JP4263398B2 - 化学蒸気浸透法による中空形状の多孔質基体の強化方法 - Google Patents

化学蒸気浸透法による中空形状の多孔質基体の強化方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4263398B2
JP4263398B2 JP2001384189A JP2001384189A JP4263398B2 JP 4263398 B2 JP4263398 B2 JP 4263398B2 JP 2001384189 A JP2001384189 A JP 2001384189A JP 2001384189 A JP2001384189 A JP 2001384189A JP 4263398 B2 JP4263398 B2 JP 4263398B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
enclosure
reactive gas
gas flow
gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2001384189A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002241938A (ja
Inventor
ベルナール・デルペリエ
ジャン−リュック・ドンブリデ
ジャン−フィリップ・リシャール
ピエール・ドゥロラン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Safran Aircraft Engines SAS
Original Assignee
SNECMA Moteurs SA
SNECMA SAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SNECMA Moteurs SA, SNECMA SAS filed Critical SNECMA Moteurs SA
Publication of JP2002241938A publication Critical patent/JP2002241938A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4263398B2 publication Critical patent/JP4263398B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/71Ceramic products containing macroscopic reinforcing agents
    • C04B35/78Ceramic products containing macroscopic reinforcing agents containing non-metallic materials
    • C04B35/80Fibres, filaments, whiskers, platelets, or the like
    • C04B35/83Carbon fibres in a carbon matrix
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C16/045Coating cavities or hollow spaces, e.g. interior of tubes; Infiltration of porous substrates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/26Deposition of carbon only
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S427/00Coating processes
    • Y10S427/10Chemical vapor infiltration, i.e. CVI

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)

