JP5907530B2 - レーザアニール方法およびレーザアニール装置 - Google Patents
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Description
このレーザアニール処理では、光学系を通してレーザのビーム形状を所定形状に整形し、また、ビーム強度がビーム断面において一様(トップフラット:平坦部)になるようにしており、さらには必要に応じてビームを集光して被処理物に照射している。
このため、従来のレーザアニールでは、マスクやスリットを使用することなく、スティープネス部の短軸方向幅をレーザ照射に際し比較的支障がないと考えられている70〜100μm程度にすることで、強度突部の出現を避け、かつ光学部材の設計を容易にしている。
本願発明者らの研究によれば、上記照射ムラは、ラインビームの走査方向端部のポリシリコン膜の盛り上がりがショット毎で不均一に形成されることが原因と考えられる。この部分はレーザ照射による半導体膜の溶融部と半導体膜が溶融するのに十分な強度を有するレーザが照射されず固体のままである部分の境目に相当する。この盛り上がりは、照射エネルギーの強度に比例して大きくなると考えられる。すなわち、照射エネルギーが大きくなるに従い半導体膜の膜厚方向に溶融が進み、また膜全体が溶融した後も液体となった半導体膜層の温度が増大する。この液相部分が温度低下に伴い結晶化する際に、より先行して温度が低下し始める固液界面すなわちラインビーム短軸エッジ部に液体が吸い寄せられつつ固化するため、盛り上がりが生じると考えられる。この盛り上がりが所定の間隔で同等の高さで形成されている限りは照射ムラは大きく目立つものではない。
前記ラインビームが、ビーム強度プロファイルにおいて、短軸方向で、平坦部と、短軸方向端部に位置するスティープネス部を有し、前記スティープネス部が前記ビーム強度プロファイルにおける最大強度の10%以上90%以下の強度を有する領域であり、前記平坦部が前記非単結晶半導体膜の照射面上で、最大強度の96%以上の領域の短軸方向幅が100〜500μmであり、
前記スティープネス部のうち走査方向後方側に位置する前記スティープネス部の短軸方向幅が前記非単結晶半導体膜の照射面上で50μm以下になるように、前記平坦部の短軸走査方向後方側で前記最大強度に対し70〜90%となる強度範囲の位置から短軸方向外側に遮蔽を行うことを特徴とする。
パルスレーザを出力するレーザ光源と、
前記パルスレーザの透過率を調整するアテニュエータと、
前記パルスレーザのビーム断面形状を整形するとともに整形されたパルスレーザを非単結晶半導体膜の照射面上に導く光学系と、を有し、
前記光学系は、前記パルスレーザのビーム断面形状をビーム強度プロファイルにおいて所定の強度以上の高強度領域を有し、ビーム強度プロファイルにおいて、短軸方向で、平坦部と、短軸方向端部に位置するスティープネス部を有し、前記スティープネス部が前記ビーム強度プロファイルにおける最大強度の10%以上90%以下の強度を有する領域であり、前記平坦部が前記非単結晶半導体膜の照射面上で、最大強度の96%以上の領域の短軸方向幅が100〜500μmであるラインビームに整形する光学部材と、前記ラインビームの短軸方向端部に位置するスティープネス部のうち少なくとも走査方向後方側の短軸方向幅を前記非単結晶半導体膜の照射面上で50μm以下になるように、前記パルスレーザの光路に配置され、前記パルスレーザのビーム断面に対し、前記平坦部の短軸走査方向後方側で前記最大強度に対し70〜90%となる強度範囲の位置から短軸方向外側に遮蔽を行う遮蔽部とを備えることを特徴とする。
なお、スティープネス部は、エネルギー強度が外側に向かって減少していく部分であって、短軸方向のビーム強度プロファイルにおける最大強度の10%以上90%以下の強度を有する領域をいう。
スティープネス部の幅を小さく(50μm以下)した本願発明では、エネルギー変動による影響が大幅に小さくなり、その結果、照射ムラを小さくすることができる。
なお、スティープネス部の幅は、同様の理由でさらに45μm以下とするのが望ましい。
なお、高強度領域は、前記した平坦部の他、短軸方向で強度が傾斜傾向を有するものや強度が曲線状分布となるものなどが挙げられ、その間に最大強度を有している。
この遮蔽部は、前記高強度領域の短軸方向端よりも外側で前記パルスレーザのビーム断面の一部を遮蔽するのが望ましい。パルスレーザビームの一部を遮蔽した場合、回折現象により透過部分の端部で強度が高まり、強度突部が形成されるのは前記したとおりである。この現象を利用して高強度領域の外側で強度が低下し始めている部分で遮蔽を行うと、強度突部が生じないか、ごく小さいものにすることができる。ただ、あまりに外側で遮蔽すると、高強度領域の外側で強度が一旦低下し、その外側で強度が上昇する強度プロファイルになるので、適宜強度の位置で遮蔽を行うのが望ましい。例えば、最大強度に対し70〜90%となる強度範囲の位置で遮蔽を行うのが望ましい。
