JP6231483B2 - ロール形態の基材にコーティングを適用する方法 - Google Patents
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Description
本出願は、2011年10月31日に出願された、米国仮特許出願番号第61/553,564号の利益を主張し、その開示は本明細書にその全体を援用するものである。
本開示は、ロール形態の基材にコーティングを適用する方法に関し、より具体的には、ロール基材の少なくとも1つの端面に、原子層堆積を使用してコーティングを適用する方法に関する。
単語「a」、「an」、及び「the」は、「少なくとも1つの」と同じ意味で用いられ、記載された要素の1以上を意味する。
ここで図1を参照すると、ロール形態の基材にコーティングを適用するための例示の装置(すなわち反応容器)の断面側面図が例示されている。図示されている装置20は、本開示に関連したバッチ処理に適しており、入口24及び出口26を含む本体22を有する。入口24及び出口26は、ロール形態の基材30の反対側にあり、この基材は、反応性ガスが入口24においてD1の方向において導入され、ロール基材30を通過する際に化学反応を生じ、方向D2において出口26まで前述のガスが進むように配置される。示されている実施形態では、ロール基材30の外周の一部分は、両面フランジ32a、32a’、32b、及び32b’によって都合よく保持されるが、装置20の本体22において、ロール基材30を保持するために他の手段を使用できることが当業者には認識されよう。
ここで図1を再び参照し、本開示は、ロール形態の基材30を処理する方法、より具体的には、ロール形態の基材30にコーティング25を適用する方法を特徴とし、この方法は、ロール形態の基材30を提供する工程であって、基材30は第1の端面30a及び前述の第1の端面と反対側の第2の端面30bを含み、基材30は、第1の主表面28a及び前述の第1の主表面28aと反対側の第2の主表面を含み(図1には示されていない。図2Aの28bを参照)、第1の主表面28a及び第2の主表面28bは、第1の端面30aと第2の端面30bとの間に延びる、工程と、ロール形態の基材30の少なくとも1つの端面30aにコーティング25を適用する工程と、を含む。一部の例示の実施形態では、本方法は、ロール形態の基材30の少なくとも1つの端面30aに、及び一方の主表面(28a及び/又は28b)の少なくとも一部分にコーティング25を適用する工程を含む。
様々な材料が前述の方法を実施する際に有用である。かかる材料は、基材及びコーティングを含むものとして分類されてもよい。
前述の方法のいずれかにおいて、基材は、剛性支持体、可撓性フィルム、繊維ウェブ、又はこれらの組み合わせを含み得る。
前述の方法のいずれかにおいて、コーティングは、反応性ガスの化学反応により形成された無機材料を含むのが好ましい。必要に応じて、無機材料は、アルミニウム、ケイ素、チタン、スズ、亜鉛、又はこれらの組み合わせのうちの少なくとも1つ酸化物を含む。1つの現在好ましい実施形態では、ALDは、二成分反応2 Al(CH3)3+3H2O→Al2O3+6 CH4を使用してコンフォーマル酸化アルミニウム(Al2O3)コーティングを堆積させるために使用される。これは、以下の2つの表面半反応に分けることができる:
AlOH*+Al(CH3)3→AlOAl(CH3)2 *+CH4 (1)
AlCH3 *+H2O→AlOH*+CH4 (2)
別の態様において、ロール形態の物品は、前述の方法のいずれかにより調製される。様々な現に好ましい実施形態では、本開示のロール基材は、裏打ち層、及びこの裏打ち層の主表面に配置された接着剤コーティングを含む粘着テープのロールであってもよい。粘着テープロールは、第2の主表面上に配置された剥離コーティング又は低粘着性バックサイズを更に含んでもよい。
