JP4240243B2 - ビルドアップ多層配線板の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、微小なバイアホール及び微細な回路導体を有するビルドアップ多層配線板を効率よく製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、電子機器の小型化、軽量化、多機能化が進むのに伴い、大規模集積回路(以下、LSIという。)やチップ部品等の高集積化が行われ、その結果、多ピン化、小型化へと急速に変化しているので、多層配線板にも、電子部品の実装密度を向上するために、配線パターンの高密度化が一層求められるようになった。
この要望を満たすために、層間の薄型化、配線の微細化、層間接続穴の小径化が行われ、隣接する層間のみを接続するインタースティシャルバイアホール(以下、IVHという。)や、ベリードバイアホール(以下、BVHという。)が用いられるようになり、このIVHやBVHも更に小径化されつつある。
【0003】
多層配線板には、通常、複数の回路導体層とその回路導体層間の絶縁層をまとめて重ね、加熱・加圧して積層一体化し、必要な箇所に穴をあけ、穴内壁を金属化して接続する多層配線板と、回路導体を形成した基板上に絶縁層を形成し、必要な箇所に穴をあけ、その穴内壁を金属化し、絶縁層上に回路導体を形成し、というように回路導体層と絶縁層とを順次形成するビルドアップ多層配線板とがある。
【0004】
このビルドアップ多層配線板の製造方法としては、内層回路導体とめっきスルーホールとが形成された内層回路板の表面に熱硬化性樹脂の絶縁層を形成し、バイアホールとなる箇所にレーザー光を照射して絶縁層に穴あけし、このバイアホールとなる穴の内部と絶縁層の表面を次の工程で行うめっきとの密着性を高めるために粗化剤で粗化し、全面にめっきした後に、めっきを残す箇所にエッチングレジストを形成し、エッチングレジストに覆われていない箇所をエッチング除去して回路導体を形成する第1の方法が知られている。
【0005】
また、内層回路導体とめっきスルーホールとが形成された内層回路板の表面に熱硬化性樹脂の絶縁層を形成し、バイアホールとなる箇所にレーザー光を照射して絶縁層に穴あけし、このバイアホールとなる穴の内部と絶縁層の表面を次の工程で行うめっきとの密着性を高めるために粗化剤で粗化し後に、めっきを行わない箇所にめっきレジストを形成し、めっきを行って回路導体を形成する第2の方法が知られている。
【0006】
また、内層回路導体とめっきスルーホールとが形成された内層回路板の表面に光硬化性樹脂の絶縁層を形成し、バイアホールとなる箇所以外の箇所を光硬化し現像して絶縁層に穴あけし、このバイアホールとなる穴の内部と絶縁層の表面を次の工程で行うめっきとの密着性を高めるために粗化剤で粗化し、全面にめっきした後に、めっきを残す箇所にエッチングレジストを形成し、エッチングレジストに覆われていない箇所をエッチング除去して回路導体を形成する第3の方法が知られている。
【0007】
さらに、金属箔の粗化面に樹脂を塗布して半硬化状態とした絶縁層付き金属箔を、内層回路導体とめっきスルーホールとが形成された内層回路板の表面に重ね、加熱・加圧して積層一体化した後に、金属箔のバイアホールとなる箇所のみをエッチング除去して開口部を形成し、その開口部にレーザー光を照射して絶縁層に穴あけし、めっきを行ってバイアホールの穴の内部を金属化した後、不要な箇所の金属をエッチング除去して回路導体を形成する第4の方法が知られている。この方法では、樹脂絶縁層を粗化剤で粗化することなく、樹脂絶縁層と導体回路となる金属箔との接着強度を確保することができる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の方法のうち、第2の方法では、回路の形成に、高温、高アルカリ雰囲気で行う無電解めっきが必要となり、めっきレジストにはこれに耐えうる樹脂を用いることが必要となり、現在ではそのようなめっきレジスト用の樹脂が知られていないという課題がある。
【0009】
また、第1の方法と第2の方法と第3の方法では、絶縁層にはその後の工程で行うめっきとの密着性を高める程度の粗化剤に粗化される性質が必要であり、しかも、一般的に使用できる化学粗化剤で粗化の程度を制御できなければならない。