レーザアニール装置1は、処理室2を備えており、処理室2内にX−Y方向に移動可能な走査装置3を備え、その上部に基台4を備えている。基台4上には、ステージとして基板配置台5が設けられている。走査装置3は、図示しないモータなどによって駆動される。
また、処理室2には、外部からパルスレーザを導入する導入窓6が設けられている。
なお、本実施形態では、非晶質膜をレーザ処理により結晶化するレーザ処理に関するものとして説明するが、本発明としてはレーザ処理の内容がこれに限定されるものではなく、例えば、非単結晶の半導体膜を単結晶化したり、結晶半導体膜の改質を行うものであってよい。
パルス発振レーザ光源10においてパルス発振されて出力されるパルスレーザ15は、例えば、波長400nm以下、パルス半値幅が200ns以下のものとされる。ただし、本発明としてはこれらに限定されるものではない。
パルスレーザ15は、アテニュエータ11でパルスエネルギー密度が調整される。アテニュエータ11は所定の減衰率に設定されており、シリコン膜100への照射面上で所定の照射パルスエネルギー密度が得られるように、減衰率が調整される。例えば非晶質のシリコン膜100を結晶化するなどの場合、その照射面上において、エネルギー密度が150〜500mJ/cm2望ましくは、250〜500mJ/cm2となるように調整することができる。
パルスレーザ150は、図3に示すように、最大エネルギー強度に対し平坦部151を含む96%以上となる高強度領域と、長軸方向の両端部に位置し、前記平坦部151よりも小さいエネルギー強度を有し、外側に向けて次第にエネルギー強度が低下するスティープネス部152とを有している。スティープネス部は、最大強度の10%〜90%の範囲の領域である。
また、遮蔽部20は、平坦部の強度よりも低い強度位置でパルスレーザ150を遮蔽するため、平坦部を遮蔽する場合よりもシリコン膜100に近い位置に設置しても遮蔽部に対するダメージが少ない。シリコン膜100に近い位置に設置することでスティープネス部153の拡がりをより少なくすることができ、その短軸幅を照射面上で50μm以下にすることができる。この点で、平坦部において遮蔽を行う従来のマスクやスリットに対し、特異性を有している。
パルスレーザ150は、上記のようにスティープネス部153の幅が50μm以下に小さくなっており、仮に、パルスレーザ15の出力が変動した場合でも、溶融閾値以上の領域の幅の大きさの変動率を小さく抑えることができる。例えば、図5に示すように、出力エネルギーが10%増加した場合でもスティープネス部153の幅が50μm以下の場合、溶融閾値以上の領域の幅の変動を0.95%以下に抑えることができる。
なお、第1遮蔽部21、第2遮蔽部22では、対となる2つの遮蔽板を互いの間隙量を設けて配置し、パルスレーザの走査方向両端部を遮蔽するように配置してもよい。
この第1遮蔽部21では、高強度領域の短軸方向端よりも外側で前記パルスレーザのビーム断面の一部を遮蔽するのが望ましく、さらにビーム強度プロファイルにおける最大強度の70〜90%の位置に配置されているのが望ましい。
この第2遮蔽部22では、高強度領域の短軸方向端よりも外側で前記パルスレーザのビーム断面の一部を遮蔽するのが望ましく、第1遮蔽部21を通過後のビーム強度プロファイルにおける最大強度の70〜90%の位置に配置されているのが望ましい。
50nm厚のアモルファスシリコン膜が形成された基板を用意し、図1の実施形態のレーザ処理装置において、パルス発振レーザ光源をエキシマレーザ発振器(商品名:LSX540C)とし、波長308nmのパルスレーザをパルス周波数300Hzで出力するものとした。
光学系によってビームサイズを370mm×0.4mmのラインビームに整形し、マスクによってビーム走査方向における短軸方向後端部のスティープネス部の幅を40μmとした。また、比較のため、マスクをアモルファスシリコン膜に対し高位置に配置し、短軸方向のスティープネス部の幅を70μmとしたものを用意した。
さらに、アテニュエータの調整によって照射エネルギー密度を310、320、330、340、350、360、370mJ/cm2で変更した照射試験を行い、結晶性を評価した。この例の結晶化に際しての最適エネルギー密度範囲(OED)は310〜340mJ/cm2であったが、エネルギー密度の変動による影響をより顕著にするため、350mJ/cm2の試験例について、光学顕微鏡により表面観察を行い、暗視野観察で得られた表面像を図7に示した。
その結果、発明例では、ショット毎の短軸方向溶融領域端部の盛り上がりの間隔が一定の値すなわち20μmとなっているため照射ムラとして認識されなかった。
