JP4286240B2 - 磁歪材料の製造方法 - Google Patents
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Description
この磁歪材料は、リニアアクチュエータ、振動子等に用いる場合、付与する磁界を変化させることで、磁歪材料の寸法を変化させて駆動力を発生している。
また、磁歪材料を圧力トルクセンサ、振動センサ、ジャイロセンサ等に用いる場合は、外部から加わった圧力によって磁歪材料の寸法が変化し、これに伴って変化する透磁率を検出することで、センシングを行っている。
その結果、最終的に得られる磁歪材料には、ガス化した水素の気泡によって巣が発生し、磁歪材料の強度低下、磁気特性の低下等を招き、歩留まりを低下させる要因となる。図1に巣が発生した磁歪材料の断面を示すが、巣は300μm以上の径を有する空孔が連続的に存在した形態を有している。図2に空孔径と圧縮強度との関係を示すが、空孔径が大きくなると圧縮強度が低下する。
昇温過程において、減圧処理を行う領域以外の領域は、不活性ガス雰囲気又は不活性ガスと水素ガスとの混合ガス雰囲気とすることが好ましい。安定過程における雰囲気も同様であり、不活性ガス雰囲気又は不活性ガスと水素ガスとの混合ガス雰囲気とすることが好ましい。磁歪材料の酸化防止のためである。
図3は、本発明の実施形態である磁歪材料の製造方法を示すフローチャートであり、以下このフローチャートを参照しつつ本実施の形態による磁歪材料の製造方法を説明する。
本実施の形態による磁歪材料の製造方法は、磁場中での成形で高い配向を得るため、式(1): (Tbx Dy1-x )Ty(式(1)において、Tは、Fe、Co及びNiの群から選択される少なくとも1種類の元素であり、x及びyは原子比を表わし、0.35<x≦0.5、1.7≦y≦2.0である)で表される合金組成を有するA原料粉末と、式(2):DytT1―t(式(2)において、tは原子比を表し、0.4≦z<1.0である)で表される合金組成を有するB原料粉末と、Tを含むC原料粉末を含む原料組成物を、磁場中で成形した後、焼結することにより、式(3):(TbvDy1―v )Tw(式(3)において、v及びwは原子比を表し、0.27≦v<0.5、1.7≦w≦2.0である)で表される組成を有する磁歪材料を製造する。
A原料粉末は、磁場中成形により磁化容易軸が十分に配向可能な程度の結晶磁気異方性をもち、かつその磁化容易軸が[111]軸である。しかし、A原料粉末のみからなる焼結体は、結晶磁気異方性が大きすぎるため、磁歪材料として用いるときの磁場応答性が悪く実用的ではない。そこで、A原料粉末にB原料粉末、C原料粉末を加えたものを磁場中成形して焼結する。焼結の際には元素拡散が生じるため、Tb0.3Dy0.7 Fe2.0 付近の組成をもつ多結晶磁歪材料が得られる。この多結晶磁歪材料は、A原料粉末の[111]軸配向が維持されているため磁歪が大きく、しかも、磁歪材料として適度な結晶磁気異方性を有するため、良好な磁場応答性が得られる。
好ましいvは0.27≦v≦0.40、より好ましいvは0.27≦v≦0.36である。また、好ましいwは1.80≦w≦1.95、より好ましいwは1.83≦w≦1.92である。
A原料粉末の重量百分率をa、B原料粉末の重量百分率をb、C原料粉末の重量百分率をcとしたとき、A原料粉末は、好ましくは50≦a<100、より好ましくは60≦a≦95とする。aが小さすぎる場合、すなわち、磁場中成形において配向するA原料粉末の比率が低い場合、焼結後の結晶の配向度が低くなる。一方、aが大きすぎる場合、A原料粉末の組成が最終組成に近いということであり、磁場配向を容易にするためにA原料粉末を用いる意味がなくなる。
B原料粉末は、好ましくは0<b≦40、より好ましくは5≦b≦30とする。B原料粉末は 焼結の際に融剤として働くため、bが小さすぎると焼結が進みにくくなって緻密な磁歪材料が得にくくなる。一方、bが大きすぎると、aが小さくなりすぎて、上記弊害が生ずる。
C原料粉末は、a+b+c=100となるように添加される。