Description

【0001】
(発明の背景)
本発明は、化学蒸気浸透法(CVI)により中空の多孔質基体を強化すること(densifying)であって、特に圧力平衡において、すなわち基体の各面の間に圧力勾配がない状態で、化学蒸気浸透法(CVI)により中空の多孔質基体を強化することに関する。
【0002】
本願の特定の分野は、マトリックスで強化された多孔質基体を含む複合材料から中空部品を作成することであって、特に、耐熱性(thermostructural)複合材料から作製された中空部品である。
【0003】
ここで「中空の多孔質基体」は、基体の多孔質特性に起因する部分以外は連続した(すなわち、穴が空いていない)凹状の内面を有する中空形状の基体を表すのに用いられる。中空形状の例は、球形のキャップ型、円筒型または一方の端が閉じている楕円柱−円錐型、入れ物もしくはボウル型、およびカバー型であり、必ずしも軸対象ではない。このような基体を強化して得られる中空部品の例は、化学産業および冶金産業用の入れ物であって、例えば、るつぼまたはるつぼ-支持ボウル、または熱シールドを形成するノーズコーンのような航空機用の保護ボディである。
【0004】
ここで、「耐熱性(thermostructural)複合材料」は、構造要素を構成し得る優れた機械特性と、この特性を高温で保持する能力の両者を発現する複合材料を表すのに用いられる。耐熱性複合材料の例は、炭素マトリックスで強化された炭素繊維の多孔質基体を含む、炭素/炭素(C/C)複合材料、およびセラミックマトリックスで強化された炭素もしくはセラミック繊維などの耐火性多孔質基体を含む、セラミックマトリックス複合(CMC)材料である。
【0005】
圧力平衡における化学蒸気浸透法による多孔質基体の強化は、周知の方法である。強化しようとする基体をエンクロージャーの中に配置して、反応性ガスをエンクロージャーに導入する。エンクロージャーの温度と圧力条件は、ガスが基体の孔に拡散して、その中で固体堆積物を形成するように制御する。固体堆積物は、前駆体ガスを分解させるか、または前記ガス中に含有されている複数種の前駆体ガス間で反応を生じさせることにより、複合材料のマトリックスを構成する。これは、例えば、ガス状前駆体が一般に、プロパンまたはメタンまたはそれらの混合物のようにアルカン、アルキルまたはアルケンである場合、炭素マトリックスに相当する。シリコンカーバイドから製造されるセラミックマトリックスの場合、例えば、ガス状前駆体は、メチルトリクロロシラン(methyltrichlorosilane)である。
【0006】
一般に、反応性ガスがエンクロージャーの一方の端に導入され、そして導入されたガスの残りと反応生成物とを含む流出ガスが、もう一方の端から抜き取られる。導入は、有利には、導入されたガスを、強化のための基体温度に近い温度まで導くのに役立つ予熱器領域を通して行われる。
【0007】
複数の基体が、一つのエンクロージャー内で同時に強化され得る。ここで、基体は、全ての基体がエンクロージャー内に導入された反応性ガスの流れに露出するのを確実にするように配置される。本願出願人の米国特許第5,904,956号公報には、この目的のために、環状のスタック(stacks)内に特別な方法で配置された同様の基体を開示している。前記ガスを導入してスタックの内側(または外側)に方向付けると、このガスは、スタックの外側(または内側)から吸い上げられるように、基体や基体間のギャップを通って流れる。
【0008】
強化しようとする基体が、上述の通り比較的深い凹状部位を有する中空であって、特に非常に大きな寸法のものである場合、化学蒸気浸透法による強化後に、欠陥が本発明者らによって観察された。この欠陥は、強化された部品の異なる部位間でのマトリックスの材料の微細構造の変化にあり、かつ基体上のすす(soot)または望ましくない突出部の形成にある。
【0009】
前記欠陥は、導入されるガスを過剰に熟成させることがある(すなわち、導入されたガスがエンクロージャー内部での通過に時間がかかり過ぎるためにエージングが生じ、それによってガスの特性が損なわれる)ことから、流出ガスをエンクロージャーからポンプ引きする速度を上げることによって前記ガスの流速を高めることにより、前記問題を取り除こうとする試みが成されている。しかしながら、欠陥を完全に取り除くことはできないどころか、反応性ガスの消費を増加させることにより、コストがかなり高くなっている。
【0010】
(発明の課題および要旨)
本発明の課題は、前記欠陥を発現しない方法を提供すること、すなわち、中空形状の基体を、たとえ大きな寸法のものであっても、比較的均一でかつ欠陥がないように強化することができる方法を提供することである。
【0011】
前記課題は、本発明によれば、エンクロージャーに導入される反応性ガスの流れの一部がツーリングによって(by tooling)中空形状の基体の凹状の内面で表される容積の内側に導かれ、その結果、前記凹状の内面が、導入された反応性ガス流合計のうちのある割合によって全部洗い流される方法によって達成された。
【0012】
有利なことに、エンクロージャーに導入された反応性ガス流は、エンクロージャー内部に配置された基体の面に向かって配送される。好ましくは、エンクロージャー内部に配置された基体の面に伝わる反応性ガス流の合計のうちの前記割合は、5%以上、またはむしろ10%以上である。
【0013】
本発明者らは、エンクロージャー内の前記ガス流のうちのある割合を基体の内側に導くことにより、望ましくない突出物またはすすが形成されずに、中空形状内部の最も深くに位置する領域でさえ、均一な強化が達成されることが分かった。このことは、前記流れを誘導することが、前記ガスの過剰な成熟が生じ得る停滞ポケットまたは混乱領域を形成させずに、基体の凹状の内面に沿って前記ガス全部を流れさせるという事実によって説明される。
【0014】
前記ガス流の一部は、基体の凹状の内面で表される容積への行程の一部に入り込む壁部位(例えば、基体の壁面付近まで延びた、円筒形の壁部位)によって前記容積へ導かれてよい。
【0015】
都合の良いことに、複数の中空形状の基体は、ガス流がエンクロージャーを通過する総体的な方向に、並べて配置することにより、エンクロージャー内で同時に強化され得る。その後、エンクロージャーに導入されたガス流は、基体の面にそれぞれ供給するために、流れの一部を対応させることにより、適当に分配される。
【0016】
本発明のもう一つの課題は、化学蒸気浸透法によって強化して、上述の方法を実行するための装置を提供することである。この装置は、中空形状の基体を強化するのに適合している。
【0017】
前記課題は、側壁、および互いに向かい合った第1および第2壁面を有するエンクロージャー、エンクロージャーに広がる反応性ガスを第1壁面を介して導入する手段、エンクロージャーに広がる流出ガスを第2壁面を介して排出する手段、および強化しようとする基体を支持するための少なくとも1つのトレイを含むタイプの装置であって、前記ガス流を分配および誘導するための手段であって、これにより導入された反応性ガス流のうちのある割合をエンクロージャー内の各基体の位置に運び、そして該位置に運ばれたガス流の一部を、その位置に配置された基体の凹状の内面で表される容積の内側に誘導するためのものを更に含む装置によって達成される。
【0018】
