JP4342444B2 - 露光装置及び露光装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、複数の画素を有する光変調素子の画素間の光量のバラツキを補正する補正値を予め記憶した露光装置、及びそのような露光装置の製造方法に関する。

複数の発光部を有する露光ヘッドを用いて、カラー感光材料等に光露光を行い、カラー画像を形成する光プリンタが知られている。このような露光ヘッドでは、複数の発光部を有するため、各発光部による光量のバラツキが発生し、良好な画像を得ることができないという不都合があった。そこで、発光部間のバラツキを検出して、シェーディング補正（光量補正）を行っていた。

シェーディング補正を行う第１の従来方法として、複数の発光部を１つずつ点灯させて、受光センサにより各発光部の光量を測定する方法がある。

しかしながら、この方法では、発光部及び受光センサの環境条件が測定中に変化してしまし、正しいシェーディング補正を行えないという不具合があった。また、１つの発光部毎に測定を行うため、時間がかかるという不具合もあった。さらに、複数の発光部を有する露光ヘッドにおいて、実際の露光動作を行わせた場合、発光部から照射される光の広がりや、発光部と感光材料との間に設けられたレンズ系（セルフォック（登録商標）レンズアレイ等）の傾き等によって、感光材料上の特定のポイントには、複数の発光部（例えば、隣接する複数の発光部）からの光が重なり合って入射する。したがって、１つの発光部毎に光量を測定して、各発光部間の光量のバラツキを補正した露光ヘッドを用いて感光材料を露光すると、隣接する発光部からの光によって、感光材料を露光する露光量にムラが生じ、それがカラー画像の濃度ムラとなる。即ち、この方法では、隣接する発光部の影響を補正することができないという不具合もあった。

また、シェーディング補正を行う第２の従来方法として、複数の発光部を一度に全て点灯して感光材料上に試し露光を行い、その後感光材料を現像して発色濃度を測定し、発色濃度の測定値から各発光部の光量のバラツキを補正する方法がある（特開平９−１２７４８５号公報、第７−８頁及び第５図（Ａ））。

しかしながら、この方法では、感光材料の現像に時間と手間がかかり、迅速且つ簡易に各発光部の光量のバラツキを補正することができないという不都合があった。

さらに、シェーディング補正を行う第３の従来方法として、複数の発光部を有する露光ヘッドにおいて、各発光部の光量のバラツキを補正するに際して、隣接する発光部からの光の影響を考慮する方法がある（特許第３２６９４２５号公報）。この方法では、１つの発光部と受光面上の１つの領域とが対応するものと仮定し、１つの発光部からの光量のバラツキを補正するための補正値を、１つの領域の受光量に基づいて求めている。ここで、１つの領域の受光量は、１つの領域に対応する１つの発光部からの光量（Ｌｉ，ｉ）と、その発光部に隣接する左右の発光部からの光量（Ｌｉ−１，ｉ及びＬｉ＋１，ｉ）の３つの発光部の影響を受けるものとしている。

しかしながら、この方法では、前述したように、１つの領域の受光量は、隣接する左右の発光部からの光量（Ｌｉ−１，ｉ及びＬｉ＋１，ｉ）を含む。したがって、１つの領域に対応する１つの発光部を制御しても、感光材料上の光量のムラを補正できず、画像の濃度ムラを生じてしまうという不都合があった。さらに、複数の発光部を全点灯して測定を行うことができないため、測定に時間がかかるという不具合があった。

前述した第１の従来方法では、基本的に正しい補正をすることができなかった。また、前述した第２の従来方法では、同時に隣接光の影響も補正できるが、露光、現像及び測定という工程を必要とするため、補正に時間と手間がかかり過ぎるという不具合があった。さらに、前述した第３の従来方法では、隣接光の影響を補正しょうとするものではあるが、方式的に誤りがあり、正しい補正ができていない。

そこで、本発明は、隣接光を含んだ複合光から１つの発光部に対応する光量を検出する方法により、各発光部の補正値を決定することができる露光装置及びそのような露光装置を製造する製造方法を提供することを目的とする。

また、本発明は、複数の発光部を有する露光ヘッドの各発光部の光量を、発光部及び受光センサの環境条件を変化させることなく、同じ条件で測定して、各発光部の補正値を決定することができる露光装置及びそのような露光装置を製造する製造方法を提供することを目的とする。

さらに、本発明は、複数の発光部を有する露光ヘッドの各発光部の光量を、隣接する発光部からの光によって露光ムラを生じさせないように補正することができる露光装置及びそのような露光装置を製造する製造方法を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明に係る製造方法では、複数の発光部を同時に点灯するステップと、ライン状の受光素子を用いた測定によって複数の発光部全体の出力光量分布を検出するステップと、出力光量分布を用いて各発光部に対応したピーク位置をそれぞれ検出するステップと、各ピーク位置に基づいて各発光部の光量を検出するステップと、各発光部の光量に基づいて各発光部における光量のムラを補正するための補正値をそれぞれ決定するステップと、を有することを特徴とする。隣接光を含んだ複合光から１つの発光部に対応する光量を検出するする方法により各発光部の補正値を決定することができるので、正確なシェーディング補正を行うことが可能となった。

さらに、本発明に係る製造方法では、各発光部の光量を決定するステップは、出力光量分布における前記各ピーク位置に対応する値を求めるステップと、値を前記各発光部の光量として決定するステップとを含むことが好ましい。

さらに、本発明に係る製造方法では、各発光部の光量を決定するステップは、基準光量分布を提供するステップと、基準光量分布及びピーク位置近傍の出力光量分布を用いてピーク位置に対応する発光部の単独光量分布を求めるステップと、単独光量分布に基づいて前記発光部の光量を決定するステップとを含むことが好ましい。

さらに、本発明に係る製造方法では、発光部は、配列方向に対して所定角度傾いた形状の開口部を有することが好ましい。

さらに、本発明に係る製造方法では、複数の発光部を同時に点灯するステップは、複数の発光部の奇数番目の発光部全てを同時に点灯するステップと、複数の発光部の偶数番目の発光部全てを同時に点灯するステップとを含むことが好ましい。

さらに、本発明に係る製造方法では、出力光量分布を検出するステップは、複数の発光部の奇数番目の発光部全てを同時に点灯した場合の第１出力光量分布を検出するステップと、複数の発光部の偶数番目の発光部全てを同時に点灯した場合の第２出力光量分布を検出するステップとを含むことが好ましい。

さらに、本発明に係る製造方法では、ピーク位置を検出するステップは、第１出力光量分布を用いて第１ピーク位置をそれぞれ検出するステップと、第２出力光量分布を用いて第２ピーク位置をそれぞれ検出するステップと、第１ピーク位置及び第２ピーク位置を合成するステップとを含むことが好ましい。

さらに、本発明に係る製造方法では、制御手段は、メモリを有し、メモリに記憶されたデータに基づいて前記露光ヘッドを制御するように構成され、決定され補正値を前記メモリに記憶するステップを有することが好ましい。

さらに、本発明に係る製造方法では、受光素子は、発光部の幅より狭い幅を有する受光部を有することが好ましい。

さらに、本発明に係る製造方法では、受光素子は、複数の発光部の整数倍の数の受光部を有することが好ましい。

さらに、本発明に係る製造方法では、各発光部に対して、３以上の受光部が対応するように設定されていることが好ましい。

さらに、本発明に係る製造方法では、複数の受光部によって構成される受光面の長さが、複数の発光部によって構成される発光面の長さより長いことが好ましい。

また、上記の目的を達成するために、本発明に係る露光装置は、供給された駆動信号に応じて光量を変化させる複数の発光部を有する露光ヘッドと、メモリに記憶された補正値に応じて画像データを補正して前記駆動信号を発生する制御手段とを有し、
補正値は、
複数の発光部を同時に点灯するステップと、ライン状の受光素子を用いた測定によって複数の発光部全体の出力光量分布を検出するステップと、出力光量分布を用いて各発光部に対応したピーク位置をそれぞれ検出するステップと、各ピーク位置に基づいて各発光部の光量を検出するステップと、各発光部の光量に基づいて各発光部における光量のムラを補正するための補正値をそれぞれ決定するステップと、に基づいて決定されることが好ましい。

また、上記の目的を達成するために本発明に係る製造方法では、複数の発光部を同時に点灯し、受光素子によって複数の発光部からの光量を測定し、受光素子による測定値のピーク値及びピーク位置を検出し、ピーク値及びピーク位置に基づいて各発光部からの光量のムラを補正するための補正値を決定する、ステップを有することを特徴とする。

本発明に係る第１の実施形態を、以下に図面を用いて説明する。

図１は製造システムの概要を示すものであり、図２はその外観を説明するための図である。

図１及び２に示されるように、製造システムは、測定対象の露光ヘッド１００、測定装置２００及び制御用のパーソナル・コンピュータ（以下ＰＣと言う）３００等より構成される。

露光ヘッド１００は、不図示のアタッチメントによって測定装置２００に取り付けられており、信号ライン１２６が測定装置２００のインターフェース（以下ＩＦと言う）２４０に接続されている。また、測定装置２００とＰＣ３００はバスライン２６０によって相互にデータ送信可能に接続されている。さらに、露光ヘッド１００は、露光制御回路１５０と接続されて、露光装置５００を構成する。

図１に示すように、測定装置２００は、駆動条件信号作成手段２１０、電流供給回路２２０、露光ヘッド１００との接続用ＩＦ２４０、ＰＣ３００との接続用のＩＦ２５０、光量測定手段２７０とを有している。