A原料として、Tb、Dy、Feを上記式(1)に該当するように秤量して、例えばArガスの不活性雰囲気中で溶融して合金を作製する。この合金を、1150〜1250℃程度の温度で熱処理を行い、合金作製時の各金属元素の濃度分布を一様にし、また、析出した異相を消滅させることができる。次に、このA原料を、平均粒径で5〜20μm程度まで粉砕処理して、A原料粉末を得る。
水素吸蔵における急激な発熱の抑制、炉材の保護のためである。
B原料粉末に含まれる水素量は前述したように、7000〜15000ppmとするのが好ましい。B原料粉末には、水素吸蔵処理が施されることで割れが発生する。B原料粉末がこの割れによって5〜200μm程度まで微粉化される。なお、水素吸蔵処理を行う温度は、100〜200℃とすることが好ましく、この温度であれば、保持時間を1〜20時間とすれば、B原料粉末に上記量の水素を含有させることができる。なお、保持時間による水素量は、B原料粉末の大きさにも依存する。
以上のA原料粉末、B原料粉末及びC原料粉末を、Tb0.34Dy0.66Fe1.87の最終組成になるように秤量、混合した。
パターン1:800℃まで昇温後、急冷
パターン2:1000℃まで昇温後、急冷
パターン3:1150℃まで昇温後、急冷
パターン4:1175℃まで昇温後、急冷
パターン5:1200℃まで昇温後、急冷
Ar雰囲気で昇温を開始し、950℃に達したら水素ガスを焼結炉内に導入して、焼結雰囲気をArガスと水素ガスとの混合ガス(水素ガス濃度:30%)雰囲気とする。さらに1200℃まで昇温した後に焼結炉内をArガス雰囲気に戻し、1225℃(安定温度)で3時間焼結を行った。安定温度までの昇温の過程の所定温度で減圧処理した。減圧処理は、−0.06MPa Gにした後に大気圧に戻し、さらに−0.06MPa Gにするという処理を、当該温度で6回繰り返すというものである。
なお、以上は、本発明に対する比較例である。
熱処理なし:粉末水素量;1950ppm、成形体水素量;2000ppm
熱処理 300℃:粉末水素量;1380ppm、成形体水素量;1400ppm
熱処理 500℃:粉末水素量;1220ppm、成形体水素量;1250ppm
熱処理 700℃:粉末水素量;1250ppm、成形体水素量;1270ppm
Claims (5)
- 水素吸蔵処理が施された原料合金粉末を含む原料組成物を磁場中成形して成形体を得る成形工程と、
前記成形体を焼結する焼結工程と、
を備え、
前記焼結工程は、所定の安定温度まで昇温する昇温過程と、前記安定温度で所定時間保持する安定過程とを含み、
前記昇温過程における900〜1150℃の温度範囲で雰囲気の圧力を−0.08〜−0.04MPa G(ゲージ圧)とする減圧処理を行い、
前記原料組成物は、
式(1):(Tb x Dy 1−x )T y (Tは、Fe、Ni、Coの群から選択される少なくとも1種類の元素であり、x、yは0.35<x≦0.5、1.7≦y≦2.0の範囲)で表される合金組成を有するA原料粉末と、
式(2):Dy t T 1−t (tは0.4≦t<1.0の範囲)で表される合金組成を有するB原料粉末と、
Tを含有するC原料粉末とを含み、
前記B原料粉末が、前記水素吸蔵処理が施された水素量が7000〜15000ppmの原料合金粉末であることを特徴とする磁歪材料の製造方法。 - 前記安定過程における前記安定温度は1150〜1250℃であることを特徴とする請求項1に記載の磁歪材料の製造方法。
- 前記昇温過程において、前記減圧処理を行う領域以外の領域は、不活性ガス雰囲気又は不活性ガスと水素ガスとの混合ガス雰囲気とすることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁歪材料の製造方法。
- 前記B原料粉末は、前記水素吸蔵処理を施した後に、不活性ガス雰囲気中、200〜800℃で熱処理して得られたものであることを特徴とする請求項1に記載の磁歪材料の製造方法。
- 前記水素吸蔵処理が、水素ガスと不活性ガスとの混合雰囲気で行われることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の磁歪材料の製造方法。
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