流れを誘導する手段は、複数の通路を含む円筒形の壁部位またはボディを含んで成る。ここで、この壁部位またはボディは、基体の前記容積への行程の少なくとも一部に入り込むように配置されていてよい。
【0019】
前記流れを分配する手段は、エンクロージャーの内部に横断して延びたトレイであって、それらトレイを貫通して作られた開口部と、トレイとエンクロージャーの側壁との間に残された空間によって形成された流れ−分配用通路を表すトレイを1個以上含んでいてよい。
【0020】
(図面の簡単な説明)
本発明は、非限定的な表示のために書かれた以降の説明を読み、そして添付の図面を参照することで、より詳しく理解されよう。
【0021】
(発明の態様の詳細な説明)
図1および2は、化学蒸気浸透装置における反応チャンバーを構成するエンクロージャー10を表す図である。
図示された例において、エンクロージャー10は、一般に、垂直な軸方向の円筒形である。反応性ガスは、例えば、エンクロージャー10の下壁10aの中心を通って開口しているパイプ12を介してエンクロージャーに導入される。流出ガスは、下壁10aから遠く離れたカバーを形成する上壁10bの中心を通って開口しているパイプ14を介してエンクロージャーから引き抜かれる。ここで、パイプ14は、ポンプ引き装置(図示せず)に接続されている。
【0022】
エンクロージャーの底部において、前記ガスは、例えば、上下に配置された、穴の空いた水平なプレート18によって構成される予熱器領域16を通過する。プレート18は、脚とスペーサーを用いて、エンクロージャーの下壁10aに支持されている。
【0023】
予熱器領域は、水平な拡散体プレート20によって反応チャンバーから適当に分離されている。水平な拡散体プレート20は、実質上、エンクロージャー10の断面全体を占めている。拡散体プレート20は、穴が空いており、エンクロージャーの下壁10aに脚を介して立ててある。
【0024】
予熱器領域の前記要素は、耐火材、例えばグラファイトから製造されている。
【0025】
エンクロージャーの内部は、エンクロージャー外部に配置された誘導子(図示せず)と電磁的に連結されたグラファイト加熱台で加熱される。前記加熱台は、エンクロージャー10の側壁10cを形成する。下壁10aとカバー10bも同様にグラファイトから製造されている。
【0026】
簡単に略述した上記装置は、周知のタイプである。
【0027】
図1に示す例には、複数の中空形状の基体がエンクロージャー10内部に、同時に強化されるように配置されており、具体的には、3個の基体S、SおよびSがその内部に配置されている。図示された基体は、ボウル型である。例えば、前記基体は、チョクラルスキー法または「CZ」法を用いてシリコン単結晶を引き上げるための装置において液体シリコンを含有するるつぼを受け止めるためのC/C複合材料ボウルのために予備形成されていてよい。そのようなボウルは、850mm程度またはそれ以上の直径を有していてよい。基体またはボウルプレフォームは、例えば炭素繊維から、フィラメントを巻きつけるかまたは繊維層にひだを寄せることによって製造されている。当然、本発明は、このような基体を強化することに限定されるものではなく、また本明細書の導入部に記載したように、中空形状の基体を強化することにも適用される。
【0028】
基体は、前記ガス流がエンクロージャーを通過する総体的に垂直な方向に、上下に並べて配置され、そして基体の中空の凹面は下方に向いている。
【0029】
各基体S、S、Sは、基体のエッジとトレイの上面の間に挟まれたブロック24で支持トレイ22、22、22上にそれぞれ置かれている。支持トレイ22は、拡散体プレート20上にスペーサー26を介して置かれており、同様に、トレイ22および22は、トレイ22および22上にスペーサー26および26を介して置かれている。
【0030】
ブロック24同士の間には隙間があるので、前記ガスを流動させることができる。ブロックは、一般には丸い弧の形であってよく、その面は、支持プレートの上面に形成された環状の溝に噛み合わすことができる。各ブロック24は、環の外側のへり24aを有しており、その上に基体のへりを近づけることで、その外側のエッジを介して支えることができる。その上、ブロック24は、基体を膨張によって変形させないことで、シェーパー(shapers)として役立つ。ブロック24は、それぞれ内側のへりも有していてよい。
【0031】
支持トレイ、ブロック、およびトレイを支持するスペーサーはいずれも、耐火性材料、例えば、耐火性金属またはグラファイトから製造される。
【0032】
支持トレイ22、22および22は、エンクロージャーに導入されて、予熱器領域を通り過ぎる前記ガス流を分配する機能も有している。このために、トレイは、ガスプルーフ材料から製造されており、それぞれ中央のオリフィス28、28および28を有すると同時に、各周縁部に、エンクロージャーの側壁10cに対して環状の隙間30、30および30も残している。
【0033】
オリフィス28、28および28と環状の隙間30、30および30とによって表される通路が前記ガス流を分配することにより、エンクロージャーに導入された新しいガスのある割合が、エンクロージャー内の基体の位置にそれぞれ到達し、そしてその位置に配置された各基体の面の上部を通過する。この割合は、少なくとも5体積%であり、好ましくは少なくとも10体積%である。
【0034】
その結果、図示された例では、基体S、SおよびSの内面および外面はそれぞれ、好ましくは、エンクロージャーに導入された新しいガス流の少なくとも10%、より好ましくは、むしろ約6分の1を受容する。通路30は、オリフィス28を介して基体Sの内面で受容されるガス流と相対して、導入された全ガス流の捕捉分を受容する。通路30は、通路30を通過した導入されたガス流の一部を受容する。この分量は、基体Sの外面で受容される分、およびオリフィス28を介して基体Sの内面で受容される分と相補的な関係にある。通路30は、通路30を通過した導入されたガス流の一部を受容する。この分量は、基体Sの外面で受容される分、およびオリフィス28を介して基体Sの内面で受容される分と相補的な関係にある。通路30を通過した導入されたガス流の残りの分は、基体Sの外面に供給される。
【0035】
オリフィス28、28または28を通過するガス流の各分量は、エンクロージャー内部の基体の各位置に設けられかつ関連する基体のためのガス流を誘導するツーリングを構成する各ガイドウォール32、32または32を用いて、対応する基体の壁面の内面に向かって誘導される。
【0036】
各ガイドウォールは、オリフィス28、28または28の一方にそれぞれ接続された円筒形またはある長さのパイプである。これは、基体で表される容積の内部において対応する支持トレイの上に突き出ている。これにより、各ガイドウォールは、対応する基体の壁面領域付近に直接、前記の流れの一部を運び込む。各ガイドウォールは、対応する基体の内面から一定の距離で終わっており、その結果、支持トレイを通じて形成されるオリフィスによって提供される流れ区分と少なくとも同程度の大きさの流れ区分を提供する環状の隙間が、前記ガイドウォールに関して残される。
【0037】
ガイドウォールは、好ましくはガスプルーフ特性を有する(gasproof)耐火性材料、例えば、耐火性金属またはグラファイト、あるいはこれ以外に、ドイツの会社であるシグリ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング(SIGRI GmbH)から「シグラフレックス(SIGRAFLEX)( 登録商標 )」という名称で提供されるような熱分解グラファイトシート材料からも作成される。