駆動条件信号作成手段２１０は、全体制御用のＣＰＵ２１１、液晶シャッタ駆動回路２１２、露光ヘッド１００が有するＬＥＤの制御条件データを記憶するためのＬＥＤ駆動条件用メモリ２１３、露光ヘッド１００が有する（後述する）液晶シャッタアレイ１１８の測定のための駆動条件データ（駆動画素毎の駆動諧調データ等）を記憶するための液晶シャッタ駆動条件用メモリ２１４、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素の（後述する）照度Ｆ（Ｎ）等を記憶するための光量用メモリ２１５、及び液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素の光量のバラツキを補正するための補正値用メモリ２１６を有している。

ＣＰＵ２１１は、ＩＦ２５０及びバスライン２６０を介してＰＣ３００と接続されており、測定開始タイミング及び測定終了タイミング、露光ヘッド１００の駆動条件等についてＰＣ３００より制御データを受信する。また、ＣＰＵ２１１は、受信した制御データに応じて露光ヘッド１００及び測定装置２００等を制御して、光量の測定（露光装置の製造／設定）の制御を行う。

液晶シャッタ駆動回路２１２は、ＩＦ２４０及びライン１２６を介して、露光ヘッド１００が有する液晶シャッタアレイ１１８の複数の駆動画素を駆動制御する。

また、電流供給回路２２０は、ＩＦ２４０及びライン１２６を介して、露光ヘッド１００が有する（後述する）ＬＥＤ１２０（青色用ＬＥＤ、緑色用ＬＥＤ及び赤色用ＬＥＤ）に電流を供給し、且つ供給する電流値を変化させることによって各ＬＥＤの発光強度を制御することができる。

また、光量測定手段２７０は、ＣＣＤラインセンサ２３０、ＣＣＤラインセンサ２３０が有する複数の受光素子を制御するためのＣＣＤ制御回路２７６、ＣＣＤラインセンサ２３０が有する複数の受光素子の各々の受光量を検出するための受光量検出回路２７４、及び受光量検出回路２７４の検出出力を積分して所定時間あたりの受光量データを得るための積分回路２７２等を有している。

また、電流供給回路２２０及び液晶シャッタ駆動回路２１２は、ＩＦ２４０を介してＬＥＤ駆動信号及び液晶シャッタ駆動信号を送信し、ＬＥＤ１２０及び液晶シャッタアレイ１１８を駆動する。

さらに、測定装置２００には、ＣＰＵ２１１の制御用プログラムを記憶するためのＲＯＭ及び各種データを一時記憶するためのＲＡＭ、各構成要素間のデータの送受信を行うための各種信号線やバスライン等が含まれる。

測定装置２００及びＰＣ３００は、後述する測定手順に従って、ＬＥＤ１２０のＬＥＤ駆動条件データ及び液晶シャッタアレイ１１８のシェーディング補正値データを求めて、一旦ＬＥＤ駆動条件用メモリ２１３及び補正値用メモリ２１６に記憶する。ＰＣ３００は、ＬＥＤ駆動条件データ及び液晶シャッタアレイ１１８のシェーディング補正値データを、露光装置５００の露光制御回路１５０の（後述する）ＬＥＤ駆動条件用メモリ１６０及び（後述する）補正値用メモリ１５３に送信して（３０２）、記憶させ、適正なＬＥＤ駆動及びシェーディング補正を行うことができる露光装置５００を製造する。

なお、測定装置２００で測定された、ＬＥＤ駆動条件データ及びシェーディング補正値データは、前述した様に測定毎に露光制御回路１５０に記憶されるようにしても良い。即ち、測定装置２００のＬＥＤ駆動条件用メモリ２１３及び補正値用メモリ２１６は省略することができる。

また、（１）測定装置２００も利用して、複数の露光ヘッドを連続して測定、（２）複数の露光ヘッド１００のＬＥＤ駆動条件データ（電流値データ）及びシェーディング補正値を一旦ＰＣ３００に記憶、（３）データをＰＣ３００から他のＰＣへ転送又は（ＦＤやＣＤ等の媒体を介して）移動、（４）露光ヘッドを露光制御回路と接続、（５）当該他のＰＣを用いて、各露光制御回路に連続してデータを記録、という手順を採用しても良い。その際には、後述するシリアルＮｏシート１３２に印字されるシリアル番号を用いて各露光ヘッドを特定することが好ましい。

図３にＣＣＤラインセンサ２３０の概略を示す。ＣＣＤラインセンサ２３０は、複数の縦長の受光素子２３２を２０４８個有しており、各受光素子２３２の長さａは２５００μｍ、幅ｃは２５μｍで、ピッチｄ（２５μｍ）で配置されている。したがって、実際には各受光素子は、ほぼすき間なく配置されているが、図３では、説明の便宜上各受光素子間にすき間をあけて示している。

図３には、後述する液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素２３４が示されており、各駆動画素２３４の長さｂは１５０μｍ（又は２００μｍ）、幅ｅは７６μｍで、ピッチｆ（１００μｍ）で配置されている。したがって、１つの駆動画素２３４に対して、４個づつの受光素子２３２が対応するように配置されていることとなる。本実施形態では、液晶シャッタアレイ１１８は、４８０個の駆動画素を有しており、各駆動画素２３４は図３に示されるように直列に配列されている。ただし、各駆動画素を駆動させるための電極の配線レイアウト等に応じて、駆動画素を千鳥配列とすることも可能である。

また、図３に示すように、全ての受光素子が有する受光面の長さは、全ての駆動画素が有する発光面の長さよりも長く設定されている。

なお、本実施形態では、１つの駆動画素２３４に対して４個の受光素子２３２が対応するように構成されているが、これに限られるものではない。例えば、受光素子の個数は、駆動画素の整数倍であることが好ましく、１つの駆動画素に対して３個、５個、７個等の受光素子が対応していても良い。特に、即ち１つの駆動画素に対して３個以上の受光素子が対応していることが好ましい。

図４及び５を用いて、本発明に係るシステムに測定対象物として使用される露光ヘッド１００の構成について説明する。図４は、露光ヘッド１００の分解斜視図、図５は、露光ヘッド１００の断面図である。図に示されるように、露光ヘッド１００は、上部ハウジング１０４及び下部ハウジング１３０から構成されており、その間に上部反射板１０６、導光素子１０８、ミラー１１２、下部反射板１１４、液晶シャッタアレイ１１８及びＬＥＤ１２０が配置されている。また、上部ハウジング１０４及び下部ハウジング１３０は、クリップ１４０によって上下に分離しないように相互に固定されている。

また、上部ハウジング１０４の上部には、遮光シート１０２が取り付けられており、外部からの光を遮蔽している。さらに、下部ハウジングの図中下部表面には、露光ヘッド１００を識別するためのシリアルＮｏシート１３２及び駆動キー１３６が取り付けられており、下部ハウジング１３０の溝にはセルフォック（登録商標）レンズアレイ（登録商標）１３８が固定されている。

上部反射板１０６は、導光素子１０８の周りをかこみ、ＬＥＤ１２０からの光を反射させて導光素子１０８の突起部１１０から選択的に光が射出できるように構成されている。また、反射ミラー１１２はＬＥＤ１２０からの光を導光素子１０８内に反射させ、下部反射板１１４のスリット部１１６は導光素子１０８の突起部１１０のニゲの役目を有している。また、液晶シャッタアレイ１１８は、調整用ネジ１２４及び１２６によって光路が位置調整されながら、下部ハウジング１３０に位置決めされて固定されている。また、ＬＥＤ１２０は、露光ヘッド１００の光源であって、Ｒ光用ＬＥＤ、Ｇ光用ＬＥＤ及びＢ光用ＬＥＤを有している。また、液晶シャッタアレイ１１８には、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素への駆動時間制御用及びＬＥＤ１２０への電流印加用の信号線１２２が接続されており、信号線１２２の末端は上部及び下部ハウジング１０４及び１３０の間から露光ヘッド１００の外部に伸びている。また、図中１２８は、露光ヘッド１００の移動用の軸受けである。また、駆動キー１３６は、露光ヘッド１００を不図示のボールネジと軸受け１２８によって駆動する際に、不図示のセンサ等と共に露光ヘッド１００の駆動タイミング等を決めるための部材である。また、セルフォック（登録商標）レンズアレイ１３８は、多数の円柱状レンズが長手方向に重なり合うように配置されており、正立等倍結像する光学素子である。

なお、図５に示すように、導光素子１０８の図中上部には、ＬＥＤ１２０からの各色光を、図中において導光素子１０８の真下に配置される液晶シャッタアレイ１１８方向に集中させるために、散乱膜１０７が導光素子１０８の長手方向に沿って形成されている。散乱膜１０７は、白い散乱性のある物質を直線状に塗布して形成されている。露光ヘッド１００が測定装置２００に取り付けられた場合には、散乱膜１０７からの各色光は、液晶シャッタアレイ１１８及びセルフォック（登録商標）レンズアレイ１３８を通過してＣＣＤセンサアレイ２３０に集光される。

図６に露光装置５００の断面図を示し、図７にその上蓋１５を開放した斜視図を示す。露光装置５００は、外ケース１内に、露光ヘッド１００と露光制御回路１５０を収納している。露光ヘッド１００と露光制御回路１５０は、信号線１２２で接続されている。露光制御回路１５０は、外ケース１の内側に固定されている。露光ヘッド１００は、その下部ハウジング１３０に設けられた開口部に２本の丸棒状の軸受け１２８を貫通させることによって、軸受け１２８に沿って移動可能に支持されている。

また、外ケース１の図中の下部には、記録媒体（印画紙）８を収納するためのカセット４が、着脱可能（矢印Ａの方向）に設けられている。

露光ヘッド１００は、軸受け１２８に沿って移動しながら、カセット４内に収納されている記録媒体８上に画像形成を行う（例えば、潜像を形成する）。

なお、図６及び７に示した露光装置５００は一例であって、これに限定されるものではない。例えば、露光ヘッド１００を固定して、記録媒体８を移動させるように構成しても良い。また、露光装置５００と、カセット４とを別体に構成しても良い。さらに、露光装置５００に、記録媒体に形成された潜像を現像するための処理装置を組み込むように構成しても良い。さらに、露光装置５００は、露光ヘッド１００と露光制御回路１５０のみから構成されても良い。

図８に、図４及び５に示す液晶シャッタアレイ１１８の断面図を示す。図８において、上部基板４０１の下面全体に透明なＩＴＯ薄膜などによる透明共通電極４１１を設けて、ポリイミドなどの配向膜４１３で被覆している。また下部の基板４０２の上部には、微細な透明画素電極４１６を有し、配向膜４１５で被覆している。また、両基板の外周がエポキシ樹脂等から構成されるシール材４０３によって結合され、両基板の配向膜４１３及び４１５の間に液晶４１４が充填されている。なお。液晶４１４の厚さは５μｍに設定されている。また、透明共通電極４１１には、クロム材料等から構成される遮光層４１２が被覆されており、透明画素電極４１６に対応する遮光層４１２の箇所にはスリットが設けられて、その部分だけ光を通すように構成されている。また、両基板の外側には、偏光板４１０及び４１７が設けられている。さらに、液晶４１４は、例えばツイスト角２４０°のＳＴＮモードで動作され、２枚の偏光板４１０及び４１７は、これに応じた角度で偏光軸を交差させるようにすることができる。

さらに、透明共通電極４１２及び透明画素電極４１６によって、液晶シャッタアレイを構成する個々の駆動画素２３４が直列に配列されるように構成されている。ここで、液晶シャッタアレイを構成する個々の駆動画素２３４の大きさは、図３で説明したように、長さ（ｂ）１５０μｍ（又は２００μｍ）、幅（ｅ）７６μｍ、ピッチ（ｆ）１００μｍである。

図９は、液晶シャッタアレイの駆動画素を示す図である。図９Ａは、図３で説明した液晶シャッタアレイを示し、長方形の駆動画素２３４を有している。各駆動画素２３４の長さｂは１５０μｍ（又は２００μｍ）、幅ｅは７６μｍで、ピッチｆは１００μｍである。図９Ｂは、他の液晶シャッタアレイ１１８´を示している。図９Ｂでは、駆動画素の配列方向に対して所定角度傾いた形状の開口部２３４´（以下「斜め駆動画素」と言う）を有している。図９Ｂでは、駆動画素２３４´の長さｂは１５０μｍ（又は２００μｍ）、幅ｅは７６μｍで、ピッチｆは１００μｍ、傾きθは約６０°である。

本実施形態では、いずれの液晶シャッタアレイをも利用することが可能である。しかしながら、斜め駆動画素を利用すると、各駆動画素間の隙間による感光材料上の未露光部分をなくすことが可能となる。したがって、斜め駆動画素２３４´を有する液晶シャッタアレイ１１８´を用いると、感光材料上に発生する未露光部分による縦縞を防止することが可能となる。しかしながら、後述するように、斜め駆動画素を用いると光量測定時にピーク位置を明確に求めることができないという不具合が生じる場合がある。

なお、傾きθは、各駆動画素間の隙間を覆うことができるように４５°〜８０°の範囲が好ましい。

図１０は、露光ヘッド１００が有するＬＥＤ１２０からＣＣＤラインセンサ２３０までの光路を説明するための図である。図１０に示すように、ＬＥＤ１２０から発せられた光は、導光素子１０８に導光素子１０８の長手方向に向かって入射され、散乱膜１０７によって下方に反射され、導光素子１０８の下部突起部１１０から液晶シャッタアレイ１１８へ向けて射出される。さらに、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素２３４により透過制御された光は、セルフォック（登録商標）アレイ１３８によりＣＣＤラインセンサ２３０上に結像される。なお、露光ヘッド１００には、３色のＬＥＤが配置されており、各色ＬＥＤから発せられた各色光が、図１０に示した光路にしたがって、ＣＣＤラインセンサ２３０上に結像される。

露光ヘッド１００において、ＬＥＤ１２０から発せられ、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素２３４から出力された各色光は、均等な光量を有するように設計されているが、駆動画素毎の光量にバラツキを生じる場合がある。その原因の一例を以下に示す。

まず、導光素子１０８の下部突起部１１０から液晶シャッタアレイ１１８に向けて均等に光を射出するために、散乱膜１０７は導光素子１０８の長手方向に沿って、均一な幅を有するように構成されている。しかしながら、散乱膜１０７の幅を長手方向に沿って完全に均一形成することは困難である。したがって、散乱膜１０７の幅の微妙な誤差が、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素への入射光を均一にすることを妨げ、駆動画素毎の光量にランダムなバラツキを生じさせる。

次に、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素２３４は、各画素を形成する透明電極間への電圧の印加に応じて光透過率が変化し、それによって光透過制御を行えるように構成されている。しかしながら、特に駆動画素を開制御した場合の光透過率を全ての駆動画素について均一とすることは困難である。したがって、全ての駆動画素に均一な光が入射したとしても、駆動画素毎の光量にランダムなバラツキが生じる。

さらに、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素２３４から出射した光は、セルフォック（登録商標）レンズアレイ１３８によって結像されるが、セルフォック（登録商標）レンズアレイ１３８は多数の円柱状レンズが長手方向に重なり合うように構成されている。したがって、均一の光をセルフォック（登録商標）レンズアレイ１３８に入射しても、円柱状レンズの配列周期に対応して出射光に変動を生じる。

上述した原因等によって生じた駆動画素毎の光量のバラツキによって、露光ヘッド１００によって感光材料上へ露光が行われても、良好な画像形成を行うことができなかった。そこで、露光ヘッド１００の各駆動画素２３４の光量をそれぞれ測定し、各駆動画素２３４へ同一の階調レベルデータが与えられた場合に、結果として均一な光量を得られるようなシェーディング補正を行うことが必要となる。

図１１に、露光制御回路１５０の一例を示す。露光制御回路１５０は、階調画像データＤｇをパーソナル・コンピュータ等から入力するための入力ＩＦ１５１、階調画像データＤｇに対してシェーディング補正を行うためのシェーディング補正回路１５２、シェーディング補正回路１５２でシェーディング補正を行うためのシェーディング補正データを記憶する補正値用メモリ１５３、補正された階調画像データＤｇ´及び露光タイミングデータＳｃを用いて液晶シャッタアレイ１１８を駆動するための制御信号（ＬＣＳ制御信号）を生成するＬＣＳ制御回路１５４、ＬＣＳ制御信号を生成するためのルックアップテーブル（ＬＵＴ）１５５、ＬＣＳ制御信号に応じて実際に液晶シャッタアレイの各画素を駆動する駆動信号（ＬＣＳ駆動信号）を生成するためのＬＣＳ駆動回路１５６を有している。

また、露光制御回路１５０は、階調画像データＤｇから露光タイミングデータＳｃを生成する露光補正回路１５８、露光タイミングデータＳｃ及びＬＥＤ駆動条件データに応じてＬＥＤ１２０を駆動するためのＬＥＤ駆動信号を生成するＬＥＤ点灯制御回路１５９、ＬＥＤ駆動条件データを記憶するＬＥＤ駆動条件用メモリ１６０を有している。

ＬＣＳ駆動信号及びＬＥＤ駆動信号は、信号線１２２を介して露光ヘッドに送信され、液晶シャッタアレイ１８８及びＬＥＤ１２０はＬＣＳ駆動信号及びＬＥＤ駆動信号に応じてそれぞれ駆動される。

なお、後述するようにして求められたシェーディング補正用の補正値及びＬＥＤ駆動条件データ（電流値データ）は、それぞれ補正値用メモリ１５３及びＬＥＤ駆動条件用メモリ１６０に予め記憶されているものとする。

次に、ＬＥＤへの印加電流値の調整動作及び各駆動画素の照度を決定する方法について説明する。

図１２に、露光ヘッド１００のＬＥＤ１２０への印加電流値を補正するためのフローを示す。補正開始に際し、測定用の露光ヘッド１００の本体が測定装置２００の所定の場所にセットされ、信号線１２２がＩＦ２４０に差込まれる。その後、オペレータによって、ＰＣ３００から測定開始指示がバスライン２６０を介して測定装置２００のＣＰＵ２１１に送信されて、測定が開始される。以下図１２のフローは、ＰＣ３００に記憶されているシステム制御ソフトウエアに従い、ＰＣ３００と測定装置２００のＣＰＵ２１１が相互に連携しながら実行される。

最初に、予め定められている基準ＬＥＤ電流値が、電流供給回路２２０から露光ヘッド１００のＬＥＤ１２０の一つのＬＥＤ素子に印加されて点灯する（ステップ１２０１）。本実施形態の露光ヘッド１００は、３色のＬＥＤ素子（青色、緑色及び赤色）を有しているが、測定は各色ＬＥＤ素子毎に行われる。また、本実施形態では、液晶シャッタ駆動回路２１２から、測定に際し、液晶シャッタアレイ１１８の全ての駆動画素に対して、最大駆動時間（最大の階調レベルに相当）での開制御信号が出力される。なお、測定する場合に各駆動画素に与えられる制御信号は、常に最大駆動時間に相当するものである必要はなく、中間駆動階調レベルとしても良い。

