JP4325558B2 - 半導体レーザ、および半導体レーザを作製する方法 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施の形態に係る半導体レーザの構造を示す一部破断図である。半導体レーザ11は、n型InP半導体領域13と、p型III−V化合物半導体層15と、AlGaInAs層17と、AlInAsP領域19と、活性領域21とを備える。AlInAsP領域19は、n型InP半導体領域13とAlGaInAs層17との間に設けられている。活性領域21は、p型III−V化合物半導体層15とAlGaInAs層17との間に設けられている。n型InP半導体領域13、AlInAsP領域19およびAlGaInAs層17は、分布帰還型回折格子23を構成している。分布帰還型回折格子23には、活性領域21が光学的に結合されている。
図3(A)、図3(B)および図3(C)は、本実施の形態に係る半導体レーザを作製する方法を説明する図面である。図4(A)、図4(B)および図4(C)は、本実施の形態に係る半導体レーザを作製する方法を説明する図面である。図5(A)および図5(B)は、本実施の形態に係る半導体レーザを作製する方法を説明する図面である。
図6を参照しながら、本発明の実施の形態に係る一実施例を説明する。回折格子のためのパターンが形成されたInP基板をOMVPE炉にセットする。成長圧力は60Torr(8000Pa)である。時刻t0で、水素ガス(H2)を供給しながら摂氏400度まで昇温する。水素ガスの流量は、例えば10slmである。摂氏400度において、さらにPH3の供給(時刻t1)を開始して、燐(P)抜けの制御を行う。PH3の流量は、例えば50sccmである。摂氏450度において、AsH3およびTMAlの供給(時刻t2)を開始して、所望の膜厚のAlInAsP層を形成する。AsH3の流量は、例えば0.5sccmであり、またTMAlの流量は、例えば20sccmである。本実施例では、約3秒間、PH3、AsH3およびTMAlを同時に流して、約1nmの改質膜(時刻t2〜t3)を形成する。この後に、時刻t3でTMAlの供給を停止する。時刻t3〜t4までPH3およびAsH3を流しながら、摂氏550度まで昇温する。この温度において、AlGaInAs層を(時刻t4〜t5)堆積する。AlGaInAs層の成長後に、時刻t5〜t6までAsH3を流しながら摂氏700度まで昇温する。この温度において、活性領域のためのAlGaInAs層を(時刻t6〜t7)堆積する。AlGaInAs層の成長の後に、AsH3を(時刻t7〜t8)流しながら摂氏670度まで降温する。この温度においてInPクラッド層を(時刻t8〜t9)成長する。
Claims (5)
- n型InP半導体領域と、
p型III−V化合物半導体層と、
AlGaInAs層と、
前記n型InP半導体領域と前記AlGaInAs層との間に設けられたAlInAsP領域と、
前記n型InP半導体領域、前記AlInAsP領域および前記AlGaInAs層とから構成される分布帰還型回折格子に光学的に結合されており、前記p型III−V化合物半導体層と前記AlGaInAs層との間に設けられた活性領域と
を備え、
前記n型InP半導体領域の表面は前記分布帰還型回折格子のための凹凸構造を有しており、
前記AlInAsP領域の伝導帯の底のエネルギレベルは、InP半導体の伝導帯の底のエネルギレベルよりも高く、
前記AlInAsP領域の伝導帯の底のエネルギレベルは、前記AlGaInAs半導体層の伝導帯の底のエネルギレベルよりも低い、ことを特徴とする半導体レーザ。 - 前記AlInAsP領域の厚さは10nm以下である、ことを特徴とする請求項1に記載された半導体レーザ。
- 前記AlGaInAs層のバンドギャップ波長は1.2μm以上である、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載された半導体レーザ。
- AlGaInAs系材料を用いる半導体レーザを作製する方法であって、
分布帰還型回折格子のためのマスクを用いてn型InP半導体領域にパターン形成を行って、前記n型InP半導体領域の表面に前記分布帰還型回折格子のための凹凸構造を形成する工程と、
前記n型InP半導体領域にパターン形成を行った後に、AlInAsPを形成する工程と、
前記AlInAsPを形成した後に、AlGaInAs膜を堆積する工程と
を備え、
前記AlInAsPの伝導帯の底のエネルギレベルは、InP半導体の伝導帯の底のエネルギレベルよりも高く、
前記AlInAsPの伝導帯の底のエネルギレベルは、前記AlGaInAs半導体膜の伝導帯の底のエネルギレベルよりも低い、方法。 - AlGaInAs系材料を用いる半導体レーザを作製する方法であって、
分布帰還型回折格子のためのマスクを用いてn型InP半導体領域にパターン形成を行って、前記n型InP半導体領域の表面に前記分布帰還型回折格子のための凹凸構造を形成する工程と、
パターン形成を行った後に、AsH3、PH3および有機アルミニウム原料を供給し前記n型InP半導体領域の表面を改質して、改質層を形成する工程と、
前記n型InP半導体領域の表面を改質した後に、AlGaInAs膜を形成する工程と
を備え、
前記改質層の伝導帯の底のエネルギレベルは、InP半導体の伝導帯の底のエネルギレベルよりも高く、
前記改質層の伝導帯の底のエネルギレベルは、前記AlGaInAs半導体膜の伝導帯の底のエネルギレベルよりも低い、方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005000952A JP4325558B2 (ja) | 2005-01-05 | 2005-01-05 | 半導体レーザ、および半導体レーザを作製する方法 |
