JP4291539B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、非晶質ケイ素膜を結晶化した結晶性ケイ素膜を活性領域として用いる半導体装置およびその製造方法に関し、特に絶縁表面を有する基板上に設けられた薄膜トランジスタ(TFT)を用いたアクティブマトリクス型液晶表示装置,密着型イメージセンサー,三次元IC等の半導体装置およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、大型で高解像度の液晶表示装置、高速で高解像度の密着型イメージセンサー、三次元IC(集積回路)等への実現に向けて、ガラス等の絶縁基板上や絶縁膜上に高性能な素子を形成する試みがなされている。これらの装置に用いられる素子には、薄膜状のケイ素半導体を用いるのが一般的である。この薄膜状のケイ素半導体としては、非晶質ケイ素半導体(a−Si)からなるものと結晶性を有するケイ素半導体からなるものの2つに大別される。
【0003】
上記非晶質ケイ素半導体は、作製温度が低く、気相法で比較的容易に作製することが可能で量産性に富むため、最も一般的に用いられているが、導電性等の物性が結晶性を有するケイ素半導体に比べて劣っているため、より高速特性を得るには、結晶性を有するケイ素半導体からなる半導体装置の作製方法の確立が強く求められている。なお、結晶性を有するケイ素半導体としては、多結晶ケイ素、微結晶ケイ素等が知られている。
【0004】
これら結晶性を有する薄膜状のケイ素半導体を得る方法としては、
(1) 成膜時に結晶性を有する膜を直接成膜する方法
(2) 非晶質の半導体膜を成膜しておき、パルスレーザー光のエネルギーにより結晶性を有する膜を形成する方法
(3) 非晶質の半導体膜を成膜しておき、熱エネルギーを加えることにより結晶性を有する膜を形成する方法
等が知られている。しかしながら、(1)の方法では、成膜工程と同時に結晶化が進行するので、大粒径の結晶性ケイ素を得るにはケイ素膜の厚膜化が不可欠であり、良好な半導体物性を有する膜を基板上に全面にわたって均一に成膜することが技術上困難である。
【0005】
また、(2)の方法では、溶融固化過程の結晶化現象を利用するため、小粒径ながら粒界が良好に処理され、比較的高品質な結晶性ケイ素膜が得られるが、現在最も一般的に使用されているエキシマレーザーを例にとると、未だ十分な安定性のものが得られておらず、素子としての性能面でも十分ではない。
【0006】
また、(3)の方法は、(1),(2)の方法と比較すると、基板内の均一性,安定性において有利であるが、600℃で30時間程の長時間にわたる加熱処理が必要であり、処理時間が長く、スループットが低いという問題がある。また、この(3)の方法では、結晶構造が双晶構造となるため、1つの結晶粒は数μmと比較的大きいが、結晶粒内に多数の双晶欠陥を含み、上記(2)の方法に比べて結晶性は劣る。
【0007】
これらの方法に対して、上記(3)の方法を改善し、高品質な結晶性ケイ素膜を得る方法が最近注目されている。この方法では、非晶質ケイ素膜の結晶化を助長する触媒元素を利用することで、加熱温度の低温化および処理時間の短縮、そして結晶性の向上を図っている。具体的には、非晶質ケイ素膜の表面にニッケルやパラジウム等の金属元素を微量に導入させ、しかる後に加熱を行うものである。
【0008】
この低温結晶化のメカニズムは、まず金属元素を核とした結晶核発生が早期に起こり、その後その金属元素が触媒となって結晶成長を助長し、結晶化が急激に進行することで理解される。そういった意味で以後これらの金属元素を触媒元素と呼ぶ。これらの触媒元素により結晶化が助長されて結晶成長した結晶性ケイ素膜は、通常の固相成長法(上記(3)の方法)で結晶化した結晶性ケイ素膜の1つの粒内が双晶構造であり、多数の結晶欠陥を有しているのに対して、その粒内は何本もの柱状結晶ネットワークで構成されており、それぞれの柱状結晶内部はほぼ理想的な単結晶状態となっている。
【0009】
このような方法により得られた結晶性ケイ素膜を用いて半導体装置を作製すると、従来よりは高性能な半導体装置は得られるが、未だその性能は不十分である。したがって、特開平7−161634号公報では、触媒元素を導入して固相結晶化した結晶性ケイ素膜の結晶性をさらに高めるため、上記触媒元素による結晶化工程の後に、さらにパルスレーザー光などの強光を照射する工程を追加している。すなわち、この工程により、触媒元素を用い加熱処理で結晶化された結晶性ケイ素膜の結晶性をさらに高め、その結果、半導体装置の高速化を図ろうとするものである。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記触媒元素を用いて結晶化されたケイ素膜は、良好な結晶性を有してはいるが、各結晶粒内には欠陥が多い。したがって、高性能な半導体装置の活性領域に用いるケイ素膜としては、より結晶欠陥を低減させた高品質な結晶性ケイ素膜が望まれる。結晶性をより高めるためには、触媒元素を用いて結晶化した後に、さらに高温(800〜1100℃)で酸化雰囲気で熱処理する第1の半導体装置の製造方法と、特開平7−161634号公報のようにパルスレーザー光を照射する第2の半導体装置の製造方法とがある。前者の第1の半導体装置の製造方法では、いわゆる高温プロセスになり、安価なガラス基板を使用することはできない。
【0011】
このため、安価なガラス基板を用いることを前提とすれば、後者の第2の半導体装置の製造方法を用いることになる。触媒元素を導入して加熱することにより結晶化された結晶性ケイ素膜は、幅800〜1000Åの柱状結晶のネットワーク状態により、それぞれの結晶粒が構成されている。個々の柱状結晶内部は単結晶状態であるが、これらの柱状結晶の曲がりや分岐などにより転位などの結晶欠陥が結晶粒内に多数存在する。パルスレーザー光照射は、この良好な結晶性を有する柱状結晶成分を元に、結晶粒内の欠陥を消滅させることを目的とするが、現実には非常に難しい。
【0012】
実際に、触媒元素により結晶化された結晶性ケイ素膜にパルスレーザー光照射すると、低いレーザーパワーでは、ほとんど効果がなく、元の結晶状態をほぼ維持するだけで大きくは改善されない状態となり、高いレーザーパワーでは、元の結晶状態がリセットされ、レーザーのみにより結晶化されたのと同様の状態になる。その中間状態を形成するのは難しく、レーザーパワーのマージンがほとんどない。また、このような最適状態のレーザーパワー範囲で結晶性ケイ素膜を作製した場合においても、触媒元素による結晶化工程での結晶性を引き継いだまま、上記工程で生じた元々の結晶欠陥を低減することができる一方、レーザーによる再結晶化工程による新たな結晶粒界がどうしても生じてしまう。このパルスレーザー光照射によって引き起こされる結晶粒界は、触媒元素により固相結晶化された状態で見られる結晶粒界と比べて、半導体キャリアに対するトラップ密度が非常に大きく、またそのエネルギーも深い。よって、特開平7−161634号公報のような触媒元素による固相結晶化の後にパルスレーザー光で再結晶化する方法を用いて形成された半導体装置においては、元々の触媒元素による固相結晶化時の結晶欠陥は低減される一方、パルスレーザー光照射による再結晶化時に新たな結晶粒界が生じるが、結果としては、固相結晶化時の欠陥消滅効果の方がパルスレーザー光照射で生じる新たな結晶粒界の影響を上回っているため、パルスレーザー光照射工程を追加することで、トータル的に半導体装置の向上は図れる。しかしながら、このような特開平7−161634号公報で得られる方法では、未だ十分と言えるような高速性能を有する半導体装置は得られず、より高い電流駆動能力をもつ半導体装置を必要とされている。
【0013】
また、加えて、特開平7−161634号公報の方法では、従来のパルスレーザー光照射による問題点の1つであるばらつきの問題がどうしてもつきまとう。触媒元素により固相結晶化した結晶性ケイ素膜の高い均一性を引き継いで再結晶化するのであるから、従来の非晶質ケイ素膜を直接レーザーによる結晶化する方法に比べると、確かに格段に均一性は高い。しかしながら、パルスレーザー光照射工程に伴う新たな結晶粒界の発生は、ランダムに起こるため、その影響により半導体装置の特性はばらつく方向に作用する。その結果、触媒元素による固相結晶化のみで作製された半導体装置に比べると、特性が不安定となり、特性ばらつきが大きくなる。
【0014】
そこで、この発明の目的は、非常に高性能で特性ばらつきの少ない半導体装置およびその半導体装置を簡便で高歩留まりな製造プロセスにより作製できる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
【0016】
【0017】
【0018】
【0019】
【0020】
【0021】
【0022】
上記目的を達成するため、第1の発明の半導体装置は、絶縁表面を有する基板上に形成された結晶性を有するケイ素膜を活性領域として用いた半導体装置において、上記活性領域は、略一方向に沿って並んだライン状の結晶粒群により構成されており、かつ、そのライン状の結晶粒群と隣接するライン状の結晶粒群との間の結晶粒界が小傾角粒界であることを特徴としている。
【0023】
上記構成の半導体装置によれば、上記小傾角粒界では、平面的に見て微妙に結晶方位のずれが小さな回転角で生じている状態を示しており、格子自体の並びは結晶粒界では小さな角度で回転している(屈折している)が、隣接する結晶粒の格子同士は結晶粒界で連続的につながっているような状態である。このような場合に結晶粒界でのキャリアのトラップ密度およびエネルギー準位が最も小さくできる。したがって、半導体素子の高速性能を最も高めると共に、素子間の特性ばらつきを最小にできる。
【0024】
また、一実施形態の半導体装置は、上記第1の発明の半導体装置において、上記ライン状の結晶粒群と隣接するライン状の結晶粒群との間に形成される小傾角の結晶粒界は、結晶粒間の平面的な方位の回転角が10゜以内の小傾角粒界であることを特徴としている。
【0025】
上記実施形態の半導体装置によれば、互いに隣接するライン状の結晶粒群の間の小傾角粒界の回転角を10゜以内にすることによって、結晶粒界での格子の連続性がほぼ保たれ、半導体キャリアに対する結晶粒界におけるトラップ密度およびトラップ準位のエネルギーを、半導体素子の特性を大きく低下させることがない程度まで低減できる。
【0026】
また、一実施形態の半導体装置は、上記第1の発明の半導体装置において、上記結晶粒界は、セコエッチング法によりエッチングされる位置で示され、結晶粒は、上記結晶粒界に囲まれた領域であることを特徴としている。
【0027】
また、一実施形態の半導体装置は、上記第1の発明の半導体装置において、上記結晶粒群の面方位および結晶粒界での結晶方位の傾角は、EBSP(Electron Backscattered Diffraction Pattern)法により定義される値であることを特徴としている。
【0028】
また、一実施形態の半導体装置は、上記第1の発明の半導体装置において、上記半導体装置における活性領域のキャリアの移動方向と上記ライン状の結晶粒群のライン方向とが略平行であることを特徴としている。
【0029】
上記ライン状の結晶粒群が隣接する結晶粒界でのキャリアに対するトラップは、前述のように通常の方法に比べ非常に小さいが、この結晶粒界でのキャリアに対する影響は皆無ではない。したがって、上記実施形態の半導体装置によれば、特に高いキャリア移動度が求められる素子に対しては、活性領域でのキャリアの移動方向とライン状の結晶粒群のライン方向とが略平行となるよう構成することで、キャリアに対する粒界の影響を極力排除することができる。
【0030】
また、一実施形態の半導体装置は、上記第1の発明の半導体装置において、上記活性領域における能動領域は、ニッケル元素を1×1016〜5×1017atoms/cm3の濃度で含有していることを特徴としている。
【0031】
この発明により得られる半導体装置は、隣接するライン状の結晶粒群の面方位を制御するために、非晶質ケイ素膜にその結晶化を促進する触媒元素を導入しており、結果として、活性領域における能動領域(チャネル領域)には、その触媒元素が含まれている。このときの触媒元素としてはニッケルが最も好ましく、面方位を制御するのに最も適している。
【0032】
上記実施形態の半導体装置によれば、上記活性領域における能動領域(チャネル領域)中に含まれているニッケルの濃度が、1×1016〜5×1017atoms/cm3であるとき、この発明の効果を最も引き出すことができる。上記活性領域における能動領域のニッケルの濃度が5×1017atoms/cm3を越えるようであれば、ニッケルシリサイドとして能動領域(チャネル領域)中に偏在する領域が多数現れだし、半導体素子の特性に悪影響を及ぼすようになる。これに対してニッケルの濃度が5×1017atoms/cm3以下では、ニッケルは、ほとんどシリサイドとして析出されず、ケイ素膜中に固溶し、このような状態では、半導体素子への悪影響は見られない。一方、活性領域の能動領域中に残存するニッケルの濃度が1×1016atoms/cm3よりも少ないと、ニッケルによる触媒効果が十分に得られず、結晶粒の面方位に対する十分な制御が行えない。例え、結晶化後の後の工程において、活性領域のニッケル量を低減するような方法を用いたとしても、触媒として十分に効果がある量のニッケルを導入して結晶成長させた場合は、ニッケルの濃度を1×1016atoms/cm3以下まで低下させることはできない。
【0033】
【0034】
【0035】
【0036】
また、第2の発明の半導体装置の製造方法は、絶縁表面を有する基板上に形成された非晶質ケイ素膜に結晶化を促進する触媒元素を導入する工程と、上記触媒元素を導入する工程の後に加熱処理により上記非晶質ケイ素膜を結晶化させて結晶性ケイ素膜にする工程と、上記結晶性ケイ素膜にパルスレーザー光を照射しながら、基板またはパルスレーザー光を一方向に走査することにより、前段のパルスレーザー光により再結晶化された領域の結晶性を反映して順次再結晶化させる工程とを有すると共に、上記結晶性ケイ素膜にパルスレーザー光を照射する工程において、上記パルスレーザー光の走査ピッチは、上記パルスレーザー光照射時に溶融する領域が、その領域に隣接する非溶融領域の結晶性を反映して再結晶化できる長さ以下であり、上記結晶性ケイ素膜にパルスレーザー光を照射する工程において、上記パルスレーザー光の走査方向におけるビーム強度のプロファイルは、少なくとも走査方向に対して後ろ側のビーム強度が一定強度から0まで急激に低下する形状であり、上記結晶性ケイ素膜にパルスレーザー光を照射する工程において、上記基板またはパルスレーザー光を一方向に走査することにより、前段のパルスレーザー光により結晶化された領域の結晶性を反映して順次再結晶化させるとき、少なくともパルスレーザー光照射前の結晶性ケイ素膜の元の結晶状態が失われない範囲の強度のパルスレーザー光で行われることを特徴としている。
【0037】
上記半導体装置の製造方法によれば、絶縁表面を有する基板上に形成された非晶質ケイ素膜に、その結晶化を促進する触媒元素を選択的に導入し、加熱処理を施して、上記非晶質ケイ素膜を結晶化させて結晶性ケイ素膜にする。引き続いて、上記結晶性ケイ素膜にパルスレーザー光を照射しながら、パルス照射する毎に基板またはパルスレーザー光を一方向に走査することによって、前段のパルスレーザー光により再結晶化された領域の結晶性を反映して順次再結晶化させる。そして、上記パルスレーザー光の照射により再結晶化させた領域を用いて、半導体素子の能動領域(チャネル領域)を形成すればよい。
【0038】
上記触媒元素を導入して加熱処理により固相結晶成長させた後、パルスレーザー光照射により再結晶化する点では、特開平7−161634号公報と同様であるが、上記特開平7−161634号公報の半導体装置の製造方法では、パルスレーザー光で再結晶化するときに、その工程で生じる新たな結晶粒界がランダムに生じる。これに対してこの発明の半導体装置の製造方法では、このパルスレーザー光照射工程を基板またはパルスレーザー光を一方向に走査することによって、前段のパルスレーザー光により再結晶化された領域の結晶性を反映して順次再結晶化させて、走査方向に平行な方向に沿ったライン状の結晶粒群を形成でき、結晶粒界もその結晶粒群のライン方向に沿って並び、パルスレーザー光照射により生じる結晶粒界の位置を制御できる。すなわち、この発明では、パルスレーザー光照射工程において、触媒元素による結晶化されたミクロ的に良好な結晶成分(柱状結晶成分)を効率的に引き継ぎ、その結晶欠陥を効率的に低減することができる上に、特開平7−161634号公報でトレードオフとなっていたパルスレーザー光照射工程での新たな結晶粒界の生成を簡略に位置制御できる。したがって、この第4の発明の半導体装置の製造方法では、パルスレーザー光照射工程で生じる新たな結晶粒界の影響を極力除いた状態で、触媒元素による結晶化で得られるミクロ的に良好な結晶状態と、固相成長結晶化法の特徴である結晶状態の基板内での良好な均一性と、強光照射による溶融固化結晶化での低い粒内欠陥密度とを、全て盛り込んだ状態の非常に高品質な結晶性ケイ素膜が得られる。さらに、この第4の発明の半導体装置の製造方法では、パルスレーザー光照射工程で生じる結晶粒界を制御するから、従来問題となったパルスレーザー光照射に起因する特性ばらつきを大きく低減できる。その結果、今までにない非常に高性能で特に電流駆動能力の高くかつ特性ばらつきの小さい半導体装置を実現することができる。
【0039】
【0040】
【0041】
【0042】
この発明において、触媒元素を導入して固相結晶成長させた結晶性ケイ素膜に、パルスレーザー光を照射しながら、パルス照射毎に基板またはパルスレーザー光を一方向に走査することにより、前段のパルスレーザー光により結晶化された領域の結晶性を反映して順次再結晶化させる工程が、キープロセスとなっている。この工程は非常に重要で、条件によっては十分な効果が得られない場合がある。特に、このときのパルスレーザー光の走査ピッチは非常に重要なパラメーターである。そこで、上記実施形態の半導体装置の製造方法によれば、上記パルスレーザー光照射時に溶融する領域が、その領域に隣接する非溶融領域の結晶性を反映して再結晶化できる長さ以下にすることで、結晶粒は、その成長方向に沿ってライン状となって形成される。一方、パルスレーザー光の走査ピッチが上記長さを越える場合には、通常のパルスレーザー光照射工程で見られるランダムな結晶核による領域が形成され、そこでは通常のグレイン状の結晶粒となる。
上記パルスレーザー光の走査方向に対して走査ピッチ以上の長さの照射長があると、その後ろ側のビーム強度のプロファイルが重要となる。なぜなら、走査方向に対して、常にビーム照射の後ろ側で前段のパルスレーザー光で結晶化された領域からの結晶成長が生じるからである。この領域のビーム強度のプロファイルが、一般的なガウシアン形状(正規分布形状)のようになだらかに低下しているようなプロファイルであれば、前段のパルスレーザー光で結晶化された領域から徐々にレーザーエネルギーが上がっていく状態となるため、再結晶化に求められるエネルギーが、この発明において最も求められる前段のパルスレーザー光で結晶化された領域近傍で得られない。よって、このようなプロファイルでは、再結晶化に求められるよりも低いパワー領域が必ず存在するため、前段のパルスレーザー光で結晶化された領域の結晶性を引き継ぐことができず、この領域は結晶性の悪い領域となって残り、この発明の十分な効果を得ることができない。そこで、上記実施形態の半導体装置の製造方法において、結晶性ケイ素膜にパルスレーザー光を照射する工程におけるパルスレーザー光の走査方向におけるビーム強度のプロファイルを、少なくとも走査方向に対して後ろ側のビーム強度のプロファイルが一定強度から0まで急激に強度が低下する形状にすることにより、前段のパルスレーザー光により再結晶化された領域の結晶性を反映した最適な再結晶化を行うことができる。
