JP4285197B2 - 回路基板の製造方法及び回路基板 - Google Patents
回路基板の製造方法及び回路基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4285197B2 JP4285197B2 JP2003367457A JP2003367457A JP4285197B2 JP 4285197 B2 JP4285197 B2 JP 4285197B2 JP 2003367457 A JP2003367457 A JP 2003367457A JP 2003367457 A JP2003367457 A JP 2003367457A JP 4285197 B2 JP4285197 B2 JP 4285197B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit board
- circuit
- organic compound
- metal nanoparticles
- conductive paste
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
金属ナノ粒子として日本ペイント株式会社製金ナノ粒子(粒子径5〜20nm)を用い、この金ナノ粒子を20質量%、有機化合物を3質量%、エノタール77質量%の比率で含有する導電性ペーストを調製した。
実施例1で得た導電性ペーストを用い、厚さ0.4mmのガラス基板の上に実施例1と同様にして回路パターンを描画した。そして実施例1と同様にして回路パターンに酸素プラズマ処理を施したところ、プラズマ処理時間10分で比抵抗値0.94×10−5Ω・cmであり、電気回路として十分な導電性を有するものであった。
実施例1で得た導電性ペーストを用い、厚さ0.4mmのガラス基板の上に実施例1と同様にして回路パターンを描画した。そして200℃、30分の加熱条件で熱処理を行なったところ、回路パターンに電気伝導性を得ることはできなかった。また250℃、30分の加熱条件で熱処理をおこなったところ、回路パターンは比抵抗値0.67×10−5Ω・cmであった。
Claims (4)
- 平均粒径が1〜100nmの金属ナノ粒子の表面を有機化合物で被覆した材料を含有するペースト組成物を基板の表面に供給し、次にプラズマ処理をして金属ナノ粒子の表面の有機化合物とペーストのバインダーとを除去すると共に金属ナノ粒子を凝集させて回路を形成することを特徴とする回路基板の製造方法。
- プラズマ処理の温度を120℃以下に設定することを特徴とする請求項1に記載の回路基板の製造方法。
- プラズマ処理を酸素プラズマで行なうことを特徴とする請求項1又は2に記載の回路基板の製造方法。
- 請求項1乃至3のいずれかの方法で製造されたことを特徴とする回路基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003367457A JP4285197B2 (ja) | 2003-10-28 | 2003-10-28 | 回路基板の製造方法及び回路基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003367457A JP4285197B2 (ja) | 2003-10-28 | 2003-10-28 | 回路基板の製造方法及び回路基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005135982A JP2005135982A (ja) | 2005-05-26 |
JP4285197B2 true JP4285197B2 (ja) | 2009-06-24 |
Family
ID=34645456
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003367457A Expired - Fee Related JP4285197B2 (ja) | 2003-10-28 | 2003-10-28 | 回路基板の製造方法及び回路基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4285197B2 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4728755B2 (ja) * | 2005-09-22 | 2011-07-20 | ハリマ化成株式会社 | 導電性接合の形成方法 |
WO2007038950A1 (en) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Stichting Dutch Polymer Institute | Method for generation of metal surface structures and apparatus therefor |
US20100178432A1 (en) * | 2006-02-08 | 2010-07-15 | Yoshikazu Kondo | Method of Forming Pattern Film, and Pattern Film Forming Apparatus |
JPWO2007141883A1 (ja) * | 2006-06-06 | 2009-10-15 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気配線の形成方法およびその補修方法 |
JP2009088122A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Dainippon Printing Co Ltd | 導電性基板 |
TWI401205B (zh) * | 2008-01-31 | 2013-07-11 | Ind Tech Res Inst | 利用光熱效應製作應用基板的方法 |
JP2009278045A (ja) * | 2008-05-19 | 2009-11-26 | Sony Corp | 加工体およびその製造方法 |
JP2009283547A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Dainippon Printing Co Ltd | 導電性パターンの形成方法とその形成装置並びに導電性基板 |
JP2009290112A (ja) * | 2008-05-30 | 2009-12-10 | Fujifilm Corp | 導電性無機膜とその製造方法、配線基板、半導体装置 |
JP5338235B2 (ja) * | 2008-09-30 | 2013-11-13 | 大日本印刷株式会社 | 導電性基板の製造方法及びその方法により得られた導電性基板 |
JP2010165769A (ja) * | 2009-01-14 | 2010-07-29 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機エレクトロニクス素子の製造方法、有機エレクトロニクス素子、有機光電変換素子及び有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP5481747B2 (ja) * | 2009-09-30 | 2014-04-23 | 国立大学法人名古屋大学 | 導電性インクによる導体の製造方法 |
JP5382444B2 (ja) * | 2009-11-09 | 2014-01-08 | 株式会社エスイー | 導電性パターンの形成方法とその形成装置 |
JP5489358B2 (ja) * | 2011-03-24 | 2014-05-14 | 富士フイルム株式会社 | 銅配線の形成方法、配線基板の製造方法および配線基板 |
JP5354037B2 (ja) * | 2012-01-30 | 2013-11-27 | 大日本印刷株式会社 | 導電性基板の製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11243273A (ja) * | 1998-02-26 | 1999-09-07 | Hitachi Ltd | 金属配線の形成方法 |
JP4093532B2 (ja) * | 2001-03-13 | 2008-06-04 | 独立行政法人理化学研究所 | アモルファス状金属酸化物の薄膜材料の製造方法 |
JP3900248B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2007-04-04 | ハリマ化成株式会社 | 多層配線板およびその形成方法 |
JP4205393B2 (ja) * | 2002-09-26 | 2009-01-07 | ハリマ化成株式会社 | 微細配線パターンの形成方法 |
-
2003
- 2003-10-28 JP JP2003367457A patent/JP4285197B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005135982A (ja) | 2005-05-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4285197B2 (ja) | 回路基板の製造方法及び回路基板 | |
JP4431543B2 (ja) | Ag−Pd合金ナノ粒子を用いる配線基板製造方法 | |
WO2013018777A1 (ja) | 組成物セット、導電性基板及びその製造方法並びに導電性接着材組成物 | |
US8999204B2 (en) | Conductive ink composition, method for manufacturing the same, and method for manufacturing conductive thin layer using the same | |
KR101157854B1 (ko) | 투명 도전막의 형성방법 및 투명 전극 | |
JP2002299833A (ja) | 多層配線板およびその形成方法 | |
JPWO2006109410A1 (ja) | インク組成物及び金属質材料 | |
WO2012133627A1 (ja) | 銀コート銅粉及びその製造法、該銀コート銅粉を含有する導電性ペースト、導電性接着剤、導電性膜、及び電気回路 | |
WO2014054618A1 (ja) | 銀ハイブリッド銅粉とその製造法、該銀ハイブリッド銅粉を含有する導電性ペースト、導電性接着剤、導電性膜、及び電気回路 | |
TW201620343A (zh) | 導線結構及其製造方法 | |
JP4261786B2 (ja) | 銀コート銅粉の製造方法、その製造方法で得られた銀コート銅粉、その銀コート銅粉を用いた導電ペースト、及びその導電ペーストを用いたプリント配線板 | |
JP2016199779A (ja) | 修飾金属ナノ粒子,その製造方法,修飾金属ナノインク及び配線層形成方法 | |
JP6562196B2 (ja) | 銅微粒子焼結体と導電性基板の製造方法 | |
JP5446097B2 (ja) | 導電性基板及びその製造方法 | |
CN102378482B (zh) | 电路板基板及其制作方法 | |
JP4908194B2 (ja) | 導電性インクとそれを用いた印刷配線基板とその製造方法 | |
JP2006009120A (ja) | 金属微粒子分散体 | |
JP2009278045A (ja) | 加工体およびその製造方法 | |
JP2008121043A (ja) | 微粒子、微粒子分散溶液、微粒子の製造方法、及び微粒子分散溶液の製造方法 | |
KR101416579B1 (ko) | 도금층을 구비한 도전성 페이스트 인쇄회로기판 및 이의 제조방법 | |
JP6609153B2 (ja) | プリント配線板用基材、プリント配線板及び電子部品 | |
Suganuma et al. | Ink-jet printing of nano materials and processes for electronics applications | |
JP5544323B2 (ja) | 銅配線の形成方法および配線基板の製造方法 | |
JP6737873B2 (ja) | ポリマー厚膜銅導体組成物の光焼結 | |
JP2016160528A (ja) | 回路基板の製造方法と回路基板およびプラズマ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080717 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080729 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080929 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090303 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090316 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120403 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120403 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130403 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130403 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140403 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |