JP4269402B2 - 固体撮像素子およびその駆動方法並びにカメラシステム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体撮像素子およびその駆動方法並びにカメラシステムに関し、特に各画素から信号電荷を間引いて読み出すいわゆる間引き読み出し駆動が可能な固体撮像素子およびその駆動方法、並びにこれらを用いたカメラシステムに関する。
【0002】
【従来の技術】
固体撮像素子における問題点として、スミアや暗電流等のノイズ成分が挙げられる。ここで、スミアは、垂直転送部に直接光が混入したり、半導体基板内部で発生した電荷が拡散により広がり、隣接画素や垂直転送部に混入するために発生するノイズ成分である。また、暗電流は、入射光量に無関係に発生するノイズ成分であり、その発生要因として、半導体基板からの拡散電流、基板表面の空乏層からの電流、界面の表面準位からの発生電流等が挙げられる。
【0003】
このスミアや暗電流は、垂直転送と同方向に乗るノイズ成分である。また、固体撮像素子の駆動方法により、この垂直方向のノイズが助長される場合があり、その場合に特に問題となる。ノイズを助長する駆動方法の例としては、静止画取り込み用途の電子スチルカメラ用CCD(Charge Coupled Device) 撮像素子において、撮像画面を確認する際に、各画素の信号電荷を垂直方向において間引いて読み出す(以下、間引き読み出しと称す)ことで、フレームレートを向上する駆動処理を行う駆動方法が挙げられる。
【0004】
ここで、静止画取り込み用途の電子スチルカメラ用CCD撮像素子について説明する。この電子スチルカメラ用CCD撮像素子では、例えば全画素読み出し駆動が採られる。なお、図11の模式図において、白抜きの丸(○)は垂直転送部101上のノイズ成分を、黒塗りの丸(●)は水平ブランキング期間一回に転送されるノイズ成分を含む信号成分をそれぞれ示している。
【0005】
全画素読み出し駆動では、図11(A)に示すように、全画素の信号電荷(図中、黒塗りの四角で示す)を同一時刻に垂直転送部101に一斉に読み出し、当該垂直転送部101中で混合することなく独立に垂直方向に転送し、さらにその信号電荷を水平転送部102により水平方向に転送し、電荷検出部103を介して読み出すようにしている。
【0006】
この全画素読み出し駆動(A)では、水平ブランキング期間当りの垂直転送部1本での転送画素数は1画素である。また、一回に出力される信号画素数は1画素であり、一回に出力されるノイズ量は垂直転送部1個分(1パケット分のノイズ量)である。なお、ここでは、全画素読み出しでも、メカシャッタを使わないことを前提としている。
【0007】
一方、間引き読み出し駆動では、図11(B)に示すように、例えば垂直方向において1画素おきに間引く場合には、奇数行(図中、1,3,5,……)の画素の信号電荷のみを垂直転送部101に読み出す。このとき、垂直転送部101には空パケットが存在する。そして、信号パケットと空パケットを対にして垂直方向に転送し、さらにその2パケット分の電荷を水平転送部102中で混合して水平方向に転送し、電荷検出部103を介して読み出すようにしている。
【0008】
この間引き読み出し駆動(B)では、水平ブランキング期間当りの垂直転送部1本での転送画素数は2画素である。また、一回に出力される信号画素数は1画素であり、一回に出力されるノイズ量は垂直転送部2個分(2パケット分のノイズ量)である。
【0009】
上述した動作説明から明らかなように、間引き読み出しの駆動方法(B)でノイズが助長されるのは、信号電荷が読み出されない空パケットが存在し、しかもこの空パケットにも垂直転送部101上のノイズ成分が蓄積されることから、水平転送部102において垂直2画素(上下2パケット)間で混合を行うことにより、1画素分の信号成分に対して2パケット分のノイズ成分が加算され、S/Nが2倍(6dB)悪化することになるからである。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
