JP4333967B1 - 基板搬送用パレット - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、ピールバックの角度を適宜制御するために、正確な角度調整が簡単且つ迅速にできること。
【解決手段】固定枠本体１と、長辺方向が略対称の平板状で基板取付用の内部パレット２とからなり、固定枠本体１に平行状態に保持できる固定具とともに、前記内部パレット２が複数の異なる上昇所定角度となった一側先端高さ位置に対応した前記固定枠本体１の一側内端箇所に設けられた上昇位置台座部４と、上昇を押えるようにスライド可能で前記固定枠本体１に止着できる複数の上昇側押え片５と、他側先端に適宜な高さのスペーサ２１を介しての前記固定枠本体１の他側内端箇所に設けられた下降位置台座部６と、上昇を押えるようにスライド可能で止着できる複数の下降側押え片７とが備えられること。それぞれ同一の上昇所定角度及び下降所定角度に対応して上昇位置台座部４，上昇側押え片５，下降位置台座部６，下降側押え片７が対応可能に設けられること。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ピールバックの角度を適宜制御するために、正確な角度調整が簡単且つ迅速にできる、はんだ付けのための基板搬送用パレットに関する。

従来より、電子部品装着のための自動はんだ付け装置は、種々開発されている。特に、フロー工法[図１４（Ａ）参照]とセル工法[図１４（Ｂ）参照]とがある。このフロー工法における自動はんだ付け装置では、電子部品を設けたプリント基板が適宜な傾斜角にてチェーンなどの搬送部にて搬送されつつ噴流はんだによる、はんだ付けが行われている。この傾斜角は、その機械又は設備ごとに若干異なるが、一般に５度前後の傾斜角が設けられている。この傾斜角は、機械又は設備ごとに一定に構成され、容易に変更できない構成となっている。

図１３に示したものは、従来技術図であって、電子部品を設けたプリントされた基板と、噴流はんだとの関係図である。前記基板の上向きの進行方向を基準線（水平線）Ｇに対して約５度の傾斜角を有して前記基板が搬送される。このとき、噴流はんだが前記基板に接触しはじめる領域（初期領域）と、溶融はんだが母材に濡れる領域（はんだ付け領域）と、基板からはんだが切れる離脱領域とがある。この離脱領域の三角地帯をピールバックという。該ピールバックの角度をγとすると、該角度γが９０度に近づくほど、はんだがゆっくり離れ、通称「切れ」が悪く、ブリッジが発生し易い状態となる。また、前記ピールバックの角度γが鈍角になれば成る程、溶融はんだが垂直方向に離脱すると、マランゴニ効果により溶融はんだ側（噴流側）へはんだが引っ張られる。こうした場合、はんだ接合部は十分なはんだ量を得ることができず、フィレット形状が痩せることで接合寿命や強度を低下させる恐れがあった。

ところで、フロー工法[図１４（Ａ）参照]における自動はんだ付け装置における、はんだ付けの品質は、基板の搬送速度Ｖと、その自動はんだ付け装置の設備条件によることが殆どである。設備条件は、機械又は装置ごとの傾斜角度（実際には、約５度前後）である。この傾斜角度が変えられないとすると、はんだ付けの品質は、搬送速度Ｖのみで行うのが実情である。特許文献１及び２には、角度を変えられる、はんだチップを実装する治具本体は存在するが、その角度を如何に止めた状態で保持するかの具体的な構成は一切存在しない。

基板搬送用パレットによるはんだ付け作業は、工場などでは、一般に、月産台数などが計画されると、その装置又は設備の台数などによって、自ずと適正な搬送速度Ｖが決定される。たとえば、受注量が多くなったときに、搬送速度Ｖを上げて行うと、前記ピールバックの角度γが、より鈍角となり、はんだが急に離れ、通称「切れ」が良くなるが、コンベアスピードを上げることで、ハンダ付け領域に滞在している時間が短くなり、必要な熱量を得られないことで、十分なはんだ付けができなくなることもあった。また、受注量が少なくなったときには、搬送速度Ｖを下げる。このようにすると、通称「切れ」が悪くなり、場合によっては、ブリッジが発生し易くなると共に、ハンダ付け領域に滞在している時間が長くなることで、必要以上の熱量がかかり、電子部品の熱破壊や耐熱保証限度を超えるという重大な欠点がある。つまり、ゆっくり基板を送ると、今度は、熱量が増加し、ブリッジが発生し易い状態となる。

