JP4362738B2 - 液体噴射ヘッドおよびプリンタ - Google Patents

Description

本発明は、液滴を精度よく吐出可能な液体噴射ヘッドおよびこれを備えたプリンタに関する。

液体噴射ヘッドは、インクジェットプリンタのヘッドなどに用いられ、記録紙に対してインクを噴射、塗布するインクジェット方式の印刷における主要なデバイスである。

一般に、液体噴射ヘッドは、吐出孔と吐出孔に対応した圧電素子との組（チャネル）を複数備えた多チャネルの構造になっている。液体噴射ヘッドは、各チャネルごとに圧電素子の動作にしたがって、吐出孔から液体を、予め設定された量およびタイミングで吐出する。液体噴射ヘッドは、より小さな液滴をより正確なタイミングで吐出する性能の他に、隣り合うチャネル間の間隔を小さくすること（高密度化）が求められている。

液体噴射ヘッドを高密度化すると、あるチャネルから液体を吐出する際に動作する圧電素子の振動の影響によって、隣接するチャネルからも液滴が吐出してしまうことがある。このような不具合に対して、たとえば、特開平８−１６４６０７号公報には、液体が充填される液室間に、圧電素子で形成された支柱部材を設け、支柱部材を基板に接合することによって、１つの圧電素子の動作が隣のチャネルに伝搬しないようにしたインクジェットヘッドが開示されている。
特開平８−１６４６０７号公報

上述のような、ある吐出孔から液体を吐出する際に、駆動していない吐出孔から液体が吐出するなど、意図せぬ液体が吐出される現象は、クロストークと呼ばれ、液体噴射ヘッドの高密度化における障害の１つとなる。

クロストークを抑制するためには、液体噴射ヘッドの剛性を高めることが重要である。液体噴射ヘッドの剛性を高めるには、液体に圧力を加えるために関与しない固定部分を強化することよりもむしろ、液体に圧力を加えるために直接関与する可動部分を強化することが重要である。その理由としては、クロストークは、圧電素子が動作するときに生じる振動が、近隣のチャネルに伝搬することにより起きる現象であり、より振動の影響を受けやすい部分は、可動部分であるからである。

本発明の目的は、クロストークが抑制された液体噴射ヘッド、およびこれを備えたプリンタを提供することにある。

本発明にかかる液体噴射ヘッドは、圧力室と、前記圧力室の側方に設けられた空間と、前記圧力室および前記空間の上方に設けられた振動板と、前記圧力室上方であって、前記振動板上方に設けられた駆動圧電素子と、前記空間の上方であって、前記振動板上方に設けられ、前記駆動圧電素子とは分離された非駆動圧電素子と、前記非駆動圧電素子および前記振動板の間に配置され、前記非駆動圧電素子および他の非駆動圧電素子との間で連続して形成された支持板と、各前記駆動圧電素子および前記振動板の間に配置され、前記支持板とは不連続であるダイヤフラムと、を含み、前記駆動圧電素子が駆動することにより、前記圧力室の体積が変化する。

このように構成した液体噴射ヘッドは、クロストークが十分に抑制されたものである。

なお、本発明において、特定のＡ部材上方に設けられた特定のＢ部材というとき、Ａ部材の上に直接Ｂ部材が設けられた場合と、Ａ部材の上に他の部材を介してＢ部材が設けられた場合とを含む意味である。

本発明にかかる液体噴射ヘッドにおいて、前記圧力室および前記空間は、それぞれ、前記振動板と、前記圧力室と前記空間との間の隔壁となる板状部材と、前記板状部材の下方に設けられ、ノズル孔を備えたノズル板と、によって形成されることができる。

本発明にかかる液体噴射ヘッドにおいて、前記圧力室の上方であって、前記振動板の上方に設けられた他の非駆動圧電素子を含むことができる。

本発明にかかる液体噴射ヘッドにおいて、前記空間の上方であって、前記振動板の上方に設けられた他の駆動圧電素子を含むことができ、前記他の駆動圧電素子が駆動することにより、前記空間の体積が変化することができる。