比較例では、レーザショット毎のシリコン膜の機械的移動量が20μmであるにも拘らず、実際の溶融幅が広くなって短軸方向溶融領域端部の盛り上がりが大きくなっている部分が生じていた。この部分を照射した際のレーザのパルスエネルギーが相対的に高い値で推移していたことが原因であり、照射ムラとして認識された。
1a レーザアニール装置
2 処理室
3 走査装置
5 基板配置台
6 導入窓
10 パルス発振レーザ光源
11 アテニュエータ
12 光学系
12c シリンドリカルレンズ
20 遮蔽部
21 第1遮蔽部
22 第2遮蔽部
100 シリコン膜
Claims (11)
- 非単結晶半導体膜上に、ビーム断面形状をラインビームとしたパルスレーザを前記ラインビームの短軸方向に走査しつつ照射するレーザアニール方法において、
前記ラインビームが、ビーム強度プロファイルにおいて、短軸方向で、平坦部と、短軸方向端部に位置するスティープネス部を有し、前記スティープネス部が前記ビーム強度プロファイルにおける最大強度の10%以上90%以下の強度を有する領域であり、前記平坦部が前記非単結晶半導体膜の照射面上で、最大強度の96%以上の領域の短軸方向幅が100〜500μmであり、
前記スティープネス部のうち走査方向後方側に位置する前記スティープネス部の短軸方向幅が前記非単結晶半導体膜の照射面上で50μm以下になるように、前記平坦部の短軸走査方向後方側で前記最大強度に対し70〜90%となる強度範囲の位置から短軸方向外側に遮蔽を行うことを特徴とするレーザアニール方法。 - 前記パルスレーザの波長が400nm以下であることを特徴とする請求項1記載のレーザアニール方法。
- 前記パルスレーザの照射面上におけるパルス半値幅が200ns以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のレーザアニール方法。
- 前記パルスレーザは、照射面上において前記ビーム強度プロファイルにおける最大強度の値が250〜500mJ/cm2であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のレーザアニール方法。
- 前記非単結晶半導体がシリコンであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のレーザアニール方法。
- 前記最大強度は、前記平坦部における強度の平均値で与えられることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のレーザアニール方法。
- 前記パルスレーザは、ビーム強度プロファイルにおいて、両端部のいずれか一方または両方に局所的に強度が上昇する強度突部を有する場合、前記強度突部を除いた範囲で前記最大強度が与えられることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のレーザアニール方法。
- パルスレーザを出力するレーザ光源と、
前記パルスレーザの透過率を調整するアテニュエータと、
前記パルスレーザのビーム断面形状を整形するとともに整形されたパルスレーザを非単結晶半導体膜の照射面上に導く光学系と、を有し、
前記光学系は、前記パルスレーザのビーム断面形状をビーム強度プロファイルにおいて所定の強度以上の高強度領域を有し、ビーム強度プロファイルにおいて、短軸方向で、平坦部と、短軸方向端部に位置するスティープネス部を有し、前記スティープネス部が前記ビーム強度プロファイルにおける最大強度の10%以上90%以下の強度を有する領域であり、前記平坦部が前記非単結晶半導体膜の照射面上で、最大強度の96%以上の領域の短軸方向幅が100〜500μmであるラインビームに整形する光学部材と、前記ラインビームの短軸方向端部に位置するスティープネス部のうち少なくとも走査方向後方側の短軸方向幅を前記非単結晶半導体膜の照射面上で50μm以下になるように、前記パルスレーザの光路に配置され、前記パルスレーザのビーム断面に対し、前記平坦部の短軸走査方向後方側で前記最大強度に対し70〜90%となる強度範囲の位置から短軸方向外側に遮蔽を行う遮蔽部とを備えることを特徴とするレーザアニール装置。 - 前記レーザ光源は、波長が400nm以下の前記パルスレーザを出力するものであることを特徴とする請求項8に記載のレーザアニール装置。
- 前記前記レーザ光源は、半値幅が200ns以下の前記パルスレーザを出力するものであることを特徴とする請求項8または9に記載のレーザアニール装置。
- 前記アテニュエータは、非単結晶半導体膜の照射面上における前記パルスレーザのビーム強度プロファイルにおける最大強度を250〜500mJ/cm2に調整することを特徴とする請求項8〜10のいずれかに記載のレーザアニール装置。
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