ところが、通常は絶縁性と粗化の制御のし易さが両立する樹脂組成は知られていないので、粗化され易い充填材を加えて分散させた樹脂組成や、絶縁層として絶縁性を有する層と粗化され易い層とを併用する方法を用いなければならず、粗化され易い充填材を加えて分散させた樹脂組成を用いた場合には、高い密着強度を得るために充填材の粒子径を大きくすると、形成する回路導体の間隔を小さくできないという課題があり、絶縁層として絶縁性を有する層と粗化され易い層とを併用した場合には、どうしても表面には絶縁性の低い粗化され易い層を使用しなければならず、この場合もまた、形成する回路導体の間隔を小さくできないという課題がある。
【0010】
第4の方法では、通常、接続信頼性を確保するために、内層の回路導体と表面の回路導体とを接続するためのめっきの厚さを10μm以上とする必要があり、そのうようにすると、同じ厚さのめっきが表面の金属箔にも行われ、表面に形成する回路導体を形成するために、金属箔の厚さとめっきの厚さを加えた厚さをエッチング除去しなければならず、より微細な回路導体の形成が困難になるという課題がある。
【0011】
本発明は、微細な回路導体の形成が可能であり、かつ絶縁性と接続信頼性に優れたビルドアップ多層配線板の製造方法を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明のビルドアップ多層配線板の製造方法は、以下の工程を有することを特徴とする。
a.回路基板上に、半硬化状態の絶縁層と、粗化面を有する極薄の金属層であって銅とエッチング除去条件が異なる金属層とキャリア層としての銅層からなる複層材とをこの順に、あるいは粗化面を有する極薄の金属層であって銅とエッチング除去条件が異なる金属層とキャリア層としての銅層からなる複層材の極薄の金属層に接する半硬化状の絶縁層を形成したものを、半硬化状態の絶縁層が接するように重ね、加熱・加圧して、積層一体化する工程。
b.第1の基板からキャリア層のみを除去する工程。
c.粗化面を有する極薄の金属層の、バイアホールとなる箇所のみをエッチング除去して開口部を形成する工程。
d.開口部に露出した硬化した絶縁層を、レーザー光を照射して、内部の回路基板の回路導体が露出するまで、除去する工程。
e.粗化面を有する極薄の金属層をエッチング除去する工程。
f.バイアホールとなる穴の内壁と基板表面に厚み0.01〜1μmの無電解めっきを行う工程。
g.基板表面のバイアホールとなる箇所と回路導体となる箇所を除いて、めっきレジストを形成する工程。
h.めっきレジストで覆われていない箇所に、電気めっきを行う工程。
i.めっきレジストを除去する工程。
j.除去しためっきレジストの下にあった厚み0.01〜1μmの無電解めっきを、エッチング除去する工程。
【0013】
粗化面を有する金属層の厚さは、0.1〜10μmの範囲であることが好ましく、金属層の種類には、銅を用いることが好ましい。
【0014】
また、工程jで作製したビルドアップ多層配線板を、回路基板とし、さらに工程a〜工程jを繰り返し行うことによって、さらに多層化を行うこともできる。
【0015】
半硬化状態の絶縁層に、ガラスクロスなどの強化繊維を含まない材料を用いることもできる。
【0016】
【発明の実施の形態】
(工程a)
工程aにおいて、半硬化状の絶縁層には、レーザー光による穴あけが可能な樹脂であればどのようなものでも使用でき、例えば、プリント配線板に一般的に使用されているガラスクロスに、半硬化性の樹脂を塗布したプリプレグを使用することができ、このプリプレグの樹脂には、エポキシ樹脂、変性ポリイミド樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、ビスマレイミドトリアジン樹脂等が使用でき、また、ガラスクロスのような強化繊維を含まないフィルム状の絶縁層を用いることもでき、このような絶縁層の樹脂にも、エポキシ樹脂、変性ポリイミド樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、ビスマレイミドトリアジン樹脂等が使用でき、レーザー光による穴あけは容易となるので好ましい。
【0017】
本発明に用いる、粗化面を有する金属層とキャリア層から成る複層材において、キャリア層には、銅を用いる。
【0018】
銅とエッチング除去条件が異なる、粗面を有する極薄の金属層としては、例えば、Ni、Sn、Pbの他、Ni−P、Ni−B、はんだ等の合金を用いることができ、さらには、粗化処理にも耐え得るものであればより好ましく、粗化処理液として、アルカリ過マンガン酸溶液を用いる場合には、Ni、Ni−P、Ni−B等が使用できる。
【0019】