本発明にかかるプリンタは、上述の液体噴射ヘッドを有する。本発明にかかるプリンタは、上述した液体噴射ヘッドを有するヘッドユニットと、前記ヘッドユニットを往復動させる駆動部と、前記ヘッドユニットおよび前記駆動部を制御する制御部と、を含むことができる。

以下に本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本発明の一例として記述され、説明する構成のすべてが本発明の必須構成要素とは限らない。

１．液体噴射ヘッド
図１は、本実施形態の液体噴射ヘッド１００を模式的に示す部分切断斜視図である。図２は、液体噴射ヘッド１００を模式的に示す平面図である。図３は、液体噴射ヘッド１００を模式的に示す断面図である。図３は、図２のＡ−Ａ線の断面図である。図４および図５は、板状部材１０を模式的に示す平面図である。

図１ないし図３に示すように、本実施形態の液体噴射ヘッド１００は、板状部材１０と、ノズル板２０と、振動板３０と、支持板４０と、ダイヤフラム５０と、駆動圧電素子６０と、非駆動圧電素子６２とを含む。

板状部材１０は、圧力室１３の隔壁となる板状の部材である。板状部材１０は、その下方にノズル板２０が設けられ、その上方に振動板３０が設けられることにより挟まれる。そのため板状部材１０、ノズル板２０、および振動板３０によって内部に空間が形成される。この空間は、圧力室１３となる。図３に示すように、板状部材１０は、隔壁としての機能を有し、隣り合う圧力室１３は板状部材１０によって互いに分離される。板状部材１０の材質としては、たとえば、シリコン、ステンレス、ＳＵＳ、ニッケル、チタン、チタン合金などを用いることができる。

ノズル板２０は、板状部材１０の下方に設けられる。ノズル板２０は、板状部材１０に密着して設けられても、接着剤や他の部材を介して設けられてもよい。ノズル板２０は、圧力室１３に通じるノズル孔２２を有する。ノズル板２０の上面のうち板状部材１０に接していない面は、圧力室１３の下面を構成する。ノズル板２０の材質としては、たとえば、シリコン、ステンレス、チタン、チタン合金などを用いることができる。

振動板３０は、圧力室１３の上方に設けられる。振動板３０は、圧力室１３の上面を構成し、振動板３０の下に他の部材を有して各圧力室の上面を構成してもよい。振動板３０のうち、圧力室１３の上面を構成する面の少なくとも一部は、上下に振動することにより、各圧力室の体積を変化させることができる。振動板３０の材質は、一定の可とう性を有すればよく、たとえば、ポリイミドなどの高分子材料が好適である。

圧力室１３は、ノズル板２０および振動板３０によって板状部材１０が挟まれることにより形成される空間である。圧力室１３は、加圧部１４および狭窄部１６から構成される（図１および図４参照）。圧力室１３は、板状部材１０の端面に開口部１８を有している。圧力室１３は、開口部１８を介して外部の液体リザーバ（図示せず）に通じている。圧力室１３の開口部１８付近は、狭窄された形状の狭窄部１６であり、圧力室１３の内部に発生した圧力が開口部１８から散逸しにくくなっている。液体は、液体リザーバから、開口部１８を通り、狭窄部１６および加圧部１４に供給される。したがって狭窄部１６は、液体の流路としての機能も有する。各圧力室１３にはノズル孔２２が通じている。１つの圧力室１３は、複数の狭窄部１６を有したり、複数の開口部１８を有したりすることができる。また、複数の圧力室１３が共通する１つの開口部１８を有することができる。狭窄部１６は、圧力室１３の形状や、液体の粘度などの要因に合わせて任意に変形できる。複数の圧力室１３には、異なる種類の液体をそれぞれに充填することができる。図１ないし図３の例では、圧力室１３の形状は、細長い形状の加圧部１４の一方の端に狭窄部１６が設けられた形状である。図示の例では、このような圧力室１３が並列して配置されている。各圧力室１３の狭窄部１６は、隣の圧力室１３の狭窄部１６の設けられた位置と反対側に設けられている。圧力室１３の形状は、例示したもの以外の形状としてもよく、たとえば、放射状やハニカム状にすることができる。