上記パルスレーザー光の強度が小さければ、ケイ素膜は十分に溶融されず、触媒元素による固相結晶化後に存在する結晶欠陥を十分に改善することができない。また、このときのパルスレーザー光の強度が大きければ、触媒元素により得られた結晶性が完全に失われ、すなわち、リセットされてしまい、全面的に従来のレーザー結晶化で得られる結晶性ケイ素膜と同等になってしまうため、性能が低下するだけでなく、本来レーザー光による結晶化が有している不均一性の問題点が発生する。すなわち、どちらにしても、このときのパルスレーザー光の強度次第で、この発明の効果が十分に得られなくなってしまう。したがって、上記実施形態の半導体装置の製造方法において、上記パルスレーザー光の強度としては、触媒元素により結晶化された結晶性ケイ素膜は膜全体にわたって溶融するが、少なくともパルスレーザー光照射前の結晶性ケイ素膜における元の結晶状態が失われないような範囲の強度で行うことによって、この発明の効果を十分に得ることができる。
【0043】
また、一実施形態の半導体装置の製造方法は、上記パルスレーザー光の走査ピッチが0.1μm〜1μmであることを特徴としている。
【0044】
上記実施形態の半導体装置の製造方法によれば、パルスレーザー光の走査ピッチを0.1μmから1μmの範囲にすることによって、この発明の効果を十分に得ることができる。上記パルスレーザー光照射時に溶融する領域が、その領域に隣接する非溶融領域の結晶性を反映して再結晶化できる長さは最大でも1μmであることがわかっている。よって、少なくとも1μm以下でないと、前段のパルスレーザー光により結晶化された領域の結晶性を反映して再結晶化できない領域(ランダムな核発生領域)が生じることになる。しかしながら、上記パルスレーザー光照射工程のスループット(時間当たりの処理能力)を考えると、この走査ピッチは大きいほどよいのは当然で、0.1μm以上であれば、パルスレーザー光照射条件に大きな制限なく、この発明の効果を十分得ることができる値であり、これ以下にしても大きなメリットはない。
【0045】
また、一実施形態の半導体装置の製造方法は、上記結晶性ケイ素膜にパルスレーザー光を照射する工程において、上記パルスレーザー光の結晶性ケイ素膜表面に照射されるビーム形状は、略長尺矩形形状であり、その長尺方向に対して直角方向にパルス走査が行われることを特徴としている。
【0046】
この発明では、パルスレーザー光のビーム形状は、走査方向に対して大きな長さを必要とせず、走査ピッチ以上であれば基本的によい。したがって、上記実施形態の半導体装置の製造方法によれば、レーザー発振器から出力されるパルスレーザー光のトータルパワーには制限があるため、走査方向を極力短くして、走査方向に対して直角方向の長さをその分できる限り大きくするような長尺矩形状のビーム形状とすることで、より広範囲の面積を処理できるようになるため、この工程の処理時間を大きく短縮することができる。
【0047】
【0048】
【0049】
また、一実施形態の半導体装置の製造方法は、上記結晶性ケイ素膜にパルスレーザー光を照射する工程において、上記パルスレーザー光の走査方向に対して、パルスレーザー光の少なくとも後ろ側の一部を機械的にマスクするレーザー光照射装置を用いることを特徴としている。
【0050】
上記実施形態の半導体装置の製造方法によれば、上記パルスレーザー光の走査方向に対して、パルスレーザー光の少なくとも後ろ側の一部を機械的にマスクしたような構成のレーザー光照射装置を用いることによって、レーザー光照射装置の光学系を大幅に変更することなく、また難しい調整も不要で、最適なビーム強度のプロファイルが容易に実現できる。
また、一実施形態の半導体装置の製造方法は、上記結晶性ケイ素膜にパルスレーザー光を照射する工程において、上記パルスレーザー光の走査方向におけるビーム強度のプロファイルは、少なくとも上記結晶性ケイ素膜の再結晶化工程に必要とする強度から連続的にゼロまで低下する範囲をマスクしてその範囲の強度をゼロとすることを特徴としている。
【0051】
上記実施形態の半導体装置の製造方法によれば、パルスレーザー光の走査方向におけるビーム強度のプロファイルにおいて、少なくとも上記結晶性ケイ素膜の再結晶化工程に必要とする強度から連続的にゼロまで低下する範囲をマスクしてその範囲の強度をゼロとすることによって、最適なビーム強度のプロファイルを容易に得ることができる。
【0052】
【0053】
【0054】
また、一実施形態の半導体装置の製造方法は、上記パルスレーザー光として、波長400nm以下のエキシマレーザー光を用い、上記結晶性ケイ素膜表面に対するエネルギー密度が200〜450mJ/cm2となる範囲内で照射することを特徴としている。
【0055】
上記実施形態の半導体装置の製造方法によれば、波長400nm以下のエキシマレーザー光を用いることによって、ケイ素膜に対する吸収係数が極めて高く、ガラス基板に熱的ダメージを与えることなく、ケイ素膜のみを瞬時に加熱することができる。また、エキシマレーザー光は発振出力が大きく、大面積基板を処理するのに適している。その中でも、特に波長308nmのXeClエキシマレーザー光は出力が大きいため、基板照射時のビームサイズを大きくでき、大面積基板に対応しやすく、また出力も比較的安定しており、量産装置に適用する上で最も望ましい。そして、上記パルスレーザー光を用いて、ケイ素膜表面に対して、上記パルスレーザー光の表面エネルギー密度が200〜450mJ/cm2となるようにして、照射工程を行うことが望ましい。ここでパルスレーザー光の表面エネルギー密度が200mJ/cm2より小さければ、結晶性ケイ素膜は十分に溶融されず、触媒元素による固相結晶化後に存在する結晶欠陥を十分に改善することができない。また、450mJ/cm2よりも大きければ、結晶化領域において触媒元素により得られた結晶性が完全に失われ、すなわち、リセットされてしまい、全面的に従来のレーザー結晶化で得られる結晶性ケイ素膜と同等になっていしまい、性能が低下するだけでなく、本来レーザー光による結晶化が有している不均一性の問題点が発生する。すなわち、このエネルギー密度範囲は、前述の結晶性ケイ素膜は膜全体にわたって溶融するが、少なくともパルスレーザー光照射前の結晶性ケイ素膜における元の結晶状態が失われないような範囲に相当する。
【0056】
【0057】
【0058】
【0059】
【0060】
【0061】
また、一実施形態の半導体装置の製造方法は、上記第3,第4の発明の半導体装置の製造方法において、上記結晶性ケイ素膜にレーザー光を照射する工程において、上記レーザー光の走査方向に対して上記活性領域に流れるキャリアの方向が略平行になるようにすることを特徴としている。
【0062】
上記実施形態の半導体装置の製造方法によれば、レーザー光の走査方向に対して、キャリアの流れる方向(チャネル方向)が略平行となるようにすることによって、半導体素子の活性領域でのキャリアの移動方向とライン状の結晶粒群のライン方向とが略平行となるよう構成される。したがって、このような配置は、特に高いキャリア移動度が求められる素子に対して有効であり、活性領域でのキャリアの移動方向とライン状の結晶粒群のライン方向とが略平行となるため、キャリアに対する粒界の影響を極力排除することができ、非常に高い電流駆動能力をもつ素子が得られる。
【0063】
また、一実施形態の半導体装置の製造方法は、上記第3,第4の発明の半導体装置の製造方法において、上記非晶質ケイ素膜の結晶化を促進する触媒元素として、Ni、Co、Fe、Pd、Pt、Cu、Auのうちの少なくとも1種類の元素を用いることを特徴としている。
【0064】
上記実施形態の半導体装置の製造方法によれば、触媒元素の種類としては、Ni、Co、Fe、Pd、Pt、Cu、Auを利用することができる。これらから選ばれた1種または複数種類の元素であれば、微量で結晶化助長の効果があるが、それらの中でも、特にNiを用いた場合に最も顕著な効果を得ることができる。触媒元素は単独では作用せず、ケイ素膜と結合しシリサイド化することで結晶成長に作用する。そのときの結晶構造が、非晶質ケイ素膜結晶化時に1種の鋳型のように作用し、非晶質ケイ素膜の結晶化を促していると考えられる。Niは2つのSiとNiSi2のシリサイドを形成する。NiSi2は螢石型の結晶構造を示し、その結晶構造は、単結晶ケイ素のダイヤモンド構造と非常に類似したものである。しかも、NiSi2はその格子定数が5.406Åであり、結晶シリコンのダイヤモンド構造での格子定数5.430Åに非常に近い値をもつ。よって、NiSi2は、非晶質ケイ素膜を結晶化させるための鋳型としては最高のものであり、実際に、得られる結晶性ケイ素膜の結晶性およびその結晶化促進の触媒効果を見ても、触媒元素としてNiが最もよい。
【0065】
また、一実施形態の半導体装置の製造方法は、上記第3,第4の発明の半導体装置の製造方法において、上記結晶性ケイ素膜にレーザー光を照射する工程の後に、少なくとも上記活性領域の能動領域となる以外の上記結晶性ケイ素膜の領域に5族Bから選ばれた元素を導入する工程と、上記5族Bから選ばれた元素を導入する工程の後に、加熱処理により上記5族Bから選ばれた元素が導入された領域に上記触媒元素を移動させて、上記能動領域中の触媒元素量を低減する工程とを有することを特徴としている。
【0066】
この発明では、まず非晶質ケイ素膜を触媒元素により固相結晶化し、さらにレーザー光照射による再結晶化を行う点を特徴とするが、これらの触媒元素は金属類を主としており、このような元素が半導体中に多量に存在していることは、これら半導体を用いた装置の信頼性や電気的安定性を阻害するものであり、決して好ましいことでない。特に、これらの触媒元素がシリサイドとして存在していると、TFTにおいてオフ動作時のリーク電流増大という大きな問題を引き起こす。この発明では、触媒元素により固相結晶化された結晶性ケイ素膜をベースに用いるため、どうしても半導体装置の活性領域内に触媒元素が存在しており、これを如何にして低減するかが大きな問題となる。
【0067】
これに対して、上記実施形態の半導体装置の製造方法によれば、触媒元素を非晶質ケイ素膜の結晶化処理に利用した後、上記ケイ素膜中に残存する触媒元素の大部分を、半導体素子形成領域以外の領域に移動させることで、この問題を解決している。具体的には、少なくとも後に半導体素子の能動領域(チャネル領域)となる領域以外のケイ素膜の領域に、5族Bから選ばれた元素を導入した後に加熱処理を行う工程を追加する。これにより、結晶成長に使われた触媒元素は、上記5族Bから選ばれた元素が導入された領域に移動し、結果として半導体装置の能動領域(チャネル領域)中の触媒元素量を大きく低減することができる。この半導体装置の製造方法は、半導体特性に対して悪影響が大きいシリサイド状態の触媒元素に、特に有効である。そして、5族B元素を導入され触媒元素が集められた領域を除去して、最終的な半導体素子領域を形成すれば、基板上には触媒元素の高濃度領域は全く残らない。
【0068】
また、一実施形態の半導体装置の製造方法は、上記加熱処理によって上記5族Bから選ばれた元素が導入された領域に上記触媒元素を移動させて、上記能動領域中の触媒元素量を低減する工程において、上記触媒元素の移動方向と上記レーザー光の走査方向とが略平行であることを特徴としている。
【0069】
この発明では、レーザー光の走査方向に対して略平行方向に沿って並んだライン状の結晶粒群が形成されており、触媒元素の移動効率としては、結晶粒内は高いが、結晶粒間にわたって、すなわち結晶粒界を横切るような移動に対しては効率が悪い。したがって、上記実施形態の半導体装置の製造方法において、上記5族Bから選ばれた元素が導入された領域に、触媒元素を移動させるときの移動方向を、結晶性ケイ素膜のライン状の結晶粒群のライン方向に合わせることによって、結晶粒界を横切ることなく触媒元素が結晶粒内を移動できるため、その移動効率が高まり、結果として、半導体素子の能動領域(チャネル領域)における触媒元素の残留量も大きく低減できる。
【0070】
また、一実施形態の半導体装置の製造方法は、上記5族Bから選ばれた元素として、P、N、As、Sb、Biのうちの少なくとも1種類の元素を用いることを特徴としている。
【0071】
上記実施形態の半導体装置の製造方法によれば、上記5族Bから選ばれた元素としては、P、N、As、Sb、Biのうちの少なくとも1種類の元素を用いることができ、これらから選ばれた1種または複数種類の元素であれば、上記触媒元素を効率的に移動させることができ、十分な効果が得られる。このメカニズムに関しては、未だ詳しい知見は得られていないが、これらの元素の中でも、最も効果が高いのはPであることがわかっている。
【0072】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の半導体装置およびその製造方法を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【0073】
〔第1実施形態〕
図1,図2はこの発明の第1実施形態の半導体装置としてのNチャネル型TFTの概要を示す平面図であり、図1,図2において同一構成部には同一参照番号を付している。
【0074】
この第1実施形態では、ガラス基板上にNチャネル型TFTを作製するときの工程において、この発明を適用した場合について説明する。このNチャネル型TFTは、アクティブマトリクス型の液晶表示装置のドライバー回路や画素部分は勿論、薄膜集積回路を構成する素子としても利用することができる。
【0075】
また、図4(A)〜図4(D)および図5(A)〜図5(C)は、図1,図2に示すTFTの製造方法を説明する工程断面図であり、図4(A)〜図4(D)および図5(A)〜図5(C)の順に作製工程が順次進行する。
【0076】
まず、図4(A)に示すように、ガラス基板101上に例えばスパッタリング法によって厚さ300〜500nm程度の酸化ケイ素からなる下地膜102を形成する。この酸化ケイ素膜は、ガラス基板101からの不純物の拡散を防ぐために設けている。次に、プラズマCVD(化学気相成長)法によって、厚さ20〜60nm(例えば40nm)の真性(I型)の非晶質ケイ素膜(a−Si膜)103を成膜する。このときの基板加熱温度は400℃以下であることが望ましく、この第1実施形態では300℃とした。
【0077】
次に、非晶質ケイ素膜103表面上にニッケル104の微量添加を行う。このニッケル104の微量添加は、ニッケルを溶かした溶液を非晶質ケイ素膜103上に保持し、スピナーにより溶液をガラス基板101上に均一に延ばして乾燥させることにより行う。第1実施形態では、溶質としては酢酸ニッケルを用い、溶媒としては水を用いて、溶液中のニッケル濃度を10ppmとした。このようにして添加された非晶質ケイ素膜103表面上のニッケル濃度を全反射蛍光X線分析(TRXRF)法により測定すると、5×1012atoms/cm2程度であった。そして、これを不活性雰囲気下(例えば窒素雰囲気下)で加熱処理を行う。この加熱処理では、昇温途中にまず非晶質ケイ素膜103中の水素離脱処理を行い、その後さらに高温で非晶質ケイ素膜103の結晶化を行う。具体的には、第1ステップの加熱処理として450〜520℃で1〜2時間のアニール処理を行い、第2ステップの加熱処理としては520〜570℃で2〜8時間のアニール処理を行う。この第1実施形態では、500℃にて1時間の処理を行った後、550℃で4時間の加熱処理を行った。この加熱処理において、非晶質ケイ素膜103表面に添加されたニッケル104のシリサイド化が起こり、それを核として非晶質ケイ素膜103の結晶化が進行し、結晶性ケイ素膜103aが形成される。このときの結晶核の発生はランダムに起こり、結晶性ケイ素膜103aにおける個々の結晶粒の平均粒径は、3〜5μm程度であった。
【0078】
次に、図4(B)に示すように、パルスレーザー光105を照射することで結晶性ケイ素膜103aを再結晶化させ、結晶性ケイ素膜103aを得る。このときのパルスレーザー光としては、XeC1エキシマレーザー(波長308nm、パルス幅40nsec)を用いた。このときのパルスレーザー光の照射条件は、照射時に基板を200〜450℃(例えば400℃)に加熱し、エネルギー密度200〜450mJ/cm2(例えば350mJ/cm2)で照射した。
【0079】
この発明では、このときのパルス走査ピッチ、ビーム形状およびビーム形状が重要なパラメーターとなるので、ここで詳しく説明する。第1実施形態で用いたレーザー光照射装置の概略の構造を図10に示している。図10に示すように、レーザー発振器501から出たパルスレーザー光506は、ミラー502により曲げられて、ホモジナイザー503へと導かれる。そして、このホモジナイザー503でパルスレーザー光506は、長尺形状のパルスレーザー光507へと形成される。通常ならこのまま基板表面にパルスレーザー光照射がなされるのであるが、この発明では、ガラス基板101との間に遮蔽マスク板504を設けている。上記遮蔽板504に照射されるパルスレーザー光507のサイズは、ホモジナイザー503を通ってガラス基板101直上で、300mm×0.2mmの長尺形状となるように成型されている。上記遮蔽板504によりパルスレーザー光507の短辺方向の裾がカットされ、ガラス基板101表面に実際に照射されるパルスレーザー光508の形状は300mm×0.05mm(50μm)となる。そして、上記遮蔽板504とガラス基板101との間隔は数mm程度である。
【0080】
このときの短辺方向におけるビーム強度のプロファイルの変化を図11に示している。図11において、横軸はパルスレーザー光の走査方向寸法xを表し、縦軸はビームエネルギー(ビーム強度)を表している。図10に示すホモジナイザー503により長尺形状に成型されたパルスレーザー光507は、ガウシアン形状(図11の上側に示す正規分布形状)となっている。これを遮蔽板504に通すことにより、そのトップ付近のエネルギーの高い領域のみを選択し、それ以外の裾引き領域をカットしたようなトップハット状(図11の下側に示す)のビーム強度のプロファイルのパルスレーザー光508が、ガラス基板101に照射される。
【0081】
そして、図10に示すように、この状態で、ガラス基板101(201)を矢印505の方向に移動させることでガラス基板101に対してパルスレーザー光の走査が行われる。このときのパルス間の移動距離が走査ピッチとなり、実際にはガラス基板101の矢印505の方向の移動速度により制御される。第1実施形態では、図10に示すように、ガラス基板101を矢印505の方向に移動させることにより、パルスレーザー光の走査を行ったが、ガラス基板101から見た場合のパルスレーザー光の走査方向は矢印505の方向とは逆方向になる。
【0082】
この方向が図3におけるSである。図3において、走査ピッチ幅Pとしては、0.1〜1μm(例えば0.5μm)とした。走査方向に対するレーザービームの幅Lは、第1実施形態では50μmとしたので、ケイ素膜103aの任意の一点において、計100回のパルスレーザー光照射が行われることになる。しかし、実際には、各位置に対して最終回のパルスレーザー光が重要であり、最終回のパルスレーザー光で前段パルスレーザー光で結晶化された隣接領域の結晶性を反映して、パルスレーザー光の走査方向に横方向に結晶成長が行われる。上記工程により、図1,図2に示すように、ニッケルにより結晶成長した結晶性を引き継いで、横方向に、パルスレーザー光照射により形成されたライン状の結晶粒群が成長する。図1,図2において、GBがそのライン状の結晶粒群の結晶粒界を表している。この状態で、EBSP法により2次元的に結晶面方位の観察を行うと、それぞれのライン状の結晶粒群は、結晶粒界GBを挟んで面方位に相関関係が見られ、結晶粒界GBでは10゜以内の小傾角粒界を形成している。なお、図3に示す点線は、走査ピッチ幅を示すものであって、図1,図2において点線で示された結晶粒界GBではない。
【0083】
次に、図4(C)に示すように、結晶性ケイ素膜103b上に酸化ケイ素膜または窒化ケイ素膜等の絶縁性薄膜を堆積し、パターニングしてマスク106を形成する。マスク106の形成は、第1実施形態では、酸化ケイ素膜を用い、TEOS(Tetra Ethoxy Ortho Silicate:テトラ・エトキシ・シラン)を原料とし、酸素とともにRFプラズマCVD法で分解・堆積した。このときのマスクの厚さは、100nm〜400nmであることが望ましく、この第1実施形態では、上記酸化ケイ素膜の厚さを150nmとした。
【0084】
次に、この状態で、図4(C)に示すように、ガラス基板101上方よりリン107を全面にイオンドーピングする。このときのリン107のドーピング条件としては、加速電圧を5〜10kVとし、ドーズ量を5×1015〜1×1016cm-2とした。この工程により、結晶性ケイ素膜103bの露呈している領域にリンが注入され、リンドープされた結晶性ケイ素領域103cが形成される。一方、マスク106によって覆われている領域の結晶性ケイ素膜103bには、リンはドーピングされない。このときの状態をガラス基板101上方より見ると、図1,図2のような状態となっている。図1,図2では、後のTFT素子領域と、マスク106に覆われた領域のケイ素膜103bとリンが注入された領域103cとの関係を明確にするために、後のTFT活性領域109を示している。後に形成されるTFT活性領域109は、この段階では、図4(C)のマスク106に完全に覆われた状態となっている。
【0085】
そして、この状態で、これを不活性雰囲気下(例えば窒素雰囲気下)にて580〜650℃の温度で数時間から数十時間の加熱処理を施す。この第1実施形態では、600℃にて12時間の処理を行った。この加熱処理において、領域103c中のリンが、結晶性ケイ素膜103b中に拡散したニッケル104を矢印108に示すように周囲の全方向に向かって引き寄せる。すなわち、ニッケルに対するゲッタリングが行われるのである。その結果、結晶性ケイ素膜103b領域におけるニッケル濃度は大幅に低減される。このときのニッケル104のゲッタリング方向108は、周囲に向かって四方八方に行われるが、結晶性ケイ素膜103bが、ある一方向に沿ったライン状の結晶粒群により構成されているので、その結晶粒の方向に対してゲッタリング効率が異なる。すなわち、ニッケル104は結晶粒界GBを越えては移動しにくく、結晶粒内を移動しやすいため、ライン状の結晶粒群のそのライン方向に沿った方向のゲッタリング効率が高い。すなわち、図1,図2では実線の矢印108の方向に主にゲッタリングされ、点線の矢印108で示された方向にはほとんど移動しない。よって、第1実施形態では、後のTFT活性領域109を取り囲むようにニッケルのゲッタリング領域103cを設けることで、ライン状の結晶粒群のライン方向に対してゲッタリング領域を必然的に形成できる上に、ゲッタリング効率を最大限に高めることができる。このときのTFTの配置としては、図1よりも図2の配置の方が、ゲッタリング領域103cと非ゲッタリング領域(後のチャネル領域113)との間の距離を最低限にできるため、より効果の高いゲッタリングが行える。
【0086】
このゲッタリング工程後の実際の結晶性ケイ素膜103b中のニッケル濃度を二次イオン質量分析法(SIMS:Secondary Ion Mass Spectrometry)により測定したところ5×1016atoms/cm3程度にまで低減されていた。ちなみに上記工程前の結晶性ケイ素膜103bの膜中ニッケル濃度は5×1017〜1×1018atoms/cm3程度であった。
【0087】
次に、マスク106に用いた酸化ケイ素膜をエッチング除去する。エッチャントとしては、十分に下層のケイ素膜103と選択性のある1:10のバッファードフッ酸(BHF)を用い、ウェットエッチングにより行う。
【0088】
その後、図5(A)に示すように、不要な部分のケイ素膜103を除去して素子間分離を行う。すなわち、上記工程により、図1,図2に示すような配置で、少なくとも結晶性ケイ素膜103bの領域を用いて、後にTFTの活性領域(ソース/ドレイン領域、チャネル領域)となる島状の結晶性ケイ素膜109を形成する。
【0089】
次に、上記活性領域となる結晶性ケイ素膜109を覆うように厚さ20〜150nm(ここでは100nm)の酸化ケイ素膜をゲート絶縁膜110として成膜する。酸化ケイ素膜の形成には、ここではTEOSを原料とし、酸素とともに基板温度150〜600℃(好ましくは300〜450℃)でRFプラズマCVD法で分解・堆積した。または、TEOSを原料としてオゾンガスとともに減圧CVD法または常圧CVD法によって、基板温度を350〜600℃(好ましくは400〜550℃)として形成してもよい。成膜後、ゲート絶縁膜自身のバルク特性および結晶性ケイ素膜/ゲート絶縁膜の界面特性を向上するために、不活性ガス雰囲気下で400〜600℃で1〜4時間のアニールを行う。
【0090】
引き続いて、スパッタリング法によって、厚さ400〜800nm(例えば600nm)のアルミニウムを成膜する。そして、アルミニウム膜をパターニングして、ゲート電極111を形成する。さらに、このアルミニウムのゲート電極111の表面を陽極酸化して、表面に陽極酸化膜112を形成する。この状態が図5(B)に相当する。このときの陽極酸化は、酒石酸が1〜5%含まれたエチレングリコール溶液中で行い、最初一定電流で220Vまで電圧を上げ、その状態で1時間保持して終了させる。こうして得られた陽極酸化膜112の厚さは200nmである。なお、この陽極酸化膜112は、後のイオンドーピング工程において、オフセットゲート領域を形成する厚さとなるので、オフセットゲート領域の長さを上記陽極酸化工程で決めることができる。
【0091】
次に、イオンドーピング法によって、ゲート電極111とその周囲の陽極酸化膜112をマスクとして活性領域に不純物(リン)を注入する。ドーピングガスとしてフォスフィン(PH3)を用い、加速電圧を60〜90kV(例えば80kV)、ドーズ量を1×1015〜8×1015cm-2(例えば2×1015cm-2)とする。この工程により、不純物が注入された領域114,115は、後にTFTのソース/ドレイン領域となり、ゲート電極111およびその周囲の陽極酸化膜112にマスクされて不純物が注入されない領域113は、後にTFTのチャネル領域となる。このときのTFTの配置として、図1に示すような配置で形成した場合、TFT動作に対してキャリアが流れる方向(114→115の方向)とチャネル領域113を構成するライン状の結晶粒群のライン方向とが平行となるため、図2の配置のTFTに比べて、キャリアが結晶粒界GBの影響を受けず、より高い移動度を有するTFTが得られる。
【0092】
その後、図5(B)に示すように、パルスレーザー光116の照射によってアニールを行い、イオン注入した不純物の活性化を行うと同時に、上記不純物導入工程で結晶性が劣化した部分の結晶性を改善させる。このとき、使用するレーザーとしてはXeClエキシマレーザー(波長308nm、パルス幅40nsec)を用い、エネルギー密度150〜400mJ/cm2(好ましくは200〜250mJ/cm2)で照射を行う。こうして形成されたN型不純物(リン)領域であるソース領域114,ドレイン領域115のシート抵抗は、200〜800Ω/□であった。
【0093】
続いて、厚さ600nm程度の酸化ケイ素膜または窒化ケイ素膜を層間絶縁膜120として形成する。酸化ケイ素膜を用いる場合には、TEOSを原料として、これと酸素とのプラズマCVD法またはオゾンとの減圧CVD法または常圧CVD法によって形成すれば、段差被覆性に優れた良好な層間絶縁膜が得られる。また、モノシランSiH4とアンモニアNH3を原料ガスとしてプラズマCVD法で成膜された窒化ケイ素膜を用いれば、活性領域/ゲート絶縁膜の界面に水素原子を供給し、TFT特性を劣化させる不対結合手を低減する効果がある。
【0094】
次に、層間絶縁膜120にコンタクトホール120aを形成して、金属材料、例えば窒化チタンとアルミニウムの二層膜によって電極・配線121を形成して、これによりTFT122を形成する。上記窒化チタン膜は、アルミニウムが半導体層に拡散するのを防止する目的のバリア膜として設けられる。このTFT122を液晶表示装置などの画素スイッチング用のTFTとして用いる場合には、一方のドレイン電極には、ITOなど透明導電膜からなる画素電極を設ければよい。また、このTFT122を薄膜集積回路などに用いる場合には、ゲート電極111上にもコンタクトホールを形成し、必要とする配線を施せばよい。
【0095】
そして、最後に、1気圧の水素雰囲気で350℃、1時間のアニールを行い、図5(C)に示すTFT122を完成させる。さらに必要に応じて、TFT122を保護する目的で、TFT122上に窒化ケイ素膜などからなる保護膜を設けてもよい。
【0096】
上記第1実施形態において作製したTFT121は、図1の配置では、電界効果移動度が450cm2/Vs程度、閥値電圧が1.0V程度と非常に高性能であるにもかかわらず、基板内での特性ばらつきが、電界効果移動度で±10%程度、しきい値電圧で±0.2V程度(基板として400×320mmのサイズを用い、基板内30点測定の結果)と非常に良好であった。また、図2の配置で作製したTFTにおいても、電界効果移動度が300cm2/Vs程度、閥値電圧が1.5V程度と、従来の方法に比べて十分に高性能であり、基板内での特性ばらつきも同様に小さく抑えることができる。さらに、図1,図2の配置のいずれのTFTの場合も、繰り返し測定やバイアスや温度ストレスによる耐久性試験を行っても、ほとんど特性劣化は見られず、非常に信頼性が高い。また、触媒元素が特に問題となるTFTオフ領域でのリーク電流の増大およびばらつきは、異常点がなく、触媒元素を用いない場合と同等の数pA程度にまで低減でき、製造歩留まりを大きく向上することができた。そして、第1実施形態に基づいて作製されたTFTを利用して、液晶表示用アクティブマトリクス基板を実際に点灯評価したところ、従来法により作製したものに比べて表示むらが小さく、TFTリークによる画素欠陥も極めて少なく、コントラスト比の高い高表示品位の液晶パネルが得られた。
【0097】
〔第2実施形態〕
図6(A),(B)はこの発明の第2実施形態の半導体装置としてのNチャネル型TFTとPチャネル型TFTの概要を示す平面図である。この発明の第2実施形態では、アクティブマトリクス型の液晶表示装置の周辺駆動回路や、一般の薄膜集積回路を形成するNチャネル型TFTとPチャネル型TFTを相補型に構成したCMOS(コンプリメンタリ・メタル・オキサイド・セミコンダクタ)構造の回路を石英ガラス基板上に作製する工程について説明する。
【0098】
また、図8(A)〜図8(D)および図9(A)〜図9(C)は、図6(A),(B)に示すTFTの製造方法を示す工程断面図であり、図8(A)〜図8(D)および図9(A)〜図9(C)の順に工程が順次進行する。
【0099】
まず、図8(A)に示すように、ガラス基板201上に例えばCVD法によって厚さ300〜500nm程度の酸化ケイ素からなる下地膜202を形成する。次に、プラズマCVD法によって、厚さ20〜60nm(例えば30nm)の真性(I型)の非晶質ケイ素膜(a−Si膜)203を成膜する。このときの基板加熱温度は400℃以下であることが望ましく、この第2実施形態では300℃とした。また、装置としては平行平板式のプラズマCVD装置を用い、モノシランSiH4ガスと水素H2ガスを材料ガスに用いる。そして、RFパワーのパワー密度を10〜100mW/cm2(例えば80mW/cm2)と低めに設定し、このときのデポレートは50nm/min程度である。このようにして得られた非晶質ケイ素膜203膜中の水素濃度は、10〜15atomic%である。
【0100】
そして、上記非晶質ケイ素膜203の表面上にニッケル204の微量添加を行う。このニッケル204の微量添加は、ニッケルを溶かした溶液を非晶質ケイ素膜203上に保持し、スピナーにより溶液をガラス基板201上に均一に延ばし乾燥させることにより行う。この第2実施形態では、溶質としては酢酸ニッケルを用い、溶媒としては水を用いて、溶液中のニッケル濃度を5ppmとした。このようにして添加された非晶質ケイ素膜203表面上のニッケル濃度を全反射蛍光X線分析(TRXRF)法により測定すると、3×1012atoms/cm2程度であった。
【0101】
そして、これを不活性雰囲気下(例えば窒素雰囲気下)で加熱処理を行う。この加熱処理においては、昇温途中にまず非晶質ケイ素膜203中の水素離脱処理を行い、その後さらに高温で非晶質ケイ素膜203の結晶化を行った。具体的には、第1ステップの加熱処理として450〜520℃で1〜2時間のアニール処理を行い、第2ステップの加熱処理としては520〜570℃で2〜8時間のアニール処理を行う。この第2実施形態では、500℃にて1時間の処理を行った後、550℃で4時間の加熱処理を行った。この加熱処理において、非晶質ケイ素膜203表面に存在するニッケル204のシリサイド化が起こり、それを核として非晶質ケイ素膜203の結晶化が進行する。このときの結晶核の発生はランダムに起こり、得られる結晶性ケイ素膜203aにおける個々の結晶粒の平均粒径は、5〜10μm程度であった。
【0102】
次に、図8(B)に示すように、パルスレーザー光205を照射することで結晶性ケイ素膜203aを再結晶化させ、結晶性ケイ素膜203bを得る。このときのパルスレーザー光としては、XeClエキシマレーザー(波長308nm、パルス幅40nsec)を用いる。パルスレーザー光の照射条件は、照射時に基板を200〜450℃(例えば400℃)に加熱し、エネルギー密度200〜450mJ/cm2(例えば350mJ/cm2)で照射した。
【0103】
この発明では、このときのパルス走査ピッチ、ビーム形状およびビーム形状が重要なパラメーターとなる。第1実施形態と同様に、第2実施形態においても図10に示す構造のレーザー光照射装置を用いる。すなわち、従来のレーザー光照射装置とは異なり、ガラス基板201上に遮蔽マスク板504が設けられ、遮蔽板504に照射されるパルスレーザー光507は不必要なビーム端部が遮蔽される。その結果、ガラス基板201に照射されるパルスレーザー光のサイズは、遮蔽板504によりパルスレーザー光507の短辺方向の裾がカットされ、300mm×0.05mm(50μm)となる。このときの短辺方向におけるビーム強度のプロファイルは、図11に示すように、遮蔽板504を通すことにより、そのトップ付近のエネルギーの高い領域のみが選択され、それ以外の裾引き領域をカットしたようなトップハット状(図11の下側に示す)のビーム強度のプロファイル508となっている。
【0104】
そして、図10に示すように、この状態で、ガラス基板201を矢印505の方向に移動させることでガラス基板201に対してパルスレーザー光の走査が行われる。このときのパルス間の移動距離が走査ピッチとなり、ガラス基板201の矢印505の方向の移動速度により制御される。この第2実施形態では、図10に示すように、ガラス基板201を矢印505の方向に移動させることにより、パルスレーザー光の走査を行ったが、ガラス基板201から見た場合のパルスレーザー光の走査方向は矢印505の方向とは逆方向になる。
【0105】
この方向が図7におけるSである。走査ピッチ幅Pとしては、0.1〜1μm(例えば0.5μm)とした。走査方向に対するレーザービームの幅Lは、第2実施形態では50μmとしたので、ケイ素膜203aの任意の一点において、計100回のパルスレーザー光照射が行われることになる。しかし、実際には、各位置に対して最終回のパルスレーザー光が重要であり、最終回のパルスレーザー光で前段パルスレーザー光で結晶化された隣接領域の結晶性を反映して、レーザー走査方向に横方向に結晶成長がなされる。上記工程により、図6(A),(B)に示すように、ニッケルにより結晶成長した結晶性を引き継いで、横方向に、パルスレーザー光照射により形成されたライン状の結晶粒群が成長する。図6(A),(B)において、GBがその結晶粒界を表している。この状態で、EBSP法により2次元的に結晶面方位の観察を行うと、それぞれのライン状の結晶粒群は、結晶粒界GBを挟んで面方位に相関関係が見られ、結晶粒界GBでは10゜以内の小傾角粒界を形成している。なお、図7に示す点線は、走査ピッチ幅を示すものであって、図6(A),(B)において点線で示された結晶粒界GBではない。
【0106】
その後、図8(C)に示すように、不要な部分のケイ素膜203bを除去して素子間分離を行い、後にTFTの活性領域(ソース/ドレイン領域、チャネル領域)となる島状の結晶性ケイ素膜209n,209pを形成する。
【0107】
次に、上記活性領域となる結晶性ケイ素膜209n,209pを覆うように厚さ20〜150nm(ここでは100nm)の酸化ケイ素膜をゲート絶縁膜210として成膜する。この酸化ケイ素膜の形成には、ここではTEOSを原料とし、酸素とともに基板温度150〜600℃(好ましくは300〜450℃)でRFプラズマCVD法で分解・堆積した。
【0108】
引き続いて、図8(D)に示すように、スパッタリング法によって高融点メタルを堆積し、これをパターニング形成して、ゲート電極211n,211pとする。このときの高融点メタルとしては、タンタル(Ta)またはタングステン(W)が望ましい。この第2実施形態では、窒素が微量に添加されたTaと純Taの二層構造を用い、トータルの厚さが300〜600nm(例えば450nm)とした。
【0109】
次に、図8(D)に示すように、イオンドーピング法によって、活性領域209n,209pに、ゲート電極211n,211pをマスクとして、リン217を注入する。ドーピングガスとしてフォスフィン(PH3)を用い、ドーピング条件としては、加速電圧を60〜90kV(例えば80kV)とし、ドーズ量を2×1015〜8×1015cm-2(例えば5×1015cm-2)とした。この工程により、ゲート電極211n,211pにマスクされてリンが注入されない領域は、後にTFTのチャネル領域213n,213pとなる。また、この工程により、Nチャネル型TFTにおけるN型の不純物領域214n,215nが形成される。しかし、Pチャネル型TFTにおいては、そのソース・ドレイン領域214n’,215n’は、この段階では、リンがドーピングされた結果、N型の不純物領域となっている。
【0110】
次に、図9(A)に示すように、フォトリソグラフィ工程により、Nチャネル型TFTとなる領域上を完全に覆うように、フォトレジストにより、選択ドーピングのためのマスク219を形成する。そして、この状態で、イオンドーピング法によって、Pチャネル型TFTにおいてのみ選択的に、活性領域209pにゲート電極211pをマスクとしてホウ素218を注入する。このとき、ドーピングガスとして、ジボラン(B2H6)を用い、40kV〜80kV(例えば65kV)の加速電圧で、1×1016〜5×1016cm-2(例えば2×1016cm-2)の高ドーズ量にて、ドーピングを行う。この工程において、後のPチャネル型TFTのチャネル領域213pは、ゲート電極211pにマスクされ、ホウ素は注入されない。上記ゲート絶縁膜210越しにホウ素218がドーピングされた領域214n’,215n’は、この結果、先にドーピングされたN型不純物であるリンをキャンセルし、過剰なホウ素により反転してP型の不純物領域214p,215pが形成される(所謂カウンタードーピング)。このようして、Nチャネル型TFTとPチャネル型TFTとをそれぞれ形成することができる。
【0111】
そして、選択ドーピングのためのマスクとして用いたフォトレジストを除去した後、これを不活性雰囲気下(例えば窒素雰囲気下)にて500〜600℃の温度で数時間から数十時間の加熱処理を施す。この第2実施形態では、550℃にて6時間の処理を行った。この加熱処理により、ドライバー部のTFT活性領域中において、ソース領域214n,214pおよびドレイン領域215n,215pにドーピングされているリンがその領域に存在するニッケルをまずトラップする。
【0112】
そして、図9(B)に示すように、チャネル領域213n,213p中に存在しているニッケルを矢印208に示す方向に、すなわち隣接するソース領域214n,214pおよびドレイン領域215n,215pへと移動させる。その結果、チャネル領域213n,213p中のニッケル濃度は大幅に低減する。このときのTFTの配置は、図6(A),(B)となるようにした。すなわち、再結晶化のときのレーザー走査方向S(図7に示す)とニッケルの移動方向208とが略平行となるように設定した。このような配置とすることにより、チャネル領域213n,213p内のライン状の結晶粒群の方向とニッケルの移動方向が同方向となり、ソース・ドレイン領域へのニッケルの移動が、結晶粒界GBを越えることなく行われる。その結果、ニッケルの移動効率が向上し、チャネル内での残留量が大幅に低減できる。このときのチャネル領域213n,213p中のニッケル濃度を二次イオン質量分析法(SIMS)により測定したところ1〜3×1016atoms/cm3程度にまで低減されていた。ちなみに上記工程前の結晶性ケイ素膜中のニッケル濃度は5×1017atoms/cm3程度であった。
【0113】
また、この加熱処理により、ソース領域214n,214p、ドレイン領域215n,215pの活性化も同時に行われる。上記工程により得られたN型不純物領域214n,215nのシート抵抗値は、0.5〜1kΩ/□であり、P型不純物領域214p,215pのシート抵抗値は、2〜3kΩ/□であった。さらには、ゲート絶縁膜210の焼成処理も同時に行われ、ゲート絶縁膜自身のバルク特性および結晶性ケイ素膜/ゲート絶縁膜の界面特性の向上が図れる。
【0114】
続いて、図9(C)に示すように、厚さ900nmの酸化ケイ素膜を層間絶縁膜220としてプラズマCVD法によって形成し、これにコンタクトホール220aを形成して、金属材料、例えば窒化チタンとアルミニウムの二層膜によって電極・配線221を形成する。そして、最後に、1気圧の水素雰囲気下で350℃、1時間のアニールを行い、Nチャネル型TFT223とPチャネル型TFT224とを完成させる。さらに必要に応じて、TFT223,224を保護する目的で、TFT223,224上に窒化ケイ素膜などからなる保護膜を設けてもよい。
【0115】
上記第2実施形態において作製したCMOS構造回路において、それぞれのTFTの電界効果移動度はNチャネル型TFTで400〜450cm2/Vs、Pチャネル型TFTで150〜200cm2/Vsと高く、しきい値電圧はNチャネル型TFTで1.0V程度、Pチャネル型TFTで−1.5V程度と非常に良好な特性を示している。また、従来触媒元素を用いたときに問題となっていた特性ばらつきを、電界効果移動度で±10%程度、しきい値電圧で±0.2V程度(基板として400×320mmのサイズを用い、基板内30点測定の結果)に抑えることができ、また、繰り返し測定やバイアスや温度ストレスによる耐久性試験を行っても、ほとんど特性劣化は見られず、従来のものと比べて非常に信頼性の高安定した回路特性を示した。
【0116】
〔第3実施形態〕
図12はこの発明の第3実施形態の半導体装置の製造方法を用いた連続発振レーザーでの再結晶化工程を示す図である。
【0117】
まず、第1および第2実施形態と同様に、図12に示すように、ガラス基板301上に、膜厚300〜500nm程度の酸化ケイ素(SiO2)からなる下地膜302を形成する。この下地膜302は、ガラス基板301からの不純物の拡散を防ぐために設けられ、よりその効果を高めるために窒化ケイ素膜との2層構造として形成してもよい。
【0118】
続けて、上記下地膜302上に、膜厚20〜60nmの真性(I型)の非晶質ケイ素膜(a−Si膜)を成膜する。
【0119】
続いて、a−Si膜に触媒元素を添加し、加熱処理を行う。このa−Si膜に対して、重量換算で例えば10ppmの触媒元素(この第3実施形態ではニッケル)を含む水溶液(酢酸ニッケル水溶液)をスピンコート法で塗布して、触媒元素含有層を形成する。このとき、添加する触媒元素の量は極微量であり、a−Si膜の表面上の触媒元素濃度は、全反射蛍光X線分析(TRXRF)法により、管理される。この第3実施形態では、7×1012atoms/cm2程度である。
【0120】
なお、この第3実施形態では、スピンコート法でニッケルを添加する方法を用いたが、蒸着法やスパッタ法などにより触媒元素からなる薄膜(第3実施形態の場合はニッケル膜)をa−Si膜上に形成する手段をとってもよい。
【0121】
そして、上記触媒元素が添加された基板を不活性雰囲気下、例えば窒素雰囲気にて加熱処理を行う。この加熱処理は、550〜600℃で30分〜4時間のアニール処理を行うことが好ましい。この第3実施形態では、一例として580℃にて1時間の加熱処理を行った。この加熱処理において、a−Si膜表面に添加されたニッケルがa−Si膜中に拡散すると共に、シリサイド化が起こり、それを核としてa−Si膜の結晶化が進行する。その結果、a−Si膜は結晶化され、結晶性ケイ素膜となる。なお、ここでは炉を用いた加熱処理により結晶化を行ったが、ランプ等を熱源として用いるRTA(Rapid Thermal Annealing;瞬間アニール)装置で結晶化を行ってもよい。
【0122】
続いて、加熱処理により得られた結晶性ケイ素膜に連続発振レーザー光を照射し、連続的に走査することで、この結晶性ケイ素膜をレーザーの走査方向に沿って結晶化させる。このときの連続発振レーザー光としては、ダイオード励起の連続発振YAGレーザーを用いた。この連続発振レーザー光の波長としては532nmであり、そのときのパワー変動は1%以下であった。また、連続発振YAGレーザーの出力としては10Wで、基板に対して50〜200cm/sec、例えば100cm/secの走査速度で、連続発振レーザー光を走査した。これにより、図13に示すように、結晶性ケイ素膜は溶融し、レーザー光照射領域303と非照射領域304との境界において固液界面305が生じ、その固液界面305が、連続発振レーザー光の走査に伴って移動することで、元の結晶性ケイ素膜の結晶性を反映して一方向に沿った結晶粒群が成長する。このようにして得られた結晶粒群は、図13に示すように、レーザー走査方向403に沿って並んでいる。ここでのライン状結晶粒402間の粒界は、セコエッチングにより顕在化される粒界であり、結晶粒界401が見られるにもかかわらず、隣接するライン状結晶粒402間の面方位は、ほぼ同一の面方位となっている。
【0123】
その後、結晶性ケイ素膜の不要な部分を除去して素子間分離を行い、後にTFTの活性領域(ソース/ドレイン領域、チャネル領域)となる島状の結晶性ケイ素膜を形成した後、第1実施形態および第2実施形態に示した方法と類似の方法を用いて、TFTを完成させる。
【0124】
このように連続発振レーザーを用いて結晶性ケイ素膜を横方向(レーザー走査方向)に再結晶化を行った場合には、パルスレーザーによる再結晶化と比べて、より高いTFT特性が得られる。具体的には、Nチャネル型TFTで600cm 2 /Vs以上の電界効果移動度が得られた。
【0125】
以上、この発明に基づく第1〜第3実施形態につき具体的に説明したが、この発明は上述の第1〜第3実施形態に限定されるものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。
【0126】
例えば、上記第1〜第3実施形態においては、ニッケルを導入する方法として、非晶質ケイ素膜表面にニッケル塩を溶かした水溶液を塗布する方法を採用したが、非晶質ケイ素膜の形成前に、下地膜102,202または302の表面にニッケルを導入し、上層の非晶質ケイ素膜を結晶化することもできる。すなわち、非晶質ケイ素膜の結晶化を促進する触媒元素は、非晶質ケイ素膜の上側から導入し表面より結晶成長させても、また下側から導入して裏側より結晶成長させてもよい。また、ニッケルの導入方法としても、その他、様々な手法を用いることができる。例えば、ニッケル塩を溶かせる溶媒として、SOG(スピンオングラス)材料を溶媒としてSiO2膜より拡散させる方法もあるし、イオンドーピング法により直接導入する方法や、制御は難しいが蒸着法やメッキ法により極薄膜を形成する方法なども利用できる。さらに、結晶化を助長する不純物金属元素としては、ニッケル以外にコバルト、鉄、パラジウム、白金、銅、金を用いても同様の効果が得られる。また、ニッケル等の触媒元素をゲッタリングするための5族B元素としては、リン以外に窒素、ヒ素、アンチモン、ビスマスを利用してもよい。
【0127】
また、触媒元素により一部結晶化させたケイ素膜を、強光照射によりさらに結晶化させる手段として、波長308nmのXeC1エキシマレーザーを用いたが、その他、波長248nmのKrFエキシマレーザーや波長198nmのArFエキシマレーザーも同様に有効であるし、波長は可視領域となるが、YAGレーザーでも処理が可能である。また、上記結晶性ケイ素膜に照射するレーザー光は、第1,第2実施形態に用いたパルスレーザであってもよいし、第3実施形態に用いた連続発振レーザ光であってもよい。
【0128】
さらに、この発明の応用としては、液晶表示用のアクティブマトリクス型基板以外に、例えば、密着型イメージセンサー、ドライバー内蔵型のサーマルヘッド、有機系EL等を発光素子としたドライバー内蔵型の光書き込み素子や表示素子、三次元IC等が考えられる。この発明を用いることで、これらの素子の高速、高解像度化等の高性能化が実現される。さらに、この発明は、上記第1,第2実施形態で説明したMOS(メタル・オキサイド・セミコンダクタ)型トランジスタに限らず、結晶性半導体を素子材としたバイポーラトランジスタや静電誘導トランジスタをはじめとして幅広く半導体プロセス全般に応用することができる。
【0129】
【発明の効果】
以上より明らかなように、この発明の半導体装置およびその製造方法によれば、非常に高性能でばらつきの少ない安定した特性の半導体装置を実現でき、さらに、集積度の高い高性能な半導体装置が簡便な製造プロセスにより実現することができる。また、その製造工程において良品率を大きく向上でき、商品の低コスト化が図れる。特に液晶表示装置においては、アクティブマトリクス基板に要求される画素スイッチングTFTのスイッチング特性の向上、周辺駆動回路部を構成するTFTに要求される高性能化・高集積化を同時に満足し、同一基板上にアクティブマトリクス部と周辺駆動回路部を構成するドライバモノリシック型アクティブマトリクス基板を実現でき、モジュールのコンパクト化、高性能化、低コスト化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1はこの発明の第1実施形態の半導体装置の製造方法の概要を示す平面図である。
