (zh) | 2009-07-09 | 2014-12-10 | 先进技术材料股份有限公司 | 基于衬里的存储系统和将流体材料输送给半导体工艺的方法 |
US20110132939A1 (en) * | 2009-08-10 | 2011-06-09 | Brooks Dennis L | Method and Apparatus for Enabling Smoother, Faster Discharge of Fluid from Containers |
US20110155771A1 (en) * | 2009-08-10 | 2011-06-30 | Brooks Dennis L | Method and apparatus for enabling smoother, faster discharge of fluid from containers |
JP5891177B2 (ja) | 2010-01-06 | 2016-03-22 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド | 気体除去および検出能力を有する液体分配システム |
TW201242670A (en) | 2010-11-23 | 2012-11-01 | Advanced Tech Materials | Liner-based dispenser |
US20140318584A1 (en) | 2011-01-13 | 2014-10-30 | Advanced Technology Materials, Inc. | Formulations for the removal of particles generated by cerium-containing solutions |
KR20140008418A (ko) | 2011-03-01 | 2014-01-21 | 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 | 네스트 블로우 성형 라이너 및 오버팩과 그 제조 방법 |
DE102011100560B3 (de) * | 2011-05-05 | 2012-03-15 | Leibinger Smb Technik Gmbh | Vorrichtung zum Befüllen eines Behältnisses mit einer zum Verzehr bestimmten Flüssigkeit |
WO2013055988A1 (en) * | 2011-10-13 | 2013-04-18 | Advanced Technology Materials, Inc. | Liner-based shipping and dispensing containers for the substantially sterile storage, shipment, and dispense of materials |
WO2013101907A1 (en) | 2011-12-28 | 2013-07-04 | Advanced Technology Materials, Inc. | Compositions and methods for selectively etching titanium nitride |
US8701721B2 (en) * | 2012-02-29 | 2014-04-22 | Caneel Associates, Inc. | Container filling apparatus and method |
CN104583114B (zh) * | 2012-06-18 | 2017-04-05 | 苏州诺菲纳米科技有限公司 | 储存于容器中的纳米线悬浮液的聚结物减少 |
US10472567B2 (en) | 2013-03-04 | 2019-11-12 | Entegris, Inc. | Compositions and methods for selectively etching titanium nitride |
WO2014178426A1 (ja) * | 2013-05-02 | 2014-11-06 | 富士フイルム株式会社 | エッチング方法、これに用いるエッチング液およびエッチング液のキット、ならびに半導体基板製品の製造方法 |
CN111394100A (zh) | 2013-06-06 | 2020-07-10 | 恩特格里斯公司 | 用于选择性蚀刻氮化钛的组合物和方法 |
SG10201801575YA (en) | 2013-08-30 | 2018-03-28 | Entegris Inc | Compositions and methods for selectively etching titanium nitride |
WO2015095175A1 (en) | 2013-12-16 | 2015-06-25 | Advanced Technology Materials, Inc. | Ni:nige:ge selective etch formulations and method of using same |
US10460954B2 (en) | 2014-06-04 | 2019-10-29 | Entegris, Inc. | Anti-reflective coating cleaning and post-etch residue removal composition having metal, dielectric and nitride compatibility |
WO2016003729A1 (en) | 2014-06-30 | 2016-01-07 | Entegris, Inc. | Aqueous and semi-aqueous cleaners for the removal of post-etch residues with tungsten and cobalt compatibility |
TWI782893B (zh) | 2015-07-09 | 2022-11-11 | 美商恩特葛瑞斯股份有限公司 | 選擇性地移除鍺化矽材料之方法、套組及組成物 |
US11229702B1 (en) | 2015-10-28 | 2022-01-25 | Coherus Biosciences, Inc. | High concentration formulations of adalimumab |
WO2017091572A1 (en) | 2015-11-23 | 2017-06-01 | Entegris, Inc. | Composition and process for selectively etching p-doped polysilicon relative to silicon nitride |
DE102016004612A1 (de) * | 2016-04-19 | 2017-10-19 | Merck Patent Gmbh | Verfahren und Befüllungsvorrichtung zum Befüllen eines Transportbehälters mit einem Fluid |
WO2017184880A1 (en) | 2016-04-20 | 2017-10-26 | Coherus Biosciences, Inc. | A method of filling a container with no headspace |
US20180043020A1 (en) * | 2016-04-20 | 2018-02-15 | Coherus Biosciences, Inc. | Method of reducing immunogenicity of drug products |
EP4074610A1 (de) * | 2021-04-14 | 2022-10-19 | GREIF-VELOX Maschinenfabrik GmbH | Verfahren zum befüllen eines zumindest teilweise gasdurchlässigen behältnisses |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US288603A (en) | 1883-11-13 | Wilhelm vof schlieffen | ||
USRE26006E (en) * | 1959-12-23 | 1966-04-26 | Transfusion set | |
US3371822A (en) * | 1966-07-01 | 1968-03-05 | Galloway Co | Bulk delivery, storage and dispensing apparatus for liquid ice cream mixes and the like |
US3802470A (en) * | 1966-12-05 | 1974-04-09 | C Coleman | Composite container and method of handling fluent materials |
US4756347A (en) | 1985-11-19 | 1988-07-12 | Jopado Baderi | Filling and dispensing valve, adapter and package |
GB8906409D0 (en) * | 1989-03-21 | 1989-05-04 | Lambrechts Nv | Container for liquids |
US5011700A (en) * | 1989-08-11 | 1991-04-30 | Gustafson Keith W | Syrup delivery system for carbonated beverages |
US5148945B1 (en) * | 1990-09-17 | 1996-07-02 | Applied Chemical Solutions | Apparatus and method for the transfer and delivery of high purity chemicals |
US5086817A (en) * | 1990-10-01 | 1992-02-11 | Murphy David J | Foam-suppressing apparatus for filling beer pitcher |
US5199609A (en) * | 1991-09-11 | 1993-04-06 | Ash Jr William O | Portable dispensing system |
US5343901A (en) * | 1993-03-17 | 1994-09-06 | Philip Meshberg | Insertable barrier bag or liner for a narrow neck dispensing container and method of filling such a barrier bag or liner |
US5569375A (en) | 1995-02-21 | 1996-10-29 | Ridgeway; Kent | Apparatus for filtering liquids in a closed system |
DE19533462A1 (de) * | 1995-09-09 | 1997-03-13 | Ruediger Haaga Gmbh | Vorrichtung zum Füllen von Behältern mit einer zu Schaumbildung neigenden Flüssigkeit |
US6345739B1 (en) * | 1996-02-02 | 2002-02-12 | Daizo Co., Ltd. | Method for producing a double aerosol device and container therefor |
JP3294548B2 (ja) | 1998-04-22 | 2002-06-24 | 理可工業有限会社 | 流水プール及びその送水方法 |
JP3929000B2 (ja) * | 1998-05-08 | 2007-06-13 | アイセロ化学株式会社 | 高純度薬品液用容器 |
JP4090579B2 (ja) * | 1998-07-14 | 2008-05-28 | 東洋エアゾール工業株式会社 | 二重エアゾール容器の製造方法及びこの製造方法により形成した二重エアゾール容器 |
FR2785268B1 (fr) * | 1998-10-28 | 2001-01-19 | Sofab | Valve pour reservoir a poche |
US6206240B1 (en) * | 1999-03-23 | 2001-03-27 | Now Technologies, Inc. | Liquid chemical dispensing system with pressurization |
US6375045B1 (en) * | 2000-03-30 | 2002-04-23 | Yonwoo Corporation | Airless type dispenser |
US6879876B2 (en) * | 2001-06-13 | 2005-04-12 | Advanced Technology Materials, Inc. | Liquid handling system with electronic information storage |
CH695529A5 (it) * | 2001-06-18 | 2006-06-30 | Roger Maier | Tuta da ciclista. |
US7025234B2 (en) * | 2001-10-20 | 2006-04-11 | Advanced Technology Materials, Inc. | Apparatus and method for dispensing high-viscosity liquid |
US20030098069A1 (en) * | 2001-11-26 | 2003-05-29 | Sund Wesley E. | High purity fluid delivery system |
US20030168479A1 (en) * | 2002-03-11 | 2003-09-11 | Technology Resource International Corporation | Method and apparatus for dispensing a fluid |
US6698619B2 (en) * | 2002-05-03 | 2004-03-02 | Advanced Technology Materials, Inc. | Returnable and reusable, bag-in-drum fluid storage and dispensing container system |
CN101208255B (zh) * | 2005-04-25 | 2013-03-06 | 高级技术材料公司 | 用于物质储存和分配的包装及方法 |
-
2002
- 2002-05-03 US US10/139,185 patent/US7188644B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-04-02 MY MYPI20031217A patent/MY135340A/en unknown
- 2003-04-18 TW TW092109044A patent/TWI335307B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-04-28 AT AT03721902T patent/ATE554005T1/de active