特開平８−１３９４４０号 特開平６−３４４１３２号

このため、本発明が解決しようとする課題（技術的課題又は目的等）は、月産台数などの要因などに応じて、はんだ付けの品質を良好に保つ、又は向上する場合に、基板搬送用パレットによるピールバックの角度を制御することで、はんだ付けの熱量、ブリッジ防止効果、はんだ付けの「切れ」などを良好にすることが望まれており、これを簡単なる操作、構造で実現することである。

そこで、発明者は上記課題を解決すべく鋭意，研究を重ねた結果、請求項１の発明を、固定枠本体と、該固定枠本体内でこの長辺方向の両側が上下方向に揺動可能に軸支され、且つ同長辺方向が略対称の平板状で基板取付用の内部パレットとからなる基板搬送用パレットにおいて、前記内部パレットが前記固定枠本体に平行状態に保持できる止着具とともに、前記内部パレットが複数の異なる上昇所定角度となった一側先端高さ位置に対応した前記固定枠本体の一側内端箇所に設けられた上昇位置台座部と、該上昇位置台座部には前記内部パレットの一側先端の上昇を押えるようにスライド可能で前記固定枠本体に止着できる複数の上昇側押え片と、前記上昇所定角度と同角度で対応する複数の異なる下降所定角度となった他側先端に適宜な高さのスペーサを介しての該スペーサ高さ位置に対応した前記固定枠本体の他側内端箇所に設けられた下降位置台座部と、該下降位置台座部には前記内部パレットの他側先端の上昇を押えるようにスライド可能で止着できる複数の下降側押え片とが備えられてなり、前記複数の内のそれぞれ同一の上昇所定角度及び下降所定角度に対応して前記上昇位置台座部，前記上昇側押え片及び前記下降位置台座部，前記下降側押え片が対応可能に設けられてなることを特徴とする基板搬送用パレットとしたことにより、前記課題を解決した。

請求項２の発明を、請求項１において、前記固定枠本体に平行状態に保持された前記内部パレットの上面からのそれぞれの前記スペーサの高さは同等としてなることを特徴とする基板搬送用パレットとしたことにより、前記課題を解決した。請求項３の発明を、請求項１又は２において、前記固定枠本体に平行状態に保持された前記内部パレット上面からの前記スペーサの高さは同等とし、最大の下降所定角度となった下降位置台座部の前記パレット上面からの高さよりも、最小の下降所定角度となった下降位置台座部の前記パレット上面からの高さの方が大きく形成され、該高さよりも、前記スペーサの高さが大きく形成されてなることを特徴とする基板搬送用パレットとしたことにより、前記課題を解決した。

請求項４の発明を、請求項１，２又は３において、前記上昇側押え片及び前記下降側押え片は、断面Ｌ形状をなし、その水平片が長孔を介してスライド可能で前記固定枠本体に止着できるように設けられてなることを特徴とする基板搬送用パレットとしたことにより、前記課題を解決した。請求項５の発明を、請求項１，２，３又は４において、前記複数の上昇所定角度又は下降所定角度は、１度、２度としてなることを特徴とする基板搬送用パレットとしたことにより、前記課題を解決した。請求項６の発明を、請求項５において、２種類の上昇側押え片と、２種類の下降側押え片とは、対応する上昇所定角度又は下降所定角度ごとに斜め掛け状態となるようにしてなることを特徴とする基板搬送用パレットとしたことにより、前記課題を解決した。請求項７の発明を、請求項１，２，４，５又は６において、複数の上昇所定角度又は下降所定角度は、３つ以上の所定角度としてなることを特徴とする基板搬送用パレットとしたことにより、前記課題を解決したものである。