この金属層にはある程度の厚さが必要であり、厚過ぎると、その後の除去工程での効率が悪化したり、材料費が大きくなるおそれがあり、また、薄い場合には、取り扱い時の衝撃で後述する樹脂絶縁層に転写されている粗化形状が損傷し易くなるので、加工条件に応じて予め条件を求めるなどして、最適の範囲の厚さを選択する必要があり、具体的には、極薄の金属層としてNiを用いる場合には、0.1〜5μmのものが好ましく、1〜3μm程度のものがより好ましい。
【0020】
(工程b)
複層材からキャリア層を除去するには、銅のエッチング液によって行うことができ、例えば、塩化銅、塩化鉄、アルカリ性エッチング液、過硫酸アンモニウム、硫酸−過酸化水素等の一般的なエッチング液が使用でき、市販品としては、エッチング液SE−07(三菱瓦斯化学株式会社製、商品名)等が使用でき、エッチング方法には、エッチング液に浸漬したり、エッチング液を噴霧することによって行うことができる。
【0021】
(工程c)
粗化面を有する金属層の、バイアホールとなる部分のみをエッチング除去して開口部を形成するには、その開口部になる箇所を除いてエッチングレジストを形成し、開口部になる箇所のみをエッチング除去することによって行うことができる。
このときのエッチング液には、極薄の金属層にNiを用いた場合には、エッチング液でNiのみを選択的に除去するものとして、メルストリップN−950(メルテックス株式会社製、商品名)やニッケルストリッパーBR(日本マクダーミット株式会社製、商品名)等の市販品が使用できる。この場合、Niが2μmの厚みの場合は、温度20〜80℃で、浸漬時間5〜30分であり、シャワー方式であればさらに効率良く除去できる。
【0022】
(工程d)
粗化面を有する金属層に形成した開口部に露出した硬化した絶縁層を、回路基板の接続させる回路導体が露出するまでレーザー光の照射によって除去するには、CO2レーザ、エキシマレーザ、UVレーザ等が使用でき、その後、過マンガン酸塩等の酸化性粗化液で、穴内部を洗浄することが好ましい。
【0023】
(工程e)
粗化面を有する金属層を除去するには、極薄の金属層をNiとした場合の一例を示すと、エッチング液でNiのみを選択的に除去するものとして、メルストリップN−950(メルテックス株式会社製、商品名)やニッケルストリッパーBR(日本マクダーミット株式会社製、商品名)等の市販品が使用できる。この場合、Niが2μmの厚みの場合は、温度20〜80℃で、浸漬時間5〜30分であり、シャワー方式であればさらに効率良く除去できる。
【0024】
この金属層を除去するときに、銅をエッチング除去しないので、バイアホールとなる穴の底の回路基板の導体回路の損傷はほとんどない。
【0025】
(工程f)
バイアホールとなる穴の内部と絶縁層の表面に、行う無電解めっきには、通常、プリント配線板の製造に用いる、電気めっきの前処理として使用される無電解めっきが使用でき、CUST201(日立化成工業株式会社製、商品名)、CUST2000(日立化成工業株式会社製、商品名)等の市販品が使用できる。
めっきの厚さは、次の工程の電気めっきが行える厚さであればよく、0.01μm以上であることが好ましく、銅めっきであれば1μmでも十分である。
【0026】
(工程g)
無電解めっきを行った表面の、バイアホールとなる穴の箇所及び導体回路となる箇所以外の箇所にめっきレジストを形成する工程において、形成するめっきレジストの厚さは、その後めっきする導体の厚さと同程度か、より厚い膜厚とするのが好ましい。
このめっきレジストに使用できる樹脂には、感光性樹脂として、PMER P−LA900PM(東京応化工業株式会社製、商品名)のような液状レジストや、H−W425(日立化成工業株式会社製、商品名)、RY−3025(日立化成工業株式会社製、商品名)等のドライフィルムが使用できる。
【0027】
(工程h)
めっきレジストが形成されていない箇所に、行う電気めっきには、通常プリント配線板で使用される硫酸銅電気めっきやピロリン酸銅電気めっきが使用できる。なお、回路導体をめっきした後、特性の安定化とその後のレジスト剥離のしやすさとの理由で、回路導体をレジストの厚さとそろえるために、回路導体の表面をベルトサンダーで研磨することができ、この場合には、めっきの厚さを、めっきレジストよりも厚くても良い。
【0028】
(工程i)
めっきレジストを除去するには、アルカリ性剥離液や硫酸あるいは市販のレジスト剥離液を用いることによって行うことができる。
【0029】
(工程j)
めっきレジストを除去した箇所の無電解めっきを、エッチング除去するには、塩化銅、塩化鉄、アルカリ性エッチング液、過硫酸アンモニウム、硫酸−過酸化水素等のエッチング液で、短時間に行う。
