JP4364586B2 - 有機電界効果トランジスタ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
(実施例1)
まず、ゲート絶縁膜として約200nmの熱酸化膜を形成させたゲート電極を兼ねる高ドープのn型シリコン基板(バルク抵抗率:1Ωcm)を準備し、これを9×25mmの矩形板状に切り出した。次に、この基板におけるゲート絶縁膜上に、ペンタセンを真空蒸着して、約50nmの厚さの有機半導体層を形成させた。
白金(II)オクタエチルポルフィリンに代えてイリジウム(III)フェニルピリジンを用いたこと以外は、実施例1と同様にして有機FETを得た。
白金(II)オクタエチルポルフィリンに代えて白金(II)アセチルアセトンを用いたこと以外は、実施例1と同様にして有機FETを得た。
白金(II)オクタエチルポルフィリンに代えて銅(II)フタロシアニンを用いたこと以外は、実施例1と同様にして有機FETを得た。
バッファ層を設けなかったこと以外は実施例1と同様にして有機FETを得た。
まず、実施例1〜4及び比較例1で得られた有機FETについて、ゲート電圧に対するドレイン電流の変化を測定した。このゲート電圧に対するドレイン電流の変化の測定は、半導体パラメータ・アナライザ(4155C、Agilent Technologies社製)を用いて行い、種々の値のドレイン/ソース電極間の電圧(ドレイン電圧)に対して、ゲート/ソース電極間の電圧(ゲート電圧)を連続的に変化させた場合に、ソース電極及びドレイン電極間に流れる電流(ドレイン電流)の値をモニターすることにより行った。なお、各有機FETは、ソース電極の電位を基準として、ドレイン電極及びゲート電極の電位が負となるように電圧を印加した場合にドレイン電流値が上昇したことから、典型的なp型のトランジスタ特性を示すことが判明した。
Claims (9)
- ソース電極及びドレイン電極と、
前記ソース電極と前記ドレイン電極との間のチャネルとなる有機半導体層と、
前記チャネルを通る電流量を制御するためのゲート電極と、
前記有機半導体層と、前記ソース電極及び前記ドレイン電極のうち少なくとも一方の電極と、の間に形成されており、金属錯体を含むバッファ層と、
を備え、
前記有機半導体層を構成している有機半導体がn型半導体であり、且つ、前記金属錯体の金属元素が該有機半導体よりも小さい仕事関数を有している有機電界効果トランジスタ。 - 前記ソース電極及び前記ドレイン電極と前記ゲート電極との間に形成された絶縁層を有しており、
前記有機半導体層は、前記絶縁層に対して前記ソース電極及び前記ドレイン電極が位置する側に形成されている請求項1記載の有機電界効果トランジスタ。 - 前記金属錯体の金属元素の仕事関数は、5.2eV以下である請求項1又は2記載の有機電界効果トランジスタ。
- 前記バッファ層を構成している金属錯体の金属元素は、貴金属元素である請求項1〜3のいずれか一項に記載の有機電界効果トランジスタ。
- 前記金属錯体は、非イオン性錯体である請求項1〜4のいずれか一項に記載の有機電界効果トランジスタ。
- 前記バッファ層の厚さは、0.5〜10nmである請求項1〜5のいずれか一項に記載の有機電界効果トランジスタ。
- ソース電極及びドレイン電極と、前記ソース電極と前記ドレイン電極との間のチャネルとなる有機半導体層と、前記チャネルを通る電流量を制御するためのゲート電極と、を備える有機電界効果トランジスタを製造する方法であって、
前記ソース電極及び前記ドレイン電極のうち少なくとも一方の電極と前記有機半導体層との間に、金属錯体を含むバッファ層を形成する工程を有し、
前記有機半導体層を構成している有機半導体がn型半導体であり、且つ、前記金属錯体の金属元素が該有機半導体よりも小さい仕事関数を有している有機電界効果トランジスタの製造方法。 - 前記ゲート電極及び絶縁層を含む積層体を形成する工程と、
前記積層体における前記絶縁層が形成された側に、前記有機半導体層を形成する工程と、
前記積層体における前記有機半導体層が形成された側に、前記バッファ層を形成する工程と、
前記積層体における前記バッファ層が形成された側に、前記ソース電極及び前記ドレイン電極を当該各電極の少なくとも一方が前記バッファ層上に位置するように形成する工程と、
を有する請求項7記載の有機電界効果トランジスタの製造方法。 - 前記ゲート電極及び絶縁層を含む積層体を形成する工程と、
前記積層体における前記絶縁層が形成された側に、前記ソース電極及び前記ドレイン電極を形成する工程と、
前記ソース電極及び前記ドレイン電極の少なくとも一方の上に、前記バッファ層を形成する工程と、
前記有機半導体層を、前記ソース電極及び前記ドレイン電極の少なくとも一方との間に前記バッファ層を挟むように形成する工程と、
を有する請求項7記載の有機電界効果トランジスタの製造方法。
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