JP2010089339A - 液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド、およびプリンタ - Google Patents

Abstract

【課題】容易に液滴形状を形成することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１００の製造方法は、母型基板１を準備する工程と、母型基板１の上方に、第１マスク層Ｒ１をマスクとして第１基板１０を形成する工程と、第１基板１０の上方に、第２マスク層Ｒ２をマスクとして第２基板２０を形成する工程と、第１マスク層Ｒ１および第２マスク層Ｒ２と、母型基板１と、を除去して、第１基板１０にノズル孔１２を形成すると伴に、第２基板２０にノズル孔１２と連通する開口部２２を形成する工程と、第１基板１０の上面１０ｂおよび下面１０ａと、ノズル孔１２を区画している第１基板１０の側面１０ｃと、開口部２２を区画している第２基板２０の側面２０ａと、に撥液処理を行う工程と、開口部２２の上方に、振動板３０および圧電素子４０を形成する工程と、を含む。
【選択図】図１

Description

本発明は、液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド、およびプリンタに関する。

近年、インクジェット技術は、家庭用のプリンタのみならず、工業用、産業用など様々な分野に用いられている。これらの分野に応じて、インクジェット技術では、様々な組成のインクを吐出する必要がある。そのなかでも、特に高分子ポリマーなどからなる高粘度インクは、ノズル孔から吐出されたインク液柱が切れ難く、液滴形状を形成することが困難である。

例えば、特許文献１には、ノズルの内壁に、液体に温度変化を与えるヒータを設け、液柱のくびれ部分と、ノズルの内壁の近傍に位置する部分と、に温度差を生じさせることにより、液柱から液滴を分離する方法が開示されている。
特開２００７−２２９９６０号公報

しかしながら、特許文献１に開示された方法では、ヒータの熱でノズル周辺のインクが乾燥し、ノズル孔が詰まってしまう場合がある。また、高周波数で吐出させる場合、ヒータのＯＮ／ＯＦＦの切り替えが追従できず、吐出安定性が低下する場合がある。さらに、有機系のインクでは、ヒータの熱により引火する可能性があり、安全面においても問題がある。

本発明の目的の１つは、容易に液滴形状を形成することができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド、およびプリンタを提供することにある。

本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、
母型基板を準備する工程と、
前記母型基板の上方に、第１マスク層をマスクとして第１基板を形成する工程と、
前記第１基板の上方に、第２マスク層をマスクとして第２基板を形成する工程と、
前記第１マスク層および前記第２マスク層と、前記母型基板と、を除去して、前記第１基板にノズル孔を形成すると伴に、前記第２基板に前記ノズル孔と連通する開口部を形成する工程と、
前記第１基板の上面および下面と、前記ノズル孔を区画している前記第１基板の側面と、前記開口部を区画している前記第２基板の側面と、に撥液処理を行う工程と、
前記開口部の上方に、振動板および圧電素子を形成する工程と、
を含む。

本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、容易に液滴形状を形成することができる液体噴射ヘッドを提供することができる。

なお、本発明に係る記載では、「上方」という文言を、例えば、「特定のもの（以下「Ａ」という）の「上方」に他の特定のもの（以下「Ｂ」という）を形成する」などと用いている。本発明に係る記載では、この例のような場合に、Ａ上に直接Ｂを形成するような場合と、Ａ上に他のものを介してＢを形成するような場合とが含まれるものとして、「上方」という文言を用いている。同様に、「下方」という文言は、Ａ下に直接Ｂを形成するような場合と、Ａ下に他のものを介してＢを形成するような場合とが含まれるものとする。

本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記撥液処理を行う工程は、
前記第１基板および前記第２基板の表面全体に撥液処理をすることによって行われることができる。

本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法において、
さらに、前記振動板の下面に撥液処理を行う工程を有することができる。

本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記第１基板および前記第２基板は、電鋳法により形成されることができる。

本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、
第１基板にノズル孔を形成する工程と、
前記第１基板の上面および下面と、前記ノズル孔を区画している前記第１基板の側面と、に撥液処理を行う工程と、
第２基板の上方に振動板および圧電素子を形成する工程と、
前記第２基板に開口部を形成する工程と、
前記ノズル孔と前記開口部とが連通するように、前記第２基板の下方に前記第１基板を接合する工程と、
を含む。

本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法において、
さらに、前記開口部を区画している前記第２基板の側面および前記振動板の下面に撥液処理を行う工程を有することができる。

本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記前記開口部を区画している前記第２基板の側面および前記振動板の下面に撥液処理を行う工程は、
前記第２基板の表面全体と、前記振動板の下面と、に撥液処理をすることによって行われることができる。

本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記ノズル孔から吐出される液体の粘度は、１０ｍＰａ・ｓ以上であることができる。

本発明に係る液体噴射ヘッドは、
ノズル孔が形成された第１基板と、
前記第１基板の上方であって、前記ノズル孔と連通している圧力室が形成された第２基板と、
前記圧力室の上方に形成された振動板および圧電素子と、
を含み、
前記第１基板の上面および下面と、前記ノズル孔を区画している前記第１基板の側面と、には撥液膜が形成されている。

本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、
前記第１基板の上面は、前記圧力室を区画していることができる。

本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、
前記第２基板には、さらに、前記圧力室と連通している供給路と、前記供給路と連通しているリザーバと、が形成されており、
前記撥液膜は、さらに、前記圧力室、前記供給路および前記リザーバを区画している前記第２基板の側面に形成されていることができる。

本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、
前記撥液膜は、さらに、前記振動板の下面に形成されていることができる。

本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、
前記撥液膜は、前記第１基板および前記第２基板の表面全体に形成されていることができる。

本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、
前記ノズル孔から吐出される液体の粘度は、１０ｍＰａ・ｓ以上であることができる。

本発明に係るプリンタは、
本発明に係る液体噴射ヘッドを有する。

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。

１． 液体噴射ヘッド
まず、本実施形態に係る液体噴射ヘッドについて説明する。図１は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド１００を模式的に示す断面図である。

液体噴射ヘッド１００は、図１に示すように、ノズル孔１２が形成された第１基板１０と、圧力室２４が形成された第２基板２０と、振動板３０と、圧電素子４０と、撥液膜５０と、を有する。さらに、液体噴射ヘッド１００は、供給路２６と、リザーバ２８と、を有することができる。

第１基板１０は、例えば、ニッケル、銅、シリコンからなる。

ノズル孔１２は、第１基板１０に形成されている。ノズル孔１２は、図示はしないが、複数設けられていることができる。ノズル孔１２は、第１基板１０の側面１０ｃによって区画されている。ノズル孔１２は、第１基板の上面１０ｂから下面１０ａへの方向（−Ｙ方向）に向けて、液体（インク）を吐出することができる。ノズル孔１２から吐出される液体の粘度は、例えば、１０ｍＰａ・ｓ以上、さらには、２０ｍＰａ・ｓ以上である。

第２基板２０は、第１基板１０上に形成されている。第２基板２０は、例えば、ニッケル、銅、シリコンからなる。

圧力室２４、供給路２６およびリザーバ２８は、第２基板２０に形成されている。圧力室２４は、ノズル孔１２と連通している。供給路２６は、圧力室２４と連通している。リザーバ２８は、供給路２６と連通している。リザーバ２８は、供給路２６を介して、圧力室２４に液体を供給することができる。リザーバ２８には、例えば貫通孔（図示せず）が形成されており、貫通孔を通って外部からリザーバ２８内に液体が供給される。圧力室２４およびリザーバ２８は、第１基板１０の上面１０ｂと、第２基板２０の側面２０ａと、振動板３０の下面３０ａと、によって区画されている。供給路２６は、例えば、第２基板２０の凸部２１の上面２１ａと、第２基板２０の側面２０ａと、振動板３０の下面３０ａと、によって区画されている。第２基板２０の凸部２１によって、供給路２６では液体の流路が狭くなり、一度圧力室２４に供給された液体がリザーバ２８に戻ることを防止することができる。なお、図示の例では、第２基板２０の凸部２１は、第１基板１０からＹ方向に向けて突出しているが、第２基板２０の側面からＺ方向に向けて突出していてもよい。

振動板３０は、圧力室２４、供給路２６、リザーバ２８および第２基板２０上に形成されている。振動板３０は、例えば、ニッケルなどの金属膜、ポリイミドなどの高分子材料膜、二酸化ジルコニウムや二酸化シリコンなどの絶縁膜からなる。振動板３０は、圧電素子４０によって振動（変位）することができる。

圧電素子４０は、圧力室２４の上方であって、振動板３０上に形成されている。圧電素子４０は、図示はしないが、ダイヤフラムや接着剤などを介して、振動板３０上に形成されていてもよい。圧電素子４０は、与えられる電気信号にしたがって、振動板３０を上下方向（Ｙ方向）に振動させることができる。圧電素子４０は、圧電体を電極で挟んだ構造を有する。圧電素子４０の電極の延びる方向は、振動板３０の振動方向に対して垂直（縦モード）であってもよいし、平行（横モード）であってもよい。縦モードの場合は、圧電素子４０の上部は、固定基板（図示せず）に固定されている。圧電素子４０の電極は、例えばケーブル（図示せず）によって、外部駆動回路と接続されている。圧電素子４０の圧電体は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３：ＰＺＴ）からなる。圧電素子４０の電極は、例えば、白金、イリジウムからなる。

撥液膜５０は、第１基板１０の上面１０ｂおよび下面１０ａと、ノズル孔１２を区画している第１基板１０の側面１０ｃと、に形成されている。さらに、撥液膜５０は、第２基板２０の凸部２１の上面２１ａに形成されていることができる。さらに、撥液膜５０は、圧力室２４、供給路２６およびリザーバ２８を区画している第２基板２０の側面２０ａに形成されていることができる。さらに、撥液膜５０は、振動板３０の下面３０ａに形成されていることができる。すなわち、撥液膜５０は、第１基板１０および第２基板２０の表面全体に形成されていることができる。撥液膜５０は、例えば、フッ素系高分子材からなる。フッ素系高分子材としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン、ポリバーフルオロアルコキシブタジエン、ポリフルオロビニリデン、ポリフルオロビニル、ポリジパーフルオロアルキルファレートなどの樹脂を単独あるいは混合したものが用いられる。撥液膜５０は、液体（インク）に対して撥液性を有する。

本実施形態に係る液体噴射ヘッド１００は、例えば、以下の特徴を有する。

液体噴射ヘッド１００では、撥液膜５０は、第１基板１０の上面１０ｂおよび下面１０ａと、ノズル孔１２を区画している第１基板１０の側面１０ｃと、に形成されている。撥液膜５０は撥液性を有するため、第１基板１０の上面１０ｂおよび下面１０ａと、ノズル孔１２を区画している第１基板１０の側面１０ｃと、に付着している液体は、表面張力により球状となり易くなる。そのため、ノズル孔１２から吐出される液体は、液柱形状ではなく、液滴形状となる。すなわち、液体噴射ヘッド１００では、容易に液滴形状を形成することができる。

液体噴射ヘッド１００では、撥液膜５０は、さらに、圧力室２４、供給路２６およびリザーバ２８を区画している第２基板２０の側面２０ａに形成されていることができる。また、撥液膜５０は、振動板３０の下面３０ａに形成されていることができる。そのため、圧力室２４、供給路２６およびリザーバ２８内の液体は、いっそう球状となり易くなり、液体噴射ヘッド１００は、液滴形状の液体を吐出することができる。

液体噴射ヘッド１００では、撥液膜５０は、第１基板１０および第２基板２０の表面全体に形成されていることができる。そのため、圧力室２４、供給路２６およびリザーバ２８内の液体は、いっそう球状となり易くなり、液体噴射ヘッド１００は、液滴形状の液体を吐出することができる。

液体噴射ヘッド１００では、ノズル孔１２から吐出される液体の粘度は、例えば、１０ｍＰａ・ｓ以上、さらには、２０ｍＰａ・ｓ以上と高粘度である。液体噴射ヘッド１００は、上述のように、液滴形状を形成し易い。したがって、高粘度の液体であっても、液滴形状の液体を吐出することができる。

２． 液体噴射ヘッドの製造方法
次に、本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法について、図面を参照しながら説明する。図２〜図４は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド１００の製造工程を模式的に示す断面図である。

図２に示すように、母型基板１上に第１基板１０を形成する。第１基板１０は、例えば、電鋳法により形成される。具体的には、母型基板１上に所定の形状を有する第１マスク層Ｒ１を形成し、第１マスク層Ｒ１をマスクとして、めっきを行うことにより、第１基板１０を形成する。第１マスク層Ｒ１の形状によって、ノズル孔１２の形状が決定される。なお、母型基板１は、例えば、ステンレスからなる。また、第１マスク層Ｒ１は、例えば、レジスト層である。

図２に示すように、第１基板１０上に、第２基板２０を形成する。第２基板２０は、第１基板１０および第１マスク層Ｒ１上に所定の形状を有する第２マスク層Ｒ２を形成して、例えば第１基板１０と同じ方法で形成される。第２マスク層Ｒ２の形状によって、圧力室２４、供給路２６およびリザーバ２８の形状が決定される。なお、図示はしないが、第２マスク層Ｒ２を二層レジストとすることで、第２基板２０の凸部２１を形成することができる。

図３に示すように、マスク層Ｒ１，Ｒ２を除去し、母型基板１を剥離する。これにより、第１基板１０にノズル孔１２を形成すると伴に、第２基板２０にノズル孔１２と連通する開口部２２を形成することができる。開口部２２は、圧力室２４、供給路２６およびリザーバ２８となることができる。

図４に示すように、第１基板１０および第２基板２０の表面全体に撥液処理を行い、撥液膜５０を形成する。撥液処理は、例えば、プラズマ重合法、熱重合法、共析めっき法により行われる。

図１に示すように、開口部２２上に、下面３０ａが撥液処理された振動板３０および圧電素子４０を形成する。具体的には、まず、例えば公知の方法により振動板３０を形成する。次に、振動板３０の上面３０ｂにマスク層（図示せず）を形成し、振動板３０の下面３０ａに撥液処理を行い、撥液膜５０を形成する。次に、圧電素子４０を例えば公知の方法で形成し、振動板３０と圧電素子４０とを接合させる。次に、第２基板２０と、振動板３０および圧電素子４０と、を接合させて、開口部２２上に振動板３０および圧電素子４０を形成する。振動板３０および圧電素子４０の接合により、圧力室２４、供給路２６およびリザーバ２８が形成される。

以上の方法により、液体噴射ヘッド１００を製造することができる。

本実施形態に係る液体噴射ヘッド１００の製造方法は、例えば、以下の特徴を有する。

液体噴射ヘッド１００の製造方法では、第１基板１０および第２基板２０の表面全体に撥液処理を行うことができる。これにより、ノズル孔１２内、および圧力室２４、供給路２６およびリザーバ２８内の液体は、球状となり易くなる。そのため、ノズル孔１２から吐出される液体は、液柱形状ではなく、液滴形状となる。すなわち、容易に液滴形状を形成することができる液体噴射ヘッド１００を製造することができる。

液体噴射ヘッド１００の製造方法では、上述のように、一度の撥液処理で、第１基板１０および第２基板２０の表面全体に撥液膜５０を形成することができる。そのため、低コスト化が可能となる。

３． 変形例
次に、本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法の変形例について、図面を参照しながら説明する。図５〜図８は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド１００の製造方法の変形例を模式的に示す断面図である。以下、本実施形態に係る液体噴射ヘッド１００の製造方法の変形例において、本実施形態に係る液体噴射ヘッド１００の製造方法の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

図５に示すように、第１基板１０をパターニングして、ノズル孔１２を形成する。パターニングは、例えば、公知のフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術により行われる。次に、第１基板１０の表面全体に撥液処理を行い、撥液膜５０を形成する。

図６に示すように、第２基板２０上に、振動板３０および圧電素子４０を形成する。具体的には、まず、振動板３０と圧電素子４０とを接合させる。次に、第２基板２０と、振動板３０および圧電素子４０と、を接合させる。なお、第２基板２０上に振動板３０を形成した後に、振動板３０上に圧電素子４０を形成してもよい。

図７に示すように、第２基板２０をパターニングして開口部２２を形成する。パターニングは、例えば、公知のフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術により行われる。エッチングは、振動板３０が形成されている面と反対側の面（下方側の面）から行い、振動板３０はエッチングストッパとなることができる。例えば、エッチングした後に、凸部２１を接合し、開口部２２を形成することができる。

図８に示すように、第２基板２０の表面全体と、振動板３０の下面３０ａと、に撥液処理を行い、撥液膜５０を形成する。

図１に示すように、ノズル孔１２と開口部２２とが連通するように、第２基板２０の下方に第１基板１０を接合させる。該接合により、圧力室２４、供給路２６およびリザーバ２８が形成される。

以上の方法により、液体噴射ヘッド１００を製造することができる。

本実施形態に係る液体噴射ヘッド１００の製造方法の変形例では、一度の撥液処理で、第２基板２０の表面全体および振動板３０の下面３０ａに撥液膜５０を形成することができる。そのため、低コスト化が可能となる。

４． プリンタ
次に、本実施形態に係るプリンタについて説明する。本実施形態に係るプリンタは、本発明に係る液体噴射ヘッドを有する。ここでは、本実施形態に係るプリンタ３００がインクジェットプリンタである場合について説明する。図９は、本実施形態に係るプリンタ３００を模式的に示す斜視図である。

プリンタ３００は、ヘッドユニット３３０と、駆動部３１０と、制御部３６０と、を含む。また、プリンタ３００は、装置本体３２０と、給紙部３５０と、記録用紙Ｐを設置するトレイ３２１と、記録用紙Ｐを排出する排出口３２２と、装置本体３２０の上面に配置された操作パネル３７０と、を含むことができる。

ヘッドユニット３３０は、例えば、上述した液体噴射ヘッド１００から構成されるインクジェット式記録ヘッド（以下単に「ヘッド」ともいう）を有する。ヘッドユニット３３０は、さらに、ヘッドにインクを供給するインクカートリッジ３３１と、ヘッドおよびインクカートリッジ３３１を搭載した運搬部（キャリッジ）３３２と、を備える。

駆動部３１０は、ヘッドユニット３３０を往復動させることができる。駆動部３１０は、ヘッドユニット３３０の駆動源となるキャリッジモータ３４１と、キャリッジモータ３４１の回転を受けて、ヘッドユニット３３０を往復動させる往復動機構３４２と、を有する。

往復動機構３４２は、その両端がフレーム（図示せず）に支持されたキャリッジガイド軸３４４と、キャリッジガイド軸３４４と平行に延在するタイミングベルト３４３と、を備える。キャリッジガイド軸３４４は、キャリッジ３３２が自在に往復動できるようにしながら、キャリッジ３３２を支持している。さらに、キャリッジ３３２は、タイミングベルト３４３の一部に固定されている。キャリッジモータ３４１の作動により、タイミングベルト３４３を走行させると、キャリッジガイド軸３４４に導かれて、ヘッドユニット３３０が往復動する。この往復動の際に、ヘッドから適宜インクが吐出され、記録用紙Ｐへの印刷が行われる。

制御部３６０は、ヘッドユニット３３０、駆動部３１０および給紙部３５０を制御することができる。

給紙部３５０は、記録用紙Ｐをトレイ３２１からヘッドユニット３３０側へ送り込むことができる。給紙部３５０は、その駆動源となる給紙モータ３５１と、給紙モータ３５１の作動により回転する給紙ローラ３５２と、を備える。給紙ローラ３５２は、記録用紙Ｐの送り経路を挟んで上下に対向する従動ローラ３５２ａおよび駆動ローラ３５２ｂを備える。駆動ローラ３５２ｂは、給紙モータ３５１に連結されている。制御部３６０によって供紙部３５０が駆動されると、記録用紙Ｐは、ヘッドユニット３３０の下方を通過するように送られる。

ヘッドユニット３３０、駆動部３１０、制御部３６０および給紙部３５０は、装置本体３２０の内部に設けられている。

プリンタ３００では、本発明に係る液体噴射ヘッドを有することができる。本発明に係る液体噴射ヘッドは、上述のように、容易に液滴形状を形成することができる。そのため、容易に液滴形状を形成することができるプリンタ３００を得ることができる。

なお、上述した例では、プリンタ３００がインクジェットプリンタである場合について説明したが、本発明のプリンタは、工業的な液体吐出装置として用いられることもできる。この場合に吐出される液体（液状材料）としては、各種の機能性材料を溶媒や分散媒によって適当な粘度に調整したものなどを用いることができる。

上記のように、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できよう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。

本実施形態に係る液体噴射ヘッドを模式的に示す断面図。 本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法を模式的に示す断面図。 本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法を模式的に示す断面図。 本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法を模式的に示す断面図。 本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法の変形例を模式的に示す断面図。 本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法の変形例を模式的に示す断面図。 本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法の変形例を模式的に示す断面図。 本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法の変形例を模式的に示す断面図。 本実施形態に係るプリンタを模式的に示す斜視図。

符号の説明

１ 母型基板、１０ 第１基板、１２ ノズル孔、２０ 第２基板、
２１ 第２基板の凸部、２２ 開口部、２４ 圧力室、２６ 供給路、２８ リザーバ、
３０ 振動板、４０ 圧電素子、５０ 撥液膜、１００ 液体噴射ヘッド、
３００ プリンタ、３１０ 駆動部、３２０ 装置本体、３２１ トレイ、
３２２ 排出口、３３０ ヘッドユニット、３３１ インクカートリッジ、
３３２ キャリッジ、３４１ キャリッジモータ、３４２ 往復動機構、
３４３ タイミングベルト、３４４ キャリッジガイド軸、３５０ 給紙部、
３５１ 給紙モータ、３５２ 給紙ローラ、３６０ 制御部、３７０ 操作パネル

Claims (15)

1. 母型基板を準備する工程と、
   前記母型基板の上方に、第１マスク層をマスクとして第１基板を形成する工程と、
   前記第１基板の上方に、第２マスク層をマスクとして第２基板を形成する工程と、
   前記第１マスク層および前記第２マスク層と、前記母型基板と、を除去して、前記第１基板にノズル孔を形成すると伴に、前記第２基板に前記ノズル孔と連通する開口部を形成する工程と、
   前記第１基板の上面および下面と、前記ノズル孔を区画している前記第１基板の側面と、前記開口部を区画している前記第２基板の側面と、に撥液処理を行う工程と、
   前記開口部の上方に、振動板および圧電素子を形成する工程と、
   を含む、液体噴射ヘッドの製造方法。
2. 請求項１において、
   前記撥液処理を行う工程は、
   前記第１基板および前記第２基板の表面全体に撥液処理をすることによって行われる、液体噴射ヘッドの製造方法。
3. 請求項１または２において、
   さらに、前記振動板の下面に撥液処理を行う工程を有する、液体噴射ヘッドの製造方法。
4. 請求項１ないし３のいずれかにおいて、
   前記第１基板および前記第２基板は、電鋳法により形成される、液体噴射ヘッドの製造方法。
5. 第１基板にノズル孔を形成する工程と、
   前記第１基板の上面および下面と、前記ノズル孔を区画している前記第１基板の側面と、に撥液処理を行う工程と、
   第２基板の上方に振動板および圧電素子を形成する工程と、
   前記第２基板に開口部を形成する工程と、
   前記ノズル孔と前記開口部とが連通するように、前記第２基板の下方に前記第１基板を接合する工程と、
   を含む、液体噴射ヘッドの製造方法。
6. 請求項５において、
   さらに、前記開口部を区画している前記第２基板の側面および前記振動板の下面に撥液処理を行う工程を有する、液体噴射ヘッドの製造方法。
7. 請求項６において、
   前記前記開口部を区画している前記第２基板の側面および前記振動板の下面に撥液処理を行う工程は、
   前記第２基板の表面全体と、前記振動板の下面と、に撥液処理をすることによって行われる、液体噴射ヘッドの製造方法。
8. 請求項１ないし７のいずれかにおいて、
   前記ノズル孔から吐出される液体の粘度は、１０ｍＰａ・ｓ以上である、液体噴射ヘッドの製造方法。
9. ノズル孔が形成された第１基板と、
   前記第１基板の上方であって、前記ノズル孔と連通している圧力室が形成された第２基板と、
   前記圧力室の上方に形成された振動板および圧電素子と、
   を含み、
   前記第１基板の上面および下面と、前記ノズル孔を区画している前記第１基板の側面と、には撥液膜が形成されている、液体噴射ヘッド。
10. 請求項９において、
    前記第１基板の上面は、前記圧力室を区画している、液体噴射ヘッド。
11. 請求項９または１０において、
    前記第２基板には、さらに、前記圧力室と連通している供給路と、前記供給路と連通しているリザーバと、が形成されており、
    前記撥液膜は、さらに、前記圧力室、前記供給路および前記リザーバを区画している前記第２基板の側面に形成されている、液体噴射ヘッド。
12. 請求項１１において、
    前記撥液膜は、さらに、前記振動板の下面に形成されている、液体噴射ヘッド。
13. 請求項９ないし１２のいずれかにおいて、
    前記撥液膜は、前記第１基板および前記第２基板の表面全体に形成されている、液体噴射ヘッド。
14. 請求項９ないし１３のいずれかにおいて、
    前記ノズル孔から吐出される液体の粘度は、１０ｍＰａ・ｓ以上である、液体噴射ヘッド。
15. 請求項９ないし１４のいずれかに記載の液体噴射ヘッドを有する、プリンタ。

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