駆動圧電素子６０は、圧力室１３の上方であって、振動板３０の上方に設けられる（図１ないし図３参照）。駆動圧電素子６０は、ダイヤフラム５０や接着剤などの他の部材を介して振動板３０の上方に設けられてもよい。駆動圧電素子６０の上部は、筐体（図示せず）などに固定される。駆動圧電素子６０は、与えられる電気信号にしたがって上下方向に伸縮し、振動板３０を上下に振動させる。駆動圧電素子６０の上下方向の長さは、駆動圧電素子６０の圧電体の性能などにより決定される。駆動圧電素子６０は、圧電体を電極で挟んだ構造を有する。駆動圧電素子６０の電極の延びる方向は、駆動圧電素子６０の伸縮方向に平行（横モード）であっても、垂直（縦モード）であってもよい。駆動圧電素子６０は、側面などに集積回路を有してもよい。駆動圧電素子６０の圧電体の材質としては、圧電性を示すものであれば任意であるが、たとえば、Ｐｂ、Ｚｒ、Ｔｉを構成元素として含むチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などを好適に用いることができる。また、圧電体の材質には、ＰＺＴにさらにＮｂをドープしたニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴＮ）なども好適に用いることができる。駆動圧電素子３０の電極の材質としては、導電性を有すればよく、たとえば、白金などを用いることができる。

非駆動圧電素子６２は、圧力室１３の上方であって、振動板３０の上方に設けられる。非駆動圧電素子６２は、圧力室１３の鉛直上方の領域を越えて設けられてもよい。さらに非駆動圧電素子６２は、隣接する他の圧力室１３の上方に及んで設けられてもよい。非駆動圧電素子６２は、支持板４０に機械的に密着して設けられても、支持板４０や接着剤などの他の部材を介して設けられてもよい。非駆動圧電素子６２の上部は、筐体（図示せず）などに固定される。非駆動圧電素子６２の上下方向の長さは、その上部が筐体に固定できる範囲であれば任意である。非駆動圧電素子６２は、伸縮等の変形をせず、液体噴射ヘッド１００を機械的に補強する機能を有する。したがって非駆動圧電素子６２の下方の振動板３０は、非駆動圧電素子６２によって固定される。また、非駆動圧電素子６２の下方の板状部材１０も同様に、非駆動圧電素子６２によって固定される。これらの効果により、非駆動圧電素子６２の下方の振動板３０の振動が抑制される。よって、液体噴射ヘッド１００は、液体の吐出の際に、不要な振動が抑制され、クロストークが低減する。また、非駆動圧電素子６２が圧力室１３の鉛直上方を越えて設けられる場合は、液体噴射ヘッド１００の全体の機械的な強度が一層増して、クロストークがより一層低減される。

非駆動圧電素子６２の材質は、任意である。たとえば、非駆動圧電素子６２の材質は、駆動圧電素子６０の材質と同じでも異なってもよい。非駆動圧電素子６２と駆動圧電素子６０の材質が同じであれば、両者を同時に形成できるため、製造プロセスを簡略化することができる。非駆動圧電素子６２と駆動圧電素子６０が同じである場合には、非駆動圧電素子６２に伸縮等の変形をさせないために、非駆動圧電素子６２に少なくとも電気信号を与えないようにする。

駆動圧電素子６０および非駆動圧電素子６２は、圧力室１３の側方の別の圧力室１３の上方にそれぞれ設けることができる。また、駆動圧電素子６０および非駆動圧電素子６２は、１つの圧力室１３の上方に設けることもできる。

支持板４０は、振動板３０の上方に設けられることができる（図１ないし図３参照）。支持板４０は、振動板３０に機械的に密着して設けられても、接着剤や他の部材を介して設けられてもよい。支持板４０は、複数の貫通孔４２を有する。各圧力室１３の鉛直上方の領域には、複数の貫通孔４２のうちの少なくとも１つが設けられる（図２参照）。貫通孔４２は、駆動圧電素子６０の動作を振動板３０に伝達できるように設けられる。支持板４０の材質としては、たとえば、シリコン、ステンレス、チタン、チタン合金などを用いることができる。貫通孔４２は、各圧力室１３の鉛直上方の領域（支持板４０の下方の板状部材１０によって保持されない領域）に設けられ、必要に応じて１つの圧力室１３の鉛直上方の領域に複数設けられることができる。貫通孔１２によって露出した部分の振動板３０は、上下にたわむことにより振動することができる。圧力室１３の体積は、この部分の振動板３０の振動により変化する。支持板４０を備えると、支持板４０の下の振動板３０が振動することを抑える機能がさらに高まる。これにより、液体の吐出の際のクロストークをさらに低減することができる。支持板４０は、液体噴射ヘッド１００において省略してもよい。

ダイヤフラム５０は、振動板３０の上方に設けられることができる。ダイヤフラム５０は、振動板３０に接着剤や他の部材を介して設けられてもよい。ダイヤフラム５０は、支持板４０に接しないように、複数の貫通孔４２の内側にそれぞれ１つずつ設けられる（図１ないし図３参照）。１つの圧力室１３に複数の貫通孔４２（ダイヤフラム５０）が設けられた場合は、圧力室１３の体積変化の幅を大きくすることができ、吐出される液滴の体積を増大させることができる。また、この場合、複数のダイヤフラム５０の動作を組み合わせることにより、吐出される液滴の体積を微調整することができる。

ダイヤフラム５０は、上下に振動しても支持板４０と接触しないような形状を有する。ダイヤフラム５０は、振動板３０とともに振動することができ、駆動圧電素子６０による振動を振動板３０に均一に伝達する機能を有する。ダイヤフラム５０は、図３に示すような形状の貫通孔４２の場合には、貫通孔４２よりも一回り小さい形状とすることができる。ダイヤフラム５０の材質は、たとえば、シリコン、ステンレス、チタン、チタン合金などであり、支持板４０の材質と同じでも異なってもよい。ダイヤフラム５０は、液体噴射ヘッド１００において省略してもよい。

駆動圧電素子６０および非駆動圧電素子６２の配置について、図５を参照しながら説明する。図５には、説明のために、板状部材１０、駆動圧電素子６０、および非駆動圧電素子６２のみを平面的に描いてある。図５の下部には、符号ａないしｆを付し、駆動圧電素子６０および非駆動圧電素子６２の配置パターンごとに分割して示した。

図５に示した配置パターンの例は、いずれも液体噴射ヘッド１００の一部を構成しうる配置パターンである。したがって、液体噴射ヘッド１００の中に配置される、圧力室１３、駆動圧電素子６０、および非駆動圧電素子６２のそれぞれの配置は、図示したような配置パターンのいずれかを繰り返したり、異なる配置パターンを組み合わせたものとすることができる。以下は、配置パターンのそれぞれについての説明である。

図５の符号ａで表された配置パターンは、１つの圧力室１３の鉛直上方の領域内に、１つの駆動圧電素子６０の全体および１つの非駆動圧電素子６２の全体が設けられた例である。このような配置パターンが互い違いに連続したものが、図３に示したような全体の配置である。図５の符号ｂで表された配置パターンは、１つの圧力室１３の鉛直上方の領域内に、１つの駆動圧電素子６０の全体および非駆動圧電素子６２の一部分が設けられた例である。図５の符号ｃで表された配置パターンは、１つの圧力室１３の鉛直上方の領域内に、１つの駆動圧電素子６０の全体および２つの非駆動圧電素子６２のそれぞれの全体が設けられた例である。図５の符号ｄで表された配置パターンは、隣り合う２つの圧力室１３の鉛直上方の領域内に、１つずつ駆動圧電素子６０が設けられ、当該隣り合う圧力室１３の鉛直上方の領域内に、１つの非駆動圧電素子６２の一部分が設けられた例である。この例では隣り合う２つの圧力室１３について描いているが、この配置パターンは、３つ以上の連続した圧力室１３に対して適用できる。図５の符号ｅで表された配置パターンは、１つの圧力室１３の鉛直上方の領域内に、２つの駆動圧電素子６０のそれぞれの全体および１つの非駆動圧電素子６２の全体が設けられた例である。図５の符号ｆで表された配置パターンは、隣り合う３つの圧力室１３の鉛直上方の領域内に、１つずつ駆動圧電素子６０が設けられ、当該各駆動圧電素子６０の周りを囲む１つの非駆動圧電素子６２が設けられ、当該隣り合う圧力室１３の鉛直上方の領域内に当該非駆動圧電素子６２の一部分が設けられた例である。

次に、本実施形態の液体噴射ヘッド１００の基本構成を図６および図７を用いて説明する。図６は、本実施形態の液体噴射ヘッド１００の基本構成を模式的に示す断面図である。図７は、本実施形態の液体噴射ヘッド１００の基本構成を模式的に示す平面図である。図７のＡ−Ａ線の断面は、図６に相当する。

本実施形態の液体噴射ヘッド１００の基本構成は、図６および図７に示すように、第１圧力室１１および第２圧力室１２の上方に設けられた振動板３０と、第１圧力室１１の上方であって、振動板３０の上方に設けられた駆動圧電素子６０と、第２圧力室１２の上方であって、振動板３０の上方に設けられた駆動圧電素子６２と、を含む。

液体噴射ヘッド１００の基本構成においては、前述した圧力室１３を、便宜的に第１圧力室１１および第２圧力室１２に分けて説明する。したがって第１圧力室１１および第２圧力室１２は、前述した圧力室１３のいずれにも対応しうる。

第１圧力室１１は、上面、側面および下面を有する。たとえば、図６に示すように、第１圧力室１１の上面は、振動板３０で構成される。また、第１圧力室１１の側面は、例えば板状部材１０で構成され、下面は、ノズル板２０で構成される。板状部材１０、ノズル板２０および振動板３０は、上述したものと同様である。

第２圧力室１２は、第１圧力室１１の側方に設けられる。第２圧力室１２は、第１圧力室１１と同様に、上面、側面および下面を有する。各面の構成は、第１圧力室１０の場合と同様である。

第１圧力室１１と第２圧力室１２とは、板状部材１０によって仕切られている。第１圧力室１１の側方に第２圧力室１２が設けられることは、前述の複数の圧力室１３のいずれかを第１圧力室１１としたときに、他の圧力室１３が第２圧力室１２に相当することを意味する。

基本構成における駆動圧電素子６０は、第１圧力室１１の上方であって、振動板３０の上方に設けられる。また、非駆動圧電素子６２は、第２圧力室１２上方であって、振動板３０上方に設けられる。第１圧力室１１の上方に駆動圧電素子６０が設けられたとき、当該第１圧力室１１の上方に、側方の第２圧力室１２の上方の非駆動圧電素子６２とは別の非駆動圧電素子６２を新たに設けることができる。同様に、第２圧力室１２の上方に非駆動圧電素子６２が設けられたとき、同一の第２圧力室１２の上方に、側方の駆動圧電素子６０とは別の駆動圧電素子６０を新たに設けることもできる。

このような基本構成を有する液体噴射ヘッド１００は、非駆動圧電素子６２が、駆動圧電素子６０が設けられた第１圧力室１１の側方の第２圧力室１２の上方に設けられるため、第２圧力室１２の上方の振動板３０の振動が抑制される。これにより、駆動圧電素子６０の動作によって第１圧力室１１から液体が吐出する際に、第２圧力室１２からの液体の吐出が抑えられ、クロストークが抑制される。

２．液体噴射ヘッドの製造方法
液体噴射ヘッド１００の製造方法の一例を以下に示す。

圧力室１３は、板状部材１０と、ノズル板２０と、振動板３０とを組み立てて形成される。板状部材１０は、シリコン基板をフォトリソグラフ法を用いてマスクパターンを形成して、エッチングすることによってパターニングして形成される。ノズル板２０は、たとえばステンレス板を切削し、ノズル孔２２を所定位置に穿孔して製造することができる。振動板３０としては、たとえば市販のポリイミドフィルムを用いることができる。これらをノズル板２０、板状部材１０および振動板３０の順に積層して、圧力室１３が形成される。

駆動圧電素子６０および非駆動圧電素子６２は、たとえば、図示せぬ筐体上にあらかじめ所定の大きさの圧電素子を公知の方法で作成した後、ダイシングやエッチングなどを行うことにより製造される。駆動圧電素子６０の電極に対する配線は、公知の方法で設けられることができる。

支持板４０とダイヤフラム５０を設ける場合、支持板４０とダイヤフラム５０は、たとえば、予め振動板３０に適当な接着剤などでステンレス板を貼り付けた後にフォトリソグラフ法を用いて、ダイヤフラム５０の周囲をエッチングすることによって同時に製造されることができる。このエッチングにより、貫通孔４２およびダイヤフラム５０が形成される。なお支持板４０とダイヤフラム５０は別々に製造されてもよい。

以上の部材を公知の位置合わせ手段などを用いて所定の位置に配置し、必要に応じて接着剤などを使用して組み立てることにより、液体噴射ヘッド１００が製造される。

３．作用効果
本実施形態の液体噴射ヘッド１００は、クロストークが抑制されたものである。

本実施形態の液体噴射ヘッド１００においては、駆動圧電素子６０を上方に有する圧力室１３から液体を吐出する際に、液体を吐出させない他の圧力室１３の上方の振動板３０が、非駆動圧電素子６２によって機械的に補強される。そのため液体を吐出させない圧力室１３の上方の振動板３０が、周囲からくる振動の影響を受けにくくなり、クロストークが低減される。

また、本実施形態の液体噴射ヘッド１００は、１つの圧力室１３の上方に駆動圧電素子６０と非駆動圧電素子６２とを配置することができる。これにより、１つの圧力室１３において、駆動圧電素子６０によって振動板３０の一部を振動させる際に、当該圧力室１３の上方の振動板３０の他の部分の変形が非駆動圧電素子６２によって抑制される。そのため不要な液体の吐出が抑制され、クロストークを低減することができる。

４．プリンタ
次に、上述した液体噴射ヘッド１００を有するプリンタ６００について説明する。ここでは、本実施形態に係るプリンタ６００がインクジェットプリンタである場合について説明する。

図８は、本実施形態に係るプリンタ６００を概略的に示す斜視図である。プリンタ６００は、ヘッドユニット６３０と、駆動部６１０と、制御部６６０と、を含む。また、プリンタ６００は、装置本体６２０と、給紙部６５０と、記録用紙Ｐを設置するトレイ６２１と、記録用紙Ｐを排出する排出口６２２と、装置本体６２０の上面に配置された操作パネル６７０と、を含むことができる。

ヘッドユニット６３０は、上述した液体噴射ヘッド１００から構成されるインクジェット式記録ヘッド（以下単に「ヘッド」ともいう）を有する。ヘッドユニット６３０は、さらに、ヘッドにインクを供給するインクカートリッジ６３１と、ヘッドおよびインクカートリッジ６３１を搭載した運搬部（キャリッジ）６３２と、を備える。

駆動部６１０は、ヘッドユニット６３０を往復動させることができる。駆動部６１０は、ヘッドユニット６３０の駆動源となるキャリッジモータ６４１と、キャリッジモータ６４１の回転を受けて、ヘッドユニット６３０を往復動させる往復動機構６４２と、を有する。

往復動機構６４２は、その両端がフレーム（図示せず）に支持されたキャリッジガイド軸６４４と、キャリッジガイド軸６４４と平行に延在するタイミングベルト６４３と、を備える。キャリッジガイド軸６４４は、キャリッジ６３２が自在に往復動できるようにしながら、キャリッジ６３２を支持している。さらに、キャリッジ６３２は、タイミングベルト６４３の一部に固定されている。キャリッジモータ６４１の作動により、タイミングベルト６４３を走行させると、キャリッジガイド軸６４４に導かれて、ヘッドユニット６３０が往復動する。この往復動の際に、ヘッドから適宜インクが吐出され、記録用紙Ｐへの印刷が行われる。

制御部６６０は、ヘッドユニット６３０、駆動部６１０、および給紙部６５０を制御することができる。

給紙部６５０は、記録用紙Ｐをトレイ６２１からヘッドユニット６３０側へ送り込むことができる。給紙部６５０は、その駆動源となる給紙モータ６５１と、給紙モータ６５１の作動により回転する給紙ローラ６５２と、を備える。給紙ローラ６５２は、記録用紙Ｐの送り経路を挟んで上下に対向する従動ローラ６５２ａおよび駆動ローラ６５２ｂを備える。駆動ローラ６５２ｂは、給紙モータ６５１に連結されている。