実際的な電子スチルカメラの使われ方としては、静止画取り込みの際にメカシャッタを閉じるものはスミア等のノイズ成分は問題にならないが、液晶テレビなどのモニターでの撮像画面の確認(モニタリング)の際には、フレームレートを上げることを目的として間引き読み出しの駆動方法が採られるため、スミアや暗電流等の垂直転送と同方向に乗るノイズ成分が問題となる。
【0011】
なお、この垂直転送と同方向に乗るノイズ成分を除去する方法として、同一垂直転送部の遮光された領域(光学的黒領域)の画素情報を用いてノイズ成分をキャンセルする方法も知られている。しかしながら、この方法の場合には、CCD撮像素子の外部にフレームメモリを用意し、このフレームメモリを用いて信号処理を行うことが必要となるため、その分だけコスト高となる。
【0012】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、信号処理系に特別な回路を追加しなくても、スミアや暗電流等の垂直転送と同方向に乗るノイズ成分の除去を可能とした固体撮像素子およびその駆動方法並びにカメラシステムを提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、マトリクス状に配置された複数個の画素と、1垂直画素列の画素の各々に対応する信号パケットと1垂直画素列につき少なくとも1個の空パケットを持つパケット列からなり、1垂直画素列の画素の各々に対応する信号パケットごとに少なくとも1個の空パケットを有し、複数個の画素から読み出される信号電荷を垂直方向に転送する複数本の垂直転送部とを具備する固体撮像素子において、水平方向の画素数の2倍の数のパケットの配列からなる水平転送部によって信号パケットと空パケットの各電荷を組にしてこれら各電荷を混合することなく水平方向に転送し、この水平転送される電荷を順に電気信号に変換し、空パケットの成分をプリセット相に乗せ、信号パケットの成分をデータ相に乗せて出力し、水平転送部の転送周期の2倍の周期でリセット動作を行う。そして、後段の信号処理系において、固体撮像素子の出力信号のデータ相の成分とプリセット相の成分との差分をとる。
【0014】
上記の構成において、空パケットには、スミアや暗電流等のノイズ成分が、同じ垂直画素列の信号パケットと同じノイズ量だけ生ずる。この空パケットのノイズ成分を固体撮像素子の出力波形のプリセット相に乗せて出力することで、データ相の信号成分と独立してノイズ成分を取り出せる。したがって、後段の信号処理系において、データ相の成分とプリセット相の成分との差分をとることで、信号成分に含まれるノイズ成分をキャンセルすることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係る固体撮像素子を示す概略構成図である。ここでは、例えば全画素読み出し駆動方式CCD撮像素子において、全画素読み出しモードの他に、垂直方向において例えば1画素おきに画素情報を間引く処理を行う間引き読み出しモードをとり得る場合を例に挙げて説明するものとする。
【0016】
図1において、撮像部(撮像エリア)11は、半導体基板上にマトリクス状に配列され、入射光をその光量に応じた電荷量の信号電荷に変換して蓄積するフォトダイオード等の複数個の受光素子(画素)12と、これら複数個の受光素子12の垂直列ごとにその配列方向に沿って設けられた複数本の垂直転送部13とから構成されている。
【0017】
複数本の垂直転送部13は、各画素に1:1の対応関係を持って設けられた信号パケットと、これら信号パケットの垂直転送方向前方側に1個ずつ配された空パケットの集合(パケット列)からなり、各パケットの転送チャネル上には3つの転送電極(図示せず)が転送方向に配列されている。ここで、パケットとは、信号電荷の転送路上において、1つの信号成分やノイズ成分を扱う単位を言う。そして、垂直転送部13は、例えば3相の垂直転送パルスVφ1,Vφ2,Vφ3によって転送駆動される。
【0018】
すなわち、垂直転送部13は、水平ブランキング期間において、1行(1ライン)分の信号電荷を、3相の垂直転送パルスVφ1,Vφ2,Vφ3に応じて1ラインずつ転送(以下、これをラインシフトと称す)する動作を行う。ここで、垂直転送部13の転送電極の一部が読み出しゲート電極を兼ねていることから、垂直転送パルスVφ1,Vφ2,Vφ3のうちのいずれか1つは、低レベル、中間レベルおよび高レベルの3値レベルをとり、その3値目の高レベルのパルスが読み出しパルスとなる。
【0019】
ただし、3相の垂直転送パルスVφ1,Vφ2,Vφ3の各パケットへの与え方は、間引き読み出しモードでは全画素読み出しモードと異なる。すなわち、信号電荷の読み出しが間引かれる画素については、当然のことながら、読み出しパルスが与えられないことになる。また、垂直転送部13において、全画素読み出しモードでは水平ブランキング期間に1回ラインシフトが行われるのに対して、1画素おきの間引き読み出し駆動では、水平ブランキング期間に2回ラインシフトが行われることになる。
【0020】
撮像部11の図面上の下側には、複数本の垂直転送部13の転送方向側端部に隣接して水平転送部14が配されている。この水平転送部14は、間引き読み出しモードでは、信号成分とノイズ成分を対にして転送する必要があるために、水平方向の画素数の2倍の数(倍密度)のパケットの配置(パケット列)からなる構成となっている。そして、互いに逆相の水平転送パルスHφ1,Hφ2によって転送駆動される。この水平転送パルスHφ1,Hφ2は、水平転送部14が倍密度で構成されていることから、その周波数も通常の2倍に設定されている。
【0021】
水平転送部14の転送先側の端部には、この水平転送部14によって転送されてくる信号電荷を検出し、これを信号電圧に変換して出力する例えばフローティングディフュージョン・アンプ構成の電荷検出部15が配されている。この電荷検出部15は、水平転送部14の最終出力ゲート16に隣接して設けられたFD(フローティングディフュージョン)部17と、電荷を掃き出すRD(リセットドレイン)部18と、FD部17の電荷をRD部18へ排出するRG(リセットゲート)部19とから構成されている。
【0022】
この電荷検出部15において、RD部18には、所定のドレイン電圧Vrdが与えられている。また、RG部19には、水平転送パルスHφ1,Hφ2と例えば同周期のリセットゲートパルスRGφが印加される。そして、FD部17からは、信号電荷を信号電圧に変換して得られる信号出力Voutが導出される。なお、垂直転送パルスVφ1〜Vφ3、水平転送パルスHφ1,Hφ2およびリセットゲートパルスRGφを含む各種のタイミング信号は、タイミング発生回路20で生成される。
【0023】
図2に、水平転送パルスHφ1,Hφ2、リセットゲートパルスRGφおよび信号出力Voutのタイミング関係を示す。信号出力Voutの波形において、P相はプリセット部、D相はデータ部であり、水平転送部14が2パケットを1単位とした倍密度構成であることから、水平方向前方側のパケットの情報がP相に、後方側のパケットの情報がD相として出力されることになる。
【0024】
次に、上記構成の全画素読み出し駆動方式のCCD撮像素子の各駆動モードごとの動作について、図3,図4の模式図を用いて説明する。なお、図3,図4の各模式図において、白抜きの丸(○)は垂直転送部13上のノイズ成分を、黒塗りの丸(●)は水平ブランキング期間一回に転送されるノイズ成分を含む信号成分をそれぞれ示している。
【0025】
先ず、モード切替え信号によって全画素読み出しモードが設定されると、タイミング発生回路20は、当該モードに対応したタイミングの垂直転送パルスVφ1〜Vφ3を出力する。これにより、図3の模式図において、全画素の信号電荷(図中、黒塗りの四角で示す)が同一時刻に垂直転送部13に一斉に読み出される(A)。
【0026】
続いて、垂直転送部13においてラインシフトが行われるのであるが、その前に、水平転送部14は2パケットを1単位としていることから、このパケット対のうちの水平転送方向後方側のパケットに信号電荷を供給するために、水平転送部14ではあらかじめ1ビット(1パケット)分のシフト(以下、これを1ビットシフトと称す)が行われる。その後、水平ブランキング期間内において1回ラインシフトが行われる。その結果、1ライン(1行)分の信号電荷が水平転送部14にシフトされる(B)。