【図2】 図2は上記半導体装置の製造方法の概要を示す平面図である。
【図3】 図3はパルスレーザー光の走査方向を示す図である。
【図4】 図4(A)〜(D)は上記半導体装置の製造方法の作製工程を示す工程断面図である。
【図5】 図5(A)〜(C)は図4(D)に続く半導体装置の製造方法の作製工程を示す工程断面図である。
【図6】 図6はこの発明の第2実施形態の半導体装置の製造方法の概要を示す平面図である。
【図7】 図7はパルスレーザー光の走査方向を示す図である。
【図8】 図8(A)〜(D)は上記半導体装置の製造方法の作製工程を示す工程断面図である。
【図9】 図9(A)〜(C)は図8(D)に続く半導体装置の製造方法の作製工程を示す工程断面図である。
【図10】 図10は上記半導体装置の製造方法に用いられるレーザー光照射装置の概念図である。
【図11】 図11は上記レーザー光照射装置のパルスレーザー光のビーム強度のプロファイルである。
【図12】 図12はこの発明の第3実施形態の半導体装置の製造方法を用いた連続発振レーザーでの再結晶化工程を示す図である。
【図13】 図13は上記連続発振レーザーでの再結晶化によるライン状結晶粒の一例を示す図である。
【符号の説明】
101,201,301…ガラス基板、
102,202,302…下地膜、
103,203…非晶質ケイ素膜、
103a,203a…結晶性ケイ素膜、
103b,203b…結晶性ケイ素膜、
103c…ゲッタリング領域、
104,204…ニッケル、
105,205…パルスレーザー光、
106…マスク膜、
107…リン、
108,208…ニッケルの移動(ゲッタリング)方向、
109,209…TFT活性領域(素子領域)、
110,210…ゲート絶縁膜、
111,211…ゲート電極、
112…陽極酸化層、
113,213…チャネル領域、
114,214…ソース領域、
115,215…ドレイン領域、
116…パルスレーザー光、
120,220…層間絶縁膜、
121,221…電極・配線、
122…Nチャネル型TFT、
217…リン、
218…ホウ素、
219…マスク、
223…Nチャネル型TFT、
224…Pチャネル型TFT、
303…レーザー光照射領域、
304…非照射領域、
305…固液界面、
401…結晶粒界、
402…ライン状結晶粒、
403…レーザー走査方向。
Claims (17)
- 絶縁表面を有する基板上に形成された結晶性を有するケイ素膜を活性領域として用いた半導体装置において、
上記活性領域は、略一方向に沿って並んだライン状の結晶粒群により構成されており、かつ、そのライン状の結晶粒群と隣接するライン状の結晶粒群との間の結晶粒界が小傾角粒界であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
上記ライン状の結晶粒群と隣接するライン状の結晶粒群との間に形成される小傾角の結晶粒界は、結晶粒間の平面的な方位の回転角が10゜以内の小傾角粒界であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または2に記載の半導体装置において、
上記結晶粒界は、セコエッチング法によりエッチングされる位置で示され、結晶粒は、上記結晶粒界に囲まれた領域であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または2に記載の半導体装置において、
上記結晶粒群の面方位および結晶粒界での結晶方位の傾角は、EBSP法により定義される値であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1つに記載の半導体装置において、
上記半導体装置における活性領域のキャリアの移動方向と上記ライン状の結晶粒群のライン方向とが略平行であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1つに記載の半導体装置において、
上記活性領域における能動領域は、ニッケル元素を1×1016〜5×1017atoms/cm3の濃度で含有していることを特徴とする半導体装置。 - 絶縁表面を有する基板上に形成された非晶質ケイ素膜に結晶化を促進する触媒元素を導入する工程と、
上記触媒元素を導入する工程の後に加熱処理により上記非晶質ケイ素膜を結晶化させて結晶性ケイ素膜にする工程と、
上記結晶性ケイ素膜にパルスレーザー光を照射しながら、基板またはパルスレーザー光を一方向に走査することにより、前段のパルスレーザー光により再結晶化された領域の結晶性を反映して順次再結晶化させる工程とを有すると共に、
上記結晶性ケイ素膜にパルスレーザー光を照射する工程において、上記パルスレーザー光の走査ピッチは、上記パルスレーザー光照射時に溶融する領域が、その領域に隣接する非溶融領域の結晶性を反映して再結晶化できる長さ以下であり、
上記結晶性ケイ素膜にパルスレーザー光を照射する工程において、上記パルスレーザー光の走査方向におけるビーム強度のプロファイルは、少なくとも走査方向に対して後ろ側のビーム強度が一定強度から0まで急激に低下する形状であり、
上記結晶性ケイ素膜にパルスレーザー光を照射する工程において、上記基板またはパルスレーザー光を一方向に走査することにより、前段のパルスレーザー光により結晶化された領域の結晶性を反映して順次再結晶化させるとき、少なくともパルスレーザー光照射前の結晶性ケイ素膜の元の結晶状態が失われない範囲の強度のパルスレーザー光で行われることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7に記載の半導体装置の製造方法において、
上記パルスレーザー光の走査ピッチが0.1μm〜1μmであることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7または8に記載の半導体装置の製造方法において、
上記結晶性ケイ素膜にパルスレーザー光を照射する工程において、
上記パルスレーザー光の結晶性ケイ素膜表面に照射されるビーム形状は、略長尺矩形形状であり、その長尺方向に対して直角方向にパルス走査が行われることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7に記載の半導体装置の製造方法において、
上記結晶性ケイ素膜にパルスレーザー光を照射する工程において、上記パルスレーザー光の走査方向に対して、パルスレーザー光の少なくとも後ろ側の一部を機械的にマスクするレーザー光照射装置を用いることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項10に記載の半導体装置の製造方法において、
上記結晶性ケイ素膜にパルスレーザー光を照射する工程において、上記パルスレーザー光の走査方向におけるビーム強度のプロファイルは、少なくとも上記結晶性ケイ素膜の再結晶化工程に必要とする強度から連続的にゼロまで低下する範囲をマスクしてその範囲の強度をゼロとすることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7から11までのいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法において、
上記パルスレーザー光として、波長400nm以下のエキシマレーザー光を用い、上記結晶性ケイ素膜表面に対するエネルギー密度が200〜450mJ/cm2となる範囲内で照射することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7に記載の半導体装置の製造方法において、
上記結晶性ケイ素膜にレーザー光を照射する工程において、上記レーザー光の走査方向に対して上記活性領域に流れるキャリアの方向が略平行になるようにすることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7に記載の半導体装置の製造方法において、
上記非晶質ケイ素膜の結晶化を促進する触媒元素として、Ni、Co、Fe、Pd、Pt、Cu、Auのうちの少なくとも1種類の元素を用いることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7に記載の半導体装置の製造方法において、
上記結晶性ケイ素膜にレーザー光を照射する工程の後に、少なくとも上記活性領域の能動領域となる以外の上記結晶性ケイ素膜の領域に5族Bから選ばれた元素を導入する工程と、
上記5族Bから選ばれた元素を導入する工程の後に、加熱処理により上記5族Bから選ばれた元素が導入された領域に上記触媒元素を移動させて、上記能動領域中の触媒元素量を低減する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項15に記載の半導体装置の製造方法において、
上記加熱処理によって上記5族Bから選ばれた元素が導入された領域に上記触媒元素を移動させて、上記能動領域中の触媒元素量を低減する工程において、上記触媒元素の移動方向と上記レーザー光の走査方向とが略平行であることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項15または16に記載の半導体装置の製造方法において、
上記5族Bから選ばれた元素として、P、N、As、Sb、Biのうちの少なくとも1種類の元素を用いることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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