【0038】
ガイドウォール32、32、32のために、導入されるガス流の一部は、基体S、S、Sの内面上を全部洗い流すように、そして動かない容積を残さずかつ乱流を作らないで、内面に沿って流れるように進む。このためガスの通過時間が、全てのポイントにおいてある限界値以下に留まることが保証される。この限界値を超えると、ガスの成熟が過剰になって望ましくない堆積形成を導くことがある。一般には、ガスのエンクロージャー通過時間の合計(すなわち、ガスが導入されて除去されるまでの間に経過する時間)の合計は制限されなければならない。マトリックスが炭素から作成される場合、通過時間は一般に2秒以下となるように制御され、通常は、例えば1秒〜1.5秒の範囲である。
【0039】
基体の内面上を流れるガス流の残りは、ブロック24の間の隙間を通過した後、排出される。流出ガスは全て合わせて、エンクロージャーの上部に集められて、パイプ14を介して排出される。
【0040】
化学蒸気浸透法は、圧力平衡型である。すなわち、基体の内面と外面との間で圧力勾配がない。
【0041】
上述の説明は、3個の基体を同時に強化することに関するが、エンクロージャーに存在する基体の数は当然3個以外であってもよく、例えば、1個であってもよい。それと同時に、ガス流れを組織化する可能性も保持されているので、ガス流のうちのかなりの割合が基体の各面に供給される。
【0042】
エンクロージャー内部に横に並べて配置した複数の基体セットを表すことも可能である。ここで、各セットは、ガスの総体的な流れ方向に並べた1個以上の基体を包含する。さらに、ガスをエンクロージャーに導入する複数のオリフィス、および流出ガスをエンクロージャーから除去する複数のオリフィスは、複数の予熱器領域と共に、対応する基体セットおよび支持トレイとそれぞれ整合して提供されてよい。
【0043】
加えて、単一のエンクロージャー内では、流れを基体の内側に向かって誘導する手段の形状や寸法をできる限り適合させて、互いに寸法が異なる別々の中空形状の基体を強化することも可能である。エンクロージャーは、中空形状でない基体、または特定の流れ誘導手段を必要とするほど中空でない基体を更に含んでいてもよい。
【0044】
図3および4は、本発明の種々の態様を示している。図3および4の装置は、支持トレイ122、122、122がスペーサー上に配置されていないが、その代わりに、エンクロージャーの側壁10cに埋め込まれた棚板−支持体またはペッグ(pegs)126、126、126上に配置されている点で、図1および2の装置とは異なり、その結果、トレイは、棚のように支持されている。
【0045】
この場合、支持トレイは、実質上、エンクロージャー10の断面全体を占めていてよい。
【0046】
図1および2の態様において、各支持トレイは、反応性ガスの流れを誘導するツーリングを有する中央のオリフィス128、128、128を有しており、前記ツーリングはそれぞれ、円筒形の壁132、132および132の形状でオリフィスに接続されている。
【0047】
スロット130、103、130は、トレイを通して、トレイの環状領域の全周辺でかつ基体S、S、Sのエッジの外側に形成されているので、エンクロージャーへ導入されたガス流の分流に対してまっすぐな通路となる。これによって、ガスを、トレイが占める平面に、図1および2に示す隙間30、30、30と等量で流すことができる。
【0048】
図5および6は、本発明のもう一つの別の態様を示している。図5および6の装置は、棚板−支持体226、226、226で支持された支持レイ222、222、222が複数の基体、具体的には支持トレイ222に関して基体S、S'およびS''のように3個の基体をそれぞれ担持している点で、図3および4の装置とは異なる。
【0049】
各トレイ、例えば、前記トレイ222は、このトレイで支持された基体の凹状の内面それぞれに向かってガス流のある割合を方向付けるための複数のオリフィス228、228'および228''を有している。円筒形の各ガイドウォール232、232'、232''で形成される誘導用ツーリングは、各オリフィスに接続されて、対応する基体で表される容積の内側に突き出ており、これによって、前記割合の流れが基体の壁面付近まで誘導される。スロット230は、トレイ222中の、基体S、S'およびS''の位置周辺に形成されており、これによって、ガス流のある割合がエンクロージャーに導入されて、各基体の周辺のトレイ222の平面を直接通過し得る。
【0050】
支持トレイ222およびトレイ222は、前記トレイ222と同様に作成されており、ガイドウォール232、232'および232、232'が接続されたオリフィス228、228'、228、228'と、スロット230および230を有している。
【0051】
支持トレイに形成されたオリフィスとスロットの寸法を選択することにより、エンクロージャー10内に新しく導入されたガスの流れが、基体の面に向いて流れるような望ましい分配を示すことを確実にする。
【0052】
複数の流出ガス排気パイプ214、214'および214''が好ましく提供されて、エンクロージャー外部で結合される。この3つのパイプは、一番上のトレイに配置された基体の頂点と整合してエンクロージャー内へ広がっており、それによって、ガス流が前記基体の外面上に十分に伝わるのを確実にする。
【0053】
上述の態様において、基体は、その凹状の内面を下に向けて、浸透エンクロージャー内部に配置される。すなわち、基体は、エンクロージャー内部では、反応性ガス流の総体的な方向に向けられている。
【0054】
基体は、図7に示すように、前記とは逆に向けて配置されてもよい。
【0055】
図7の態様は、特に、基体SおよびSがエンクロージャー10の内部で、その凹状の内面を上に向けて配置されている点で、図1と相違する。
【0056】
各基体S、Sは、その壁面の外面が、複数の(少なくとも3個の)ブロックまたはスタッド324、324上に置かれている。スタッド324は、エンクロージャーの底部に開口しているパイプ12によってエンクロージャーに導入されたガスに対して予熱および拡散機能を発揮するトレイ316で支持されている。ガス導入用オリフィスの上には、流れ-分配用キャップ318が配置されている。
【0057】
スタッド324は、スペーサー326を介して前記拡散トレイ316上に置かれた各支持トレイ322上に固定されている。
【0058】
支持トレイ322は、大きな中央開口部328を含むと同時に、その周囲に、エンクロージャーの側壁10cに対して環状の隙間330も残している。
【0059】
加えて、基体Sを覆うトレイ322は、基体の上部エッジに対して環状の隙間331を残す。
【0060】
スペーサー326で支持された一番上のトレイ322は、前記トレイ322が基体Sに対して配置されるのと同様に、基体S上に配置される。前記トレイ322は、大きな中央の開口部328を含んでおり、エンクロージャーの側壁に対して環状の隙間330を、そして基体S2の上部エッジに対して環状の隙間331を残している。
【0061】
エンクロージャー内に導入される反応性ガス流は、隙間330、330および331を通して分配され、その結果、前記流れの一部が、基体の面にそれぞれ供給される。
【0062】
