JP4336086B2 - 合成石英ガラス繊維、ストランド、ヤーン及びクロス - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は多層プリント基板に用いられる合成石英ガラス繊維、糸(ストランド又はヤーン)、布(クロス)に関する。特に1GHz以上の高周波回路に必要な低誘電率、低損失なプリント基板を形成するための合成石英ガラス繊維、糸、布に関する。
【0002】
【関連技術】
従来、多層プリント基板に用いられるガラス布として、Eガラス繊維、Dガラス繊維から織布された布が用いられてきた(例えば、特許文献1〜3参照。)。
【0003】
【特許文献1】
特開平9−74255号公報
【特許文献2】
特開平2−61131号公報
【特許文献3】
特開昭62−169495号公報
【0004】
しかしながら、近年、半導体素子の高速化に伴うコンピュータや周辺機器に用いられるプリント配線基板の高速化が進み、更にインターネットや携帯電話の急激な普及に伴い、通信機器、放送用機器の高速大容量伝送の要求が高まっているために、これら多層プリント基板においても、高周波特性の改良が必要となっており、特に1GHzを超える高周波域における損失や遅延の問題が注目されてきている。
【0005】
このため、ガラス繊維の中でも特に誘電率が小さく、誘電損失も小さな天然石英ガラス繊維が注目されたが、天然石英ガラス繊維は高価である事に加え、通常のガラス繊維に比較して非常に硬く、多層基板のバイアホール等の穴あけや切削加工が困難であるという欠点がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、石英ガラス繊維、及びその繊維を使用して作製した石英ガラス糸及び布の加工性の問題を改善することを課題としてなされたもので、特に1GHzを超える高周波回路に用いられる多層プリント基板用の合成石英ガラス繊維、糸及び布を提供する事を目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
発明者らは、石英ガラス繊維の加工性を改善する事を目的として鋭意研究を重ねた結果、石英ガラス繊維の仮想温度を一般的な石英ガラスに比べて高く設定する事により、ガラス繊維自体に不安定構造を内在させ、通常の石英ガラス繊維に比べて脆い、即ち加工性の良好なガラス繊維を得られる事を見出した。
【0008】
上記課題を解決するために、本発明の高周波用多層プリント基板用易加工性合成石英ガラス繊維は、1GHz以上の高周波用多層プリント基板に用いられる易加工性合成石英ガラス繊維であって、繊維径がφ3μ以上φ9μ以下、仮想温度が1300℃以上1500℃以下である事を特徴とする。
【0009】
上記合成石英ガラス繊維は、OH基濃度が1000ppm以下であるのが好ましい。
【0010】
上記合成石英ガラス繊維において、含有されるOH基濃度(ppm)COHと塩素濃度(ppm)に2/3を乗じた量2/3CClとの総和S=COH+2/3CClが200以上1000以下、Na、K、Liの3種類のアルカリ金属元素が各0.5ppm以下、Ca、Mgの2種類のアルカリ土類金属元素含有量の総和が0.5ppm以下、Cu及びAgの含有量の総和が0.2ppm以下、Fe、Ni、Crの含有量の総和が1ppm以下、及びAlの含有量が1ppm以下である事が好適である。
【0011】
上記合成石英ガラス繊維において、1MHz〜10GHzの高周波信号に対する誘電率が3.70以下、10GHzの高周波信号に対する誘電正接が2×10-4以下、体積抵抗率が1015Ωcm以上、表面抵抗率が1015Ωcm以上である事が好ましい。
【0012】
本発明の合成石英ガラスストランドは、上記合成石英ガラス繊維を50本以上500本以下束ねたものである。なお、本発明においては、繊維を撚らずに束ねたものをストランドと称す。
【0013】
本発明の合成石英ガラスヤーンは、上記合成石英ガラス繊維を50本以上500本以下束ねたものである。なお、本発明においては、繊維に撚りをかけて束ねたものをヤーンと称す。
【0014】
本発明の合成石英ガラスクロスは、上記合成石英ガラスストランド又はヤーンを用いて作製されたものである。
本発明の高周波用多層プリント基板用易加工性合成石英ガラスクロスの製造方法は、1GHz以上の高周波用多層プリント基板に用いられる易加工性合成石英ガラスクロスの製造方法であって、多数本の合成石英ガラスロッドを溶融し、引き速度640m/分以上2300m/分以下の範囲で引き出し、繊維径がφ3μ以上φ9μ以下、仮想温度が1300℃以上1500℃以下である易加工性合成石英ガラス繊維を得る工程と、前記工程により得られた合成石英ガラス繊維を50本以上500本以下束ねて合成石英ガラスストランド又は合成石英ガラスヤーンを得る工程と、前記工程により得られた合成石英ガラスストランド又は前記工程により得られた合成石英ガラスヤーンを用いて合成石英ガラスクロスを作製する工程と、を含むことを特徴とする。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を説明するが、これらの実施の形態は例示的に示されるもので、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変形が可能なことはいうまでもない。
【0016】
ガラスは過冷却液体であって通常の結晶のように明白な融点を持たない。ガラスを完全な溶融状態から冷却していく過程で、ガラス分子は、より安定な構造に再配列しようとする一方、冷却によりガラス分子は運動エネルギーを失うので本来の安定位置にたどり着く前に固定されてしまう。つまりガラスの構造はガラス分子がどの位安定な構造位置に近づけたかでその安定度が決定され、それはガラスの溶融状態からの固体として固定されるまでの冷却速度に依存する。即ち、冷却速度が十分に遅ければ、ガラス分子は構造的に安定な位置に到達するに足る運動エネルギーを維持出来るので、ガラス構造は安定なものになる。逆に冷却速度が非常に早い場合にはガラス分子は急速に運動エネルギーを失って、安定な位置に達する以前に、不安定な位置で固定されてしまうため、ガラス構造に不安定さが残る事になる。
【0017】
このガラス分子が固定された温度を仮想温度と称し、ガラスの場合は仮想温度がガラスの密度、屈折率等を決定する重要な因子となる。仮想温度は冷却速度が速いほど高く、遅いほど低く設定される。
【0018】
今、合成石英ガラス繊維の加工性(一般的には切削性)と仮想温度の関係に注目した場合、仮想温度が高いほどガラス構造が不安定になり、いわゆる歪を残した”脆い”状態になるので、加工性は良くなる。
【0019】
発明者らの実験によると合成石英ガラス繊維の仮想温度が1200℃以上あれば、それ以下の仮想温度に比べて加工性は向上するが、逆に仮想温度があまりに高いと構造的な不安定さが増大するため、仮想温度の最大値は1600℃以下が好ましいことが判った。
【0020】
加工性と操業条件、得られた石英ガラス繊維の構造安定性を考慮した場合、より好適な仮想温度の範囲としては1300℃以上1500℃以下である。
【0021】
ここで、仮想温度はガラスの粘度と密接な関係を示す。即ち、粘度の低い、言いかえるとガラス分子が動きやすいガラスの場合には、相対的に早い冷却速度でも十分に安定構造にたどり着く事が出来るが、粘度が高い、ガラス分子が動き難い場合にはゆっくりした冷却でも十分な安定構造をとる事が出来なくなる。
【0022】
石英ガラスにおいて粘度を決定する重要な因子はOH基濃度であるが、OH基濃度が高いとガラスの粘度は低下する。このため、OH基濃度の高い合成石英ガラスにおいては同じ冷却条件であってもOH基能度の低い合成石英ガラスに比べて高い仮想温度を示す。従って、OH基濃度の高すぎる合成石英ガラスでは急速な冷却を行いつつ、非常に早い速度で線引きする事が必要になるため、操業的な安定性が失われ、線引き中の破断等の事故が生じやすい。このため、OH基濃度としては1000ppm以下である事が好ましく、更に好ましくはOH基濃度300ppm以下である。
【0023】
石英ガラス中の不純物濃度もまた石英ガラスの粘度に大きな影響を及ぼす。特にNa、K、Caのアルカリ金属元素、Ca、Mg等のアルカリ土類元素、Fe、Cu、Ni等の金属元素は濃度が高いと石英ガラスの粘度を低下させるし、更に濃度が高くなると再結晶化を引き起こす。石英ガラス繊維の場合は通常のバルク石英ガラスに比べて表面エネルギーが高く、また本件特許においては意識的に仮想温度を高めて構造的な不安定要因を内在させているために、再結晶化のためのエネルギー障壁が低くなっていると考えられ、その意味において、これらの金属不純物濃度は少なく設定する事が好適である。
【0024】
金属不純物として許容される濃度は、アルカリ金属の場合、Na、Li、Kの3元素が各々0.5ppm以下、アルカリ土類金属としてCa、Mgの2元素の総和が0.5ppm以下、金属元素としてFe、Cr、Niの3元素の和が1ppm以下、Cu及びAgの総和が0.2ppm以下、及び骨格形成元素であるAlの濃度が1ppm以下であるのが好ましい。
【0025】
以下に、本発明の合成石英ガラスストランドを製造する装置を添付図面に基づいて説明する。
【0026】
図1は、合成石英ガラスストランド製造装置の一例を示す模式的説明図である。図1において、10は合成石英ガラスストランド製造装置で、多数本の合成石英ガラスロッドA1を溶融するヒーター手段、例えば縦型管状電気炉12を有している。該ヒーター手段12内を降下することによって溶融した合成石英ガラスロッドA1の端部は該ヒーター手段12の下部から高速で連続的に引き出され、合成石英ガラス長繊維A2となる。
【0027】
14はサイジング手段で、引き出された多数本の合成石英ガラス長繊維A2の表面にサイジング剤を塗付する。16は収束手段で、サイジング剤を塗付された多数本の長繊維A2を1本のストランドA3に束ねるものである。1本に束ねられたストランドA3は巻取手段18に巻き取られる。20は冷却ファンで、引き出された多数本の合成石英ガラス長繊維A2の仮想温度を制御するために冷風を送風するものである。なお、引き出される合成石英ガラス長繊維の繊維径の制御は合成石英ガラスロッドA1の送り手段と引き出し速度の比により制御可能である。なお、上記工程に加え、撚り機を用いて撚りかけするヤーン工程をさらに行うことにより、ヤーンを製造することができるが、図示による説明は省略する。
【0028】
【実施例】
以下に本発明方法の実施例をあげてさらに具体的に説明するが、これらの実施例は例示的に示されるもので限定的に解釈されるべきでないことはいうまでもない。
【0029】
(実施例1)
図1と同様の装置を用いて下記のように1本の合成石英ガラスストランドを製造した。直径20mmの合成石英ガラスロッドを50本治具にセットして最高温度2000℃の縦型管状電気炉12内をゆっくり下降させ、溶融した端部を電気炉12下部から高速で連続的に引き出すと同時に、引き出された繊維の仮想温度を制御するために、冷却ファン20より送風を行いつつ、繊維径9μの合成石英ガラス長繊維を経た後、1本の合成石英ガラスストランドを作製した。
【0030】
ここに合成石英ガラス長繊維の繊維径の制御は合成石英ガラスロッドの送り速度と引き出し速度の比により制御するが、ちなみに繊維径9μの長繊維を得るためには送り速度0.13mm/分、引き速度640m/分である。
【0031】
また、得られた合成石英ガラスストランドのOH基濃度、仮想温度を表1に、純度(金属不純物濃度)を表2に示す。更に当該ストランドの1MHz及び10GHzの高周波に対する誘電率、誘電正接を表3に、体積抵抗率及び表面抵抗率を表4にそれぞれEガラス、Dガラスとの比較において示す。
【0032】
表1においてOH基濃度は赤外分光光度法、仮想温度は顕微ラマンを用いたラマン分光光度法によった。表2において金属不純物濃度はサイジング剤を除去した後、原子吸光法により測定した。
【0033】
【表1】
【0034】
【表2】
【0035】
【表3】
【0036】
【表4】
【0037】
(実施例2)
実施例1と同じ合成石英ガラスを実施例1に比べて線引き速度を早くして、実施例1と同様の方法で線引きし、繊維径9μの合成石英ガラス長繊維を経て、1本の合成石英ガラスストランドを作製した。この際、冷却ファンによる冷却は行わなかった。ちなみに繊維径9μの長繊維を得るためには送り速度0.47mm/分、引き速度2300m/分である。
【0038】
得られた合成石英ガラスストランドのOH基濃度、仮想温度を表1に示す。更にこれらのストランドの1MHz及び10GHzの高周波に対する誘電率、誘電正接を表3に示す。
【0039】
(比較例1)
OH基濃度が1200ppmの合成石英ガラスを実施例2と同様の条件で線径φ9μに線引きし、1本の合成石英ガラスストランドを作製した。
【0040】
得られた合成石英ガラスストランドのOH基濃度、仮想温度を表1に示す。更にこれらのストランドの1MHz及び10GHzの高周波に対する誘電率、誘電正接を表3に示す。
【0041】
(加工性の評価)
