JP4258427B2 - ラッピング加工装置とラッピング加工方法 - Google Patents
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Description
図1は本発明の実施形態に係るラッピング加工装置の概略図、図2は図1の2−2線に沿う概略断面図で、同ラッピング加工装置の上下アーム閉状態を示し、図3は同上下アームの開状態を示す概略断面図、図4は本実施形態のワークを示し、(A)は同ワークの斜視図、(B)は同ワークの要部説明図である。なお、ワークの軸線方向(図1で左右方向)をX方向、X方向に直交する水平方向(図1で紙面直交方向)をY方向、X方向に直交する鉛直方向(図1で上下方向)をZ方向と定義する。
図9は本発明の第2の実施形態に係るシュー支持手段を示す断面図、図10は同シュー支持手段の変形例を示す断面図であるが、第1の実施形態と同様の機能を有する部材については、同一符号を使用し、その説明を省略する。
図10は本発明の第3の実施形態に係るシュー支持手段を示す断面図であるが、前記実施形態と同様の機能を有する部材については、類似する符号を使用し、その説明を省略する。
3…凹シュー、
11…ラッピングフィルム、
28…シューケース、
29…揺動ピン、
31…支持孔、
32…弾性体、
34…皮膜、
35a…検出用圧電素子、
35b…作動用圧電素子、
40…回転駆動手段、
50…オシレーションユニット、
W…ワーク。
Claims (8)
- 断面非真円の円弧状をしたワークの加工面を、薄肉基材の一面に設けられた砥粒によりラッピング加工を施すラッピングフィルムと、
前記ワークを回転駆動する回転駆動手段と、
前記ラッピングフィルムの背面側に配置されたシューと、
当該シューを、前記ラッピングフィルムを介して前記ワークに押付けかつ該シューが少なくとも前記ワークの回転方向に揺動可能に支持するシュー支持手段と、
を有し、
前記ワークを軸方向にオシレーションしつつ前記ワークの加工面をラッピング加工するラッピング加工装置であって、
前記シュー支持手段は、前記シューを前記ワークの軸方向にも揺動可能に支持し、前記シューは、先端部の断面形状が前記ワークの回転方向で中凹状で、かつ、前記ワークの軸方向で円弧状凹形状としたことを特徴とするラッピング加工装置。 - 前記シュー支持手段は、前記シューを前記ワークの軸方向に揺動可能に弾性支持したことを特徴とする請求項1に記載のラッピング加工装置。
- 前記シュー支持手段は、前記シューが収納されたシューケースを有し、当該シューケース内で前記シューを支持ピンにより前記ワークの回転に追従して揺動可能に支持し、当該支持ピンが挿通する前記シューに開設された支持孔を中心部より外方に向って拡開するように形成したことを特徴とする請求項1又は2に記載のラッピング加工装置。
- 前記シュー支持手段は、前記支持ピンと前記支持孔との間、若しくは前記シューの端面と前記シューケースとの間の少なくとも一方に弾性体を設けたことを特徴とする請求項3に記載のラッピング加工装置。
- 前記シュー支持手段は、前記弾性体若しくは当該弾性体が当接する前記シューケースの少なくとも一方に低摩擦係数皮膜を設けたことを特徴とする請求項4に記載のラッピング加工装置。
- 前記シュー支持手段は、前記シューと前記シューケースとの間に前記シューを前記ワークの軸方向に揺動させる作動用圧電素子を設けたことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のラッピング加工装置。
- 前記シュー支持手段は、前記シューと前記シューケースとの間に前記シューの揺動変位を検出する検出用圧電素子を設けたことを特徴とする請求項6に記載のラッピング加工装置。
- 断面非真円の円弧状をしたワークの加工面を、薄肉基材に砥粒が設けられたラッピングフィルムにより覆い、前記ワークの回転方向に揺動可能に支持されかつ先端部の形状が前記ワークの回転方向に中凹状で、かつ、前記ワークの軸方向で円弧状凹形状とされたシューにより前記ラッピングフィルムを背面側から押圧し、前記ワークを回転駆動するとともに軸方向にオシレーションすることにより前記ワークの加工面をラッピング加工するラッピング加工方法であって、
前記ワークのオシレーションに伴ない前記シューをオシレーション方向に揺動させつつ前記ワークの軸方向の加工面を中凸状に成形することを特徴とするラッピング加工方法。
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JP2005313282A JP2005313282A (ja) | 2005-11-10 |
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JP2009119537A (ja) * | 2007-11-12 | 2009-06-04 | Toshiba Corp | 基板処理方法及び基板処理装置 |
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