隙間331および331を通過する分流は、各ガイドウォール332および332によって形成されるツーリングを用いて、基体SおよびSの凹状の内面に向かって誘導される。ガイドウォールは、例えば、円筒形またはパイプの扇型区分の形状であり、前記トレイ322、322によって支持されており、その頂点は、開口部328、328のエッジとつながっている。各ガイドウォールは、対応する基体の内部にある距離だけ入り込んでおり、その結果、その周縁部に導入された流れを、ガイドウォールで表されるパイプを通して上方へ流す前に、基体の底部壁面へ向かって下方へ落とす(図7の矢印を参照)。
【0063】
一番上のトレイの開口部328を通して流れる残りのガスは、エンクロージャーのカバー10bに開かれたパイプ24により排出される。
【0064】
例えば、ガイドウォール332、332は、導入された反応性ガス流の一部を、基体S、Sの内面上を洗い流すように、かつ動かない容積を残さずまたは乱流を作らないで、前記内面に沿って流れるように仕向ける。
【0065】
図7に示す態様は2個の基体配置のみを示すが、配置の数は当然、2個以上であってよく、例えば、2個以上の基体を上下に配置するか、または図5に示すように上下に配置した複数の基体セットを並列させることによって達成され得る。
【0066】
上述の説明において、反応性ガスの流れを誘導するツーリングは、壁の形である。図8に示すように、これ以外の形のツーリングを採用することも可能である。
この図は、スタッドまたはブロック424を用いてトレイ422上に支持された1個の基体Sのみを示している。基体Sは、凹状の内面を下方に向けて配置され、そしてそのエッジを介してブロック424上に載せられている。ガス流は、基体Sの周囲の環状の隙間430に流れ込み、そしてトレイ422を通して流れ込んで、基体Sの内面に供給される。
【0067】
基体Sの内面と向かい合った位置では、トレイ422が複数の通路または穴423を有し、誘導用ツーリング432を支持している。
【0068】
前記ツーリング432は、基体Sの内部容積の形状と同じでかつ相補的な形の、例えばグラファイトのブロック型であるが、その寸法は基体よりも小さく、それによってブロックの外面と基体の内面の間に隙間が残されている。ブロックには、多数の通路433が貫通しており、その通路が、トレイ422を通過した前記ガスを基体の内面付近に運ぶため、基体の内面上には、動かない容積を残さずに移動するガス流がある。
【0069】
上述の説明は、エンクロージャーを通過するガスの総体的な流れ方向が上方に向いている態様に関するが、ガスの総体的な流れ方向が下方を向いた、逆の配置も採用され得る。この場合、予熱器領域は、エンクロージャーの頂点に配置しなければならない。
【0070】
更に、本発明の方法は、当然、エンクロージャー内で同時に受容される異なる寸法の基体についても実行可能である。
【0071】
【実施例】
ボウルプレフォームで構成される基体を、図7に示す種類の装置を用いて強化した。基体は、シェーパーでひだ寄せした平面的な炭素繊維層(plies)から製造され、樹脂で含浸した後、重合して樹脂を炭化することにより固化した。
【0072】
基体は、熱分解性炭素のマトリックスを用い、熱分解性炭素のためのガス状前駆体として天然ガスまたはメタンを含有するガスをエンクロージャーに導入することにより強化した。
【0073】
エンクロージャー内部の温度および圧力は、強化プロセス中、約1000℃および1.5kPaと等しい値において、実質上一定に維持した。
【0074】
強化が完了した時点において、突出物またはすすの形成は観察されなかった。得られたC/C複合材料ボウルの内面は、図9および10に示すように、良好な外観を有していた。ここで、図10は、光学顕微鏡を用い、倍率440倍で得られた画像であって、強化後のボウルの内壁面の表面の一部を表している。
【0075】
比較として、図11に示すように、トレイ322および322において、流れを誘導する壁332および332と中央開口部328および328を省略したこと以外は、同様のプレフォームについて同じ強化プロセスを行った。基体S'およびS'は、予熱器プレート316、および図7のブロック324、324と類似のブロック321'、324'を介して中実のトレイ332'によって支持されている。前記基体と同じ材料から製造された試料E、Eを、基体S'の壁面上と、その側のトレイ322上にそれぞれ配置した。図12および13は、光学顕微鏡を用い、倍率440倍で得られた画像であり、偏光が、強化後の試料EおよびEの表面に示されている。試料Eの表面上には、基体に何の予防措置も付けずに配置した状態と比較して、トレイの存在によって与えられた改良にもかかわらず、多数の突出物およびすすの存在がはっきりと観察できる。トレイには中央開口部がなく、しかもガス流を誘導するツーリングを担持していなかったが、それにもかかわらず、トレイは、隙間330'、330'および331'を介してガス流を分配するのに役立っていた。
【0076】
対照して、図10と13は、図12に見られるような種類の突出物またはすすを示していない。これは、本発明の方法が、中空部位を含まない基体に得られたのと同等の品質を、基体の中空部位の壁面の内面で獲得できることを示している。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1態様を構成する第1の化学蒸気浸透装置の非常に概略的で断片的な正面−断面図である。
【図2】 図1のII−II平面における、上から見た半面図である。
【図3】 本発明の第2態様を構成する化学蒸気浸透装置の非常に概略的で断片的な正面−断面図である。
【図4】 図3のIV-IV平面における、上から見た半面図である。
【図5】 本発明の第3態様を構成する化学蒸気浸透装置を表す図6のV-V平面における非常に概略的で断片的な正面−断面図である。
【図6】 図5のVI-VI平面における、上から見た半面図である。
【図7】 本発明の第4態様を構成する化学蒸気浸透装置の非常に概略的で断片的な正面−断面図である。
【図8】 基体の凹状の内面に向かって反応性ガス流を誘導するためのツーリングの異なる態様を表す断片的な断面図である。
【図9】 本発明の方法を用いて強化した基体の凹面の表面の総体的な外観を表す写真である。
【図10】 図9に示す強化した基体の凹面の表面の一部を表す、光学顕微鏡写真で得られた写真である。
【図11】 先行技術の化学蒸気浸透装置の非常に概略的な図面である。
【図12】 図11の装置を用いて強化した後の試料の表面状態を表す、光学顕微鏡写真で得られた写真である。
【図13】 図11の装置を用いて強化した後の試料の表面状態を表す、光学顕微鏡写真で得られた写真である。
【符号の説明】
10…エンクロージャー、12、14、24…パイプ、16…予熱器領域、18…プレート、20…拡散体プレート、22、122、222、322、422…支持トレイ、24…ブロック、28、128、228…オリフィス、30、330、331、430…隙間、32、232、332…ガイドウォール、126、226…棚板−支持体またはペッグ(pegs)、130、230…スロット、132、432…反応性ガスの流れを誘導するツーリング、214…流出ガス排気パイプ、316…ガス予熱・拡散トレイまたは予熱器プレート、318…流れ-分配用キャップ、321…ブロック、324、424…ブロックまたはスタッド、326…スペーサー、328…中央開口部、423…通路または穴、433…通路