次に、ＣＣＤラインセンサ２３０の全ての受光素子２３２からの受光量が受光量検出回路２７４によって検出され、積分回路２７２によって積分されて、不図示のＡ／Ｄ変変換回路によってデジタル信号に変換され光量データＥ（Ｘ）としてＣＰＵ２１１に検出される（ステップ１２０２）。本実施形態では、前述したように２０４８個の受光素子２３２を有しているため、２０４８個の光量データＥ（Ｘ）（Ｘは、０〜２０４７）が取得される。取得された光量データＥ（Ｘ）の分布を図１３に示す。図１３に示すように、光量データはＡ／Ｄ変換装置の出力値（０〜４０９５）として示されている。

次に、全ての受光素子からの光量データＥ（Ｘ）の内の最大値を有する光量データＥｍａｘを求め（ステップ１２０３）、Ｅｍａｘが予め定めされている範囲内か否かが判断される（ステップ１２０４）。これは、Ｅｍａｘが大きく、Ａ／Ｄ変換回路のＡ／Ｄ変換限界を超えている場合、変換後のデータが飽和している可能性が高く、良好な測定結果を得ることができないからである。また、Ｅｍａｘが小さい場合、全体的にデータが圧縮されていて、後述する谷部等の検出性が悪くなり、良好な測定結果を得ることができないからである。本実施形態では、ＥｍａｘがＡ／Ｄ変換限界の９０％以下且つ８０％以上の範囲内になるように設定されている。

仮に、Ｅｍａｘが予め定めされている範囲内に無い場合には、ステップ１２０５に移行し、ステップ１２０１で印加した基準ＬＥＤ電流値を所定比例分変化させて再度ステップ１２０２〜１２０４を繰り返す。本実施形態では、所定比例分は１０％である。Ｅｍａｘが予め定められている範囲より高い場合には１０％ダウン、Ｅｍａｘが予め定められている範囲より低い場合には１０％アップするように、ＬＥＤ電流値を変更している。

なお、品質の一定したＬＥＤを入手できる場合等には、上述した１２０１〜１２０５のステップを省略することもできる。

Ｅｍａｘが予め定められた範囲内にある場合には、ステップ１２０６へ移行し、検出光量データＥ（Ｘ）のから各谷部の位置Ｖ（Ｎ）を検出する。谷部の位置の一例を図１３に１２０１として示す。なお、Ｎは、各谷部を示すシリアル番号であって、０及び１以上の整数である。谷部Ｖ（Ｎ）は、例えば、図３にＹ₁〜Ｙ₃として示すように、駆動画素２３４と駆動画素２３４との間で、駆動画素の真下に位置しない受光素子２３２に対応する箇所等を示している。したがって、谷部Ｖ（Ｎ）を検出することによって、駆動画素の位置を判別することが可能となる。

次に、隣接する谷部Ｖ（Ｎ）と谷部Ｖ（Ｎ＋１）との間のピーク値Ｐ（Ｎ）を、検出光量データＥ（Ｘ）から検出する（ステップ１２０７）。ピーク値の一例を図１３に１２０２として示す。また、同時にピーク値Ｐ（Ｎ）を得たピーク位置Ｘｐ、即ちピーク値Ｐ（Ｎ）を得た受光素子の番号を得る。

次に、谷部Ｖ（Ｎ）と隣接するピーク値Ｐ（Ｎ）との変化量である隣接変化量Ｒ（Ｎ）を検出する（ステップ１２０８）。なお、隣接変化量Ｒは、谷部Ｖ（Ｎ）と隣接するピーク値Ｐ（Ｎ）との間の変化量、次にピーク値Ｐ（Ｎ）と隣接する谷部Ｖ（Ｎ＋１）との間の変化量というように求めていく。図１３に示す光量データＥ（Ｘ）を検出した場合の隣接変化量Ｒ（Ｎ）の一例を図１４に示す。なお、Ｎは、各隣接変化量を示すシリアル番号であって、０及び１以上の整数である。ここでは、谷部Ｖ（Ｎ）から隣接するピーク値Ｐ（Ｎ）へ上る方向を（＋）、ピーク値Ｐ（Ｎ）から隣接する谷部Ｖ（Ｎ＋１）へ下る方向を（−）としている。

次に、最大増加量Ｒｍａｘと最大減少量Ｒｍｉｎを求める（ステップ１２０９）。ＲｍｉｎとＲｍａｘの一例を図１４に示す。

次に、ＲｍｉｎとＲｍａｘの位置を基準にして、その間を画素領域と認識する（ステップ１２１０）。認識された画素領域（Ｎ＝０〜４７９）の一例を図１５に示す。

次に、求められた画素領域の両端部の５画素づつを削除して、残りを有効画素領域とする（ステップ１２１１）。有効画素領域（Ｎ＝５〜４７４）の一例を図１５に示す。液晶シャッタアレイ１１８の両端部は、液晶シャッタの構造上、透明電極の配置上の問題等から、中央部に配置された駆動画素と異なる駆動特性を有する場合がある。したがって、両端部の５画素づつを画像記録に使用しないこととして、光量の測定や記憶をしないように削除したものである。したがって、有効画素領域は、Ｎ＝５〜４７４となる。

次に、有効画素領域に含まれるピーク値Ｐ（Ｎ）を、液晶シャッタアレイ１１８のＮ番目の駆動画素（本実施形態の場合には４８０画素）の照度Ｆ（Ｎ）、即ち駆動画素からの光量とする（ステップ１２１２）。

図３に記載されるように、液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素２３４に対応していない両端の受光素子は、極端に受光量が減るため、最初に受光量が大きく立ち上がる部分（Ｒｍａｘ）に最初の駆動画素（Ｎ＝０）が存在し、最後に受光量が大きく下がる部分（Ｒｍｉｎ）に最後の画素画素（Ｎ＝４７９）が存在するとして画素位置を決定するものである。上記の手順によって得られた照度Ｆ（Ｎ）の分布を図１５に示す。図１５では、各駆動画素に対応する光量を線で結ぶようにして、光量分布を示している。

次に、有効画素領域内（Ｎ＝５〜４７４）における照度Ｆ（Ｎ）の内の最小光量Ｆｍｉｎを検出し（ステップ１２１３）、Ｆｍｉｎが予め決められた光量の範囲内か否かを判断する（ステップ１２１４）。なお、Ｆｍｉｎは、露光ヘッド１００と共に使用する感光材料の種類に応じて決定され、特に値を決定するに際しては、露光された画質の明るさをどこに設定するかが考慮される。

仮に、Ｆｍｉｎが予め決められた光量の範囲内でない場合には、ステップ１２１５で、現時点でＬＥＤに印加されている電流値を所定比率分（５％）変化させた電流値に変更し、新たに変更された電流値を電流供給回路２２０によりＬＥＤに印加して、ステップ１２０２と同様に各受光素子の光量データを再度取得する（ステップ１２１６）。ここでは、Ｆｍｉｎが予め決められた範囲より小さい場合には、ＬＥＤ電流値を大きくするように変化させ、Ｆｍｉｎが予め決められた範囲より大きい場合には、ＬＥＤ電流値を小さくするように変化させる。以下ステップ１２０６〜ステップ１２１６を繰り返すことによって、Ｆｍｉｎが予め決められた光量の範囲内になるように、ＬＥＤに印加される電流値を変更する。なお、ステップ１２０２〜１２０５のループに従って、Ｅｍａｘが所定の範囲内に入るように済に制御されていることから、通常であればＦｍｉｎが所定の範囲内に入っていなかったとしても、その調整は微細なもののはずである。しかしながら、Ｆｍｉｎに対応する駆動画素にゴミが付着している場合や、ＬＥＤ１２０が故障している場合には、Ｆｍｉｎを所定の範囲内に入れるための調整（ステップ１２１５）は大きな規模となってしまう。その様な場合には、上述したＦｍｉｎの調整ステップによらず、露光ヘッド１００を不良品として取り扱うことが好ましい。

ステップ１２１４において、Ｆｍｉｎが予め決められた光量の範囲内にある場合には、ステップ１２１７に進む。ステップ１２１７では、現時点のＬＥＤ電流値をＬＥＤ制御条件用メモリ２１３に記憶し、あわせて現時点の液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素への駆動時間に関する制御データ（各駆動画素の開口条件を定めるデータ）が液晶シャッタ駆動条件用メモリ２１４に記憶される。

次に、現時点の照度Ｆ（Ｎ）を、後述するシェーディング補正のために光量用メモリ２１５に記憶させて（ステップ１２１８）、各駆動画素の光量の測定を終了する。

光量用メモリ２１５に記憶された液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素２３４の照度（Ｆ（Ｎ）等）は、ＰＣ３００から出力（表示又は印刷）して、各種用途に利用することもができる。なお、本実施形態では、測定装置２００に測定対象の露光ヘッド１００をセットして光量の測定を行ったが、露光ヘッドを有する画像形成装置に、測定装置を組み込むことも可能である。

このように、液晶シャッタアレイの駆動画素の幅より狭い受光素子を、一つの駆動画素に対して複数対応させたので、複数の駆動画素からの相互作用を加味した光量を測定することができ、実際に感光体上へ作成した画像を用いなくても、正確な光量を測定することが可能となった。

また、実際に感光材料上に作成した画像の濃度から間接的に光量を測定しているわけではなく、液晶シャッタアレイに対向した受光素子からの各データを用いて光量を測定しているので、正確に各駆動画素の位置を検出することができ、より正確な光量を測定することができるようになった。

さらに、実際に感光材料上へ作成した画像を用いなくても、正確な光量を測定することが可能となったので、感光材料を現像するための時間が不要となり、迅速に光量を測定することができるようになった。

