JP4346020B2 - 硬質皮膜被覆工具 - Google Patents
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Description
前記硬質皮膜Aは、厚が0.2 μm では切削における耐酸化性の効果は期待できず、膜厚が1μm 以下と比較的薄い膜厚でも十分に耐酸化保護膜として機能する。前記硬質皮膜Bは膜厚が 2.4μm 未満では切削における耐摩耗性の効果は期待できず、膜厚が 5.0μm を越えると、セラミック硬質膜層での微少チッピングが発生しやすくなるため硬質皮膜Bの膜厚をこの範囲に限定した。
さらに好ましくは、前記硬質皮膜の前記基材の最表面に、NiO x 、DLC 、MoS 2 又はBNの潤滑機能皮膜を形成することが好ましい。
前記第2の方法は、ホローカソード放電による電子ビームを用いてターゲットを構成する前記金属を蒸発およびイオン化して被処理体上に請求項1で規定する皮膜を形成する溶融蒸発型イオンプレーティング法( 以下溶解法) において成膜し、この場合に前記被処理体に印加するバイアス電位は、 好ましくはアース電位に対して-50V〜-300V とし、また、成膜時の被処理体温度(以下、基板温度ということがある)は好ましくは 300℃以上で 800℃以下の範囲内とし、成膜時の反応ガスの分圧または全圧を好ましくは0.05Pa以上1Pa以下とする。
尚、本発明における上記反応ガスとは、窒素ガス、メタンガス、エチレン、アセチレン、アンモニア、水素、またはこれら2種以上を混合させた皮膜の成分組成に必要な元素を含むガスをいい、これら以外に用いられるArなどの様な希ガス等をアシストガスといい、これらをあわせて成膜ガスということとする。
同様にTi60Al30Si10at% 、Ti60Al30Ni10at% 、Ti60Al30Cr10at% の圧粉整形体を用いて超硬エンドミルにTiAlN+TiAlSiN 、TiAlN+TiAlNiN 、TiAlN+TiAlCrN 皮膜を成膜した。得られたエンドミルよる切削試験結果を表1に示す。超硬エンドミルは切削長 50m時での逃げ面摩耗幅を測定した。切削諸元を次に示す。超硬エンドミルではアーク法により成膜した TiAlN膜と比較して同等以上の耐摩耗性を示した。
(超硬エンドミル切削条件)
工具:φ10超硬6 枚刃スクェアエンドミル
切削方法:側面切削ダウンカット
被削材:SKD61(硬さ53HRC)
切り込み:軸方向 10mm 、径方向 0.2mm
切削速度:785m/min、送り 0.07mm/ 刃
切削長:50m、潤滑剤:無し(エアーブロー)
〔本発明の最良の実施形態の効果〕
前記硬質皮膜Aは、厚が0.2 μm では切削における耐酸化性の効果は期待できず、膜厚が1μm 以下と比較的薄い膜厚でも十分に耐酸化保護膜として機能する。前記硬質皮膜Bは膜厚が 2.4μm 未満では切削における耐摩耗性の効果は期待できず、膜厚が 5.0μm を越えると、セラミック硬質膜層での微少チッピングが発生しやすくなるため硬質皮膜Bの膜厚をこの範囲に限定した。
さらに好ましくは、前記硬質皮膜の前記基材の最表面に、NiO x 、DLC 、MoS 2 又はBNの潤滑機能皮膜を形成することが好ましい。
Claims (3)
- 超硬合金、サーメットまたは高速度工具鋼を基材とする切削工具の基材上に、(Ti a ,Al b ,Mc )(C 1-d N d ) からなり、M はSi、Cr又はNiの金属および半金属元素であり、Ti、Al、M それぞれの原子比a 、b 、c が、0.02≦a ≦0.2 、0.8 ≦b ≦0.95、a+b+c=1 を満たし、かつN の原子比d が0.5 ≦d ≦1 となるようにしかつ膜厚が 0.2μm 〜1μm である硬質皮膜、又は(Ti a ,Al b )(C 1-d N d ) からなり、Ti、Alのそれぞれの原子比a 、b が、0.05≦a ≦0.2 、0.8 ≦b ≦0.95、a+b=1 を満たし、かつN の原子比d が0.5 ≦d ≦1 となるようにしかつ膜厚が 0.2μm 〜1μm である硬質皮膜、である硬質皮膜Aと、Ti1-e Ale N からなり、Alの原子比e がe ≦0.6 でかつ膜厚が 2.4μm 〜 5.0μm である硬質皮膜Bを少なくとも1 層ずつ被覆してなる硬質皮膜被覆工具であって、前記硬質皮膜Bを前記硬質皮膜Aよりも基材側に被覆したことを特徴とする硬質皮膜被覆工具。
- 前記硬質皮膜Bに金属成分の原子比率で20%以下のTi、Al以外の窒化物構成元素を添加したことを特徴とする請求項1記載の硬質皮膜被覆工具。
- 前記硬質皮膜の前記基材の最表面に、NiO x 、DLC 、MoS 2 又はBNの潤滑機能皮膜を形成した請求項1又は請求項2に記載の硬質皮膜被覆工具。
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