【0027】
このようにして、垂直転送部13から水平転送部14にシフトされた1ライン分の信号電荷は、水平転送パルスHφ1,Hφ2にて水平方向に転送され、電荷検出部15に画素単位で順に注入される。電荷検出部15においては、水平転送パルスHφ1,Hφ2と同周期でリセットゲートパルスRGφがリセットゲート部19に印加されることにより、FD部17の残留電荷をRD18に排出するリセット動作が行われる。
【0028】
これにより、FD部17からは、図2に示す如き波形の信号出力Voutが導出される。なお、全画素読み出しモードにおいては、先述した動作説明から明らかなように、前方側のパケットには垂直転送部13から何ら情報が与えられないようになっている。したがって、信号出力Voutにおいて、P相には何ら情報は乗らず、このP相は後述する信号処理の際の基準となり、またD相には信号成分の情報が乗ることになる。
【0029】
一方、モード切替え信号によって間引き読み出しモードが設定されると、タイミング発生回路20は、当該モードに対応したタイミングの垂直転送パルスVφ1〜Vφ3を出力する。これにより、図4の模式図において、例えば偶数行(図中、2,4,……)の画素の信号電荷(図中、黒塗りの四角で示す)のみが垂直転送部13に読み出される(A)。
【0030】
続いて、垂直転送部13において、水平ブランキング期間内において1回目のラインシフトが行われる。これにより、水平転送部14のパケット対のうちの水平転送方向前方側のパケットに、垂直転送部13から1ライン分のノイズ成分の電荷が供給されることになる(B)。その後引き続いて、水平転送部14において、1ビットシフトが行われる。
【0031】
次に、垂直転送部13において、同じブランキング期間内において2回目のラインシフトが行われる。これにより、水平転送部14のパケット対のうちの水平転送方向後方側のパケットに、垂直転送部13から1ライン分の信号成分の電荷が供給されることになる(C)。その結果、水平転送部14上において、パケット対の前方にノイズ成分の電荷が、後方に信号成分の電荷がそれぞれ蓄積されることになる。
【0032】
このようにして、水平ブランキング期間内においてラインシフトが2回行われることによって垂直転送部13から水平転送部14にシフトされたノイズ成分および信号成分の各電荷は対で水平方向に転送され、電荷検出部15に順に注入される。電荷検出部15では、水平転送パルスHφ1,Hφ2と同周期のリセットゲートパルスRGφによってリセット動作が行われ、その結果、図2に示す如き波形の信号出力Voutにおいて、P相にはノイズ成分の情報が乗り、D相には信号成分の情報が乗ることになる。
【0033】
この電荷検出部15において、水平転送部14の転送周期と同周期でリセット動作が行われることにより、P相とD相の間でもリセット動作が行われることになる。その結果、P相には1パケット分のノイズ成分が乗り、D相には1パケット分の信号成分+ノイズ成分が乗ることになる。
【0034】
上述したように、全画素読み出し駆動方式のCCD撮像素子において、間引き読み出しモード時に、信号パケットと空パケットの各電荷を組(本例では、対)にして水平転送し、この水平転送される電荷を順に電気信号に変換して空パケットのノイズ成分をP相に乗せ、信号パケットの信号成分をD相に乗せて出力することにより、画素情報と同一画素列、即ち水平方向の同アドレスのノイズ情報をその画素情報と組で得ることができる。
【0035】
したがって、後段の信号処理系において、D相の信号成分とP相のノイズ成分との差分をとる処理を行うことで、信号成分に含まれるノイズ成分をキャンセルすることができる。ここで、空パケットのノイズ成分とは、スミアや暗電流等の垂直転送と同方向に乗るノイズのことを言う。
【0036】
図5は、本発明に係るカメラシステムの構成の一例を示すブロック図である。本カメラシステムは、撮像デバイスとしてのCCD撮像素子21と、被写体(図示せず)からの入射光(像光)を取り込んでCCD撮像素子21の撮像面上に結像させるレンズ22と、CCD撮像素子21の出力信号に対して種々の信号処理を行う信号処理回路23と、撮像モードを設定するモード設定部24と、このモード設定部24で設定された撮像モードに応じてCCD撮像素子21を駆動するCCD駆動回路25とを有する構成となっている。
【0037】
このカメラシステムにおいて、CCD撮像素子21として、先述した第1実施形態に係るCCD撮像素子、即ち全画素読み出しモードと間引き読み出しモードとを択一的にとり得る構成のCCD撮像素子が用いられる。また、モード設定部24では、撮像モードとして例えば静止画を取り込む通常撮像モードと、付属の例えば液晶テレビで撮像画面の確認を行うモニタリングモードが択一的に設定できるようになっている。
【0038】
一方、CCD駆動回路25は、図1におけるタイミング発生回路20を有する構成となっており、モード設定部24で通常撮像モードが設定されたときには、全画素読み出し駆動にてCCD撮像素子21を駆動し、モード設定部24でモニタリングモードが設定されたときには、フレームレートを上げるべく間引き読み出し駆動にてCCD撮像素子21を駆動する。全画素読み出しおよび間引き読み出しの各駆動は、先述した動作手順にしたがって行われる。
【0039】
信号処理回路23には、CCD撮像素子21の出力信号に含まれるノイズ成分を除去するCDS(Correlated Double Sampling;相関2重サンプリング)回路が設けられている。このCDS回路の回路構成の一例を図6に示す。なお、このCDS回路には、図2の信号出力Voutの波形において、P相のタイミングで発生するサンプリングパルスφSHPと、D相のタイミングで発生するサンプリングパルスφSHDとが与えられる。
【0040】
CDS回路30は、図6から明らかなように、CCD撮像素子21の出力(CCD出力)をサンプリングパルスφSHPでサンプリングするサンプルホールド(S/H)回路31と、このサンプルホールド回路31の出力をサンプリングパルスφSHDでサンプリングするサンプルホールド回路32と、CCD撮像素子21のCCD出力をサンプリングパルスφSHDでサンプリングするサンプルホールド回路33と、サンプルホールド回路32,33の各出力を2入力とする差動アンプ34とから構成されている。
【0041】
上記構成のCDS回路30においては、CCD撮像素子21のCCD出力のP相(プリセット部)とD相(データ部)をそれぞれ、サンプリングパルスφSHP,φSHDに同期してサンプルホールド回路31〜33でサンプリングし、その差分を差動アンプ34でとる処理が行われる。ここで、P相を再度サンプリングパルスφSHDでサンプリングしているのは、D相との位相を合わせるためである。
【0042】
このように、信号処理回路23において、CDS回路30でCCD撮像素子21のCCD出力のP相とD相の差分をとる処理を行うことにより、図7に示すように、CCD出力に例えば低周波ノイズが乗ったとしても、P相を基準に差分をとることによってそのノイズ成分をキャンセルすることができる。
【0043】
また、モニタリングモードの設定時において、CCD撮像素子21に対して間引き読み出し駆動を行った場合には、先述したように、空パケットのノイズ成分がP相に乗り、信号パケットの信号成分+ノイズ成分がD相に乗ったCCD出力が得られることになるため、CDS回路30でP相とD相の差分をとることにより、ノイズ成分をキャンセルすることができる。これにより、スミアや暗電流等の垂直転送と同方向に乗るノイズを抑制することができる。
【0044】
上述したことから明らかなように、モニタリングモード設定時にCCD撮像素子21に対して間引き読み出し駆動を行う構成のカメラシステムにおいて、当該CCD撮像素子21として、空パケットのノイズ成分をP相に乗せた信号出力Voutを出力可能なCCD撮像素子を用いることにより、CDS回路30での相関2重サンプリング処理によってスミアや暗電流等の垂直転送と同方向に乗るノイズを抑制することができる。しかも、このCDS回路30は低周波ノイズをキャンセルするために一般的に用いられている回路であることから、新たに回路を追加しなくてもノイズを除去できるという利点もある。