以下、シェーディング補正用の補正値を求める方法について説明する。

図１６に、図１２のステップ１２１８で光量用メモリ２１５に記憶された照度Ｆ（Ｎ）を用いて、シェーディング補正用の補正値を求めるためのフローを示す。

この場合、図１２のステップ１２１２で、Ｐ（Ｎ）＝Ｆ（Ｎ）と設定されている。これは、検出光量データＥ（Ｘ）の谷部Ｖ（Ｎ）間のピーク値Ｐ（Ｎ）を、各駆動画素の代表値としてシェーディング補正用の照度として利用していることに相当する。

図１６のフローは、ＰＣ３００に記憶されているシステム制御ソフトウエアに従い、ＰＣ３００と測定装置２００のＣＰＵ２１１が相互に連携しながら、図１２に示したフローに引き続き実行されても良いし、別途ＰＣ３００のみで実行してもよい。

最初に、液晶シャッタアレイ１１８の全ての駆動画素に共通な、駆動諧調（Ｈ）と規格化された照射露光量Ｔとの関係式Ｔ（Ｈ）を用意する（ステップ１６０１）。関係式Ｔ（Ｈ）の詳細については後述する。

次に、光量用メモリ２１５から、図１２のフローにしたがって測定され、記憶された全ての駆動画素の照度Ｆ（Ｎ）を読出す（ステップ１６０２）。

次に、各駆動画素の照度Ｆ（Ｎ）の中から、最小光量Ｆｍｉｎを検出する（ステップ１６０３）。

次に、Ｎ＝０と設定し、即ち第０番目の駆動画素２３４を選択する（ステップ１６０４）。

次に、ステップ１６０３で検出したＦｍｉｎを基準にして第Ｎ番目の駆動画素に関する補正参照値Ｕ（Ｎ）を求める（ステップ１６０５）。ここで、Ｕ（Ｎ）は、以下の式から求めることができる。
Ｕ（Ｎ）＝Ｆｍｉｎ／Ｆ（Ｎ）

図１５に示す照度Ｆ（Ｎ）が光量用メモリ２１５から読出された場合の、補正参照値Ｕ（Ｎ）の一例を図１７に示す。なお、最小光量Ｆｍｉｎに対応する画素における補正参照値は１．００である。

次に、Ｈ＝０に設定し、即ち、駆動階調レベル＝０に関する補正値を設定する（ステップ１６０６）。

次に、Ｎ番目の駆動画素に関し、駆動階調レベルＨが入力された場合に必要な照射露光量Ｓ（Ｈ）を、補正参照値Ｕ（Ｎ）及び関係式Ｔ（Ｈ）から以下の式を用いて求める（ステップ１６０７）。
Ｓ（Ｈ）＝Ｔ（Ｈ）／Ｕ（Ｎ）

次に、Ｎ番目の駆動画素に関し、Ｓ（Ｈ）＝Ｔ（Ｈ´）を満足する実数値Ｈ´を求める（ステップ１６０８）。Ｈ´は、Ｎ番目の駆動画素に駆動階調レベルＨが与えられた場合に、最小光量Ｆｍｉｎに対応する駆動画素に駆動階調レベルＨが与えられた場合と同じ照射露光量を得るために必要な駆動階調レベルを表している。即ち、Ｎ番目の駆動画素に駆動階調レベルＨが与えられた場合に、ＨをＨ´に変更するようにして、シェーディング補正を行っている。

次に、Ｈ´の小数点以下を四捨五入して、整数値を有する補正値Ｈ´´を求める（ステップ１６０９）。これは、本実施形態における露光ヘッド１００を含むシステムが、０及び１〜２５５の整数値を有する駆動階調レベルデータのみしか扱えないからである。したがって、状況に応じて、このステップを省略することも可能である。

次に、ステップ１６０９で求めた補正値Ｈ´´を、補正値用メモリ２１６に記憶する（ステップ１６１０）。

その後、Ｎ番目の駆動画素に関し、全ての駆動階調レベル（０〜２５５）について同様のステップの処理を繰り返し（ステップ１６０７〜ステップ１６１１及びステップ１６１３）、さらに全ての駆動画素（Ｎ＝０〜４７９）について同様のステップの処理を繰り返して（ステップ１６０５〜ステップ１６１４）、フローを終了する。

ここで、Ｔ（Ｈ）は、液晶シャッタアレイ１１８の全ての駆動画素に共通する関係式であって、駆動階調レベル（Ｈ）と規格化された照射露光量Ｔの関係を表すものである。また、関係式Ｔ（Ｈ）は、図１８に示す液晶シャッタアレイ１１８の駆動特性と、図１９に示す使用する感光材料の感度特性との関係から、予め露光ヘッド１００に使用する液晶シャッタアレイ１１８と利用する感光材料に応じて求められた関係式である。

なお、図１８に示す液晶シャッタアレイ１１８の駆動特性は、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素の規格化された照射露光量Ｔと駆動時間ｔ（光を透過させるために駆動画素を開放する時間）との関係を示すものである。また、図１８に示す駆動特性を示すグラフが線形でないのは、液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素の規格化照射露光量Ｔが、駆動画素の制御信号に対して、図２０に示すような特性を有するからである。即ち、ｔ₀で駆動画素を開放、ｔ₁で駆動画素を閉じるような駆動信号が駆動画素に与えられた場合、液晶シャッタアレイの駆動画素からの照射露光量は、すぐには最大とならず、徐々に最大照射露光量に近づく。なお、図２０において、グラフＥ₁は、液晶シャッタアレイ１１８の中央部（Ｎ＝２０〜４６０）の駆動画素の挙動を示し、グラフＥ₀は、液晶シャッタアレイ１１８の端部（Ｎ＝０〜１９及び４６１〜４７９）の駆動画素の挙動を示している。このように、液晶シャッタアレイ１１８の端部と中央部で駆動画素の挙動が異なるのは、端部の駆動画素がシール材４０３から近い場所に位置しているからであり、樹脂で構成されるシール材４０３に起因する不純物や未硬化樹脂などがシール材４０３近傍の配向膜又は液晶に影響を及ぼすからであると考えられる。

通常、Ｅ₁とＥ₀の差は、微小であるので、Ｅ₁のみに基づいて、図１８に示すような駆動特性を表すグラフを求め、それに応じてＴ（Ｈ）を求めても良い。しかしながら、さらに詳細なシェーディング補正を希望する場合には、Ｅ₁に応じてＴ₁（Ｈ）、Ｅ₀に応じてＴ₀（Ｈ）を予め求めておき、駆動画素の番号又は位置に応じて、関係式を使い分けることがより好ましい。

また、図１９に示す感光材料の感度特性は、感光材料の濃度Ｄと露光量Ｅとの関係を示すものであり、濃度Ｄは階調レベルに、露光量Ｅは照射露光量にそれぞれ対応する。

本実施形態では、図１８及び図１９に示すグラフより、唯一の階調レベルデータＨと規格化された規格化照射露光量Ｔとの関係式Ｔ（Ｈ）を求め、後段の計算を容易にするために、最小二乗近似の手法によって、以下の１０次多項式によって表すこととした。

ここで、式中の各係数Ａ₀〜Ａ₁₀は、各色ＬＥＤ毎に以下の表１に示される値を有している。

本実施形態では、上述したように、１０次多項式によってＴ（Ｈ）を求めたが、関係式は１０次多項式に限られるものではない。しかしながら、図１８及び図１９に示すように、各特性は非線形であるので、少なくとも３次式以上の関係式によって、近似することが好ましい。

図２１に、上述したＴ（Ｈ）及びＳ（Ｈ）等の一例を示す。図２１に示すように、Ｆｍｉｎに対応した駆動画素では、Ｕ（Ｎ）＝１．００であるので、Ｓ（Ｈ）＝Ｔ（Ｈ）となり、最大階調レベル２５５に対応する規格化された駆動時間は１．００であり、最大照射露光量となる。また、Ｆｍｉｎより光量が高い駆動画素では、同じ階調レベルＨ₁が与えられた場合には、必要となる露光量はＳ（Ｈ₁）となり、同じ露光量を得るための駆動階調はＨ₁´となる。即ち、該当する駆動画素に対して駆動階調Ｈ₁が与えられると、Ｈ₁´となるようにシェーディング補正されることとなる。

このようにして求められた補正値の一例を図２２に示す。図２２では、各駆動画素Ｎについて、与えられた全ての駆動階調レベルに対応した補正駆動階調が示されている。なお、図２２では、第１２３画素が、Ｆｍｉｎに対応する駆動画素として示してある。また、図２２の例は、赤色ＬＥＤ素子に関する補正値であって、実際には、青色ＬＥＤ素子及び緑色ＬＥＤ素子についても同様な手順にしたがって補正値を求め、補正値用メモリに記憶する。

図１６のフローにしたがって求められた補正値（図２２参照）は、前述したように、露光ヘッド１００に接続される露光制御回路１５０内の所定のメモリ、例えば補正値用メモリ１５３及びＬＥＤ駆動条件メモリ１６０等に記憶される。なお、上記補正値は、図１２のフローにより求められた各色ＬＥＤ印加電流値と共に、ＦＤ、ＣＤ等の記録媒体に書き込まれ、測定された露光ヘッド１００と共に、出荷されるようにしても良い。