【0030】
(作用)
このように本発明では、感光性樹脂でパターン形成後、電気銅めっきにより
、導体回路形成を行うため、微細な配線を形成することが可能であり、また、粗化形状を有する薄い金属層を使用しているため、この金属層をエッチング除去した時、内層銅のエッチバックが殆ど無く、そのため、内層接続信頼性に問題は生じない。そして、金属層の粗化形状を絶縁層に転写するため、特殊な粗化性を有する樹脂絶縁層を使用する必要もなく、優れた回路接着性と絶縁性を得ることができる。また、レーザでの穴あけ時に、極薄の金属層が表面に存在するため、作業時に、粗化面を損傷することもなく、微細な回路形成が可能となる。
【0031】
【実施例】
実施例1
・工程a
厚さ18μmの銅箔を両面に貼り合わせた厚さ0.2mmのガラス布基材エポキシ銅張積層板であるMCL−E−679(日立化成工業株式会社製、商品名)の不要な銅箔をエッチング除去して回路導体19を加工して内層の回路基板1を作製した。
粗化面を有する極薄の金属層であって銅とエッチング除去条件が異なる金属層とキャリア層としての銅層からなる複層材として、厚さ30μmの電解銅箔に、電解めっきを行って、こぶ状のめっきを析出させ、さらに、電解めっきを行って、そのこぶ状のめっきを成長させ、粗化面を形成し、その粗化面に、厚さ2μmの電解ニッケルめっきを行って作製した。
図1(a)に示すように、上記複層材のニッケル層の表面に、半硬化状の絶縁層として、MCF6000E(日立化成工業株式会社製、商品名)に用いる充填材の硼酸アルミニウムウイスカーを分散させたエポキシ樹脂ワニスを塗布して乾燥して半硬化状としたエポキシ接着層31を形成した、複層金属箔付きエポキシ接着シートを、接着層31が回路基板1に接するように重ね、温度170℃、時間60分間、成形圧力2.5MPaの積層条件で加熱・加圧して積層一体化し、第1の基板11とした。
・工程b
図1(b)に示すように、アンモニウム系アルカリエッチング液であるAプロセス(メルテックス株式会社製、商品名)を用いて、第1の基板11のキャリア203をエッチング除去し、2μmのニッケル層204を残した。
・工程c
次に、図1(c)に示すように、フォトレジスト用ドライフィルムであるフォテックH−W425(日立化成工業株式会社製、商品名)を、第1の基板11に残したニッケル層204の表面にラミネートし、バイアホール4となる箇所にマスクパターンを形成したフォトマスクを介して紫外線を露光し、現像して第1のエッチングレジストを形成し、ニッケルのエッチング液であるメルストリップN−950(メルテックス株式会社製、商品名)を噴霧して、バイアホール4となる部分のみニッケル層204をエッチング除去して開口部41を形成した。
・工程d
図1(d)に示すように、前記の第1のエッチングレジストを3重量%の炭酸水素ナトリウム溶液により溶解して除去した後、開口部41に露出した硬化した絶縁層である硬化したエポキシ接着層301を、炭酸ガスレーザで、周波数150Hz、エネルギー密度20J/cm2、発振時間1μ秒、4パルスの条件で、内層の回路基板1のバイアホール4で接続する箇所の回路導体19が露出するまで除去した。
・工程e
その後、図1(e)に示すように、過マンガン酸カリウム水溶液でスミア処理を行った後、ニッケルのエッチング液であるメルストリップん−950(メルテックス株式会社製、商品名)を用いて、第1の基板11の表面のニッケル層204を完全にエッチング除去した。
・工程f
図1(f)に示すように、第1の基板11の表面に触媒化処理を行い、CUST−201(日立化成工業株式会社製、商品名)を使用し、液温25℃、30分の条件で、無電解銅めっきを行い、厚さ1μmの第1のめっき銅51を形成した。
・工程g
次に、図1(g)に示すように、フォトレジスト用ドライフィルムであるフォテックH−W425(日立化成工業株式会社製、商品名)を、第1の基板11の第1のめっき銅51の表面にラミネートし、電気めっきを行う箇所をマスクしたフォトマスクを介して紫外線を露光し、現像して、めっきレジスト6を形成した。
・工程h
次に、図1(h)に示すように、電気銅めっきを10μmほど行い、回路導体幅/回路導体間隔(L/S)=50μm/50μmとなるように、第2のめっき銅71を、回路の形状に形成した。
・工程i
図1(i)に示すように、めっきレジスト6を3重量%の炭酸水素ナトリウム溶液により溶解して除去した。
・工程j