【0045】
なお、上記第1実施形態では、電荷検出部15において、CCD出力のP相とD相の間でリセット動作を行うようにするために、そのリセット動作の周期を水平転送部14の転送周期と同じに設定する、即ちリセットゲートパルスRGφの周波数を水平転送パルスHφ1,Hφ2の周波数と同じに設定するとしたが、CCD出力のP相とD相の間でリセット動作を行わないようにすることも可能である。
【0046】
このように、P相とD相の間でリセット動作を行わないようにすることで、リセットゲートパルスRGφの周波数を水平転送パルスHφ1,Hφ2の周波数の1/2に設定できるため、同じ周波数に設定する場合よりも低消費電力化が図れることになる。なお、この場合には、P相のノイズ成分がそのままD相に加算され、D相には(信号成分+ノイズ成分×2)が乗ることになるため、上記のCDS回路30での処理ではノイズ成分は完全にキャンセルすることはできない。
【0047】
すなわち、信号成分に含まれる本来の1パケット分のノイズ量は残ることになるが、それでもS/Nが2倍悪化した従来技術に比べれば、ノイズ量を1パケット分だけでも低減できるため、S/Nを向上できることになる。ただし、図6のCDS回路30の差動アンプ34の前段に、P相のノイズ成分のレベルを2倍にする回路を設け、D相の(信号成分+ノイズ成分×2)とP相の(ノイズ成分×2)との差分をとるようにすることにより、信号処理を行う過程でノイズ成分を完全にキャンセルすることは可能である。
【0048】
また、上記第1実施形態においては、間引き読み出し駆動では、各画素からの信号電荷の読み出しを1画素おきに間引くことにより、空パケットのノイズ成分と信号パケットの信号成分とを1:1の関係(対)で水平転送する場合を例にとって説明したが、1画素おきの間引きに限定されるものではない。
【0049】
一例として、図8に示すように、垂直方向において4画素につき3画素の信号電荷を間引く処理を行う間引き読み出し駆動の場合にも同様に適用可能である。この間引き読出し駆動の場合を第2実施形態として、以下に説明する。この第2実施形態の場合には、垂直転送部13において、信号パケット(図中、●)に対して垂直転送方向前方の2個の空パケット(図中、○)および後方1個の空パケットを組とする(A)。そして、水平ブランキング期間内でラインシフトを4回繰り返す。これにより、フレームレートを全画素読み出し駆動時の4倍に向上できる。
【0050】
一方、水平転送部14としては、第1実施形態の場合と同様に、例えば水平方向の画素数の2倍のパケット列(倍密度)からなる構成のものが用いられる。この水平転送部14では、水平ブランキング期間において、2回目と3回目のラインシフトの間で1ビットシフトが行われる。これにより、パケット対のうち、水平転送方向前方側のパケットには、垂直転送部13から最初の2個の空パケットの各電荷が蓄積され、後方側のパケットには信号パケットおよびその後方の空パケットの各電荷が蓄積される(B)。
【0051】
また、電荷検出部15において、リセットゲートパルスRGφの周波数は、図9のタイミングチャートに示すように、水平転送パルスHφ1,Hφ2の周波数の1/2に設定されている。すなわち、電荷検出部15でのリセット動作は、水平転送部14の転送周期の2倍の周期で行われる。これにより、図9の信号出力Voutの波形において、P相とD相の間ではリセット動作が行われないことになる。
【0052】
その結果、4画素につき3画素の信号電荷を間引く間引き読み出し駆動の場合には、P相には2個の空パケット分のノイズ成分が乗り、D相には4個の空パケット分のノイズ成分+信号成分が乗ることになる。そして、後段のCDS回路30において、D相の(信号成分+ノイズ成分×4)とP相の(ノイズ成分×2)の差分をとることにより、垂直転送部13の2パケット分のノイズをキャンセルできることになる。
【0053】
ちなみに、従来技術においては、4画素につき3画素の信号電荷を間引く間引き読み出し駆動を実現する場合には、D相の(信号成分+ノイズ成分×4)の情報がそのまま出力されることになるため、S/Nが4倍悪化することになる。また、第1実施形態の変形例の場合と同様に、図6のCDS回路30の差動アンプ34の前段に、P相のノイズ成分のレベルを2倍にする回路を設け、D相の(信号成分+ノイズ成分×4)とP相の(ノイズ成分×4)との差分をとるようにすることにより、信号処理を行う過程でノイズ成分を完全にキャンセルすることは可能である。
【0054】
また、この第2実施形態では、図9の信号出力Voutの波形において、P相とD相の間ではリセット動作を行わない場合を例にとって説明したが、第1実施形態の場合と同様に、リセットゲートパルスRGφの周波数を水平転送パルスHφ1,Hφ2の周波数と同じに設定し、P相とD相の間でリセット動作を行うようにすることも可能である。この場合には、CDS回路30において、D相の成分からP相の成分をそのまま差し引くことで、ノイズ成分を完全にキャンセルできることになる。
【0055】
なお、上記各実施形態では、全画素読出し駆動方式のCCD撮像素子に適用した場合について説明したが、これに限られるものではなく、間引き読出し駆動が可能な構成のものであれば、フレーム読出し駆動方式等のCCD撮像素子にも同様に適用可能である。
【0056】
また、上記各実施形態では、垂直転送部13において、信号パケットに隣接して空パケットを配するとしたが、P相に乗せるノイズ情報は、取り出す信号電荷と水平方向のアドレスが同じもの、即ち同一の垂直画素列のノイズ成分であれば良いため、信号パケットに隣接して空パケットを配する構成に限られるものではなく、また垂直方向の位置(アドレス)も限定されない。すなわち、図10において、任意の出力される画素(n,m)対して、P相に乗せる空パケットのノイズ成分のアドレスを(n,X)とすると、水平アドレスnが一致していれば、垂直アドレスXは同一の垂直画素列内であれば良い。
【0057】
一例として、同一の垂直画素列につき空パケットを1個設け、その空パケットのアドレスを(n,0)とし、その空パケットのノイズ成分をP相に乗せるようにする。そして、後段のCDS回路においては、1ラインごとに画素単位で信号処理を行う際に、最初に入力されるP相のノイズ成分を保持し、このノイズ成分を各画素ごとに、D相のノイズ成分を含む信号成分から減算する構成を採るようにしても、スミアや暗電流等の垂直転送と同方向に乗るノイズをキャンセルすることができる。
【0058】
また、上記各実施形態では、信号パケットに隣接して空パケットを配する構成を採った場合において、水平転送部14を倍密度構成とすることにより、ノイズ成分と信号成分(ノイズ成分を含む)を対にして水平転送するとしたが、互いに平行に配置された2本の転送レジスタで水平転送部14を構成し、この2本の転送レジスタでノイズ成分と信号成分(ノイズ成分を含む)を別々に水平転送し、その最終段においてノイズ成分と信号成分を交互に電荷検出部15に供給する構成を採ることも可能である。なお、電荷検出部15では、倍密度構成の場合と同様の動作が行われることになる。
【0059】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、1垂直画素列の画素の各々に対応する信号パケットと1垂直画素列につき少なくとも1個の空パケットを持つパケット列からなり、各画素から読み出される信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送部を有する固体撮像素子において、空パケットの成分をプリセット相に乗せて出力するようにしたことにより、後段の信号処理系において、固体撮像素子の出力信号のデータ相の成分とプリセット相の成分との差分をとることによって、スミアや暗電流等の垂直転送と同方向に乗るノイズ成分を抑制することができるため、信号処理系に特別な回路を追加しなくても、S/Nを向上できることになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る固体撮像素子を示す概略構成図である。
【図2】第1実施形態の動作説明のためのタイミングチャートである。
【図3】全画素読出しモードの動作説明のための模式図である。
【図4】間引き読出しモードの動作説明のための模式図である。
【図5】本発明に係るカメラシステムの構成の一例を示すブロック図である。
【図6】CDS回路の回路構成の一例を示すブロック図である。
【図7】CDS回路の基本原理を説明するための波形図である。
【図8】本発明の第2実施形態に係る固体撮像素子の概念を説明するための模式図である。
【図9】第2実施形態の動作説明のためのタイミングチャートである。
【図10】P相に乗せる空パケットのアドレスの説明図である。
【図11】従来技術の課題を説明するための模式図であり、(A)は全画素読出し駆動の場合を、(B)は間引き読出し駆動の場合をそれぞれ示している。
【符号の説明】
12…受光素子、13…垂直転送部、14…水平転送部、15…電荷検出部、20…タイミング発生回路、21…CCD撮像素子、23…信号処理回路、24…モード設定部、30…CDS(相関2重サンプリング)回路
Claims (3)
- マトリクス状に配置された複数個の画素と、
1垂直画素列の画素の各々に対応する信号パケットと1垂直画素列につき少なくとも1個の空パケットを持つパケット列からなり、1垂直画素列の画素の各々に対応する信号パケットごとに少なくとも1個の空パケットを有し、前記複数個の画素から読み出される信号電荷を垂直方向に転送する複数本の垂直転送部と、
水平方向の画素数の2倍の数のパケットの配列からなり、前記複数本の垂直転送部から供給される前記信号パケットと前記空パケットの各電荷を組にしてこれら各電荷を混合することなく水平方向に転送する水平転送部と、
前記水平転送部から転送される電荷を順に電気信号に変換し、前記空パケットの成分をプリセット相に乗せ、前記信号パケットの成分をデータ相に乗せて出力し、前記水平転送部の転送周期の2倍の周期でリセット動作を行う電荷検出部と
を備えた固体撮像素子。 - マトリクス状に配置された複数個の画素と、1垂直画素列の画素の各々に対応する信号パケットと1垂直画素列につき少なくとも1個の空パケットを持つパケット列からなり、1垂直画素列の画素の各々に対応する信号パケットごとに少なくとも1個の空パケットを有し、前記複数個の画素から読み出される信号電荷を垂直方向に転送する複数本の垂直転送部とを具備する固体撮像素子の駆動に当たって、
水平方向の画素数の2倍の数のパケットの配列からなる水平転送部によって前記複数本の垂直転送部から供給される前記信号パケットと前記空パケットの各電荷を組にしてこれら各電荷を混合することなく水平方向に転送し、
この水平転送される電荷を順に電気信号に変換し、前記空パケットの成分をプリセット相に乗せ、前記信号パケットの成分をデータ相に乗せて出力し、前記水平転送部の転送周期の2倍の周期でリセット動作を行う
固体撮像素子の駆動方法。 - マトリクス状に配置された複数個の画素と、1垂直画素列の画素の各々に対応する信号パケットと1垂直画素列につき少なくとも1個の空パケットを持つパケット列からなり、1垂直画素列の画素の各々に対応する信号パケットごとに少なくとも1個の空パケットを有し、前記複数個の画素から読み出される信号電荷を垂直方向に転送する複数本の垂直転送部と、水平方向の画素数の2倍の数のパケットの配列からなり、前記複数本の垂直転送部から供給される前記信号パケットと前記空パケットの各電荷を組にしてこれら各電荷を混合することなく水平方向に転送する水平転送部と、前記水平転送部から転送される電荷を順に電気信号に変換し、前記空パケットの成分をプリセット相に乗せ、前記信号パケットの成分をデータ相に乗せて出力し、前記水平転送部の転送周期の2倍の周期でリセット動作を行う電荷検出部とを具備する固体撮像素子と、
前記固体撮像素子に対してその撮像モードとして、静止画を取り込む通常撮像モードと撮像画面の確認を行うモニタリングモードとを択一的に設定するモード設定部と、
前記固体撮像素子の出力信号を入力とし、この出力信号中のプリセット相の成分とデータ相の成分との差分をとる処理を行う信号処理回路と
を備えたカメラシステム。
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