JP4307452B2 - 振動ジャイロ - Google Patents
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Description
一方、駆動脚21、22の定常振動に伴い、Y軸周りの回転が生じた場合、コリオリ力による検出脚24、25の前後振動は、検出電極にて角速度信号として取り出され、角速度信号検出部100にて交流増幅部5で増幅され、ついで同期検波部8にて直流信号に変換され、さらに直流増幅部9にて増幅された角速度信号を得る。
本発明は、上述の問題に鑑み発明されたもので、振動子の材質や形状の制約を受けることなく、配線引き回しも含めた電極間の電気的結合の影響を除去するようにした振動ジャイロの提供を目的とする。
〔第1実施形態〕
図1は、胴体部1を中心に上下に3脚ずつ備えた計6脚の振動子を示しており、胴体部1の上側に駆動脚21、22及び中央脚23、胴体部1の下側に検出脚24、25及び中央脚26を有する。この振動子の材質としては、水晶やタンタル酸リチウムなどの圧電性単結晶からなる。ここではXカットの単結晶例えば水晶について述べる。また、以後の説明においては、従来技術の説明と同様、脚の表裏(前後)は図面の表裏に対応させ、脚の左右は図面の左右に対応させるものとする。
〔第2実施形態〕
これまで説明した第1実施形態は、6脚の振動子を示したものであるが、この実施形態では2脚の音叉型振動子を述べる。この音叉型振動子は、駆動脚と検出脚とが同一の2脚を有し、各脚の表裏両面には駆動電極31、32が備えられ、また各脚の表裏左右四面には検出電極34、35が備えられ、そして各脚の左右外側面には検出電極を挟むようにダミー電極36が備えられている。そして、駆動電極31、32及び検出電極34、35は、図2と同様に結線され、ダミー電極36同士は例えば図5に示すように結線される。ここでダミー電極36の配置は、発振信号による駆動振動あるいはコリオリ力による振動にて電位差が生ずることなく電気的結合雑音が得られる位置に備えられる。
〔第3実施形態〕
図6は、4脚の振動子である第3実施形態の二つの例を示す。図6(a)(b)において左図は、4脚の振動子のうち2脚の検出脚24、25を示し、右図は、この2脚を端面から見た図である。ここで、図6(a)では、いずれか一方の検出脚(図では検出脚24としているが検出脚25でも双方の検出脚24、25でも良い)の表または裏の同一面にダミー電極36を設けた例を示し、図4(b)は、検出脚(図では検出脚24としているが検出脚25でも双方の検出脚24、25でも良い)の対向する面にダミー電極36を設けた例を示す。ここでもダミー電極36の配置は、発振信号による駆動振動あるいはコリオリ力による振動にて電位差が生ずることなく電気的結合雑音が得られる位置に備えられる。
〔第4実施形態〕
これまでの説明では、いわゆるXカットの振動子について述べてきた。しかしながら、単結晶のカットはXカットのみならず他のカットも存在する。図7は、Zカットの電極配置を例示するものであり、(a)は6脚振動子の検出電極34、35及びダミー電極36の配置を例示した端面を示し、(b)は音叉型2脚振動子の駆動電極31、32、検出電極34、35、及びダミー電極36の配置状態を例示した端面を示している。
Claims (4)
- 圧電体からなる複数の脚に駆動電極と検出電極とを備え、この駆動電極への駆動信号にて上記脚を振動させた状態で上記脚へのコリオリ力による振動にて検出電極に角速度信号を生ずる振動子を有する振動ジャイロにおいて、
上記脚に、上記駆動信号による振動及び上記コリオリ力による振動に伴う電位差が互いに生ぜずかつ駆動電極との電気的結合にて電位差を互いに生じ得る一対のダミー電極を備え、
上記振動子は、それぞれに上記駆動電極及び上記検出電極を備えた2脚の少なくとも1脚に上記一対のダミー電極を備えた音叉型振動子であることを特徴とする振動ジャイロ。 - 圧電体からなる複数の脚に駆動電極と検出電極とを備え、この駆動電極への駆動信号にて上記脚を振動させた状態で上記脚へのコリオリ力による振動にて検出電極に角速度信号を生ずる振動子を有する振動ジャイロにおいて、
上記脚に、上記駆動信号による振動及び上記コリオリ力による振動に伴う電位差が互いに生ぜずかつ駆動電極との電気的結合にて電位差を互いに生じ得る一対のダミー電極を備え、
上記振動子は、それぞれに上記検出電極を備えた2脚の少なくとも1脚に上記ダミー電極を備えた4脚型振動子であることを特徴とする請求項1に記載の振動ジャイロ。 - 圧電体からなる複数の脚に駆動電極と検出電極とを備え、この駆動電極への駆動信号にて上記脚を振動させた状態で上記脚へのコリオリ力による振動にて検出電極に角速度信号を生ずる振動子を有する振動ジャイロにおいて、
上記脚に、上記駆動信号による振動及び上記コリオリ力による振動に伴う電位差が互いに生ぜずかつ駆動電極との電気的結合にて電位差を互いに生じ得る一対のダミー電極を備え、
上記振動子は、それぞれに上記検出電極を備えた左右の2脚の少なくとも1脚に上記一対のダミー電極を備えた6脚型振動子であることを特徴とする請求項1に記載の振動ジャイロ。 - 上記ダミー電極に接続されて電気的結合雑音を検出する電気的結合検出部と、上記検出電極に接続されて角速度信号を含む振動信号を検出する角速度信号検出部と、この角速度信号検出部からの振動信号と上記電気的結合検出部からの電気的結合雑音との差分を採り上記振動信号に含まれる電気的結合雑音を除去する減算部と、を備えたことを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の振動ジャイロ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006011930A JP4307452B2 (ja) | 2006-01-20 | 2006-01-20 | 振動ジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2007192695A JP2007192695A (ja) | 2007-08-02 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP (1) | JP4307452B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009186305A (ja) * | 2008-02-06 | 2009-08-20 | Epson Toyocom Corp | 物理量センサ |
JP2010085301A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Panasonic Corp | 角速度センサ |
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Publication number | Publication date |
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JP2007192695A (ja) | 2007-08-02 |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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