次に、図1(j)に示すように、アンモニウム系アルカリ銅エッチング液であるAプロセス液(メルテックス株式会社製、商品名)に、室温で1分間浸漬し、めっきレジスト6の下に形成されていた第1のめっき銅51をエッチング除去した。
【0032】
実施例2
・工程a
厚さ18μmの銅箔を両面に貼り合わせた厚さ0.2mmのガラス布基材エポキシ銅張積層板であるMCL−E−679(日立化成工業株式会社製、商品名)の不要な銅箔をエッチング除去して回路導体19を加工し、内層の回路基板1を作製した。
次に、図2(a)に示すように、回路基板の両面上に、半硬化状の絶縁層として厚さ40μmのエポキシフィルム32であるAS3000(日立化成工業株式会社製、商品名)と、粗化面を有する極薄の金属層であって銅とエッチング除去条件が異なる金属層とキャリア層としての銅層からなる複層材として、厚さ1μmのニッケル層204、厚さ35μmの銅箔のキャリア203からなる粗化ニッケル付き銅箔NiMT−CF35(福田金属箔粉工業株式会社製、商品名)を、ニッケル層204の粗化面がエポキシフィルム32に接するように重ね、温度170℃、時間60分間、成形圧力4.0MPaの条件で加熱・加圧して積層一体化して、第1の基板11とした。
・工程b
図2(b)に示すように、積層一体化した後、アンモニウム系アルカリエッチング液であるAプロセス(メルテックス株式会社製、商品名)を用いて、第1の基板11のキャリア203をエッチング除去し、1μmのニッケル層204を残した。
その後は、実施例1と同様に行った。
【0033】
実施例3
・工程a
厚さ18μmの銅箔を両面に貼り合わせた厚さ0.2mmのガラス布基材エポキシ銅張積層板であるMCL−E−679(日立化成工業株式会社製、商品名)の不要な箇所の銅箔をエッチング除去して回路導体19を加工し、内層の回路基板1を作製した。
次に、図3(a)に示すように、回路基板1の両面上に、半硬化状の絶縁層として、厚さ0.1mmのガラス布エポキシ樹脂製のプリプレグ33であるGEA−679(日立化成工業株式会社製、商品名)と、粗化面を有する極薄の金属層であって銅とエッチング除去条件が異なる金属層とキャリア層としての銅層からなる複層材として、厚さ1μmのニッケル層204、厚さ35μmの銅箔のキャリア203からなる粗化ニッケル付き銅箔NiMT−CF35(福田金属箔粉工業株式会社製、商品名)を、ニッケル層204の粗化面がプリプレグ33に接するように重ね、温度170℃、時間60分間、成形圧力4.0MPaの条件で加熱・加圧して積層一体化して、第1の基板11とした。
・工程b
図3(b)に示すように、積層一体化した後、アンモニウム系アルカリエッチング液であるAプロセス(メルテックス株式会社製、商品名)を用いて、第1の基板11のキャリア203をエッチング除去し、1μmのニッケル層204を残した。
・工程c
次に、図3(c)に示すように、フォトレジスト用ドライフィルムであるフォテックH−W425(日立化成工業株式会社製、商品名)を、第1の基板11に残したニッケル層204の表面にラミネートし、バイアホール4となる箇所にマスクパターンを形成したフォトマスクを介して紫外線を露光し、現像してエッチングレジストを形成し、アンモニウム系アルカリ銅エッチング液であるAプロセス(メルテックス株式会社製、商品名)を噴霧して、バイアホール4となる部分のみ薄い銅箔201をエッチング除去して開口部41を形成した。
・工程d
図3(d)に示すように、エッチングレジストを3重量%の炭酸水素ナトリウム溶液により溶解して除去した後、開口部41に露出した硬化した絶縁層である硬化したプリプレグ303を、炭酸ガスレーザで、周波数150Hz、エネルギー密度20J/cm2、発振時間1μ秒、6パルスの条件で、内層の回路基板1のバイアホール4で接続する箇所の回路導体19が露出するまで除去した。
その後は、実施例1と同様に行った。
【0034】
比較例1
・工程a
厚さ18μmの銅箔を両面に貼り合わせた厚さ0.2mmのガラス布基材エポキシ銅張積層板であるMCL−E−679(日立化成工業株式会社製、商品名)の不要な銅箔をエッチング除去して回路導体19を加工して内層の回路基板1を作製し、図4(a)に示すように、粗化面を有する金属層として、一方の面を酸化処理して粗化した厚さが18μmの銅箔21であるNDGR−18(日本電解株式会社製、商品名)を用い、その銅箔21の粗化面に、半硬化状の絶縁層として、厚さ40μmのエポキシフィルム32であるAS3000(日立化成工業株式会社製、商品名)を用い、エポキシフィルム32が回路基板1に接するように重ね、温度170℃、時間60分間、成形圧力4.0MPaの積層条件で加熱・加圧して積層一体化し、第1の基板11とした。