- 2003-04-28 WO PCT/US2003/013115 patent/WO2003093109A1/en active Application Filing
- 2003-04-28 EP EP12151767.6A patent/EP2447167B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-04-28 KR KR1020117011209A patent/KR101083459B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2003-04-28 JP JP2004501257A patent/JP4369360B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-04-28 KR KR1020107025629A patent/KR101099878B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2003-04-28 KR KR1020047017727A patent/KR101031440B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2003-04-28 AU AU2003225188A patent/AU2003225188A1/en not_active Abandoned
- 2003-04-28 EP EP03721902A patent/EP1501726B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2006
- 2006-12-30 US US11/618,761 patent/US20070113923A1/en not_active Abandoned
-
2010
- 2010-04-18 TW TW099130705A patent/TWI366555B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2447167A1 (en) | 2012-05-02 |
KR20110060972A (ko) | 2011-06-08 |
KR101031440B1 (ko) | 2011-04-26 |
US20030205285A1 (en) | 2003-11-06 |
TW200307646A (en) | 2003-12-16 |
KR101099878B1 (ko) | 2011-12-28 |
TWI335307B (en) | 2011-01-01 |
KR101083459B1 (ko) | 2011-11-16 |
WO2003093109A1 (en) | 2003-11-13 |
EP1501726A1 (en) | 2005-02-02 |
EP1501726A4 (en) | 2007-03-14 |
KR20100127319A (ko) | 2010-12-03 |
US20070113923A1 (en) | 2007-05-24 |
EP2447167B1 (en) | 2014-04-23 |
KR20040106460A (ko) | 2004-12-17 |
ATE554005T1 (de) | 2012-05-15 |
MY135340A (en) | 2008-03-31 |
US7188644B2 (en) | 2007-03-13 |
TWI366555B (en) | 2012-06-21 |
EP1501726B1 (en) | 2012-04-18 |
JP2005538902A (ja) | 2005-12-22 |
AU2003225188A1 (en) | 2003-11-17 |
TW201121896A (en) | 2011-07-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4369360B2 (ja) | 超高純度液体中の粒子の生成を最小限にするための装置および方法 | |
TWI458554B (zh) | 包含氣體移除設備之液體分配系統 | |
US5542441A (en) | Apparatus for delivering ultra-low particle counts in semiconductor manufacturing | |
JP5854087B2 (ja) | フィルタ内の気体の除去方法及びその装置 | |
KR101788352B1 (ko) | 처리액 공급 장치의 운전 방법, 처리액 공급 장치 및 기억 매체 | |
TWI644344B (zh) | Processing liquid supply device, substrate processing system, and processing liquid supply method | |
EP1765674A2 (en) | Collapsible fluid container | |
CN210535627U (zh) | 一种基板处理液的存储装置和基板后处理设备 | |
KR0136644B1 (ko) | 반도체 제조공정의 고순도 케미칼 이송로에 설치되는 테프론 여과막을 갖는 필터의 프리웨팅 방법 및 장치 | |
JPH11121422A (ja) | 薬液供給装置 | |
JP3290385B2 (ja) | レジスト処理方法及びレジスト処理装置 | |
JPH10273193A (ja) | 高純度薬液輸送用大型容器 | |
US20090037028A1 (en) | Apparatus for dispensing precise volumes of fluid | |
JP3283190B2 (ja) | レジスト処理装置及びレジスト処理方法 | |
KR200268292Y1 (ko) | 백린스플로우에러 제거용 반도체 웨이퍼코터 | |
JP2004358414A (ja) | 濾過装置および濾過方法 | |
JPH0381636A (ja) | 液体のサンプリング方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060411 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080430 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090206 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090507 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090514 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090603 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090610 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090703 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090807 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090827 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120904 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130904 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |