JP4324989B2 - 露光装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶基板、液晶ディスプレイ用カラーフィルタなどのような基板にマスクのパターンを焼き付けるのに用いる露光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のこの種の露光装置としては、例えば図6に示すように、表面に感光剤を塗布した透光性の被露光材であるワークWに対し平行光を照射するパターン露光用の照明光学系6と、ワークWを保持するワークステージ7と、マスクパターンを有するマスクMを保持するマスクステージ8とを備えたものが知られている。図示の照明光学系6は、例えば、水銀灯など紫外線照射用の光源1,その照射光を集光する凹面鏡例えば楕円ミラー2,光路反転用の平面ミラー3,平面ミラーの反射光を集光して照度を均一化するオプチカルインテグレータ(フライアイレンズ)4,オプチカルインテグレータの射出光路を反転させると共に平行光をつくる球面ミラー5等を組み合わせて構成されている。この露光装置でワークWに所定のパターンを露光する場合は、そのワークステージ7にワークWを保持し、所定のマスクパターンを有するマスクMが保持されたマスクステージ8をその上に重ねて、露光用の照明光学系6から平行光Lを照射する。
【0003】
上記照明光学系6に設置されているオプチカルインテグレータ4は、図7に示すように、光の入射面41と射出面42とが所定の曲率半径Rを有する曲面とされた角柱状のレンズ44を、縦横に複数本ずつ積層して透過した光の照度を均一化するように構成されており、その曲率半径Rの違いで射出角度が異なる。一つの照明光学系6には、ある特定の曲率半径Rを有する1個のオプチカルインテグレータ4が配設され、その平行光Lの適切な露光照射範囲を規定する有効露光領域LH も決まっている。また、上記マスクステージ8は、そのマスクMを吸着保持する固定式のマスクホルダを有しており、マスクMのサイズ毎に複数種のものが別途に用意されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ワークWのサイズが異なると、使用するマスクMのサイズおよび有効露光領域LH もそれに応じて変更する必要がある。しかるに、従来の露光装置の場合は、一つのマスクステージ8は一つのマスクサイズにしか対応できないし、特定の有効露光領域LH を有する照明光学系6は、当該特定有効露光領域LH 以内の範囲の露光にしか対応できない。したがって、マスクMのサイズの変更に伴い、次のような問題点が生じている。
【0005】
▲1▼マスクステージについては、マスクサイズに応じて、マスクステージ8を対応する他のサイズ用のものに交換するので、その交換作業に時間がかかり露光工程の所要時間が長くなる。且つ複数種のマスクホルダを予め用意しなければならないので、設備費が高くなる。
【0006】
▲2▼照明光学系6については、交換後のマスクサイズが小さくなる場合には、交換前の有効露光領域LH をそのまま使用することができるが、しかし照射領域の使用効率が悪く、照度が専用のオプチカルインテグレータを用いた場合に比べて大幅に低下してしまう。反対に、交換後のマスクサイズが大きくなる場合は、交換前の有効露光領域LH をそのまま使用することは不可能となり、照明光学系6の全体を対応する有効露光領域LH を備えた他のものに交換しなければならないので、その交換作業に時間がかかり、且つ設備費が高くなる。
【0007】
本発明は、このような従来技術の未解決の課題を解決するためになされたものであり、マスクサイズに応じてマスクステージを交換したり照明光学系を交換する必要がない露光装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項1に係る発明は、被露光材を支持するワークステージと、該ワークステージに対向して配置されたマスクステージと、該マスクステージに保持されたマスクに対して露光光を前記ワークステージの反対側から照射する照明光学系とを備えた近接露光装置において、
前記照明光学系は光軸が一致し且つ前記マスクに照射される露光光の出射角が各々異なる複数種のオプチカルインテグレータと、該オプチカルインテグレータの一つが前記照明光学系の光軸上に位置するように前記オプチカルインテグレータの位置を前記マスクサイズに応じて選択的に切り替える切り替え機構と、前記オプチカルインテグレータと前記マスクとの間に配設された球面ミラーとを備え、前記切り替え機構は複数種の前記オプチカルインテグレータを立てた状態で支持する交換用ステージと、該交換用ステージを直線方向に案内して前記複数種のオプチカルインテグレータの光軸を個々に前記照明光学系の光軸に一致させる直動案内装置とで構成されていることを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
本発明の露光装置は、図1〜図3に示す照明光学系6Aと、図4に示すマスクステージ20とを備えている。なお、従来と同一または相当部分には同じ符号を付し、その重複する説明は省略する。まず、照明光学系6Aの構成について説明すると、この実施形態の近接露光装置の構成概略図である図1に示すように、光源1,楕円ミラー2,平面ミラー3,オプチカルインテグレータ4,球面ミラー5を組み合わせて光路が構成されている。しかしてそのオプチカルインテグレータ4は、射出角がそれぞれ異なる二種類のオプチカルインテグレータ4a,4bを備えている。各オプチカルインテグレータ4a,4bは、その側面図である図2に示すように、レンズ面の曲率半径は、一方のオプチカルインテグレータ4aがR1 、他方のオプチカルインテグレータ4bの方はそれより小さいR2 とされている。
【0010】
上記二種類のオプチカルインテグレータ4a,4bは、図3に示すようなオプチカルインテグレータ切り替え機構10により切り替え可能である。すなわち、2種類のオプチカルインテグレータ4a,4bはそれぞれ支持部11a,11bを介して交換用ステージ12に固定されており、該交換用ステージ12はガイドレール131とスライダ132とよりなる直動案内装置(リニアガイド)13のスライダ132に固定されている。交換用ステージ12の一端には、交換用ステージ移動のための把手121が設けられている。図3では、オプチカルインテグレータ4aの中心が照明光学系6Aの光軸LAと一致するように交換用ステージ12が位置決めされているが、交換用ステージ12をリニアガイド13のガイドレール131の方向に沿って移動させることにより、オプチカルインテグレータ4bの中心を照明光学系6Aの光軸LAと一致するように位置決めできる。このように交換用ステージ12を移動することにより、両オプチカルインテグレータ4a,4bのうち所望の方を選択して、照明光学系6Aの光軸LA上に位置決めすることが可能である。
【0011】
続いて、マスクステージ20の構成について説明する。図4は、本実施形態の可動のマスク保持部付きマスクステージ20の平面図で、当該可動のマスク保持部の前進位置を示す上半分と、後退位置を示す下半分とを合成した図である。図において、符号21は固定部であるマスクステージベースで、4か所に設けた取り付けフランジ部211を図外の基台上にボルト止めして固定支持される。そのマスクステージベース21の中央部には開口212を設けてあり、その開口212を取り囲んでマスク保持部としてのX方向可動の2枚のマスク保持部材22X1,22X2 及びY方向可動の2枚のマスク保持部材22Y1 ,22Y2 が、それぞれリニアガイド23を介して移動可能に装着されている。
【0012】
すなわち、X方向可動の一対のマスク保持部材22X1 ,22X2 は、開口212を挟んで(左右)両側に対向配置されており、各保持部材毎にそれぞれ、X軸に沿ってマスクステージベース21上に平行に配設した例えば3台のリニアガイド23の案内レール231に取り付けてあるスライダ232に固定支持されている。また、マスクステージベース21上には、X方向の可動マスク保持部の駆動機構としてのシリンダ装置24Xを配設している。このシリンダ装置24Xは、一方のマスク保持部材22X1 の最前進位置FXと最後退位置BXとの2通りの設定位置に合わせて移動距離が決められるスライダ241と、そのスライダ241を駆動するためのシリンダ242を有しており、当該スライダ241とマスク保持部材22X1 とが連結されている。なお、他方のマスク保持部材22X2 の方のエアシリンダ装置24Xについては、図示を省略している。
【0013】
一方、Y方向可動の一対のマスク保持部材22Y1 ,22Y2 は、同じく開口212を挟んで(上下)両側に対向配置されており、各保持部材毎にそれぞれ、Y軸に沿ってマスクステージベース21上に平行に配設した3台のリニアガイド23の案内レール231に取り付けてあるスライダ232に固定支持されている。また、マスクステージベース21上には、Y方向のマスク保持部駆動手段としてのシリンダ装置24Yを配設している。このシリンダ装置24Yは、一方のマスク保持部材22Y1 の最前進位置FYと最後退位置BYとの2通りの設定位置に合わせて移動距離が決められるスライダ241と、そのスライダ241を駆動するためのシリンダ242を有しており、当該スライダ241とマスク保持部材22Y1とが連結されている。なお、他方のマスク保持部材22Y2 の方のエアシリンダ装置24Yについては、図示を省略している。
【0014】
上記の各マスク保持部材22X1 ,22X2 及び22Y1 ,22Y2 は、図示しないがその前進方向の先端部に、マスクMを吸着保持するマスク保持手段を備えている。そして、各マスク保持部材22X1 ,22X2 及び22Y1 ,22Y2 の最前進位置FX,FYと最後退位置BX,BYは、使用されるマスクMのサイズに応じて予め設定される。