・工程B1
図4(B1)に示すように、積層一体化した後、塩化銅エッチング液を用いて、銅箔21を全てエッチング除去した。
・工程D1
図4(D1)に示すように、銅箔21を全てエッチング除去した第1の基板11のバイアホール4となる箇所の硬化したエポキシ接着層301を、炭酸ガスレーザで、周波数150Hz、エネルギー密度20J/cm2、発振時間1μ秒、4パルスの条件で、内層の回路基板1のバイアホール4で接続する箇所の回路導体19が露出するまで除去した。
・工程F1
図4(F1)に示すように、銅箔21を全てエッチング除去した第1の基板11を、過マンガン酸カリウム水溶液に浸漬してスミア処理を行った後、触媒化処理を行い、CUST−201(日立化成工業株式会社製、商品名)を使用し、液温25℃、30分の条件で、無電解銅めっきを行い、厚さ1μmの第3のめっき銅52を形成した。
・工程g
次に、図4(g)に示すように、フォトレジスト用ドライフィルムであるフォテックH−W425(日立化成工業株式会社製、商品名)を、第1の基板11にラミネートし、電気めっきを行う箇所をマスクしたフォトマスクを介して紫外線を露光し、現像して、めっきレジスト6を形成した。
・工程h
次に、図4(h)に示すように、電気銅めっきを10μmほど行い、回路導体幅/回路導体間隔(L/S)=50μm/50μmとなるように回路導体を形成した。
・工程i
図4(i)に示すように、めっきレジスト6を3重量%の炭酸水素ナトリウム溶液により溶解して除去した。
・工程j
次に、図4(j)に示すように、アンモニウム系アルカリ銅エッチング液であるAプロセス液(メルテックス株式会社製、商品名)に、室温で1分間浸漬し、めっきレジスト6の下に形成されていた第3のめっき銅52をエッチング除去した。
【0035】
比較例2
・工程a
厚さ18μmの銅箔を両面に貼り合わせた厚さ0.2mmのガラス布基材エポキシ銅張積層板であるMCL−E−679(日立化成工業株式会社製、商品名)の不要な箇所の銅箔をエッチング除去して回路導体19を加工し、内層の回路基板1を作製した。
次に、図5(a)に示すように、回路基板1の両面上に、半硬化状の絶縁層として、厚さ40μmのエポキシフィルム32であるAS3000(日立化成工業株式会社製、商品名)を用い、エポキシフィルム32と、粗化面を有する金属層として、一方の面を酸化処理して粗化した厚さ18μmの銅箔21であるNDGR−18(日本電解株式会社製、商品名)とを、この順に、かつ銅箔21の粗化面がエポキシフィルム32に接するように重ね、温度170℃、時間60分間、成形圧力4.0MPaの条件で、加熱・加圧して積層一体化し、第1の基板11とした。
・工程C2
次に、図5(C2)に示すように、フォトレジスト用ドライフィルムであるフォテックH−W425(日立化成工業株式会社製、商品名)を、第1の基板11にラミネートし、バイアホール4となる箇所にマスクパターンを形成したフォトマスクを介して紫外線を露光し、現像してエッチングレジストを形成し、アンモニウム系アルカリ銅エッチング液であるAプロセス(メルテックス株式会社製、商品名)を噴霧して、バイアホール4となる部分のみ銅箔21をエッチング除去して開口部41を形成した。
・工程D2
図5(D2)に示すように、エッチングレジストを3重量%の炭酸水素ナトリウム溶液により溶解して除去した後、開口部41に露出した硬化した絶縁層である硬化したエポキシフィルム302を、炭酸ガスレーザで、周波数150Hz、エネルギー密度20J/cm2、発振時間1μ秒、4パルスの条件で、内層の回路基板1のバイアホール4で接続する箇所の回路導体19が露出するまで除去した。
・工程E2
その後、図5(E2)に示すように、過マンガン酸カリウム水溶液でスミア処理を行った後、塩化銅エッチング液を用いて、第1の基板11の表面の銅箔21を全てエッチング除去した。
・工程f
図5(f)に示すように、第1の基板11の表面の触媒化処理を行い、CUST−201(日立化成工業株式会社製、商品名)を使用し、液温25℃、30分の条件で、無電解銅めっきを行い、厚さ1μmの第3のめっき銅52を形成した。
・工程g
次に、図5(g)に示すように、フォトレジスト用ドライフィルムであるフォテックH−W425(日立化成工業株式会社製、商品名)を、第1の基板11にラミネートし、電気めっきを行う箇所をマスクしたフォトマスクを介して紫外線を露光し、現像して、めっきレジスト6を形成した。
・工程h
次に、図5(h)に示すように、電気銅めっきを10μmほど行い、回路導体幅/回路導体間隔(L/S)=50μm/50μmとなるように、第4のめっき銅72を回路の形状に形成した。
・工程i
図5(i)に示すように、めっきレジスト6を3重量%の炭酸水素ナトリウム溶液により溶解して除去した。
・工程j
次に、図5(j)に示すように、アンモニウム系アルカリ銅エッチング液であるAプロセス液(メルテックス株式会社製、商品名)に、室温で1分間浸漬し、めっきレジスト6の下に形成されていた第4のめっき銅72をエッチング除去した。
【0036】
(ホットオイル試験)
以上のようにして、ビルドアップ多層配線板を作製した後、層間の接続信頼性を評価するため、ホットオイル試験を行った。このホットオイル試験は、260℃・10秒/室温10秒を1サイクルとして、抵抗上昇率を10サイクル毎に測定し、抵抗上昇率が10%以上になるサイクル数を調べた。
この結果を表1に示す。
(回路欠陥発生率)
また、配線板表面に作製したL/S=50/50μmの導体回路の形成状態を調べるため、自動検査装置を用い、断線、ショート、ヘコミ等の回路欠陥の発生率を求めた。
回路欠陥は、導体の幅が、設計値の2/3以下に細くなっている箇所が導体幅の長さ以上にあるのを欠陥とし、また、導体間隔が設計値の2/3以下に細くなっている箇所が導体幅の長さ以上にあるのも欠陥とし、設計値の回路面積に対する欠陥個所の面積の合計を割合として算出した。
この結果を表1に示す。
【0037】
比較例1の場合、ホットオイル試験では50サイクル以上でも問題ないものの、表面回路の欠陥の発生率は5%であり、回路形成性に問題があった。
比較例2の場合、ホットオイル試験では10サイクルで抵抗上昇率が10%に達し、接続信頼性が不十分であった。バイアホール断面を観察したところ、内層銅にネガティブエッチバックが認められた。
以上の結果より、本発明による多層配線板は、回路形成性にも優れ、さらに層間接続信頼性も十分であることがわかった。
【0038】
【表1】
【0039】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によって、従来の方法に比べて、回路形成性にも優れ、さらに層間接続信頼性も問題無い多層配線板を、効率良くかつ経済的に製造する方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)〜(j)は、本発明の一実施例を示す各工程における断面図である。
【図2】(a)〜(c)は、本発明の他の実施例を示す工程における断面図である。
【図3】(a)〜(d)は、本発明のさらに他の実施例を示す工程における断面図である。
【図4】(a)、(B1)、(D1)、(F1)、(g)〜(j)は、従来例を示す各工程における断面図である。
【図5】(a)、(C2)、(D2)、(E2)、(f)〜(j)は、他の従来例を示す各工程における断面図である。
【符号の説明】
1.回路基板
11.第1の基板
19.回路導体
21.銅箔
203.キャリア
204.ニッケル層
31.エポキシ接着層
301.硬化したエポキシ接着層
32.エポキシフィルム
302.硬化したエポキシフィルム
33.プリプレグ
303.硬化したプリプレグ
4.バイアホール
41.開口部
51.第1のめっき銅
52.第3のめっき銅
6.めっきレジスト
71.第2のめっき銅
72.第4のめっき銅
Claims (5)
- 以下の工程を有することを特徴とするビルドアップ多層配線板の製造方法。
a.回路基板上に、半硬化状態の絶縁層と、粗化面を有する極薄の金属層であって銅とエッチング除去条件が異なる金属層とキャリア層としての銅層からなる複層材とをこの順に、あるいは粗化面を有する極薄の金属層であって銅とエッチング除去条件が異なる金属層とキャリア層としての銅層からなる複層材の極薄の金属層に接する半硬化状の絶縁層を形成したものを、半硬化状態の絶縁層が接するように重ね、加熱・加圧して、積層一体化する工程。
b.第1の基板からキャリア層のみを除去する工程。
c.粗化面を有する極薄の金属層の、バイアホールとなる箇所のみをエッチング除去して開口部を形成する工程。
d.開口部に露出した硬化した絶縁層を、レーザー光を照射して、内部の回路基板の回路導体が露出するまで、除去する工程。
e.粗化面を有する極薄の金属層をエッチング除去する工程。
f.バイアホールとなる穴の内壁と基板表面に厚み0.01〜1μmの無電解めっきを行う工程。
g.基板表面のバイアホールとなる箇所と回路導体となる箇所を除いて、めっきレジストを形成する工程。
h.めっきレジストで覆われていない箇所に、電気めっきを行う工程。
