JP4285356B2 - 赤外線検知素子 - Google Patents
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このような赤外線検知素子においては、赤外線吸収部の面に対して垂直方向に加速度が加わった場合に、梁に曲げ応力と同時にねじり応力が加わる。
一般的に、赤外線検知素子における熱電対は、高感度化のために、対数を増やし、1つの梁上に複数本の例えばポリSi等の導電体を設けて構成されることが多く、下記特許文献1の赤外線検知素子でも、1本の梁上に1対2本の熱電対が設けられている。ただし、2本の熱電対は互いに平行になっている。
本発明は、機械的強度の大きい赤外線検知素子を提供することにある。
実施の形態1
図1〜図3を用いて本発明の実施の形態1について説明する。
図1(a)〜(f)は、本発明の実施の形態1の赤外線検知素子の構造を説明する図である。
図1(a)、(f)は本実施の形態1の構造を示し、(b)、(c)、(d)、(e)はポリSi抵抗膜からなる2本の熱電対が互いに平行な構造を示し、本実施の形態1の構造と比較して説明するための図である。(a)は赤外線検知素子の上面図、(b)、(c)は赤外線検知素子の斜視図、(d)、(f)は赤外線検知素子の梁の上面図、(e)は振動した際の梁の上面図である。
図1(a)〜(f)において、1は例えばSi等からなる基板、2は赤外線吸収部(すなわち、赤外線検知部。受光部)、3は梁、4は2本のポリSi抵抗膜から構成される熱電対である。
図1に示すような赤外線検知素子は、基板1と、赤外線吸収部2と、赤外線吸収部2と基板1とを接続する少なくとも1本の梁3と、梁3の上に設けられた少なくとも2本の熱電対4とを具備する。
梁3は、ここでは2本設けられ、基板1に対して中央の赤外線吸収部2を2本のL字型の梁3で支えている。
梁3上にはそれぞれ複数のポリSi抵抗膜で構成された熱電対4が形成されている。熱電対4は、ここでは2本のp型、n型のポリSi抵抗膜から構成されている。
なお、赤外線吸収部2と基板1とは、例えば基板1の上面に形成された四角錐状の空隙(熱分離領域)により熱分離された構造となっている。
本実施の形態1の赤外線検知素子の構造は、(f)に示すように、梁3に設けられた熱電対4の間隔が該梁3の中央部と端部とで異なっている。ここでは、熱電対4は、梁3の長手方向の中央部では互いの間隔が狭く、端に行くに従って間隔が広くなっており、X字型になっている。
今、梁3のAA’端を長手方向の中心を軸に角度Θだけ回転するとする。A’は上へX=(a/2)×sinΘだけ変位し、中間のc’はその半分のX’=(a/4)×sinΘだけ上に変位する。したがって、熱電対4が互いに平行に形成されている(b)においては、梁3の長さの半分の長さL/2に対してX−X’の変位が加わる。
一方、ポリSi間隔が中央で狭くなっている(d)においては、熱電対4に長さL/2に対してより大きなXの変位が加わる(Dは変位しないため)。逆に、同じねじり応力が梁3に加わる場合には、(d)は(b)に比べて変位が少なくなる。すなわち、梁3の剛性が向上することを意味する。以上の理由で、赤外線吸収部2を含めた梁3全体の剛性が向上して共振周波数が上昇する。その結果、振動する物、例えば車両等に本実施の形態1の赤外線検知素子を設置した場合、当該赤外線検知素子が破壊される可能性を低減できる。
図4は、本発明の実施の形態2の赤外線検知素子を示す図で、梁3の上面図である。本実施の形態2では、梁3の中央部の熱電対4の間隔が端部の間隔に比べて広くなっている。
このような構成においても、上記実施の形態と同様の効果を有する。すなわち、熱電対4の間隔を梁3の端で狭く、真ん中で広くすることにより、梁3のねじり剛性が高くなり、熱分離構造全体の共振周波数が高くなり、破壊される可能性が低くなる。
図5は、本発明の実施の形態3の赤外線検知素子を示す図で、梁3の上面図である。本実施の形態3では、梁3上の2本の熱電対4が、梁3の中央部にて交差している。そして、交差している2本の熱電対4のうちの1本は、金属配線、例えばAl配線5によって接続されている。
ポリSiからなる熱電対4は同一工程において同一の層を用いて形成される。その後、絶縁層を介してAl配線5を形成する。このようにAl層5を利用して梁3の中央部で熱電対4を立体交差させる。
本実施の形態3では、少なくとも1本の熱電対4を梁3の対角線に沿って形成でき、熱電対4を交差することができるので、上記実施の形態1、2に比べて梁3のねじり剛性をさらに向上させることができる。
3…梁 4…熱電対
5…Al配線
Claims (2)
- 基板と、
赤外線吸収部と、
前記赤外線吸収部と前記基板とを接続する少なくとも1本の梁と、
同一の前記梁の上に前記梁の長手方向に沿って設けられた少なくとも2本の熱電対と、
を具備する赤外線検知素子において、
同一の前記梁に設けられた前記熱電対の間隔が、前記熱電対の端部に比べて前記熱電対の中央部で狭くなっており、
少なくとも2本の前記熱電対が、同一の前記梁の中央部にて絶縁層を介して立体交差していることを特徴とする赤外線検知素子。 - 前記立体交差している2本の前記熱電対のうちの1本は、前記立体交差している部分に設けた配線によって互いに接続されていることを特徴とする請求項1記載の赤外線検知素子。
Priority Applications (2)
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2004225101A JP4285356B2 (ja) | 2004-08-02 | 2004-08-02 | 赤外線検知素子 |
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JP2006046981A JP2006046981A (ja) | 2006-02-16 |
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2004
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JP2006046981A (ja) | 2006-02-16 |
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