本開示の例示の実施形態は、他の基材コーティング方法にまさる利点を有する。大半のこれまでのコーティング方法とは対称的に、一部の代表的な実施形態では、本開示の方法は、ロール形態の基材30(又は30’若しくは30”)の少なくとも1つの(若しくは両方の)端面(30a及び30b)、第1の主表面28a及び第2の主表面28bのうちの少なくとも1つの少なくとも一部分(若しくはその全体)、穿孔くず(29)の露出した端部を含む穿孔くず(29)、並びにいずれかの穿孔31の内周壁部35にコーティング25を選択的に適用する能力を提供する。
図1に全体的に示されているような反応器を、Kimball Physics Inc.(Wilton,NH)からConFlat両面フランジ(600−400−D CF)として市販の直径6インチ(15.24cm)の両面フランジを3枚使用して作製した。フランジのこの積層体の上流側になる方に、Kimball Physics Inc.から入手の、1/8”(0.32cm)NPT側孔を1つ有する直径6インチ(15.24cm)のConFlat両面フランジ(600DXSP12)を1つ取り付けた。この側孔は、プロセスの間の上部圧力(材料前)をモニタすることができるように、MKS Instruments(Andover,MA)から市販のBaratron(10torr(1.33kPa))圧力計を取り付けるために使用された。この要素の積層体の各末端部を、Kimball Physics Inc.から市販の直径6インチ(15.24cm)のConFlat Zero−Length Reducer Flange(600x275−150−0−T1)で塞いだ。積層体の接合点のそれぞれにおいて、適切な寸法の銅ガスケットを使用して良好な真空封止を形成した。
本明細書に記載の実施態様の一部を[1]−[20]に記載する。
[項目1]
ロール形態の基材を提供する工程であって、前記基材は、
第1の端面及び
前記第1の端面と反対側の第2の端面を有し、
前記基材は、第1の主表面及び該第1の主表面と反対側の第2の主表面を有し、前記第1の主表面及び前記第2の主表面は、前記第1の端面と前記第2の端面との間に延びる、工程と、
前記ロール形態の基材の少なくとも1つの端面に、及び必要に応じて、一方の主表面の少なくとも一部分にコーティングを適用する工程と、を含む、方法。
[項目2]
前記コーティングを適用する工程が、原子層堆積、分子層堆積、又はこれらの組み合わせを使用して実施される、項目1に記載の方法。
[項目3]
前記コーティングを適用する工程が、前記コーティングの段階的な原子層堆積を含み、前記コーティングの前記段階的な原子層堆積が、前記ロール形態の基材を通じて2つ又は3つ以上の反応性ガスを反復して送って、前記ロール形態の基材の少なくとも1つの端面上に2つ又は3つ以上の自己制限的な反応を誘導することを含む、項目2に記載の方法。
[項目4]
前記コーティングが、前記第1の主表面又は前記第2の主表面のうちの1つの少なくとも一部分に適用される、項目1〜3のいずれか一項に記載の方法。
[項目5]
前記コーティングが、前記第1の主表面及び前記第2の主表面のそれぞれの少なくとも一部分に適用される、項目1〜4のいずれか一項に記載の方法。
[項目6]
前記コーティングが、前記第1の主表面全体及び前記両方の端面に適用される、項目1〜5のいずれか一項に記載の方法。
[項目7]
前記コーティングが、前記第2の主表面全体及び前記両方の端面に適用される、項目1〜6のいずれか一項に記載の方法。
[項目8]
前記基材が、複数の穿孔を更に含み、前記複数の穿孔のそれぞれが、前記第1の主表面と前記第2の主表面との間で延びる内周壁部を有する、項目1〜7のいずれか一項に記載の方法。
[項目9]
前記複数の穿孔のうちの少なくとも1つが、前記複数の穿孔のうちの前記少なくとも1つの前記内周壁部に付着される穿孔くずを含む、項目8に記載の方法。
[項目10]
前記複数の穿孔のそれぞれが、前記複数の穿孔のそれぞれの前記対応する内周壁部に付着される穿孔くずを含む、項目9に記載の方法。
[項目11]
それぞれの穿孔くずが露出した端部外周部を含み、更に、前記コーティングが、少なくとも1つの穿孔くずの前記露出した端部外周部に適用される、項目10に記載の方法。
[項目12]
前記コーティングが、それぞれの穿孔くずの前記露出した端部外周部に適用される、項目11に記載の方法。
[項目13]
前記コーティングが、前記複数の穿孔のうちの少なくとも1つの前記内周壁部の少なくとも一部分に適用される、項目8〜12のいずれか一項に記載の方法。
[項目14]
前記コーティングが、前記複数の穿孔のうちの少なくとも1つの前記内周壁部全体に適用される、項目13に記載の方法。
[項目15]
前記コーティングが、前記複数の穿孔のそれぞれの前記内周壁部全体に適用される、項目14に記載の方法。
[項目16]
前記基材が、可撓性フィルム、繊維ウェブ、又はこれらの組み合わせを含む、項目1〜15のいずれか一項に記載の方法。
[項目17]
前記基材が微小多孔性である、項目1〜16のいずれか一項に記載の方法。
[項目18]
前記基材が(コ)ポリマーを更に含む、項目1〜17のいずれか一項に記載の方法。
[項目19]
前記コーティングが無機材料を含み、必要に応じて、前記無機材料が、アルミニウム、ケイ素、チタン、スズ、亜鉛、又はこれらの組み合わせのうちの少なくとも1つの酸化物を含む、項目1〜18のいずれか一項に記載の方法。
[項目20]
項目1〜19のいずれか一項に記載の方法により調製された、ロール形態の物品。
Claims (5)
- ロール形態の基材を提供する工程であって、前記基材は、
第1の端面及び
前記第1の端面と反対側の第2の端面を有し、
前記基材は、第1の主表面及び該第1の主表面と反対側の第2の主表面をさらに有し、前記第1の主表面及び前記第2の主表面は、前記第1の端面と前記第2の端面との間に延び、さらに第1のライナーが前記第1の主表面に隣接して配置されかつ密接して接着されており、及び第2のライナーが前記第2の主表面に隣接して配置されかつ密接して接着されている、工程と、
前記第1の主表面又は前記第2の主表面のいずれかにコーティングを適用することなく、少なくとも1つの端面にコーティングを適用する工程であって、該コーティングを適用する工程が、前記基材がロール形態である間に、原子層堆積、分子層堆積、又はこれらの組み合わせを使用して実施される、工程と、を含む、方法。 - 前記コーティングを適用する工程が、前記コーティングの段階的な原子層堆積を含み、前記コーティングの前記段階的な原子層堆積が、前記ロール形態の基材を通じて2つ又は3つ以上の反応性ガスを反復して送って、前記ロール形態の基材の少なくとも1つの端面上に2つ又は3つ以上の自己制限的な反応を誘導することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記基材が、複数の穿孔を更に含み、前記複数の穿孔のそれぞれが、前記第1の主表面と前記第2の主表面との間で延びる内周壁部を有し、任意に、前記複数の穿孔のうちの少なくとも1つが、前記複数の穿孔のうちの前記少なくとも1つの前記内周壁部に付着される穿孔くずを含む、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記基材が、可撓性フィルム、繊維ウェブ、又はこれらの組み合わせを含み、任意に、前記基材が微小多孔性である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- ロール形態の基材を含む物品であって、前記基材は、
第1の端面及び
前記第1の端面と反対側の第2の端面を有し、
前記基材は、第1の主表面及び該第1の主表面と反対側の第2の主表面をさらに有し、前記第1の主表面及び前記第2の主表面は、前記第1の端面と前記第2の端面との間に延び、さらに第1のライナーが前記第1の主表面に隣接して配置されかつ密接して接着されており、及び第2のライナーが前記第2の主表面に隣接して配置されかつ密接して接着されており、さらに最大で100nmの厚さを有するコーティングが、前記第1の主表面又は前記第2の主表面のいずれかにコーティングを適用することなく、原子層堆積、分子層堆積、又はこれらの組み合わせを使用して少なくとも1つの端面に適用されている、物品。
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