Claims (6)

  1. 連続した凹状の内面で表される内部容積および外面を有し、基体の一方の端が閉じている中空ボウル型多孔質基体を化学蒸気浸透法により強化する方法であって、
    強化しようとする少なくとも1つの前記ボウル型基体をエンクロージャー内に配置すること、
    エンクロージャーの一方の端でエンクロージャーへの反応性ガスの入口である開口部を通って新しい反応性ガスをエンクロージャー内に導入すること、
    反応性ガスの入口とエンクロージャーのもう一方の端の流出ガスの出口との間で、エンクロージャーを通過して反応性ガスを流すこと、
    前記新しい反応性ガス流の第1分量を少なくとも1つの前記基体の内面に供給し、前記新しい反応性ガス流の第2分量を少なくとも1つの前記基体の外面に直接供給するように、エンクロージャー内に導入される前記新しい反応性ガス流の一部を第1および第2の分量に分配すること、および
    エンクロージャー内に導入される反応性ガス流合計のうちの第1分量を、前記基体の凹状の内面全部に沿って流れさせるように、前記反応性ガス流の第1分量を、前記反応性ガスを前記基体の内部容積に向かって基体の内壁面周辺に誘導するツーリングによって、少なくとも1つの前記基体の内面に誘導すること
    を含むことを特徴とする中空ボウル型多孔質基体を化学蒸気浸透法により強化する方法。
  2. エンクロージャー内に配置された基体の面に沿って流れる反応性ガス流全体のうちの前記割合が、5%以上である請求項1記載の方法。
  3. エンクロージャー内に配置された基体の面に沿って流れる反応性ガス流全体のうちの前記割合が、10%以上である請求項1記載の方法。
  4. 複数の基体が同時に強化され、該基体が、エンクロージャー内に、エンクロージャーを通過するガスの総体的な流れ方向に、並んで配置されている請求項1〜3のいずれかに記載の方法。
  5. 前記ガス流のうちの第1分量の誘導が、基体の凹状の内面で表される内部容積への行程の一部に入り込む壁部位により与えられる請求項1〜4のいずれかに記載の方法。
  6. 前記ガス流の第1分量の誘導が、基体の凹状の内面で表される内部容積内に収容されるボディ中に形成された通路により提供される請求項1〜4のいずれかに記載の方法。
JP2001384189A 2000-12-19 2001-12-18 化学蒸気浸透法による中空形状の多孔質基体の強化方法 Expired - Fee Related JP4263398B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0016615A FR2818291B1 (fr) 2000-12-19 2000-12-19 Densification de substrats poreux creux par infiltration chimique en phase vapeur
FR0016615 2000-12-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002241938A JP2002241938A (ja) 2002-08-28
JP4263398B2 true JP4263398B2 (ja) 2009-05-13

Family

ID=8857896

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001384189A Expired - Fee Related JP4263398B2 (ja) 2000-12-19 2001-12-18 化学蒸気浸透法による中空形状の多孔質基体の強化方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6942893B2 (ja)
EP (1) EP1217093B1 (ja)
JP (1) JP4263398B2 (ja)
DE (1) DE60144007D1 (ja)
FR (1) FR2818291B1 (ja)

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7476419B2 (en) * 1998-10-23 2009-01-13 Goodrich Corporation Method for measurement of weight during a CVI/CVD process
US6669988B2 (en) * 2001-08-20 2003-12-30 Goodrich Corporation Hardware assembly for CVI/CVD processes
FR2834713B1 (fr) * 2002-01-15 2004-04-02 Snecma Moteurs Procede et installation pour la densification de substrats par infiltration chimique en phase vapeur
DE10357698A1 (de) * 2003-12-09 2005-07-14 Schunk Kohlenstofftechnik Gmbh Träger für zu behandelnde Gegenstände sowie Verfahren zur Herstellung eines solchen
US7335397B2 (en) * 2004-02-16 2008-02-26 Goodrich Corporation Pressure gradient CVI/CVD apparatus and method
KR101029428B1 (ko) 2004-06-30 2011-04-14 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치의 램프 구동장치
FR2881145B1 (fr) * 2005-01-24 2007-11-23 Snecma Propulsion Solide Sa Procede d'infiltration chimique en phase gazeuse pour la densification de substrats poreux par du carbone pyrolytique
FR2882064B1 (fr) 2005-02-17 2007-05-11 Snecma Propulsion Solide Sa Procede de densification de substrats poreux minces par infiltration chimique en phase vapeur et dispositif de chargement de tels substrats
US20080232424A1 (en) * 2007-03-23 2008-09-25 Honeywell International Inc. Hearth plate including side walls defining a processing volume
US20110064891A1 (en) * 2009-09-16 2011-03-17 Honeywell International Inc. Methods of rapidly densifying complex-shaped, asymmetrical porous structures
WO2011037798A1 (en) * 2009-09-22 2011-03-31 3M Innovative Properties Company Method of applying atomic layer deposition coatings onto porous non-ceramic substrates
FR2953553B1 (fr) * 2009-12-09 2012-02-03 Snecma Aube de turbine de turbomachine en composite a matrice ceramique avec evidements realises par usinage
JP6231483B2 (ja) * 2011-10-31 2017-11-15 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー ロール形態の基材にコーティングを適用する方法
US11326255B2 (en) * 2013-02-07 2022-05-10 Uchicago Argonne, Llc ALD reactor for coating porous substrates
US9523149B2 (en) 2013-03-14 2016-12-20 Rolls-Royce Corporation Rapid ceramic matrix composite production method
FR3004732B1 (fr) * 2013-04-18 2015-05-08 Herakles Outillage de maintien, chargement et installation pour la densification de preformes poreuses de revolution
US9605345B2 (en) * 2013-08-23 2017-03-28 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Vertical furnace for improving wafer uniformity
US9852905B2 (en) * 2014-01-16 2017-12-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Systems and methods for uniform gas flow in a deposition chamber
JP6020483B2 (ja) * 2014-02-14 2016-11-02 トヨタ自動車株式会社 表面処理装置と表面処理方法
US10648075B2 (en) * 2015-03-23 2020-05-12 Goodrich Corporation Systems and methods for chemical vapor infiltration and densification of porous substrates
TWI624554B (zh) * 2015-08-21 2018-05-21 弗里松股份有限公司 蒸發源
WO2017033053A1 (en) 2015-08-21 2017-03-02 Flisom Ag Homogeneous linear evaporation source
CN108218461A (zh) * 2018-01-24 2018-06-29 航天睿特碳材料有限公司 一种单晶炉用碳/碳热场结构产品的快速cvd致密方法
FR3084672B1 (fr) * 2018-08-03 2020-10-16 Safran Ceram Procede de densification par infiltration chimique en phase gazeuse de substrats annulaires poreux
US10837109B2 (en) * 2018-11-15 2020-11-17 United Technologies Corporation CVI/CVD matrix densification process and apparatus
CN110963815B (zh) * 2019-10-10 2022-01-28 福建康碳复合材料科技有限公司 一种制备大尺寸碳/碳发热体的工艺方法
US11111578B1 (en) 2020-02-13 2021-09-07 Uchicago Argonne, Llc Atomic layer deposition of fluoride thin films
FI129868B (en) * 2021-03-30 2022-10-14 Beneq Oy Gas supply cup and gas manifold assembly
US12065738B2 (en) 2021-10-22 2024-08-20 Uchicago Argonne, Llc Method of making thin films of sodium fluorides and their derivatives by ALD
US12078417B1 (en) 2021-12-29 2024-09-03 Rolls-Royce High Temperature Composites, Inc. Load assemblies for loading parts in a furnace
US12000046B1 (en) * 2021-12-29 2024-06-04 Rolls-Royce High Temperature Composites, Inc. Load assemblies for loading parts in a furnace
US11932941B1 (en) 2021-12-29 2024-03-19 Rolls-Royce High Temperature Composites, Inc. Load assemblies for loading parts in a furnace
US11901169B2 (en) 2022-02-14 2024-02-13 Uchicago Argonne, Llc Barrier coatings
CN115181960B (zh) * 2022-06-23 2023-11-24 西安鑫垚陶瓷复合材料股份有限公司 一种薄壁尖锥回转件的cvi导流装置及其使用方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2739258C2 (de) * 1977-08-31 1985-06-20 Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH, 8263 Burghausen Verfahren zur Aufbringung einer Siliciumcarbid und Siliciumnitrid enthaltenden Schutzschicht auf Kohlenstofformkörper
US4609562A (en) * 1984-12-20 1986-09-02 Westinghouse Electric Corp. Apparatus and method for depositing coating onto porous substrate
US4741925A (en) * 1987-09-14 1988-05-03 Gte Products Corporation Method of forming silicon nitride coating
JP3197701B2 (ja) * 1993-09-09 2001-08-13 株式会社アイ・エイチ・アイ・エアロスペース 炭素繊維/炭素複合材の炭化ケイ素被覆形成方法
FR2733254B1 (fr) * 1995-04-18 1997-07-18 Europ Propulsion Procede d'infiltration chimique en phase vapeur pour la densification de substrats poreux disposes en piles annulaires
US5911824A (en) * 1997-12-16 1999-06-15 Saint-Gobain Industrial Ceramics, Inc. Method for growing crystal
US6669988B2 (en) * 2001-08-20 2003-12-30 Goodrich Corporation Hardware assembly for CVI/CVD processes
JP4218853B2 (ja) * 1999-03-03 2009-02-04 東海カーボン株式会社 単結晶引き上げ用炭素質ルツボとその製造方法
FR2801304B1 (fr) * 1999-11-24 2002-02-15 Snecma Procede de fabrication d'un bol en materiau composite thermostructural, notamment pour une installation de production de silicium monocristallin
EP1187950A2 (fr) * 1999-11-24 2002-03-20 Snecma Moteurs Procede de fabrication d'un bol en materiau composite thermostructural, bol tel qu'obtenu par le procede, et utilisation du bol comme support de creuset