次に、最小光量Ｆｍｉｎを基準にして補正値を求める理由について図２３を用いて簡単に説明する。Ｆｍｉｎを基準とするのは、全ての駆動階調の範囲を有効に利用するためである。例えば、Ｆｍｉｎを基準とすれば、最も照射露光量の低い駆動画素は、Ｆｍｉｎに対応した駆動画素であって、その駆動画素に最大階調レベル２５５が与えられれば、補正値も２５５となる。しかしながら、最大光量Ｆｍａｘを基準にして各駆動画素の補正参照値を求めるとすると、最大光量Ｆｍａｘに補正参照値Ｕ（Ｎ）＝１．００を対応させることとなり、Ｆｍａｘに対応する駆動画素に、Ｓｍａｘ（Ｈ）＝Ｔ（Ｈ）が対応することとなる。仮に、Ｆｍａｘに対応する駆動画素が最大階調レベル２５５で最大規格化照射露光量光量（１．００）を得るように設定すると（Ｓｍａｘ（Ｈ）参照）、Ｆｍｉｎに対応する駆動画素に最大駆動階調（２５５）が与えられた場合には、Ｆｍａｘより高い光量が得られるように補正しなければならない。そうすると、図２３に示すように、必要となる最大規格化照射露光量を得るためには、最大階調レベル２５５を超えた駆動階調Ｈ₂になるように補正しなければならない（Ｓｍｉｎ（Ｈ）参照）。しかしながら、最大階調レベル２５５を超えた駆動階調に補正することはできない。

そこで、Ｆｍａｘに対応する駆動画素が最大階調レベル２５５より低い駆動階調レベルＨ₃で最大規格化照射露光量になるように、予め余裕をもって関係式を設定しておくことが考えられる（Ｓｍａｘ´（Ｈ）参照）。しかしながら、ランダムに発生する駆動画素間の光量差をあらかじめ正確に予想することはできない。そこで、例えば、図２３に示すように、最小光量Ｆｍｉｎに対応する駆動画素の修正関係式をＳｍｉｎ´（Ｈ）とすると、駆動階調レベルＨ₃が該当画駆動画素に与えられても、Ｈ₄に補正されるだけとなる。したがって、最大階調レベル２５５までを使い切ることができなくなる（Ｓｍｉｎ´（Ｈ）参照）。

これに対し、最小光量Ｆｍｉｎを基準にして補正値を補正する場合には、最小光量Ｆｍｉｎに対応する駆動画素が、最大階調レベルの場合に最大の規格化照射露光量となるように設定することができるので、駆動階調レベルの全範囲を有効に使い切ることができる。

図２４に、図１６に示すフローにしたがって求めた補正値を用いたシェーディング補正結果の一例を示す。図２４は、最小光量Ｆｍｉｎを基準とし、その他の駆動画素の光量を誤差（％）で表した分布図である。

ここでは、露光ヘッド１００の赤色ＬＥＤを、図１１のフローによるＬＥＤ電流値を印加して点灯させ、全ての駆動画素に最大階調レベルデータ（２５５）を与え、図２２に記載した補正値を用いて、駆動補正制御を行い、図１１のフローにしたがって再度光量を測定した。このように、４８０の駆動画素の光量の誤差は最大でも０．０４％となり、画像形成に全く影響を与えないレベルまで補正することができた。

ここで、上記の図１２に示したフローチャートの内容と後述する実施形態との関係を整理する。ステップ１２０６及び１２０７は、画素と受光素子の対応関係を特定するために、光量データＥ（Ｘ）に基づいて、画素に対応して発生しているピーク値（極大値）と谷部（極小値）とその発生位置（受光素子の番号）を検出するためのピーク検出工程（Ａ）である。このピーク検出工程（Ａ）は、第１の実施形態の中で説明した方式と、後述の第３の実施形態で説明する方式との２つの方式があり、例えば駆動画素形状が後述するような斜め形状の場合は、第３の実施形態で説明する方式を採用するとピーク値の検出を容易に行なえる。

また、ステップ１２０８〜１２１１は、ピーク検出工程で検出したピーク値と谷部に基づいて、ライン状に配設した駆動画素のうち、補正値を決定するのに有効な画素領域を決定するための有効画素領域決定工程（Ｂ）である。

また、ステップ１２１２は、有効画素領域にある各駆動画素の照度を求める照度決定工程（Ｃ）である。この照度決定工程（Ｃ）は、第１の実施形態で説明したように、ピーク値Ｐ（Ｎ）を駆動画素の照度（Ｆ（Ｎ））とする方式と、第２の実施形態で説明する方式との２つの方式があり、特に第２の実施形態で説明する方式を採用すると、各駆動画素ごとの照度（Ｆ´（Ｎ））をより正確に求めることができる。

次に、第２の実施形態について説明する。

第２の実施形態では、図１２のフローによって求められた照度Ｆ（Ｎ）とは異なった方法によって求められた各駆動画素の照度Ｆ´（Ｎ）を用いてシェーディング補正用の補正値を求める。なお、以下に示す方法によってＦ´（Ｎ）を求めた後のフローは、図１６に示すフローにおいてＦ（Ｎ）をＦ´（Ｎ）と置き換えるだけで、その他は同様である。

この場合、後述するように、検出光量データＥ（Ｘ）の谷部Ｖ（Ｎ）間のピーク値Ｐ（Ｎ）を与えるピーク位置Ｘｐを、各駆動画素の代表位置とし、ウエイト関数Ｗ（Ｘ）を用いてＦ´（Ｎ）を求め、シェーディング補正用の照度として利用していることに相当する。

前述したように、図１６のフローでは、各駆動画素の照度Ｆ（Ｎ）＝Ｐ（Ｎ）と設定した。これは、一つの駆動画素に複数の受光素子が対応していることから、ピーク値を有する受光素子の測定値を駆動画素の光量とみなしていることに相当する。しかしながら、実際には、複数の駆動画素からの光が重なり合って、複数の受光素子を照射しており、ピーク値と駆動画素の光量とは必ずしも一致しない場合がある。そこで、本実施形態では、ウエイト関数Ｗ（Ｘ）を用いて、受光素子からの検出光量データＥ（Ｘ）（Ｘは、０〜２０４７）から一つの駆動画素から照射された照度Ｆ´（Ｎ）を求めるものである。即ち、検出光量データＥ（Ｘ）は、複数の駆動画素から照射される光が交じり合って構成されているが、ウエイト関数Ｗ（Ｘ）を用いて、１つの駆動画素から照射される照度を推定するものである。１つの駆動画素から照射される照度Ｆ´（Ｎ）が推定されれば、各駆動画素を適切に制御することによって、最適なシェーディング補正が行える。

次に、図２８を用いてウエイト関数Ｗ（Ｘ）の求め方について説明する。図２８において、（Ｎ−１）、（Ｎ）及び（Ｎ＋１）は、液晶シャッタアレイ１１８の３つの駆動画素を示し、Ｅ（Ｘ−６）〜Ｅ（Ｘ＋６）はＣＣＤセンサアレイ２３０の内前記３つの駆動画素に対応する１３の受光素子の各（合成）光量データを示し、（Ｘ−６）〜（Ｘ＋６）は各受光素子の位置を示している。また図２８では、各駆動画素（Ｎ−１）〜（Ｎ＋１）は理想的なもので、その光量分布にバラツキがないものとしている。さらに光量データＥ（Ｘ−６）〜Ｅ（Ｘ＋６）は白抜きの棒グラフで表している。この場合、画素Ｎ−１に対応するピーク値Ｐ（Ｎ）は受光素子Ｘ−４に対応し、同様に駆動画素Ｎには受光素子Ｘ±０が対応し、駆動画素Ｎ＋１には受光素子Ｘ＋４が対応している。

この時、駆動画素Ｎ−１、Ｎ、Ｎ−１は近接して配置されているので、全ての駆動画素を開状態にした場合の受光素子Ｘ±０で受光する光量は、駆動画素Ｎからの光量と、駆動画素Ｎ−１からの光量と、駆動画素Ｎ＋１からの光量とが合成され、（合成）光量Ｅ（Ｘ）として検出される。

ここで一つの駆動画素Ｎに着目し、駆動画素Ｎのみを開とし他の駆動画素を閉じて、この駆動画素Ｎからのみ光を通過させ、他の駆動画素からは光を通過させない状態にした時、各受光素子（Ｘ）が検出した光量Ｇ（Ｎ、Ｘ−６）〜Ｇ（Ｎ、Ｘ±０）〜Ｇ（Ｎ、Ｘ＋６）を求めて、それを斜線の棒グラフで表している。

そして、この光量Ｇ（Ｎ、Ｘ−６）〜Ｇ（Ｎ、Ｘ＋６）と各受光素子（Ｘ−６〜Ｘ＋６）に対応するそれぞれの光量Ｅ（Ｘ−６）〜Ｅ（Ｘ＋６）との比を算出し、この比をウエイト関数Ｗ（Ｘ）としている。具体的な数値は表２の通りである。

このウエイト関数を用いることにより、受光素子の真上に配置された駆動画素からの光量とその駆動画素に隣接する駆動画素からの光量とが合算されて検出される合成光量から、受光素子の真上に配置された駆動画素単独の光量のみを正確に求めることが可能となった。

図２５に、各駆動画素の照度Ｆ´（Ｎ）（Ｎは、５〜４７４）を求めるフローを示す。なお、図２５のフローは、図１２のフローにおけるステップ１２１２を置き換えるものであって、他のステップは全く同じである。

図１２のステップ１２１１の後、ピーク値Ｐ（Ｎ）を得た受光素子の位置Ｘの近傍の検出光量データＥ（Ｘ）と、ウエイト関数Ｗ（Ｘ）を用いて、ピーク値Ｐ（Ｎ）に対応する駆動画素Ｎの単独照度Ｇ（Ｎ、Ｘ）を求める（ステップ２５０１）。

次に、単独照度Ｇ（Ｎ、Ｘ）を積分して駆動画素Ｎの照度Ｆ´（Ｎ）を求める（ステップ２５０２）。

その後は、図１２に戻ってステップ１２１２へ進み。最終的に求められた照度Ｆ´（Ｎ）を光量用メモリ２１５へ記憶する（ステップ１２１８）。その後、図１６のフローへ進み、照度Ｆ´（Ｎ）に基づいて、シェーディング用の補正値が求められる。