i.めっきレジストを除去する工程。
j.除去しためっきレジストの下にあった厚み0.01〜1μmの無電解めっきを、エッチング除去する工程。 - 粗化面を有する金属層の厚さが、0.1〜5μmの範囲の金属層を用いることを特徴とする請求項1に記載のビルドアップ多層配線板の製造方法。
- 粗化面を有する金属層に、銅を用いることを特徴とする請求項1または2に記載のビルドアップ多層配線板の製造方法。
- 工程jで作製したビルドアップ多層配線板を、回路基板とし、さらに工程a〜工程jを繰り返し行うことを特徴とする請求項1〜3のうちいずれかに記載されたビルドアップ多層配線板の製造方法。
- 半硬化状態の絶縁層として、ガラスクロスなどの強化繊維を含まない材料を用いることを特徴とする請求項1〜4のうちいずれかに記載のビルドアップ多層配線板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20244598A JP4240243B2 (ja) | 1998-07-17 | 1998-07-17 | ビルドアップ多層配線板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20244598A JP4240243B2 (ja) | 1998-07-17 | 1998-07-17 | ビルドアップ多層配線板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000036661A JP2000036661A (ja) | 2000-02-02 |
JP4240243B2 true JP4240243B2 (ja) | 2009-03-18 |
Family
ID=16457652
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20244598A Expired - Fee Related JP4240243B2 (ja) | 1998-07-17 | 1998-07-17 | ビルドアップ多層配線板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4240243B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002151841A (ja) * | 2000-11-13 | 2002-05-24 | Ibiden Co Ltd | 多層プリント配線板の製造方法 |
JP2002261442A (ja) * | 2001-03-06 | 2002-09-13 | Hitachi Chem Co Ltd | 多層プリント配線板の製造方法 |
JP5221887B2 (ja) * | 2007-03-22 | 2013-06-26 | 京セラSlcテクノロジー株式会社 | 配線基盤の製造方法 |
JP2009231790A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-10-08 | Ajinomoto Co Inc | 多層プリント配線板の製造方法 |
JP5322531B2 (ja) * | 2008-05-27 | 2013-10-23 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板の製造方法 |
WO2018088345A1 (ja) * | 2016-11-11 | 2018-05-17 | 住友ベークライト株式会社 | 金属箔付き樹脂膜、構造体、配線基板の製造方法、半導体装置の製造方法 |
CN110187458A (zh) * | 2019-06-30 | 2019-08-30 | 深南电路股份有限公司 | 光纤线路板及其制造方法、光传输装置及混合光纤线路板 |
-
1998
- 1998-07-17 JP JP20244598A patent/JP4240243B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000036661A (ja) | 2000-02-02 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120109 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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