US11/324,800 US7460575B2 (en) | 2005-01-05 | 2006-01-04 | Semiconductor laser and the method for manufacturing the same |
US12/213,692 US7723132B2 (en) | 2005-01-05 | 2008-06-23 | Semiconductor laser and the method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005000952A JP4325558B2 (ja) | 2005-01-05 | 2005-01-05 | 半導体レーザ、および半導体レーザを作製する方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006190785A JP2006190785A (ja) | 2006-07-20 |
JP4325558B2 true JP4325558B2 (ja) | 2009-09-02 |
Family
ID=36683835
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005000952A Expired - Fee Related JP4325558B2 (ja) | 2005-01-05 | 2005-01-05 | 半導体レーザ、および半導体レーザを作製する方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7460575B2 (ja) |
JP (1) | JP4325558B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2646951C1 (ru) * | 2016-12-20 | 2018-03-12 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук | Гетероструктура мощного полупроводникового лазера спектрального диапазона 1400-1600 нм |
JP6888794B2 (ja) * | 2017-03-22 | 2021-06-16 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 半導体基板の製造方法 |
CN110535032B (zh) * | 2019-09-18 | 2024-04-05 | 全磊光电股份有限公司 | 一种高速工温dfb激光器及其制造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6332988A (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-12 | Nec Corp | 分布帰還形半導体レ−ザ |
JPH065976A (ja) * | 1992-06-24 | 1994-01-14 | Fujitsu Ltd | 半導体レーザ装置の製造方法 |
JP3362356B2 (ja) * | 1993-03-23 | 2003-01-07 | 富士通株式会社 | 光半導体装置 |
JP2783210B2 (ja) * | 1995-09-04 | 1998-08-06 | 日本電気株式会社 | 面発光型ダイオード |
JP3058134B2 (ja) | 1997-09-30 | 2000-07-04 | 日本電気株式会社 | 半導体素子の製造方法 |
JP2000261104A (ja) | 1999-03-08 | 2000-09-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レーザ装置及びその製造方法 |
US6590918B1 (en) * | 1999-11-17 | 2003-07-08 | Matsushita Electronics Corporation | Semiconductor laser device and method for producing the same |
JP2006013191A (ja) * | 2004-06-28 | 2006-01-12 | Fujitsu Ltd | 光半導体素子 |
-
2005
- 2005-01-05 JP JP2005000952A patent/JP4325558B2/ja not_active Expired - Fee Related
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2006
- 2006-01-04 US US11/324,800 patent/US7460575B2/en not_active Expired - Fee Related
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2008
- 2008-06-23 US US12/213,692 patent/US7723132B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006190785A (ja) | 2006-07-20 |
US20080299692A1 (en) | 2008-12-04 |
US7723132B2 (en) | 2010-05-25 |
US20060159145A1 (en) | 2006-07-20 |
US7460575B2 (en) | 2008-12-02 |
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