上記実施例1、実施例2及び比較例1で得た合成石英ガラス繊維200本を束ねた合成石英ガラスストランドを、25mmに1回の撚りかけして合成石英ガラスヤーンとした。このヤーンを用いて幅50cm長さ50cm、密度(経線×緯線で118×114本/5cm)の平織りの布を作製し、これにエポキシ樹脂を含侵させプレプリグとした。
【0042】
これらのプレプリグにキリ先50μのドリルで穿孔し、加工性の評価を行った。評価項目は穿孔された穴の形状(目視)、ケバ立ち(目視)、ドリルの寿命(何回の穿孔が可能であったか)の3項目評価で優劣を判定した。評価結果を表5に示す。
【0043】
【表5】
【0044】
表1及び表5に示した如く、仮想温度が1300℃及び1500℃であり、OH基濃度が200ppmである実施例1及び2では、仮想温度が1100℃である比較例1に比べ、加工性が改善されていた。また、表3に示した如く、実施例1及び2では1MHz及び10GHzでの誘電率が共に3.70以下、1MHzでの誘電正接が1×10-4、10GHzでの誘電正接が2×10-4であったのに対し、比較例1では、1MHz及び10GHzでの誘電率が3.92以上、10GHzでの誘電正接が3×10-4であった。なお、Eガラス及びDガラスは、表3に示したように、高い誘電率及び誘電正接を示した。表4に示したように、実施例1、Eガラス及びDガラスにおいて、体積抵抗率及び表面抵抗率は、共に1015Ω以上であった。なお、表2に示したように、実施例1は、金属不純物量の少ない合成石英ガラスストランドであった。
【0045】
【発明の効果】
以上述べたごとく、本発明によれば、特に1GHzを超える高周波回路に用いられる多層プリント基板用の石英ガラス繊維、及びその繊維を使用して作製した石英ガラス糸、石英ガラス布の加工性の問題を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の合成石英ガラスストランドを製造する装置を示す模式的説明図である。
【符号の説明】
10:合成石英ガラスストランド製造装置、12:ヒーター手段、14:サイジング手段、16:収束手段、18:巻取手段、20:冷却ファン、A1:石英ガラスロッド、A2:合成石英ガラス長繊維、A3:ストランド。
Claims (7)
- 1GHz以上の高周波用多層プリント基板に用いられる易加工性合成石英ガラス繊維であって、繊維径がφ3μ以上φ9μ以下、仮想温度が1300℃以上1500℃以下である事を特徴とする高周波用多層プリント基板用易加工性合成石英ガラス繊維。
- OH基濃度が1000ppm以下である事を特徴とする請求項1記載の合成石英ガラス繊維。
- 1MHz〜10GHzの高周波信号に対する誘電率が3.70以下、10GHzの高周波信号に対する誘電正接が2×10−4以下、体積抵抗率が1015Ωcm以上、表面抵抗率が1015Ωcm以上である事を特徴とする請求項1又は2項記載の合成石英ガラス繊維。
- 請求項1〜3のいずれか1項記載の合成石英ガラス繊維を50本以上500本以下束ねたことを特徴とする合成石英ガラスストランド。
- 請求項1〜3のいずれか1項記載の合成石英ガラス繊維を50本以上500本以下束ねたことを特徴とする合成石英ガラスヤーン。
- 請求項4記載のストランド又は請求項5記載のヤーンを用いて作製された合成石英ガラスクロス。
- 1GHz以上の高周波用多層プリント基板に用いられる易加工性合成石英ガラスクロスの製造方法であって、
多数本の合成石英ガラスロッドを溶融し、引き速度640m/分以上2300m/分以下の範囲で引き出し、繊維径がφ3μ以上φ9μ以下、仮想温度が1300℃以上1500℃以下である易加工性合成石英ガラス繊維を得る工程と、
前記工程により得られた合成石英ガラス繊維を50本以上500本以下束ねて合成石英ガラスストランド又は合成石英ガラスヤーンを得る工程と、
前記工程により得られた合成石英ガラスストランド又は前記工程により得られた合成石英ガラスヤーンを用いて合成石英ガラスクロスを作製する工程と、
を含むことを特徴とする高周波用多層プリント基板用易加工性合成石英ガラスクロスの製造方法。
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Cited By (1)