また、第２の実施形態では、図１２に破線１２１９として示したように、ステップ１２１６で光量データＥ（Ｘ）を再度取得した後、ステップ１２０６へ戻らず、ステップ１２１２へそのまま進むこともできる。それは、ステップ１２１５でＬＥＤ電流値を変化させても、ピーク位置Ｘは変化しないからである。したがって、破線１２１９のように、ピーク検出工程（Ａ）と有効画素領域決定工程（Ｂ）は、前回検出した各ピーク位置をそのまま利用する。

図２６に、各受光素子の位置（９３７〜９５３）、各受光素子によって検出された（合成）光量データＥ（Ｘ）及び後述する単独照度Ｇ（Ｘ、Ｎ）の関係を示す。

また、（合成）光量データＥ（９３７〜９５３）は白抜きの棒グラフで表している（一部の符号は省略）。この場合、駆動画素２２５に対応するピーク値Ｐ（２２５）は受光素子９３９に対応しており、同様に駆動画素２２６には受光素子９４３が対応し、駆動画素２２７には受光素子９４７が対応し、駆動画素２２８には受光素子９５０が対応している。

ここで一つの駆動画素２２７に着目し、この駆動画素２２７を通過して受光素子（９４１〜９５３）に入射した単独照度Ｇ（２２７、９４１）〜Ｇ（２２７、９５３）のみを求めて、それを斜線の棒グラフで表している。

単独照度Ｇの求め方は、駆動画素２２７のピーク値Ｐ（２２７）に対応する受光素子（９４７）の光量Ｅ（９４７）と、この受光素子（９４７）の左右近傍に隣接する複数の受光素子（９４７を中心にして左右６個の受光素子）の光量Ｅ（９４１〜９４６、９４８〜９５３）とに、それぞれ対応するウエイト関数Ｗ（Ｘ−６〜Ｘ＋６）をかけ、駆動画素２２７から各受光素子（９４１〜９５３）に入射したと推定される単独照度Ｇ（２２７、９４１）〜Ｇ（２２７、９５３）のみを抽出している。本実施形態では、駆動画素２２７のほぼ真上に対応する受光素子（９４５〜９４９）からの光量と、駆動画素２２７の両側にある駆動画素２２６、２２８のほぼ真上に対応する受光素子（９４１〜９４４、９５０〜９５３）からの光量に基づいて計算することにより、駆動画素２２７からの出射光量をほぼすべて抽出できた。そして、この単独照度Ｇ（２２７、９４１）〜Ｇ（２２７、９５３）を積分することにより、図２７で示した照度Ｆ´（２２７）を得ている。

上記の手法によって図１２のステップ１２１２「各駆動画素の照度Ｆ（Ｎ）を求める」を実現している。

なお、本実施形態では、駆動画素２２７に対応する照度を抽出するため、抽出対象とする受光素子を９４１から９５３としたが、この範囲は駆動画素同士の距離などを考慮して適宜決定することができる。

図２７に、各駆動画素に対応する照度Ｆ´（Ｎ）とピーク位置との関係を示す。図中では、第２２４番目〜第２２９番目の駆動画素に対応する照度Ｆ´（２２４）〜Ｆ´（２２９）を示している。また、図２７は、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素２３４からの光が、セルフォック（登録商標）レンズアレイ１３８を通してＣＣＤセンサアレイ２３０に到達する状況を示している。セルフォック（登録商標）レンズアレイを構成する微小レンズの傾き等により、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素からの光は直進せず、斜めに進む場合がある。したがって、ＣＣＤセンサアレイ２３０で検出されるピーク光量Ｐ（Ｎ）を得るピーク位置（図中で「○」として示す）は、必ずしも等間隔にはならない。

この様に、第２の実施形態では、各駆動画素Ｎのピーク位置、ピーク位置近傍の光量データＥ（Ｘ）及びウエイト関数Ｗ（Ｘ）から単独照度Ｇ（Ｎ、Ｘ）を求め、単独照度Ｇ（Ｎ、Ｘ）から各駆動画素Ｎの照度Ｆ´（Ｎ）を求めた。単独照度Ｇ（Ｎ、Ｘ）を用いて、１つの駆動画素Ｎからの出射光量をほぼすべて抽出することができるので、照度Ｆ´（Ｎ）を補正すれば、正確なシェーディング補正を行うことが可能となる。したがって、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素の光量分布のピーク位置がバラついても、正確に各駆動画素のシェーディング補正用の補正値を求めることができるようになった。

次に、第３の実施形態について説明する。

第３の実施形態では、図９Ｂに示す斜め駆動画素２３４´を有する液晶シャッタアレイ１１８´を用い、図１２のフローとは異なった方法によって求められたピーク値Ｐ´（Ｎ）及びそのピーク位置Ｘｐ´を用いてシェーディング補正用の補正値を求める。また、以下に示す方法によって値Ｐ´（Ｎ）及びＸｐ´を求めた後のフローは、図１２及び図１６に示すフローにおいて、値Ｐ（Ｎ）及びＸｐをＰ´（Ｎ）及びＸｐ´と置き換えるだけで、その他は同様である。さらに、以下に示す方法によって、Ｐ´（Ｎ）及びＸｐ´を求め、図２５に示すフローによって、Ｆ´（Ｎ）を求めて、シェーディング補正用の補正値を求めても良い。

図２９に、ピーク値Ｐ´（Ｎ）及びそのピーク位置Ｘｐ´を求めるフローを示す。なお、図２９のフローは、図１２のフローにおけるステップ１２０６及び１２０７を置き換えるものであって、他のステップは全く同じである。

図９Ｂに示す斜め駆動画素２３４´を有する液晶シャッタアレイ１１８´の利用例について説明する。図３０Ａは、図９Ａに示した長方形の駆動画素を有する液晶シャッタアレイ１１８を用いた場合の理想光量分布Ｌと連続照度分布Ｍとの関係を示している。これに対して、図３０Ｂは、斜め駆動画素２３４´を有する液晶シャッタアレイ１１８´を用いた場合の理想光量分布Ｌ´及び連続照度分布Ｍ´を示している。

図３０Ｂに示すように、斜め駆動画素を利用すると、単独照度分布Ｌ´の裾野が広がり、連続照度分布Ｍ´の変動を低く押さえること（より平坦にする）が可能となる。したがって、斜め駆動画素を利用すると、各駆動画素間の隙間による感光材料上の未露光部分を少なくし、感光材料上に発生する未露光部分による縦縞を防止することが可能となる。

しかしながら、斜め駆動画素２３２´を有する液晶シャッタアレイ１１８´を用いると、ＣＣＤラインセンサ２３０からの検出光量データの谷−山間の差が極端に小さい箇所が生じ、谷部Ｖ（Ｎ）を正確に検出できない可能性がある（図１２ステップ１２０６参照）。図３１に、そのような場合の一例を示す。図３１において、３２０１は、斜め駆動画素２３２´を有する液晶シャッタアレイ１１８´を用いた場合の検出光量データの一例を示す（図１３のＥ（Ｘ）に対応）。図３１では、拡大した３２０２の中心部で、谷−山間の差が小さく、谷部Ｖ（Ｎ）を正確に検出できない。これは、３２０３で示した位置に本来あるべき谷部が、前後の光量変化に埋もれてしまったためと考えられる。谷部Ｖ（Ｎ）が正確に求めることができないと、ピーク値Ｐ（Ｎ）及びピーク値を得るピーク位置Ｘｐを正確に求めることができない。

そこで、このような場合にも、谷部、ピーク値及びピーク位置を正確に見つけるために、液晶シャッタアレイ１１８´の奇数又は偶数の駆動画素のみを駆動する方法が、図２９に第３の実施形態として示す方法である。図３２Ａは、液晶シャッタアレイ１１８´の奇数の駆動画素のみを用いて検出した検出光量データ３３０２（Ｅｏ（Ｘ））を示している。同様に、図３２Ｂは、液晶シャッタアレイ１１８´の偶数の駆動画素のみを用いて検出した検出光量データ３３０４（Ｅｅ（Ｘ））を示している。図中３３０１及び３３０３は、図３１の３２０２の部分に対応しており、３２０１は図３１における検出光量データを示している。

図３２Ａ及びＢに示すように、奇数又は偶数の駆動画素のみを利用した場合、左右の１駆動画素による光量が間引かれるため、谷−山間の差が大きくなり、谷部Ｖ（Ｎ）を正確に見つけることが可能となる。

以下図２９のフローについて説明する。なお、このフローは、図１２におけるピーク検出工程（Ａ）に相当する。

本実施形態では、図１２のステップ１２０４でＥｍａｘが所定の範囲内である場合、図２９のステップ３００１に進む。液晶シャッタ駆動回路２１２から、液晶シャッタアレイ１１８´に対して、全駆動画素のうち奇数番目の駆動画素のみを、最大駆動時間（最大の諧調レベルに相当）で開口するような開制御信号が出力される（ステップ３００１）。なお、図１２において説明したように、各駆動画素に与えられる開制御信号は、常に最大駆動時間に相当するものである必要はなく、中間駆動諧調レベルとしても良い。

次に、液晶シャッタアレイ１１８´の奇数番目の駆動画素のみを開口した場合の、全ての受光素子２３２からの光量データＥｏ（Ｘ）を取得する（図３２Ａの３３０２参照）（ステップ３００２）。

次に、光量データＥｏ（Ｘ）から各谷部の位置Ｖｏ（Ｎｏ）を検出する（ステップ３００３）。光量データから各谷部を求める方法は、図１２のステップ１２０６と同様である。

次に、隣接する谷部Ｖｏ（Ｎｏ）とＶｏ（Ｎｏ＋１）との間のピーク値Ｐｏ（Ｎｏ）及びピーク値Ｐｏ（Ｎｏ）を得た位置Ｘｐｏ（対応する受光素子２３２の番号に対応）を取得する（ステップ３００４）。隣接谷部間のピーク値及びピーク位置を求める方法は、図１２のステップ１２０７と同様である。

次に、液晶シャッタ駆動回路２１２から、液晶シャッタアレイ１１８´に対して、全駆動画素のうち偶数番目の駆動画素のみを、最大駆動時間（最大の諧調レベルに相当）で開口するような開制御信号が出力される（ステップ３００６）。

次に、液晶シャッタアレイ１１８´の偶数番目の駆動画素のみを開口した場合の、全ての受光素子２３２からの光量データＥｅ（Ｘ）を取得する（図３３Ｂの３３０４参照）（ステップ３００６）。

次に、光量データＥｅ（Ｘ）から各谷部の位置Ｖｅ（Ｎｅ）を検出する（ステップ３００７）。光量データから各谷部を求める方法は、図１２のステップ１２０６と同様である。

次に、隣接する谷部Ｖｅ（Ｎｅ）とＶｅ（Ｎｅ＋１）との間のピーク値Ｐｅ（Ｎｅ）及びピーク値Ｐｅ（Ｎｅ）を得た位置Ｘｐｅ（対応する受光素子２３２の番号に対応）を取得する（ステップ３００８）。隣接谷部間のピーク値及びピーク位置を求める方法は、図１２のステップ１２０７と同様である。

次に、奇数番目のピーク値Ｐｏ（Ｎｏ）及び偶数番目のピーク値Ｐｅ（Ｎｅ）を互い違いに合成して、全駆動画素に対応するピーク値Ｐ´（Ｎ）（Ｎは、５〜４７４）を取得する。同様に、奇数番目のピーク値Ｐｏ（Ｎｏ）を得たピーク位置Ｘｐｏ及び偶数番目のピーク値Ｐｅ（Ｎｅ）を得たピーク位置Ｘｐｅを互い違いに合成して、全駆動画素に対応するピーク値Ｐ（Ｎ）を得たピーク位置Ｘｐ´を取得する（ステップ３００９）。

その後は、図１２に戻ってステップ１２０８へ進み、Ｐ´（Ｎ）及びＸｐ´を用い、最終的に求められた照度Ｆ（Ｎ）を光量用メモリ２１５へ記憶する（ステップ１２１８）。その後、図１６のフローへ進み、照度Ｆ（Ｎ）に基づいて、シェーディング用の補正値が求められる。なお、前述したように、本実施形態の方法によってピーク値Ｐ´（Ｎ）及びピーク位置Ｘｐ´を求めた上で、第２の実施形態において説明した方法で照度Ｆ´（Ｎ）を求め、シェーディング用の補正値を求めるようにしても良い。

また、図９Ｂに示す斜め駆動画素を有する液晶シャッタアレイ１１８´は、一列に駆動画素２３４´が整列されているが、駆動画素を千鳥配列とすることも可能である。その場合、千鳥配列の一方の一列を奇数番目の駆動画素に対応させ、千鳥配列の他方の一列を偶数番目の駆動画素に対応させることが好ましい。

この様に、図９Ｂに示した斜め駆動画素を用いたので、各駆動画素間の隙間による感光材料上の未露光部分を少なくし、感光材料上に発生する未露光部分による縦縞を防止することが可能となった。さらに、図３０のフローを用いて、奇数番目の駆動画素と偶数番目の駆動画素を別々に開口させることによって、ピーク値Ｐ´（Ｎ）及びピーク位置Ｘｐ´を正確に求めることが可能となった。

本発明に係わるシステムの一例を示す概念図である。 本発明に係わるシステムの一例の外観を示す図である。 本発明に係わるシステムに使用されるＣＣＤラインセンサを説明するための図である。 露光ヘッドの一例を示す分解斜視図である。 図４に示す露光ヘッドの断面図である。 本発明に係わる露光装置の一例の断面図である。 図６に示す露光装置の斜視図である。 図４に示す露光ヘッドに使用される液晶シャッタの断面図である。 図９Ａは液晶シャッタアレイの開口部の形状の一例を示し、図９Ｂは液晶シャッタアレイの開口部の形状の他の例を示す図である。 システムにおける光路を説明するための図である。 露光制御回路の一例を示す概念図である。 印加電流値を補正するためのフローチャートである。 ＣＣＤラインセンサで検出された光量データ分布の一例を示す図である。 隣接変換量分布の一例を示す図である。 駆動画素毎の光量分布の一例を示す図である。 シェーディング補正のための補正値を求めるためのフローチャートである。 補正参照値分布の一例を示す図である。 液晶シャッタアレイの駆動画素における駆動特性の一例を示す図である。 感光材料の感度特性の一例を示す図である。 液晶シャッタアレイの駆動画素における規格化照射露光量と規格化駆動時間との関係を示す図である。 関係式の一例を示す図である。 図１６のフローにしたがって求められた補正値の一例を示す図である。 Ｆｍｉｎを基準に補正値を求める利点を説明するための図である。 図１６のフローにしたがって求められた補正値を用いてシェーディング補正した結果の一例を示す図である。 照度を求める第２の処理フローを示す図である。 ウエイト関数、単独照度分布及び照度との関係を示す図である。 駆動画素、受光素子及び各駆動画素の照度の関係を説明するための図である。 理想光量分布と連続光量分布との関係を示す図である。 ピーク値及びピーク位置を求める第２の処理フローを示す図である。 図３０Ａは長方形の形状の開口部を有する液晶シャッタアレイの単独照度分布及び連続光量分布を示し、図３０Ｂは平行四辺形の形状の開口部を有する液晶シャッタアレイの単独照度分布及び連続光量分布を示す図である。 平行四辺形の形状の開口部を有する液晶シャッタアレイを用いた場合の検出光量データの特性を説明するための図である。 図３２Ａは奇数画素のみを駆動させた場合の検出光量データの一例を示し、図３２Ｂは偶数画素のみを駆動させた場合の検出光量データの一例を示す図である。

Claims (13)

1. 複数の発光部を有する露光ヘッドと、前記露光ヘッドを制御する制御手段とを有する露光装置の製造方法において、
   前記複数の発光部を同時に点灯するステップと、
   ライン状の受光素子を用いた測定によって、前記複数の発光部全体の出力光量分布を検出するステップと、
   前記出力光量分布を用いて各発光部に対応したピーク位置をそれぞれ検出するステップと、
   前記各ピーク位置に基づいて各発光部の光量を検出するステップと、
   前記各発光部の光量に基づいて、各発光部における光量のムラを補正するための補正値をそれぞれ決定するステップと、
   を有する露光装置の製造方法。
2. 前記各発光部の光量を決定するステップは、さらに
   前記出力光量分布における前記各ピーク位置に対応する値を求めるステップと、
   前記値を前記各発光部の光量として決定するステップとを含む、請求項１に記載の露光装置の製造方法。
3. 前記各発光部の光量を決定するステップは、さらに
   基準光量分布を提供するステップと、
   前記基準光量分布及び前記ピーク位置近傍の前記出力光量分布を用いて、前記ピーク位置に対応する発光部の単独光量分布を求めるステップと、
   前記単独光量分布に基づいて前記発光部の光量を決定するステップとを含む、請求項１に記載の露光装置の製造方法。
4. 前記発光部は、配列方向に対して所定角度傾いた形状の開口部を有する請求項１に記載の露光装置の製造方法。
5. 前記複数の発光部を同時に点灯するステップは、さらに、
   前記複数の発光部の奇数番目の発光部全てを同時に点灯するステップと、
   前記複数の発光部の偶数番目の発光部全てを同時に点灯するステップとを含む、請求項４に記載の露光装置の製造方法。
6. 前記出力光量分布を検出するステップは、さらに、
   前記複数の発光部の奇数番目の発光部全てを同時に点灯した場合の第１出力光量分布を検出するステップと、
   前記複数の発光部の偶数番目の発光部全てを同時に点灯した場合の第２出力光量分布を検出するステップとを含む、請求項５に記載の露光装置の製造方法。
7. 前記ピーク位置を検出するステップは、
   前記第１出力光量分布を用いて第１ピーク位置をそれぞれ検出するステップと、
   前記第２出力光量分布を用いて第２ピーク位置をそれぞれ検出するステップと、
   前記第１ピーク位置及び第２ピーク位置を合成するステップとを含む、請求項６に記載の露光装置の製造方法。
8. 前記制御手段は、メモリを有し、前記メモリに記憶されたデータに基づいて前記露光ヘッドを制御するように構成され、
   さらに、前記決定され補正値を前記メモリに記憶するステップを有する請求項１に記載の露光装置の製造方法。
9. 前記受光素子は、前記発光部の幅より狭い幅を有する受光部を有する請求項１に記載の露光装置の製造方法。
10. 前記受光素子は、前記複数の発光部の整数倍の数の受光部を有する請求項９に記載の露光装置の製造方法。
11. 各発光部に対して、３以上の前記受光部が対応するように設定されている請求項１０に記載の露光装置の製造方法。
12. 前記複数の受光部によって構成される受光面の長さが、前記複数の発光部によって構成される発光面の長さより長い請求項９に記載の露光装置の製造方法。
13. 複数の発光部を有する露光ヘッドと、前記露光ヘッドを制御する制御手段とを有する露光装置の製造方法において、
    前記複数の発光部を同時に点灯し、
    受光素子によって前記複数の発光部からの光量を測定し、
    前記受光素子による測定値のピーク値及びピーク位置を検出し、
    前記ピーク値及びピーク位置に基づいて、各発光部からの光量のムラを補正するための補正値を決定する、
    ステップを有する露光装置の製造方法。

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