JP4291117B2 - クリーンオーブン - Google Patents
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Description
前記内槽と前記外槽との間に、窒素等の不活性ガスを内槽に循環させるための
前記内槽の下側に位置に、前記内槽の底面に貫通させて設けられるシャフトによって被処理物のカセットを支持して上下に移動させる昇降装置を設け,
前記外槽の前面側に、前記内槽内に連通し、裏面に枠状にシール部材が取り付けられた第1の開閉扉によって気密に塞がれる開口を設けると共に、前記外槽の裏面側に前記第1の開閉扉よりも小型の第2の開閉扉を設け,
前記第1の開閉扉の裏面に設けられたシール部材を、発塵性の少ないフッ素ゴムで構成し、前記ファンの回転軸の周囲を、フェローシールと称される低蒸発性の磁性流体を磁気回路で封止してなるシール機構によりガスや蒸気、霧、微細粒子が通過できないようにシールすると共に、このシール部分からの発塵が生じないように構成し,
前記第1の開閉扉の前記シール部材が接する前記開口の周縁部に、冷却水を循環させるための冷却水路を設けると共に、前記ファンの回転軸の周囲に冷却水を循環させるための冷却水路を設けることにより、上記従来の問題点を解決した。
また、上記課題を解決するため請求項2に記載のクリーンオーブンは、請求項1に記載のクリーンオーブンにおける前記クリーンオーブンに,前記内槽に窒素ガスなどの不活性ガスを供給する不活性ガスの供給口と、前記内槽から送出される窒素ガスなどの不活性ガスを排気する不活性ガスの排気口とを設け,前記不活性ガスの供給管路中にソレノイドバルブとニードルバルブを設けることにより,上記従来の問題点を解決した。
さらに、上記課題を解決するため請求項3に記載のクリーンオーブンは、請求項1又は2に記載のクリーンオーブンにおける前記被処理物のカセットの清浄度を,ガラスなどの基板に液体を接触させた際に形成される液滴の液滴頂点と液滴端とを結ぶ線が固液界面(水平線)となす角θB と、液滴端での接線が固液界面となす角度θA とが1:2の関係とすることにより、上記従来の問題点を解決した。
さらにまた、上記課題を解決するため請求項3に記載のクリーンオーブンは、請求項3に記載のクリーンオーブンにおいて、前記液滴頂点と液滴端とを結ぶ線が固液界面(水平線)となす角θB を,5度にすることによって、上記従来の問題点を解決した。
2 内槽
3 外槽
4 ヒータ
5 ファン
6 フィルタ
7 昇降装置
7a シャフト
8,9 開閉扉
10 モータ
11 操作パネル
12 被処理物のカセット
13 通気路
Claims (4)
- 外槽と内槽の二槽構造に構成してなり、前記内槽内に気体を供給するためのファンと、前記内槽内に送り込まれる気体から塵埃を除去し、清浄化するための捕集率グレードのフィルタと、前記循環する気体を加熱するためのヒータを設け、前記フィルタを通して前記ヒータで加熱した気体を前記内槽に循環させるようにしてなるクリーンオーブンにおいて,
前記内槽と前記外槽との間に、窒素等の不活性ガスを内槽に循環させるための通気路を形成し、前記ファンによって前記通気路中に気体を循環させ,
前記内槽の下側に位置に、前記内槽の底面に貫通させて設けられるシャフトによって被処理物のカセットを支持して上下に移動させる昇降装置を設け,
前記外槽の前面側に、前記内槽内に連通し、裏面に枠状にシール部材が取り付けられた第1の開閉扉によって気密に塞がれる開口を設けると共に、前記外槽の裏面側に前記第1の開閉扉よりも小型の第2の開閉扉を設け,
前記第1の開閉扉の裏面に設けられたシール部材を、発塵性の少ないフッ素ゴムで構成し、前記ファンの回転軸の周囲を、フェローシール(登録商標)と称される低蒸発性の磁性流体を磁気回路で封止してなるシール機構によりガスや蒸気、霧、微細粒子が通過できないようにシールすると共に、このシール部分からの発塵が生じないように構成し,
前記第1の開閉扉の前記シール部材が接する前記開口の周縁部に、冷却水を循環させるための冷却水路を設けると共に、前記ファンの回転軸の周囲に冷却水を循環させるための冷却水路を設け,
たことを特徴とするクリーンオーブン。 - 前記クリーンオーブンには,
前記内槽に窒素ガスなどの不活性ガスを供給する不活性ガスの供給口と、前記内槽から送出される窒素ガスなどの不活性ガスを排気する不活性ガスの排気口とを設け,
前記不活性ガスの供給管路中にソレノイドバルブとニードルバルブを設け,
たことを特徴とする請求項1に記載のクリーンオーブン。 - 前記被処理物のカセットの清浄度は,
ガラスなどの基板に液体を接触させた際に形成される液滴の液滴頂点と液滴端とを結ぶ線が固液界面(水平線)となす角θB と、液滴端での接線が固液界面となす角度θA とが1:2の関係である
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のクリーンオーブン。 - 前記液滴頂点と液滴端とを結ぶ線が固液界面(水平線)となす角θB は,
5度であることを特徴とする請求項3に記載のクリーンオーブン。
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