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Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005336694A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-12-08 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 混繊ガラスヤーン及びガラスクロス |
JP4530414B2 (ja) * | 2004-04-28 | 2010-08-25 | 信越石英株式会社 | ガラスクロス |
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JP2019127492A (ja) * | 2018-01-19 | 2019-08-01 | 信越化学工業株式会社 | 石英ガラス繊維含有フィルム及び石英ガラス繊維含有基板 |
JP2019127494A (ja) * | 2018-01-19 | 2019-08-01 | 信越化学工業株式会社 | 石英ガラス繊維含有プリプレグ、石英ガラス繊維含有フィルム及び石英ガラス繊維含有基板 |
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JP6999487B2 (ja) * | 2018-05-01 | 2022-01-18 | 信越化学工業株式会社 | 石英ガラス繊維含有基板 |
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JP7480802B2 (ja) * | 2021-11-02 | 2024-05-10 | 信越化学工業株式会社 | ガラス繊維及びその製造方法、ならびにガラスクロス、基板用プリプレグ及びプリント配線基板 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0517181A (ja) * | 1991-07-03 | 1993-01-26 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス繊維強化プラスチツク用ガラス繊維及び集束剤 |
JP2980510B2 (ja) * | 1994-01-28 | 1999-11-22 | 信越石英株式会社 | 紫外線ランプ用高純度シリカガラスおよびその製造方法 |
JPH11209134A (ja) * | 1998-01-23 | 1999-08-03 | Nikon Corp | 合成石英ガラスおよびその製造方法 |
JPH1067526A (ja) * | 1996-08-22 | 1998-03-10 | Nikon Corp | 石英ガラス光学部材 |
JPH10218635A (ja) * | 1997-02-05 | 1998-08-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光ファイバの製造方法 |
JPH11209590A (ja) * | 1998-01-23 | 1999-08-03 | Toray Ind Inc | 液晶性樹脂組成物およびその精密成形品 |
JP2000327348A (ja) * | 1999-05-17 | 2000-11-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光学部品用ガラス |
JP4763877B2 (ja) * | 2000-05-29 | 2011-08-31 | 信越石英株式会社 | F2エキシマレーザー用合成石英ガラス光学材料及び光学部材 |
-
2002
- 2002-09-10 JP JP2002264527A patent/JP4336086B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7390064B2 (ja) | 2022-03-17 | 2023-12-01 | 株式会社大都技研 | 遊技台 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JP2004099377A (ja) | 2004-04-02 |
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