請求項１の発明においては、特に、ピールバックの角度を適宜制御するために、正確な角度調整が簡単且つ迅速にできる。何等の調整などが一切不要で、ほぼ一瞬に角度調整ができ、これによってピールバックの角度を適宜制御することが簡単にできる。従来でも、角度調整という概念があったとしても、間違いなく、しかも簡単にできる。また汎用性は抜群である。さらに、取付ける方向を逆にすることで、ピールバックの角度をマイナス側に簡単に変えることができる利点がある。スペーサを設けたことで、固定枠本体などの強度性を確保できたものである。請求項２の発明では、スペーサの高さを同等とすることにより、極めて造り易くできると共に、安価に提供できる。

請求項３の発明では、万一、操作を慌てて行ったとしても、作動しないため、確実なる行いができる利点がある。請求項４の発明では、角度変更などの操作が簡易且つ迅速にできる。請求項５の発明では、確実で、しかも、ニーズに対応した上昇所定角度又は下降所定角度のものにできる効果がある。請求項６の発明において、本体の捩れなどに対応した基板搬送用パレットを提供できる。また、請求項７の発明においては、３つ以上の所定角度としたことで、あらゆる角度に対応できる利点がある。

（Ａ）は本発明の基板搬送用パレットの斜視図、（Ｂ）は（Ａ）のＰ−Ｐ矢視断面図である。 （Ａ）は本発明において押え片を外した基板搬送用パレットの斜視図、（Ｂ）は（Ａ）のＱ−Ｑ矢視断面図である。 （Ａ）乃至（Ｃ）は、内部パレットを最低の傾斜角度にセットする工程図。 （Ａ）乃至（Ｃ）は、内部パレットを最高の傾斜角度にセットする工程図。 （Ａ）乃至（Ｃ）は、内部パレットを最低の傾斜角度にセットする別の実施形態の工程図である。 （Ａ）乃至（Ｃ）は、内部パレットを最高の傾斜角度にセットする別の実施形態の工程図である。 （Ａ）は、平行状態の内部パレットに対して、第１下降側押え片及び第１上昇側押え片がそれぞれ設けられている断面図、（Ｂ）は（Ａ）の第１下降側押え片付近の箇所の拡大断面図、（Ｃ）は、平行状態の内部パレットに対して、第２下降側押え片及び第２上昇側押え片がそれぞれ設けられている断面図である。 （Ａ）は、固体枠本体の下降側付近の一部切除された要部斜視図、（Ｂ）は（Ａ）のＲ−Ｒ矢視断面図、（Ｃ）は押え片の斜視図である。 （Ａ）は、固体枠本体の下降側付近の一部切除された要部斜視図、（Ｂ）は（Ａ）のＳ−Ｓ矢視断面図である。 （Ａ）は本発明の基板搬送用パレットの軸受箇所の断面図、（Ｂ）は固定具箇所の断面図、（Ｃ）は（Ｂ）の平面図である。 （Ａ）は上昇などの角度を３段階とした本発明の略示平面図、（Ｂ）は上昇などの角度を４段階とした本発明の略示平面図である。 （Ａ）は上昇角度を適宜プラスした基板の断面図、（Ｂ）は上昇角度を適宜マイナスした基板の断面図である。 噴流はんだと、基板との関係グラフである。 （Ａ）フローはんだ付け作業との工程図、（Ｂ）はセル型のはんだ付け作業との工程図である。

以下、本発明の実施形態について図面に基づいて説明すると、図１乃至図２は本発明の全体の斜視図である。１は方形状（長方形状）の固定枠本体であって、底部主板１１には、開口部１１ａが形成され、周囲には、立上り縁１２が設けられ、さらには、幅方向（図１においてＹ方向）両側には、長さ方向（（図１においてＸ方向）に全長に亘って突出条１１ｂが形成されている。該突出条１１ｂ，１１ｂが、はんだ付け装置（図示しない）の搬送部としての無端搬送帯（チェーン等）に取り付けるための構成である。

前記開口部１１ａ内には、該開口部１１ａと同等大きさの平板状の内部パレット２が軸受３を介して揺動可能に設けられている。つまり、該内部パレット２が前記開口部１１ａ内で左右側が上下方向に揺動可能に軸支されている。具体的には、前記開口部１１ａを閉塞するようにして前記内部パレット２の中間部の両側に軸受片３１，３１がそれぞれ固定され、該軸受片３１，３１に対応して前記固定枠本体１の中間部の両側に軸受片３２，３２が固定され、軸片３３が前記軸受片３１，３２に挿通されて、前記内部パレット２が前記固定枠本体に対して左右側（長さ方向：図１においてＸ方向）が上下方向に揺動可能に設けられている。

本発明では、特に、前記内部パレット２が略左右対称に構成され（後述のスペーサの存在を除いて）、且つ該内部パレット２が所定角度（傾斜角度１度、２度など）の状態で、簡易且つ容易に止めておくことができ、且つ強度を備えた基板搬送用パレットである。また、前記固定枠本体１及び前記内部パレット２は、約３００度前後の耐熱性と、耐静電性を有するガラス繊維入り合成樹脂材等である。まず、本発明の図面においては、前記内部パレット２が全て左回転し（回転でも約１度乃至数度）、右側が上昇側とし、左側を下降側とする。そして、前記内部パレット２が第１上昇所定角度θ１（傾斜角１度、又は０．５度などであるが、図面上では、正確に角度1度で描かれている。）状態となって、その一側先端（図において右側端）高さ位置に対応して第１上昇位置台座部４１が前記固定枠本体１の一側内端箇所（図において右側）に平坦状に設けられている。該第１上昇位置台座部４１には、前記内部パレット２の一側先端（図において右側端）が上昇するのを押えるようにして第１上昇側押え片５１がスライド可能に設けられている。

該第１上昇側押え片５１は、断面Ｌ型状をなし、水平片５１１と垂直片５１２とから構成されている。前記水平片５１１には、下面が前記第１上昇位置台座部４１面に一致してスライド（摺動）可能に構成され、該スライド方向に長孔５１１ａ，５１１ａが設けられている。さらに、図に示すように、第１上昇側押え片５１が左側にスライドして前記水平片５１１の先端側下面にて前記内部パレット２の一側先端（図において右側端）が押えられる。そのスライド及び固着は、前記固定枠本体１に植設された螺子杆６ａが前記長孔５１１ａを介してナット６ｂが螺着されている。

また、前記内部パレット２が第２上昇所定角度θ２（傾斜角２度、又は１．５度などであるが、図面上では、正確に角度２度で描かれている。）状態となって、その一側先端（図において右側端）高さ位置に対応して第２上昇位置台座部４１が前記固定枠本体１の一側内端箇所（図において右側）に平坦状に設けられている。具体的には、前記第２上昇位置台座部４１は、前記第１上昇位置台座部４１の横に、該第１上昇位置台座部４１と同等形状で高さのみが高くなって形成されている。そして、前記第２上昇位置台座部４２には、前記内部パレット２の一側先端（図において右側端）が上昇するのを押えるようにして第２上昇側押え片５２がスライド可能に設けられている。

該第２上昇側押え片５２は、前記第１上昇側押え片５１と同一形状をなし、水平片５２１，垂直片５２２及び長孔５２１ａ，５２１ａが設けられている。前記螺子杆１１１ａ及びナット１１１ｂを介してスライド及び固着されている。また、前記第１上昇側押え片５１の水平片５１１の上面、前記第２上昇側押え片５２の水平片５２１の上面には、それぞれ、上昇角度の具体的数値、「１度」、「２度」が描かれている。また、第３、第４の上昇所定角度等にすることもあるが、その場合には、符号は付さないが、第３上昇位置台座部、第４上昇位置台座部等とすることがある。この場合には、第３上昇側押え片、第４上昇側押え片等が適宜設けられる。