ヘッドユニット６３０、駆動部６１０、制御部６６０、および給紙部６５０は、装置本体６２０の内部に設けられている。

なお、上述した例では、プリンタ６００がインクジェットプリンタである場合について説明したが、本発明のプリンタは、工業的な液滴吐出装置として用いられることもできる。この場合に吐出される液体（液状材料）としては、各種の機能性材料を溶媒や分散媒によって適当な粘度に調整したものなどを用いることができる。

本実施形態のプリンタ６００は、その記録ヘッド部位に液体噴射ヘッド１００を有するため、印刷対象への液滴の塗工性能が優れている。すなわち、印刷時において、液滴のクロストークが抑制されるため、印刷結果物において、不要な塗工が少なく、塗工位置の精度が高い。

本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。

本実施形態の液体噴射ヘッド１００を模式的に示す部分切断斜視図。 本実施形態の板状部材１０を模式的に示す平面図。 板状部材、駆動圧電素子、非駆動圧電素子の配置を模式的に示す平面図。 本実施形態の液体噴射ヘッド１００を模式的に示す平面図。 図６のＡ−Ａ断面図。 本実施形態の液体噴射ヘッド１００の基本構成を模式的に示す断面図。 本実施形態の液体噴射ヘッド１００の基本構成を模式的に示す平面図。 本実施形態のプリンタ６００を概略的に示す斜視図。

符号の説明

１０ 板状部材、１１ 第１圧力室、１２ 第２圧力室、１３ 圧力室、１４ 加圧部、
１６ 狭窄部、１８ 開口部、２０ ノズル板、２２ ノズル孔、３０ 振動板、
４０ 支持板、４２ 貫通孔、５０ ダイヤフラム、６０ 駆動圧電素子、
６２ 非駆動圧電素子、１００ 液体噴射ヘッド、６００ プリンタ、６１０ 駆動部、
６２０ 装置本体、６２１ トレイ、６２２ 排出口、６３０ ヘッドユニット、
６３１ インクカートリッジ、６３２ キャリッジ、６４１ キャリッジモータ、
６４２ 往復動機構、６４３ タイミングベルト、６４４ キャリッジガイド軸、
６５０ 給紙部、６５１ 給紙モータ、６５２ 給紙ローラ、６６０ 制御部、
６７０ 操作パネル

Claims (4)

1. 圧力室と、
   前記圧力室の側方に設けられた空間と、
   前記圧力室および前記空間の上方に設けられた振動板と、
   前記圧力室上方であって、前記振動板上方に設けられた駆動圧電素子と、
   前記空間の上方であって、前記振動板上方に設けられ、前記駆動圧電素子とは分離された非駆動圧電素子と、
   前記空間の上方であって、前記振動板上方に設けられた他の駆動圧電素子と、
   前記非駆動圧電素子および前記振動板の間に配置され、前記非駆動圧電素子および他の非駆動圧電素子との間で連続して形成された支持板と、
   各前記駆動圧電素子および前記振動板の間に配置され、前記支持板とは不連続であるダイヤフラムと、
   を含み、
   前記駆動圧電素子が駆動することにより前記圧力室の体積が変化することによって前記圧力室に充填された液体が噴射され、
   前記他の駆動圧電素子が駆動することにより前記空間の体積が変化することによって前記空間に充填された液体が噴射される、液体噴射ヘッド。
2. 請求項１において、
   前記圧力室および前記空間は、それぞれ、
   前記振動板と、
   前記圧力室と前記空間との間の隔壁となる板状部材と、
   前記板状部材の下方に設けられ、ノズル孔を備えたノズル板と、
   によって形成された、液体噴射ヘッド。
3. 請求項１または請求項２において、さらに、
   前記圧力室の上方であって、前記振動板の上方に設けられた他の非駆動圧電素子を含む、液体噴射ヘッド。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の液体噴射ヘッドを備えた、プリンタ。