JP4354376B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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Description
該レーザ光線照射手段は、レーザ光線発振手段と、該レーザ光線発振手段が発振するレーザ光線を伝送する光学伝送手段と該光学伝送手段によって伝送されたレーザ光線を集光せしめる一つの集光レンズを備えた伝送・集光手段とを含んでいる、レーザ加工装置において、
該伝送・集光手段は、該レーザ光線発振手段から発振されたレーザ光線を該一つの集光レンズを通して該加工送り方向および該チャックテーブルに保持された被加工物の厚さ方向に変位せしめられた少なくとも2個の集光点に集光せしめる、
ことを特徴とするレーザ加工装置が提供される。
光源 :LD励起QスイッチNd:YVO4パルスレーザー
波長 :1064nm
パルス出力 :2.5μJ
集光スポット径 :φ1μm
パルス幅 :40ns
繰り返し周波数 :100kHz
加工送り速度 :100mm/秒
図3に示す集光点深さ変位手段72は、光軸方向に間隔を置いて配設された第1の凸レンズ722と第2の凸レンズ723とからなっている。図3に示す集光点深さ変位手段72においては、第2のパルスレーザ光線10bは第1の凸レンズ722および第2の凸レンズ723を通過することにより、その広がり角が第2の凸レンズ723から遠ざかるに従ってビーム径が漸次増大する構成となっている。なお、第2のパルスレーザ光線10bの広がり角および上記集光レンズ8入射時のビーム径、即ち集光点深さ変位手段72を通過し上記集光レンズ8によって集光される第2のパルスレーザ光線10bの集光点Pbの深さ位置は、第1の凸レンズ722または第2の凸レンズ723を光軸方向に移動せしめることによって適宜に調整することができる。
図4に示す集光点深さ変位手段72は、間隔を置いて配設された第3の凸レンズ724および第4の凸レンズ725と、該第3の凸レンズ724と第4の凸レンズ725との間に配設された第1のミラー対726および第2のミラー対727とからなっている。第1のミラー対726は互いに平行に配設された第1のミラー726aと第2のミラー726bとからなり、該第1のミラー726aと第2のミラー726bは互いの間隔を維持した状態で図示しないミラー保持部材に固定されている。第2のミラー対727も互いに平行に配設された第1のミラー727aと第2のミラー727bとからなっており、該第1のミラー727aと第2のミラー727bは互いの間隔を維持した状態で図示しないミラー保持部材に固定されている。このように構成された図4に示す集光点深さ変位手段72においては、第2のパルスレーザ光線10bは第3の凸レンズ724、第1のミラー対726の第1のミラー726aおよび第2のミラー726b、第2のミラー対727の第1のミラー727aおよび第2のミラー727b、第4の凸レンズ725を通過することにより、第2のパルスレーザ光線10bの広がり角が第4の凸レンズ725から遠ざかるに従ってビーム径が漸次増大せしめられる構成となっている。なお、第2のパルスレーザ光線10bの広がり角および上記集光レンズ8の入射時のビーム径、即ち集光点深さ変位手段72を通過し上記集光レンズ8によって集光される第2のパルスレーザ光線10bの集光点Pbの深さ位置は、第1のミラー対726および第2のミラー対727の設置角度を変更して光路長を変更することにより適宜に調整することができる。この設置角度の調整は、第1のミラー対726および第2のミラー対727をそれぞれ保持する図示しないミラー保持部材を、それぞれ第1のミラー726aと第2のミラー726bおよび第1のミラー727aと第2のミラー727bが点対称の位置となる点を中心として回動する。
3:チャックテーブル
31:吸着チャック
4:レーザ光線照射手段
5:パルスレーザ光線発振手段
6:伝送・集光手段
7:光学伝送手段
71:ビームスプリッタ
72:集光点深さ変位手段
721:凸レンズ
722:第1の凸レンズ
723:第2の凸レンズ
724:第3の凸レンズ
725:第4の凸レンズ
726:第1のミラー対
727:第2のミラー対
73:集光点位置変位手段
731:第1のミラー
732:第2のミラー
733:ビームスプリッタ
8:集光レンズ
Claims (4)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に該被加工物に対して透過性を有するレーザ光線を照射するレーザ光線照射手段と、該チャックテーブルと該レーザ光線照射手段とを相対的に加工送りする加工送り手段とを具備し、
該レーザ光線照射手段は、レーザ光線発振手段と、該レーザ光線発振手段が発振するレーザ光線を伝送する光学伝送手段と該光学伝送手段によって伝送されたレーザ光線を集光せしめる一つの集光レンズを備えた伝送・集光手段とを含んでいる、レーザ加工装置において、
該伝送・集光手段は、該レーザ光線発振手段から発振されたレーザ光線を該一つの集光レンズを通して該加工送り方向および該チャックテーブルに保持された被加工物の厚さ方向に変位せしめられた少なくとも2個の集光点に集光せしめる、
ことを特徴とするレーザ加工装置。 - 該光学伝送手段は、該レーザ光線発振手段が発振するレーザ光線を第1のレーザ光線と第2のレーザ光線とに分けるビームスプリッタと、該第1のレーザ光線の集光点と該第2のレーザ光線の集光点を該加工送り方向に変位せしめる集光点位置変位手段と、該第1のレーザ光線と該第2のレーザ光線の一方の集光点を該チャックテーブルに保持された被加工物の厚さ方向に変位せしめる集光点深さ変位手段とを具備している、請求項1記載のレーザ加工装置。
- 集光点位置変位手段は複数個のミラーを含んでおり、該複数個のミラーの設置角度を変更することにより該第1のレーザ光線の集光点と該第2のレーザ光線の集光点との該加工送り方向の変位量を変更する、請求項2記載のレーザ加工装置。
- 該集光点深さ変位手段は、レーザ光線のビーム広がり角を変更する、請求項2記載のレーザ加工装置。
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