また、前記内部パレット２が第１下降所定角度β１（傾斜角１度、又は０．５度等であって、角度β１＝角度θ１である。これは、上昇側をθ、下降側をβとした。）状態となって、その他側先端（図において左側端）に第１スペーサ２１１が固着され、該第１スペーサ２１１の高さ位置に対応して第１下降位置台座部６１が前記固定枠本体１の他側内端箇所（図において左側）に平坦状に設けられている。該第１下降位置台座部６１には、前記内部パレット２の他側先端（図において右側端）の第１スペーサ２１１の上昇などを規制する第１下降側押え片７１がスライド可能に設けられている。

該第１下降側押え片７１は、断面Ｌ型状をなし、水平片７１１と垂直片７１２とから構成され、さらに、長孔７１１ａも穿設されており、前記第１上昇側押え片５１、第２上昇側押え片５２と同一形状に構成されている。そのスライド及び固着は、前記固定枠本体１に植設された螺子杆１１１ａが前記長孔５１１ａを介してナット１１１ｂが螺着されている。また、前記内部パレット２が第２下降所定角度β２（傾斜角２度、又は１．５度等であって、角度β２＝角度θ２である。）状態となって、その他側先端（図において左側端）に第２スペーサ２１２が固着され、該第２スペーサ２１２の高さ位置に対応して第２下降位置台座部６２が前記固定枠本体１の他側内端箇所（図において左側）に平坦状に設けられている。該第２下降位置台座部６２には、前記内部パレット２の他側先端（図において右側端）の第２スペーサ２１２の上昇などを規制する第２下降側押え片７２がスライド可能に設けられている。

前記第１下降側押え片７１の水平片７１１の上面、前記第２下降側押え片７２の水平片７２１の上面には、それぞれ、上昇角度の具体的数値、「１度」、「２度」が描かれ、前記第１上昇側押え片５１及び前記第２上昇側押え片５２に対応している。さらに、第３、第４の下降所定角度等にすることもあるが、その場合には、符号は付さないが、第３下降位置台座部、第３下降側押え片、第４下降位置台座部、第４下降側押え片等とすることがある。特に、前記第１スペーサ２１１及び第２スペーサ２１２の上面は、通常は、水平面として形成されているが、その上面に僅かな角度Δγ１、角度Δγ２だけ傾斜させて、前記第１下降側押え片７１、第２下降側押え片７２の下面に、良好に面接触するように形成されることがある。

次に、作用又は操作について図３及び４にて説明する。ピールバックの角度γをさらに鋭角にしたい場合であって、第１上昇所定角度θ１（傾斜角１度又は０．５度等）を得るには、図３（Ａ）に示すように、まず、第１上昇側押え片５１をスライドさせて、前記内部パレット２の一側先端（図３において右側端）位置に被せるようにする。そして、今度は、前記内部パレット２の他側先端（図３において左側端）を押えて、図３において、左回転させて、第１上昇所定角度θ１を得て、この状態にしつつ、前記第１下降側押え片７１をスライドさせて、前記内部パレット２の他側先端（図３において左側端）に被せるようにする。これは、実際には、数秒でセットできるものであり、角度制御が正確で且つ簡単にできる。

また、同様に、第２上昇所定角度θ２（傾斜角２度又は１．５度等）を得るには、図４（Ａ）に示すように、図３と同様に、第２上昇側押え片５２をスライドする。そして、今度は、前記内部パレット２の他側先端（図４において左側端）を押えて左回転させて、第２上昇所定角度θ２を得て、この状態にしつつ[図４（Ｂ）参照]、前記第２下降側押え片７２をスライドさせて、前記内部パレット２の他側先端（図４において左側端）に被さるようにする[図４（Ｃ）参照]。これも、実際には数秒でセットでき、角度制御が正確で且つ簡単にできる。

また、ピールバックの角度γを鋭角にしたい場合であって、別の実施形態として、第１上昇所定角度θ１（傾斜角１度又は０．５度等）を得るには、図５（Ａ）に示すように、まず、前記内部パレット２の他側先端（図５において左側端）を適宜の量を押えて第１上昇所定角度θとして、左回転させて、その、第１上昇側押え片５１をスライドさせつつ、この状態にしつつ前記第１下降側押え片７１をスライドさせてセットする。これでも、角度制御が正確で且つ簡単にできる。

また、ピールバックの角度γを鋭角にする別の実施形態として、第２上昇所定角度θ２（傾斜角２度又は２．５度等）を得るには、図６（Ａ）に示すように、まず、前記内部パレット２の他側先端（図６において左側端）を適宜の量押えて第２上昇所定角度θ２として左回転させて、この状態にしつつ前記第１下降側押え片７１をスライドさせてセットする。そして第２上昇側押え片５２をスライドさせつつ、これでも、角度制御が正確で且つ簡単に行うことができる。

また、図１２は、基板の搬送状態を示すもので、図１２（Ａ）が１度上昇させた（通常の５度プラス１度）ものであり、この場合には、搬送速度Ｖが一定でも、リードの中間までしか溶融はんだが入らないこともある。この状態で通電できたとしても、この箇所の強度が低下するのみならずノイズ発生原因ともなり、製品寿命も短くなるなどの欠点があった。このような場合でも、従来では、速度制御するのみであるが、本発明では、図１２（Ｂ）のように、１度下降させた（通常の５度マイナス１度）ものであり、この場合には、搬送速度Ｖが一定でも、ピールバックの角度γが大きくなり、熱量が増加してリードの上側まで溶融はんだが入ることとなり、従来の速度制御に加えて、角度制御ができ、ピールバックの角度γの制御が大幅に増加しうる。

本発明の基板搬送用パレットにおいて、前記スペーサ２１を設けたことは、固定枠本体１の厚みを決定する上で重要な要素となっている。つまり、スペーサ２１が存在しなければ、例えば、図４の状態において、固定枠本体１の厚みがゼロに近くなってしまい、強度的に無理のため、必然的に固定枠本体１の厚みを増加して基板搬送用パレット強度を確保する必要があるが、本発明では、スペーサ２１を設けたことで、固定枠本体１の厚みを薄くしつつも基板搬送用パレットの強度を確保している。さらに前記スペーサ２１の高さを同等としたことで、簡単に製造できる利点もある。

本発明では、図７に示すように、Ｈ２，Ｈ１，Ｈ０の関係を説明する。つまり、最大の下降所定角度となった前記下降位置台座部の前記パレット上面からの高さよりも、最小の下降所定角度となった前記下降位置台座部の前記パレット上面から高さの方が大きく形成され、該高さよりも、それぞれの前記スペーサの高さが大きく形成されてなることであり、このことによって、万一、操作を慌てて行ったとしても、作動しないため、誤動作にならず、確実なる操作ができる。つまり、前記内部パレット２が平行状態では、図７において、第１下降側押え片７１や第２下降側押え片７２の何れかを右側にスライドさせようとしても、前記スペーサ２１に当たってスライドできない。慌てて行うような誤動作を排除できる。まず、上昇所定角度を何度にするかという上昇側押え片５の第１上昇側押え片５１又は第２上昇側押え片５２をセットしてから行うことで正確な操作ができる。

図１１においては、本発明の別の実施形態であって、図１１（Ａ）は、上昇などの角度を３段階とした本発明の略示平面図であり、同図右側が上昇側押え片５が３つ、同図左側が下降側押え片７が３つ設けられ、左右の１度の角度相互、２度の角度相互はタスキ掛けになっており、１．５度のみ左右対称に構成されている。また、図１１（Ｂ）は、上昇などの角度を４段階とした本発明の略示平面図であり、同図右側が上昇側押え片５が４つ、同図左側が下降側押え片７が４つ設けられ、左右の１度、１．５度、２度又は２．５のそれぞれの角度相互はタスキ掛けになって構成されている。角度などは実施形態に限定されない。

図１０（Ｂ）においては、前記固定具８の断面構造が開示されており、上下に小判状鍔部が形成された固定具本体８１に対して、内部に貫通孔が形成され、この下側に固定筒部８２が埋設され、該固定筒部８２の上側で前記貫通孔内に拡大孔８３が穿孔されている。そして、前記固定具８が、固定枠本体１又は内部パレット２の一部に下側からビス８６を介して前記固定筒部８２に螺合され、さらに、上側では、上ねじ８４（ねじ頭径は前記拡大孔８３の径よりも小）のねじ部が前記固定筒部８２に螺合され、且つこのねじ頭と前記拡大孔８３下端との間に圧縮コイルスプリング８５が介在されている。このような構造により、図１０（Ｂ）点線のように、つまんで少し上昇させつつ、図１０（Ｃ）点線のように、回転させて、固定枠本体１に対して内部パレット２の固定を解除したり、該内部パレット２に対して基板９の固定を解除する。

１…固定枠本体、２…内部パレット、２１…スペーサ、４…上昇位置台座部、
５…上昇側押え片、６…下降位置台座部、７…下降側押え片。

Claims (7)

1. 固定枠本体と、該固定枠本体内でこの長辺方向の両側が上下方向に揺動可能に軸支され、且つ同長辺方向が略対称の平板状で基板取付用の内部パレットとからなる基板搬送用パレットにおいて、前記内部パレットが前記固定枠本体に平行状態に保持できる止着具とともに、前記内部パレットが複数の異なる上昇所定角度となった一側先端高さ位置に対応した前記固定枠本体の一側内端箇所に設けられた上昇位置台座部と、該上昇位置台座部には前記内部パレットの一側先端の上昇を押えるようにスライド可能で前記固定枠本体に止着できる複数の上昇側押え片と、前記上昇所定角度と同角度で対応する複数の異なる下降所定角度となった他側先端に適宜な高さのスペーサを介しての該スペーサ高さ位置に対応した前記固定枠本体の他側内端箇所に設けられた下降位置台座部と、該下降位置台座部には前記内部パレットの他側先端の上昇を押えるようにスライド可能で止着できる複数の下降側押え片とが備えられてなり、前記複数の内のそれぞれ同一の上昇所定角度及び下降所定角度に対応して前記上昇位置台座部，前記上昇側押え片及び前記下降位置台座部，前記下降側押え片が対応可能に設けられてなることを特徴とする基板搬送用パレット。
2. 請求項１において、前記固定枠本体に平行状態に保持された前記内部パレットの上面からのそれぞれの前記スペーサの高さは同等としてなることを特徴とする基板搬送用パレット。
3. 請求項１又は２において、最大の下降所定角度となった前記下降位置台座部の前記パレット上面からの高さよりも、最小の下降所定角度となった前記下降位置台座部の前記パレット上面からの高さの方が大きく形成され、該高さよりも、それぞれの前記スペーサの高さが大きく形成されてなることを特徴とする基板搬送用パレット。
4. 請求項１，２又は３において、前記上昇側押え片及び前記下降側押え片は、断面Ｌ形状をなし、その水平片が長孔を介してスライド可能で前記固定枠本体に止着できるように設けられてなることを特徴とする基板搬送用パレット。
5. 請求項１，２，３又は４において、前記複数の上昇所定角度又は下降所定角度は、１度、２度としてなることを特徴とする基板搬送用パレット。
6. 請求項５において、２種類の上昇側押え片と、２種類の下降側押え片とは、対応する上昇所定角度又は下降所定角度ごとに斜め掛け状態となるようにしてなることを特徴とする基板搬送用パレット。
7. 請求項１，２，４又は５において、複数の上昇所定角度又は下降所定角度は、３つ以上の所定角度としてなることを特徴とする基板搬送用パレット。
   
   

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