Also Published As

Publication number Publication date
US6942893B2 (en) 2005-09-13
FR2818291A1 (fr) 2002-06-21
JP2002241938A (ja) 2002-08-28
DE60144007D1 (de) 2011-03-24
FR2818291B1 (fr) 2003-11-07
US20020076491A1 (en) 2002-06-20
EP1217093B1 (fr) 2011-02-09
EP1217093A1 (fr) 2002-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4263398B2 (ja) 化学蒸気浸透法による中空形状の多孔質基体の強化方法
JP3815796B2 (ja) 環形状の積重ねで配された多孔性基材を強化するための化学気相浸透法
JP4960264B2 (ja) 化学蒸気浸透により薄い多孔質基体を高密度化する方法、及び当該基体のローディング装置
US5217755A (en) Chemical vapor infiltration method utilizing substantially diffusive conditions
CN110062750B (zh) 用于纤维预制件气相化学渗透的成型设备和设施
EP1936006B1 (en) Pressure swing CVI/CVD
CA2849876C (en) A device for loading porous substrates of three-dimensional shape in order to be densified by directed flow chemical vapor infiltration
CN209243243U (zh) 一种自封气快速均匀化cvi致密炭/炭坩埚的装置
JP4213471B2 (ja) 中央通路を有する多孔性基材を高密度化するための化学蒸気浸透法
JP3490087B2 (ja) コントロールした表面温度における多孔質基材への物質の蒸気相化学浸透方法
RU2634826C2 (ru) Загрузочное устройство и установка для уплотнения пористых штабелируемых преформ, имеющих форму усеченного конуса
US20040237898A1 (en) Method and installation for the densification of substrates by means of chemical bapour infiltration
JP2008019511A (ja) 様々な浸透パラメーターでの化学気相浸透方法
JPH08510171A (ja) 圧力溶浸鋳造方法及び圧力溶浸鋳造装置
US9376749B2 (en) Method for the chemical vapor infiltration of refractive substances
US20040253377A1 (en) Batch and continuous CVI densification furnace
JP2001508388A (ja) 特に炭素、炭化シリコンについての耐火性物質の化学気相浸透方法、及びその方法の応用
US5472650A (en) Method of making chemical vapor infiltrated composites
CA2879223A1 (en) Chemical vapour infiltration apparatus having a high loading capacity
KR20020053750A (ko) 탄소 재료, 특히 탄소/탄소 복합물로 된, 실리콘 인발용실리카 도가니와 같은 도가니를 수용하기 위한 보울의보호 방법 및 장치
CN106145989A (zh) 一种多晶铸锭炉热场用盖板的制备方法
TW200835805A (en) Method of densifying porous articles
KR20150101297A (ko) 밀도화 장비
JPH11503493A (ja) 炭素およびケイ素および/またはホウ素を含む材料の化学蒸着浸透法
Xia et al. Rapid Densification of Carbon/Carbon Composites Plate by Pressure‐Gradient Chemical Vapor Infiltration

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041104

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070806

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070814

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20071114

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20071119

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20071214

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20071219

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080111

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20080617

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081016

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20081202

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090113

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090212

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120220

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4263398

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120220

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130220

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140220

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees