JP4260871B1 - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【課題】 製作が容易でプローブの位置が正確なプローブカードを提供する。
【解決手段】 支持プレート2は直径1〜100μm、長さ(高さ)1〜50μm程度の多数のセラミック管5…を軸が平行となるように集合させ、外側を枠体6で固定して構成されている。前記多数のセラミック管5の集合体は隣接する4つのセラミック管5…の中心O1、O2、O3、O4が正方形の頂点となるように稠密配置された状態で接着剤7で固着されている。
【選択図】 図4
Description
尚、スプリング部9aを設ける代わりに、図2に示すように支持プレート2,3の水平位置を若干ずらすことで直線的なスプリング部9bとすることも可能である。
先ず、筒状の型内に樹脂やガラスなどからなる芯材をセットし、型内にスラリーを鋳込む。そして着肉後グリーン状態のセラミック管を型から取り出し焼成する。このとき、芯材は焼成の熱によって消失し、軸方向に貫通穴が形成された長尺のセラミック管が得られる。
Claims (4)
- 導電パターンが形成された基板と、前記導電パターンに一端が接続されるプローブと、前記基板に取付けられるとともに前記プロ−ブの先端が挿通されるガイド穴を形成した支持プレートとを備えたプロ−ブカードであって、前記支持プレートは多数のセラミック管を軸が平行となるように集合して構成され、前記多数のセラミック管は隣接する4つのセラミック管の中心が正方形の頂点となるように稠密配置されていることを特徴とするプロ−ブカード。
- 請求項1に記載のプロ−ブカードにおいて、前記4つのセラミック管で囲まれる空間の対向するセラミック管の外周面の最短間隔が、セラミック管の内径と等しいことを特徴とするプロ−ブカード。
- 導電パターンが形成された基板と、前記導電パターンに一端が接続されるプローブと、前記基板に取付けられるとともに前記プロ−ブの先端が挿通されるガイド穴を形成した支持プレートとを備えたプロ−ブカードであって、前記支持プレートは多数のセラミック管を軸が平行となるように集合して構成され、前記多数のセラミック管は隣接する3つのセラミック管の中心が正三角形の頂点となるように稠密配置されていることを特徴とするプロ−ブカード。
- プローブの先端部をガイドするガイド穴を多数形成したプロ−ブカード用支持プレートの製造方法において、鋳込み成形によってグリーン状態のセラミック管を成形する際に芯材を一体的に鋳込み、この後焼成時に前記芯材をガス化して除去し、得られた長尺のセラミック管を軸が平行になるとともにその中心が正方形の頂点または正三角形の頂点となるように稠密配置して接着してセラミック管集合体とし、この後前記セラミック管集合体を所定寸法に切断することを特徴とするプロ−ブカード用支持プレートの製造方法。
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