【0015】
次に、本実施形態の作用を述べる。マスクサイズが大小2種類のマスクMを切り換えて使用する場合について説明する。例えば初めに、サイズの大きい方のマスクMを用いてワークWの感光剤塗布面に所定のマスクパターンを露光するなら、マスクステージ20の各マスク保持部材22X1 ,22X2 及び22Y1 ,22Y2 はいずれも最後退位置BX,BYまで下げておく。そのとき、マスクステージベース21の開口212の開口面積は最大である。その可動マスク保持部材22X1 ,22X2 ,22Y1 ,22Y2 に、所定のマスクパターンが描かれている大きい方のマスクMを、パターン面を下にして図外の真空式吸着装置により吸着保持させる。
【0016】
マスクステージ20に保持したマスクMに対向させて、ワークステージ7にはワークWを感光剤塗布面を上に向けて取り付ける。そのワークWの感光剤塗布面に照明光学系6Aを用いて平行光線Lを照射し、マスクMのパターンを露光する。この場合の照明光学系6Aには、レンズ面の曲率半径R1 が比較的大きい方のオプチカルインテグレータ4aをセットしておく。光源の水銀灯1から出た光は、楕円ミラー2で集光された後に平面ミラー3で反射されてオプチカルインテグレータ4aに入射し、照度が均一化されて射出される。その射出角は比較的大きいから、その後の球面ミラー5で反射されて得られた平行光Lの有効露光領域LH は広い。したがって、大きい方のマスクMのパターン面を全面的に通過してワークWの感光剤を露光させることができる。
【0017】
次いで、ワークステージ7を操作してワークWを移動させた後、よりサイズの小さいマスクMのパターンの露光を行う。その場合、マスクステージ20の真空を一旦解除して、初めに使用したサイズの大きい方のマスクMをマスク保持部材22X 1 ,22X 2 ,22Y 1 ,22Y 2 から外す。その後、マスク保持部駆動機構であるシリンダ装置24X及び24Yを作動させて、そのスライダ241を最前進位置まで前進させる。これにより、最後退位置BXに位置していたX方向可動部である一対のマスク保持部材22X1 ,22X2 がリニアガイド23に案内されつつ最前進位置FXまで前進移動する。同時に、Y方向可動部である一対のマスク保持部材22Y1 ,22Y2 も、同様にして最前進位置FXまで前進移動する。かくして、マスクステージベース21の開口212の開口面積が最小になる。その可動マスク保持枠22X 1 ,22X 2 ,22Y 1 ,22Y 2 の下面に、小さい方のマスクMを、パターン面を下にして吸着保持させる。
【0018】
照明光学系6Aの方は、そのオプチカルインテグレータ切り替え機構10を操作することにより、比較的小さい曲率半径R2 を有するオプチカルインテグレータ4bに切り替える。その切り替え操作は、オプチカルインテグレータ4bの中心が照明光学系6Aの光軸LAと一致する位置まで、交換用ステージ12をガイドレール131に沿って手で動かすことにより行う。このオプチカルインテグレータ4bの射出角は比較的小さいから、その後の球面ミラー5で反射されて得られた平行光Lの有効露光領域LH ’はより狭くなり、小さい方のマスクMのパターンのサイズに適合する。
【0019】
このように、本実施形態によれば、マスクサイズが変わっても、それに応じてマスクステージ20を対応するサイズ用のものに容易に変換するので、従来のようにマスクステージの交換作業に時間がかかることがなく、したがって露光工程の所要時間が短くて済む。また複数種のマスクホルダを予め用意する必要もないので、設備費を低減できる。
【0020】
照明光学系についても、マスクサイズの変更に応じてオプチカルインテグレータを自動的に交換することにより、有効露光領域を適合させることができるから、照射領域の使用効率が良く、且つ照度も常に適正に維持できる。また、従来のように、照明光学系の全体を対応する有効露光領域を備えた他のものに交換する必要がないから、その交換作業に時間がかかるとか、複数の照明光学系のため設備費が高くなるということがない。
【0021】
次に、本発明の露光装置におけるオプチカルインテグレータ切り替え機構の他の実施の形態について、図5を参照して説明する。この例では、4種類のオプチカルインテグレータ4a,4b,4c,4dから回転式の切り換え機構により一つを選択するようになっている。
【0022】
すなわち、このオプチカルインテグレータ切り替え機構10Aは、4種類のオプチカルインテグレータ4a〜4dを保持する回転ホルダ15と、不図示の照明光学系の本体に固定され前記回転ホルダ15を回転位置決め可能な回転駆動モータ16とを備えている。図5では、オプチカルインテグレータ4aが照明光学系6Aの光軸LAと一致するようになっているが、マスクサイズの変更に応じて回転駆動モータ16を回転させて、回転ホルダ15を位置決めすることにより、他のオプチカルインテグレータ4b〜4dのうち所望のものと切り替えることができる。この実施の形態では、オプチカルインテグレータを4種類としているが、これに限らず、マスクサイズの種類に応じて変更すればよい。
【0023】
なお、上記各実施の形態では、図3または図5のオプチカルインテグレータ切り替え機構と図4等のマスクステージとの両方を用いた露光装置について説明したが、いずれか一方を用いたものであってもよく、その場合であっても従来の露光装置に比べると有利になる利点がある。
【0024】
また、オプチカルインテグレータ以外の照明光学系の構成については、上記の実施形態に必ずしも限定されない。例えばミラー等の配置としては、平面ミラー3と球面ミラー5とを組み合わせて光路の反転と平行光線とを得る構成を示したが、その他、例えば一組の反転ミラーとコンデンサレンズとの組み合わせにより光路の反転と平行光線とを得る構成などでも良い。
【0025】
また、本発明の露光装置は、露光装置,近接露光装置やソウトコンタクトタイプの露光装置等、要は被露光材に対し光を照射する光路内にオプチカルインテグレータを備えたパターン露光用の照明光学系を有するものであれば適用可能である。
【0026】
また、本発明のマスクステージの可動部の駆動機構としては、シリンダ装置に代えて、例えばボールねじとモータとの組み合わせた駆動装置とか電動シリンダ装置等のその他の構成であってもよい。このように構成すると、最前進位置と最後退位置とに限らずに、その中間の任意の位置に可動部を位置決めできるので、よりフレキシビリティが増すという利点がある。その場合、これによって3種類以上のマスクサイズに対応可能となるので、第1の実施形態のオプチカルインテグレータ切り替え機構10にあっても、マスクサイズの種類の増加に対応して増加するするオプチカルインテグレータの数(2個以上)に対応できるものとする。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1に係る発明によれば、露光用の照明光学系にオプチカルインテグレータの切り替え機構を設けたため、マスクサイズの変更に応じて最適なオプチカルインテグレータに自動的に交換することが可能になり、照射領域の使用効率が良く、且つ照度も常に適正に維持でき、しかも、照明光学系の全体を交換する必要がないから、交換作業が迅速で且つ照明光学系の設備費が低減できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の露光装置の照明光学系の概略図である。
【図2】その二種のオプチカルインテグレータの側面図である。
【図3】オプチカルインテグレータ切り替え機構の一実施の形態の概略図である。
【図4】本発明の露光装置のマスクステージの平面図である。
【図5】オプチカルインテグレータ切り替え機構の他の実施の形態の概略図である。
【図6】従来の露光装置の照明光学系の概略図である。
【図7】図6のオプチカルインテグレータの側面図である。
【符号の説明】
1 光源
2 凹面鏡
3 ミラー
4 オプチカルインテグレータ
5 球面ミラー
6 照明光学系
6A 照明光学系
7 ワークステージ
10 オプチカルインテグレータ切り替え機構
10A オプチカルインテグレータ切り替え機構
20 マスクステージ
21 マスクステージベース
22X 1 ,22X 2 ,22Y 1 ,22Y 2 マスク保持部材
24X シリンダ装置(マスク保持部材X方向駆動機構)
24Y シリンダ装置(マスク保持部材Y方向駆動機構)
Claims (1)
- 被露光材を支持するワークステージと、該ワークステージに対向して配置されたマスクステージと、該マスクステージに保持されたマスクに対して露光光を前記ワークステージの反対側から照射する照明光学系とを備えた近接露光装置において、
前記照明光学系は光軸が一致し且つ前記マスクに照射される露光光の出射角が各々異なる複数種のオプチカルインテグレータと、該オプチカルインテグレータの一つが前記照明光学系の光軸上に位置するように前記オプチカルインテグレータの位置を前記マスクサイズに応じて選択的に切り替える切り替え機構と、前記オプチカルインテグレータと前記マスクとの間に配設された球面ミラーとを備え、前記切り替え機構は複数種の前記オプチカルインテグレータを立てた状態で支持する交換用ステージと、該交換用ステージを直線方向に案内して前記複数種のオプチカルインテグレータの光軸を個々に前記照明光学系の光軸に一致させる直動案内装置とで構成されていることを特徴とする近接露光装置。
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