JP4226664B2 - 多孔性セラミックスシート及びその製造方法及び当該製法に用いるセッター - Google Patents

Description

技術分野
本発明は、多孔性セラミックスシート、具体的には主として固体電解質型燃料電池に用いられるニッケル及び安定化ジルコニアからなる多孔性セラミックスシート、及び該多孔性セラミックスシートを製造する方法、及び当該製造方法で使用するセッターに関するものである。
背景技術
安定化ジルコニアを固体電解質として用いる燃料電池は、その作動温度は一般的に９００〜１０００℃と高く、長時間その温度に曝されることになるため、耐熱安定性が極めて優れた材料を使用する必要があり、また、アノード及びカソードの熱膨張率は固体電解質材料の熱膨張と同程度の材料選択する必要がある。このような材料の選択範囲は極めて限定的、また高価な材料に限定されるため、近年、作動温度が６００〜８００℃の温度域となるように、固体電解質を薄膜化した固体電解質型燃料電池の開発か進められている。
薄膜固体電解質を用いた燃料電池の開発に当たっては、以下の特性を備えた多孔性セラミックスシートの開発が不可欠である。その特性とは、例えばガス透過性が高いこと、導電性が高いこと、熱膨張係数が電解質に近い値であること、機械的強度が強いこと、さらには高温下での耐衝撃性（耐熱衝撃性）に優れていること等の特性が要求される。
そこで、一般には酸化ニッケル−安定化ジルコニアからなる多孔性セラミックスシートが用いられている。かかる多孔性セラミックスシートのガス透過性を高めるためには、ＮｉＯ−安定化ジルコニアの焼結温度を低くすることが有効であり、また導電性を高める為にはＮｉＯ−安定化ジルコニア中のＮｉ含有率を多くすることが効果的である。一方、セラミックスシートの機械的強度を高めるためには、ＮｉＯ−安定化ジルコニアの焼結温度を高くして気孔率を下げることが望ましく、熱膨張係数を電解質に近づけるためにはＮｉＯ−安定化ジルコニア中のＮｉ含有率を減らすことが効果的である。このように、気孔率及び導電性と、機械的強度とは互いに相反する部分があるため、全ての特性を満足した多孔性セラミックスシートは、未だ開発されていないのが実情であると言える。
例えば、特開平４−１４７５６９号に、酸化ニッケルとジルコニアの混合粉体を造粒してなる造粒粉を成形し、かつ還元雰囲気中で焼成したセラミックスシートが開示されている。しかし、基本的に、還元雰囲気中での焼成、特に１２００℃以上の焼結は、還元時に体積収縮して割れやすいという問題がある。また、特開平５−２２５９８６号には、酸化ニッケルとジルコニアの混合粉体を、造粒、熱処理して得られる造粒粉に焼結助剤を所定量加えて成形し、酸化雰囲気中で１３００〜１６００℃にて焼成したセラミックスシートが開示されている。焼結助剤の添加は、機械的強度の向上には効果がある。しかし、酸化ニッケルあるいはジルコニアと焼結助剤成分とが高温で固相反応を起こして、酸化ニッケルあるいはジルコニアと焼結助剤成分との複合酸化物を生成しやすくなり、この複合酸化物によってセラミックスシートのガス透過性、導電性について、経時的に支障が出るおそれがある。
また、特開平８−２８７９２１号公報には、原料粉末として用いる酸化ニッケルと安定化ジルコニアの粒径の最適化、具体的には酸化ニッケル粉末として、その粒径が安定化ジルコニア粒子の１／１０以下のものを使用したセラミックスシートが開示されている。これは、安定化ジルコニア粒子間の間隙に酸化ニッケル粒子が入り込ませることにより、酸化ニッケルの含有率を小さくしても、Ｎｉ比率が高い領域を形成して導電性を確保するとともに、機械的強度、熱膨張率という総合的特性を満足しようとするものである。しかし、ニッケルの偏在化による導電率の確保は、多孔性セラミックスシートの導電性に関する均質性の低下になり、長期使用する場合に、機械的強度、耐熱衝撃性が経時的に低下しやすくなる。
一方、特開平９−２２３５０８号には、テープキャスティング法によって約１μｍ以下の孔を有するＮｉＯ−安定化ジルコニアの多孔性セラミックスシートが開示されている。
しかし、当該公報に記載されている多孔質性セラミックスシート製造のための焼成は約１４００℃と高温であり、ニッケル成分がシンタリングを起こして孔が閉塞もしくは小さくなり過ぎたり、あるいは揮発により酸化ニッケル量が減少したりするため、ガス透過性、導電性が低下するおそれがある。また、ニッケル成分の成分の偏在化は、機械的強度、耐熱衝撃性の経時変化に影響を及ぼすとともに、導電性の経時安定性を満足できないおそれがある。
さらに、セラミックスシートを、前身となるグリーンシートを焼成することにより製造する場合、炉内に安価なアルミナ製等の棚板をおき、その棚板上にグリーンシートを載置して焼成する方法が一般的である。しかし、このようにして製造される酸化ニッケル−安定化ジルコニアからなる多孔性セラミックスシートは、強度及び導電性が低下する傾向にあるなど、固体電解質型燃料電池用途に要求される特性を満足できなかった。
本発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、固体電解質型燃料電池において、好適に用いられる多孔性セラミックスシートであって、十分な耐熱衝撃性および機械的強度を有するとともに十分な燃料ガスの透過性、所期の導電率を発揮できる多孔性セラミックスシート及びその製造方法、及び当該製造方法に好適に用いられる多孔性セラミックスシート製造用セッターを提供することにある。
発明の開示
本発明者は、多孔性セラミックスシートの強度低下、導電率低下の原因を鋭意検討した結果、安定化ジルコニアと酸化ニッケルを含有してなる多孔性セラミックスシートの前身となるグリーンシートを一般的なセッターであるアルミナセッター等の上で熱処理すると、グリーンシート表面層のニッケル成分が飛散し、あるいは、アルミナセッターへニッケル成分が移動して、ニッケル成分が減少したことにより、機械的強度、導電率が低下しているという知見を得、多孔性セラミックスシートの製造方法、とりわけ製造用セッターを工夫することにより、本発明を完成した。
すなわち、本発明の多孔性セラミックスシート製造用セッターは、酸化ニッケル及び安定化ジルコニアを含有してなる多孔性セラミックスシートの製造に用いられるセッターであって、〔ＮｉＯ〕単位を４０〜９０重量％含有しているシート状セラミックス体である。当該製造用セッターは、原料粉末として酸化ニッケル粉末を４０〜９０重量％含有してなるスラリーをシート状に成形してなるグリーンシートを、１３００〜１５００℃で熱処理して得られるものであることが好ましい。尚、〔ＮｉＯ〕単位とは、酸化ニッケル自体、あるいは他の成分と複合酸化物を形成している場合のＮｉＯ単位いう。
本発明の多孔性セラミックスシートの製造方法は、原料粉末として安定化ジルコニア粉末２０〜５０重量％及び酸化ニッケル粉末５０〜８０重量％を含有してなるスラリーをシート状に成形してなるグリーンシートを、上記本発明のセッター上に載置した状態で、１２００〜１４００℃で焼成することを特徴とする。前記セッター上に載置された前記グリーンシートの上面を、さらに上記本発明のセッターでカバーした状態で焼成することが好ましい。
本発明の多孔性セラミックスシートは、酸化ニッケル及び安定化ジルコニアを含有してなる、多孔性セラミックスシートであって、該シートの一面の安定化ジルコニアの（１１１）面のＸＲＤピーク強度に対する酸化ニッケルの（２００）面の比率Ｘａと、他面のジルコニアの（１１１）面のＸＲＤピーク強度に対する酸化ニッケルの（２００）面の比率Ｘｂの比Ｘが０．８５〜１．１８である。具体的には、本発明の製造方法で製造される多孔性セラミックスシートである。また、本発明の多孔性セラミックスシートは、面積が１００ｃｍ²以上、厚み５０〜１０００μｍであることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
第１図〜第３図は、いずれも本発明に係る多孔性セラミックスシートの製造方法の実施形態を表わす模式図である。
発明を実施するための最良の形態
〔多孔性セラミックスシート製造用セッター〕
はじめに、本発明の多孔性セラミックスシートの製造方法で用いられる製造用セッターについて説明する。
本発明の製造用セッターは、酸化ニッケル及び安定化ジルコニアを含有してなる多孔性セラミックスシートの製造、具体的には、当該セラミックスシートの前身となるグリーンシート（以下、これを「セラミックスシート用グリーンシート」ということがある）を焼成する際に、このグリーンシートの下に敷くセッターで、〔ＮｉＯ〕単位を４０〜９０重量％含有するシート状セラミックス体である。
セッターに〔ＮｉＯ〕単位を４０〜９０重量％含有することにより、焼成中にセラミックスシート用グリーンシートに含まれる酸化ニッケルが移動、反応することを防止できる。すなわち、アルミナ製セッターでは、セラミックスシート用グリーンシートとアルミナ製セッターとの接触界面において、約１０００℃以上の高温で下式のような化学反応が起こる。
ＮｉＯ＋Ａｌ₂Ｏ₃→ＮｉＡｌ₂Ｏ₄
このような固相反応の結果、セラミックスシート用グリーンシートに含まれている酸化ニッケル成分が消費され、作製されるセラミックスシートの酸化ニッケルの含有率が前身となるセラミックスシート用グリーンシートよりも減少し、その結果、空孔率が大きくなって機械的強度が低下したり、導電率が低下するという問題を引き起こしていたと考えられる。しかし、セラミックスシート用グリーンシートと接触しているセッターが、酸化ニッケルを上記割合で含有していることにより、当該セッター成分がさらにセラミックスシート用グリーンシートの酸化ニッケルと反応することはない。すなわち、グリーンシート中の酸化ニッケルの反応、消費を防止でき、グリーンシートを載置したセッターを、さらにアルミナ製棚板上に載置して焼成したとしても、酸化ニッケルが減少することはない。
本発明のセッターの成分組成としては、〔ＮｉＯ〕単位を４０〜９０重量％含有してなる組成であればよく、他の成分としては、安定化ジルコニア、ジルコン、アルミナ、シリカ、チタニア、タルク、カオリン、ベントナイト、ムライト、ステアタイト、コージライト、粘土または陶土等の化合物又は複合化合物；あるいはランタン、セリウム等の希土類元素、カルシウム、マグネシウム等のアルカリ土類金属、コバルト、銅、鉄等の卑金属元素などの酸化物をはじめとする化合物；あるいはこれらの混合物が挙げられる。他の成分と酸化ニッケルとは、固相反応することなく、それぞれ独立した化合物の混合物状態となっていてもよいし、固相反応により複合酸化物を形成していてもよい。混合物状態となっている場合には、〔ＮｉＯ〕単位は酸化ニッケル化合物であり、複合酸化物の場合には〔ＮｉＯ〕単位はＮｉＯとして捉えられる単位をいう。
上記セッターの成分組成のうち、酸化ニッケル４０〜９０重量％、安定化ジルコニア１０〜６０重量％を含有した組成、及び酸化ニッケルとアルミナからなるスピネル型セラミックスＮｉＡｌ₂Ｏ₄が好ましい。スピネル型セラミックスにおける〔ＮｉＯ〕単位と〔Ａｌ₂Ｏ₄〕単位の含有比率は、〔ＮｉＯ〕／〔Ａｌ₂Ｏ₃〕＝４２／５８である。尚、他の成分がアルミナであって、酸化ニッケルの含有率が４２重量％未満又は４２重量％超（アルミナが５８重量％超又は５８重量％未満）の場合、スピネル化合物を構成しないアルミナまたは酸化ニッケルがスピネル化合物と混合することになるが、かかる場合であってもよい。
セッターの原料として用いられる酸化ニッケル粉末としては、平均粒子径は０．１μｍ〜１５μｍ、９０体積％の粒径が３０μｍ以下のものが好ましく、平均粒子径が０．５〜１０μｍ、９０体積％の粒径が２０μｍ以下の粉末がより好ましく用いられる。
他の成分として安定化ジルコニアを用いる場合、平均粒子径が０．１〜３μｍ、９０体積％の粒径が６μｍ以下の粉末が好ましく、平均粒子径が０．１〜１．５μｍ、９０体積％の粒径が３μｍ以下の粉末がより好ましい。アルミナを用いる場合、平均粒子径０．１〜１００μｍ、９０体積％の粒径５０μｍ以下が好ましく、平均粒子径が０．３〜５０μｍ、９０体積％の粒径が３０μｍ以下の粉末が更に好ましい。
なお、上記平均粒子径と９０体積％径（最小粒子径からの累積体積分率が９０体積％となるときの粒子径）はレーザー回析粒度分布計（島津製作所（株）製：ＳＡＬＤ−１１００）を用い０．２％ヘキサメタリン酸ナトリウム水溶液中で１分間超音波分散させて測定したものである。
本発明のセッターは、以上のような組成を有する組成物を通常のドクターブレード法、押し出し成型法、プレス成型法等によってシート状に成形してなるグリーンシート（以下、このグリーンシートを「セッター用グリーンシート」といい、セラミックスシート用グリーンシートと区別する）を、１３００〜１５００℃で焼成する。セッター用グリーンシートの焼成温度はセラミックスシート用グリーンシートの焼成温度より５０〜３００℃高い温度で処理するのが好ましい。セラミックスシート用グリーンシートの焼成温度より低い温度で焼成すると、セラミックスシート用グリーンシートの焼成時にセッター用グリーンシートが焼成されることとなって、焼成時に起こる収縮のために、セラミックスシート用グリーンシートに傷付き、割れを生じるおそれがあるからである。一方、高温すぎると、ニッケル成分の溶融か起こる可能性があり、セッター強度が低下するおそれがある。
ここで、他の成分としてアルミナを選択した場合には、焼成の間に、固相反応が起こって、スピネル型化合物であるＮｉＡｌ₂Ｏ₄を形成する。この際、原料粉末組成、すなわちアルミナ粉末と酸化ニッケル粉末の混合比率（ＮｉＯ／Ａｌ₂Ｏ₃）が４２／５８よりも小さい場合には、スピネル型化合物に組み込まれない過剰のアルミナ成分が残ることになる。しかし、セッター中にアルミナとして存在する量は微量であるため、多孔性セラミックスシートの製造において、セッター中のアルミナが多孔性セラミックスシート用グリーンシート内の酸化ニッケルと、接触界面にて反応することがあっても、これによる酸化ニッケルの減少量は微小量で後述するＸの範囲内にとどまることができる。
尚、セッター用グリーンシートは、特開昭６３−２７７５４６号公報に記載されているような従来から公知のグリーンシート作製方法に基づいて作成することができる。
また、本発明のセッターは、以上のような構成を有するもので、そのサイズは、多孔性セラミックス用グリーンシートの寸法より大きいシート状であればよく、形状は特に限定されず、厚みは０．１〜１ｍｍの薄いものであってもよいし、５〜３０ｍｍの分厚いものであってもよい。
さらに、本発明のセッターは、緻密体、多孔体のいずれでもよいが、気孔率が５〜５０％の多孔体であることが好ましい。複数枚のセラミックスシート用グリーンシートをセッターと交互に重ねて焼成する場合、多孔性セッターであれば、セラミックス用グリーンシートに含まれていたバインダーの分解成分が、セッターの空孔から揮発、飛散できるからである。
〔多孔性セラミックスシートの製造方法〕
本発明の多孔性セラミックスシートの製造方法は、安定化ジルコニア粉末２０〜５０重量％及び酸化ニッケル粉末５０〜８０重量％含有してなる組成物をシート状に成形してなるセラミックスシート用グリーンシートを、本発明のセッター上に載置して、１２００〜１４００℃で焼成する方法である。
セッターに載置する具体的方法としては、第１図に示すように、上記セラミックスシート用グリーンシート２の下面にのみ本発明の製造用セッター１を設置する方法、あるいは第２図に示すように、セラミックスシート用グリーンシート２の下面にセッター１ａを敷くだけでなく、上面にもセッター１ｂを載置する方法、すなわち２枚のセッター１ａ，１ｂで、セラミックスシート用グリーンシート２を挟持した状態で焼成する方法である。また、複数枚のセラミックスシート用グリーンシートを一度に焼成する場合、第３図に示すように、グリーンシート２とセッター１が交互になるように、グリーンシート２，２間にもセッター１を介在させた状態で焼成することが好ましい。この場合、最上段のグリーンシート２の上面に、セッター１ｃを載置しておくことが好ましい。第１図〜第３図中、３は炉内に直接設置される棚板であり、棚板の種類としては、特に限定せず、焼結温度が高く安価なアルミナ製棚板を用いてもよい。
このように、棚板３とセラミックスシート用グリーンシート２の間に本発明のセッター１を設置した状態で焼成することにより、セラミックスシート用グリーンシート２の棚板又はセッター１との接触界面での反応によりニッケル成分が移動するために、ニッケル成分が減少することを防止できる。また、グリーンシート２の上面をセッター１ｂでカバーすることにより、１４００℃程度の高温で焼成する場合であっても、ニッケル成分の揮発が抑制される。
尚、複数枚のセッターを用いる場合、すべてのセッターの組成及びサイズ（厚み）が同じであってもよいが、上側に設置されるセッター１ｂ，１ｃについては、厚みを他のセッターよりも大きくして、重しの役目も兼ねておくことか好ましい。
この場合、最上段に使用されるセッター、すなわちカバーとして使用されるセッターは、重しの役目も兼ねていることから、その厚みを他のセッターの厚みよりも大きくしておくことが好ましい。
セラミックスシート用グリーンシートは、安定化ジルコニア粉末２０〜５０重量％及び酸化ニッケル粉末５０〜８０重量％の組成を有する原料粉末、バインダー、溶剤、さらに必要に応じて可塑剤、分散剤等をボールミルで混練してスラリーを調製し、このスラリーをドクターブレード法等の一般的なシート形成法により作製する。このとき、細孔径調整のためカーボン粒子や昇華性あるいは熱分解性有機物粒子等の気孔剤を添加してもよい。尚、グリーンシートの作製には、ドクターブレード法の他、カレンダーロール法や押し出し成形法等によって成形することも可能であり、例えば特開昭６３−２７７５４６号公報に記載されている方法などを採用できる。
作製したセラミックスシート用グリーンシートを所定の形状に切断・打ち抜き、セッター上に載置、又は２枚のセッターで挟持した状態で、１２００〜１４００℃、好ましくは１３００〜１３５０℃で焼成する。１２００℃未満ではセラミックスシートの機械的強度が不十分となり、１４００℃を超えるとニッケル成分が溶融、さらには揮発されやすくなるとともに、空孔が小さくなって所望のガス透過性を得られなくなるからである。
このように本発明の製造方法は、本発明のセッターを用いているので、ＮｉＯ−ジルコニアセラミックスシートの製造中にニッケル成分が移動、反応、揮発等により消失することを防止できるので、原料組成に応じた優れた特性を保持できるＮｉＯ−ジルコニアセラミックスシートを容易に且つ安定的に製造することができる。従って、本発明の製造方法によれば、固体電解質型燃料電池に好適に用いられるための耐熱衝撃性、機械的強度、ガス透過性、導電率等の特性を満足できる本発明の多孔性セラミックスシートを容易に製造することができる。
〔多孔性セラミックスシート〕
本発明の多孔性セラミックスシートは、導電性を有するとともに、耐熱衝撃性、機械的強度及び十分な量のガス透過性を有しているセラミックスシートである。
以上のような要求を満足できる本発明の多孔性セラミックスシートの具体的構成について、以下に説明する。
本発明の多孔性セラミックスシートは、酸化ニッケル及び安定化ジルコニアを含有してなる多孔性セラミックスシートであり、酸化ニッケルと安定化ジルコニアの混合比率は、酸化ジルコニウム２０〜５０重量％、酸化ニッケル５０〜８０重量％、好ましくは酸化ジルコニウム３０〜４０重量％、酸化ニッケル６０〜７０重量％であることが好ましい。
安定化ジルコニアとしては、ＺｒＯ₂に、安定化剤としてＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ等のアルカリ土類金属の酸化物；Ｙ₂Ｏ₃、Ｌａ₂Ｏ₃、ＣｅＯ₂、Ｐｒ₂Ｏ₃、Ｎｄ₂Ｏ₃、Ｓｍ₂Ｏ₃、Ｅｕ₂Ｏ₃、Ｇｄ₂Ｏ₃、Ｔｂ₂Ｏ₃、Ｄｙ₂Ｏ₃、Ｅｒ₂Ｏ₃、Ｔｍ₂Ｏ₃、Ｙｂ₂Ｏ₃等の希土類元素の酸化物;Ｓｃ₂Ｏ₃、Ｂｉ₂Ｏ₃、Ｉｎ₂Ｏ₃等から選ばれる１種若しくは２種以上の酸化物を固溶させたものが用いられ、これらのうち、特に２〜１２モル％のイットリアで安定化された酸化ジルコニウム（ＹＳＺ）が好ましく用いられる。
原料として用いる安定化ジルコニア粉末は、平均粒子径が０．１〜３μｍ、９０体積％の粒径が６μｍ以下、好ましくは平均粒子径が０．１〜１．５μｍ、９０体積％の粒径が３μｍ以下、より好ましくは平均粒子径が０．２〜１μｍ、９０体積％の粒径が２μｍ以下の粉末が好適である。また原料として用いる酸化ニッケル粉末は、平均粒子径が０．１〜１５μｍ、９０体積％の粒径が３０μｍ以下の粉末、好ましくは平均粒子径が０．３〜３μｍ、９０体積％の粒径が２０μｍ以下、より好ましくは平均粒子径が０．５〜１．５μｍ、９０体積％の粒径が１０μｍ以下の粉末が好適である。特に多孔性セラミックスシートを、固体電解質型燃料電池の部材として用いる場合には、酸化ニッケル粉末の９０体積％の粒径は６μｍ以下、好ましくは３μｍ以下として、粗大な粒子を含まないようにする方がよい。
原料粉末として、平均粒子径が３μｍを上回り、９０体積％の粒子径が６μｍを上回る安定化ジルコニア粉末と、平均粒子径が１５μｍを上回り、９０体積％の粒子径が３０μｍを上回る酸化ニッケル粉末の混合粉末を用いた場合、仮焼による多孔質化だけでなく、粒子間間隙も空孔となっているため、所期の耐熱衝撃性、機械的強度が得られないからである。一方、平均粒子径が０．１μｍを下回る安定化ジルコニア粉末と、平均粒子径が０．１μｍを下回る酸化ニッケル粉末との混合粉末を用いた場合、多孔性が劣り十分なガス透過性が得られないからである。
本発明の多孔性セラミックスシートの原料としては、ガドリニウム等の希土類酸化物をドープした酸化セリウムや酸化ランタン等）を含有することも可能である。
本発明の多孔性セラミックスシートの気孔率は、以上のような構成を有し、且つ５〜５０％に、好ましくは１０〜４０％である。５％未満ではガス透過性が不充分であり、５０％を超えると、機械的強度、耐熱衝撃性が不充分となるからである。また、平均細孔径が０．１〜１μｍの範囲であることが好ましい。
本発明の多孔性セラミックスシートは、シートの一側の面におけるジルコニアの（１１１）面のＸＲＤピーク強度に対する酸化ニッケルの（２００）面の比率Ｘａと、他側の面におけるジルコニアの（１１１）面のＸＲＤピーク強度に対する酸化ニッケルの（２００）面の比率Ｘｂの比率Ｘが０．８５〜１．１８である。
ジルコニア成分は焼成前後で移動したり、揮発したりすることがなく、焼成前後の濃度は一定であると考えられるので、Ｘａ、Ｘｂの値は、ニッケルの減少量に相当すると考えられる。つまり、Ｘが０．８５〜１．１８とあるのは、Ｘａ，Ｘｂの値がいずれも０．８５以上、換言すると、各面におけるニッケルの減少量が１５％以内であることを意味し、Ｘが１に近いほど、セラミックスシートの表面から裏面にわたって酸化ニッケルの分布が均一であることを意味する。
尚、両面で酸化ニッケル成分が同じように失われる場合、例えば２枚のアルミナセッターでグリーンシートの両面を挟持して焼成する場合、上面、下面の各界面で同じように固相反応が起こるので、Ｘが１に近づくと考えられる。しかし、重力によりニッケル成分が下方へ移動しやすくなるので、同じようにセッター等と反応してニッケル成分が失われる場合であっても、Ｘは０．８５〜１．１８の範囲とはならない。
尚、セラミックスシートの各面のＸＲＤのピーク強度比は理学電機株式会社のＸ線回折装置ＲＵ−３００を用い、ＣｕＫα１−５０ｋＶ／３００ｍＡＫのＸ線、広角ゴニオメータ、湾曲結晶モノクロメータで、スキャンスピード４°／ｍｉｎ、スキャンステップ０．０１°の条件で測定した。安定化ジルコニア及び酸化ニッケルの各面におけるＸＲＤのピーク強度は、安定化ジルコニア正方晶または立方晶の（１１１）面については面間隔ｄ＝２．９７Å付近、酸化ニッケル立方晶の（２００）面については面間隔ｄ＝２．０９Å付近のピーク強度を読みとればよい。そして、読み取ったジルコニアの（１１１）面のピーク強度に対する酸化ニッケル（２００）面の比（ＮｉＯピーク強度／ジルコニアピーク強度）を、シートの表側、裏側の両面について算出すればよい。
本発明の多孔性セラミックスシートのサイズは、固体電解質型燃料電池に用いる場合には、面積が１００ｃｍ²以上、厚み５０〜１０００μｍ程度であることが好ましい。尚、本発明のセラミックスシートの形状は特に制限されず、燃料電池のアノードの形状に応じて正方形、長方形、短冊状、角形、角にＲをもった角形、円形、楕円形などのいずれでもよく、更にこれらの形状に円形、楕円形、Ｒをもった角形等の穴をあけたものでも良い。
以上のような構成を有する多孔性セラミックスシートは、上記セラミックスシートの組成を有する酸化ニッケルと安定化ジルコニアの混合粉末、溶媒、バインダー、溶剤、さらに必要に応じて可塑剤、分散剤等を混合してなるスラリーをドクターブレード法等の一般的なシート形成法により作製したグリーンシートを所定サイズに切断し、これを焼成することに得られる。好ましくは、本発明の製造方法、すなわち、本発明のセッターの上に載置、あるいはセッターで挟持した状態で焼成する方法により製造する。本発明のセッターを用いる製造方法によれば、グリーンシートに含まれている酸化ニッケル成分の移動、揮発等による消失を容易に防止できるので、酸化ニッケル量がグリーンシートの組成とほぼ同じで、且つセラミックスシートの表面から裏面にわたって均質に分布している。よって、多孔性セラミックスシートの原料組成に基づいて、機械的強度、耐熱衝撃性、導電率、ガス透過性といった固体電解質型燃料電池用部材として要求される特性を満足することができる。
本発明の多孔性セラミックスシートを固体電解質型燃料電池用部材として使用するにあたり、多孔性セラミックスシートに薄膜アノードや薄膜電解質を担持する方法は、ＶＳＰのようなプラズマ溶射法、フレーム溶射法、ＰＶＤ（物理蒸着）、マグネトロンスパッタリング法、電子ビームＰＶＤ法等の気相法；スクリーン印刷法、ゾルーゲル法、スラリーコート法等の湿式法を適宜使用することができる。薄膜アノードの厚さは３〜３００μｍ、好ましくは５〜１００μｍ、薄膜電解質の厚さは３〜１００μｍ、好ましくは５〜３０μｍに調整される。
実施例
以下、実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明する。ただし、本実施例に限定されるものではない。
〔測定、評価方法〕
下記実施例で用いた測定、評価方法について説明する。
（１）ピーク強度比（Ｘ）
理学電機株式会社のＸ線回折装置ＲＵ−３００を用い、ＣｕＫα１−５０ｋＶ／３００ｍＡＫのＸ線、広角ゴニオメータ、湾曲結晶モノクロメータで、スキャンスピード４°／ｍｉｎ、スキャンステップ０．０１°の条件で測定した。
ジルコニア正方晶または立方晶の（１１１）面のＸ線強度に該当する面間隔ｄ＝２．９７Å付近のピーク強度に対する、酸化ニッケルは立方晶の（２００）面のＸ線強度に該当する面間隔ｄ＝２．０９Å付近のピーク強度の比率（ＮｉＯピーク強度／ジルコニアピーク強度）を求めた。セラミックスシートの一側の面のピーク比率をＸａ、他側の面のピーク比率をＸｂとして、両者の比率（Ｘａ／Ｘｂ）に該当するＸを求めた。
（２）耐熱耐衝撃性
耐熱衝撃性テストは、８００℃の電気炉中で２時間保持した後、多孔性セラミックスシートをいきなり常温の炉外に取り出して１０分間保持し、さらに８００℃の電気炉中に入れ、再び常温の炉外に取り出すことを５回繰り返し、割れ、クラックの発生状態を目視で観察した。
割れ、クラックが発生した場合には、これらが目視で確認できたときの繰り返し回数を測定値とした。
（３）機械的強度（ｋｇｆ／ｃｍ²）
各基板をダイヤモンドカッターで切断して４×５０ｍｍの短冊状試験片を得、ＪＩＳ Ｒ−１６０１の方法に準じて３点曲げ強度を測定した。
（４）気孔率（％）
水銀圧入法によって求めた。
（５）導電率
各多孔性セラミックスシートを、所定形状にダイヤモンドカッターで切断し、それを１３００℃で３時間、水素雰囲気で熱処理したものを試験片として、直流４端子法によって求めた。
〔製造用セッターの作製〕
・製造用セッターＡ；
平均粒子径が０．５μｍで９０体積％径が１．２μｍの８モル％酸化イットリウムで安定化したジルコニア粉末（以下、「８ＹＳＺ」と略記する）４０重量％と、炭酸ニッケル粉末を熱分解して得た平均粒子径が４．５μｍで９０体積％径が８μｍの酸化ニッケル粉末６０重量％とを混合して、原料となる混合粉体を得た。この混合粉体１００重量部に、イソブチルメタクリレート単位を７９．５重量％と２−エチルヘキシルメタクリレート単位を２０重量％、メタクリル酸０．５重量％を含むアクリル系バインダー１２重量部、溶剤としてトルエン／酢酸エチル（重量比；２／１）を４０重量部、可塑剤としてジブチルフタレート２重量部を加え、ボールミルにより混練してから脱泡・粘度調整して４０ポイズのスラリーを得、このスラリーをドクターブレード法によりシート成形して約０．５ｍｍ厚のＮｉＯ−ジルコニアグリーンシートとした。
このグリーンシートを所定の寸法に切断した後、厚み２０ｍｍのアルミナ製棚板上に載置した状態で、１４００℃で５時間焼成して、１５０ｍｍ角、厚み０．４ｍｍ、気孔率１５％のＮｉＯ−ジルコニアの製造用セッターＡを得た。
・製造用セッターＢ；
セッターＡと同様にして、厚み０．３ｍｍのセッター用グリーンシートを作製し、セッターＡと同様に、１３５０℃で３時間焼成して、１７０ｍｍ角、厚み０．２ｍｍ、気孔率２０％の製造用セッターＢを得た。
・製造用セッターＣ；
平均粒子径５５μｍのアルミナ粉末（昭和電工株式会社のＡｌ−１５）５８重量％、炭酸ニッケル粉末を熱分解して得られた平均粒子径４．５μｍの酸化ニッケル粉末４２重量％を混合した後、８００℃で仮焼して混合粉末を得た。
この混合粉末を用いて、セッターＡと同様にして、シート成形して厚み約０．４ｍｍのセッター用グリーンシートとした。
このグリーンシートを所定寸法に切断した後、１４００℃で５時間焼成して、２００ｍｍ角、厚み０．３ｍｍ、気孔率５％で、結晶構造がニッケルアルミネートスピネルであるセッターＣを得た。
・製造用セッターＤ；
平均粒子径５５μｍのアルミナ粉末（昭和電工株式会社のＡｌ−１５）を用いて、セッターＡと同様にシート成形して、厚み約０．５ｍｍのアルミナグリーンシートを作製した。このグリーンシートを所定寸法に切断した後、１５５０℃で５時間焼成して、１５０ｍｍ角、厚み０．４ｍｍ、気孔率３０％の製造用セッターＤを得た。
・製造用セッターＥ；
ニッカト−株式会社製の緻密質アルミナ板（ＳＳＡ−Ｓ）を用いた。
・製造用セッターＦ；
セッターＡの作製で用いた８ＹＳＺ粉末と酸化ニッケル粉末の混合比率を、酸化ニッケル３０重量％、８ＹＳＺを７０重量％に変更した以外は、セッターＡと同様に焼成して、１５０ｍｍ角、厚み０．４ｍｍ、気孔率１８％のセッターＦを得た。
以下、セッターＡ〜Ｆの組成、サイズ、気孔率の一覧を表１に示す。セッターＡ〜Ｃが本発明にかかるセッターである。

〔多孔性セラミックスシート用グリーンシートの作製〕
・グリーンシートａ；
平均粒子径が０．３μｍで９０体積％径が０．８μｍの８ＹＳＺ粉末３０重量％と平均粒子径が０．９μｍで９０体積％径が１．５μｍの酸化ニッケル粉末（キシダ化学（株）製）７０重量％とを混合し、混合粉体を得た。この混合粉体１００重量部に、イソブチルメタクリレート単位を７９．５重量％と２−エチルヘキシルメタクリレート単位を２０重量％、メタクリル酸０．５重量％を含むアクリル系バインダー１５重量部、溶剤としてトルエン／酢酸エチル（重量比；２／１）を４０重量部、可塑剤としてジブチルフタレート２重量部を加え、ボールミルにより混練してから脱泡・粘度調整して３０ポイズのスラリーを得、このスラリーをドクターブレード法によりシート成形して０．３ｍｍ厚のＮｉＯ−ジルコニアのグリーンシートａとした。
・グリーンシートｂの作製
原料となる８ＹＳＺ粉末及び酸化ニッケル粉末の種類を、表２に示すような平均粒子径及び９０体積％径を有するものに変更した以外は、グリーンシートａと同様にして、作製した。

〔多孔性セラミックスシートの作製及び評価〕
２０ｍｍ厚のアルミナ棚板の上に、表３に示すセッター及びグリーンシートを用いて、１３００℃で３時間焼成し、表３に示す寸法の多孔性セラミックスシートＮｏ．１〜９を得た。Ｎｏ．３以外は、１辺１３０ｍｍ又は１９０ｍｍの角形のグリーンシートを用い、Ｎｏ．３は直径１５０ｍｍの円形グリーンシートを用いた。表３に示す寸法の上段は１辺又は直径を示し、下段は厚みを示している。
焼成条件としては、第１図に示すように、セッターを下側にだけ敷設した場合（表３に「下のみ」と表示）、第２図に示すように、グリーンシートの上下面をセッターで挟持した場合（表３に「上下挟持」と表示）、第３図に示すように、グリーンシートとセッターを交互に積み重ね、さらに最上及び最下段のグリーンシートがセッターで挟持されるように、セッターを上下に載置した場合（表３に「上下層間」と表示）、セッターを用いない場合（表３に「棚板載置」と表示）のいずれかとした。Ｎｏ．１〜４は、本発明にかかるセッターＡ〜Ｃを用いて製造した多孔性セラミックスシートである。
作製した各セラミックスシートの両面について、ＸＲＤのピーク強度を測定し、ピーク強度比率Ｘを求めた。また、上記評価方法に基づいて、耐熱衝撃性、機械的強度、気孔率、導電率を測定した。測定結果を表３に示す。

本発明のセッターを用いて製造されたセラミックスシートＮｏ．１〜４は、いずれもＸが０．８５〜１．１８の範囲内にある。そして、Ｎｏ．１〜４の多孔性セラミックスシートは、いずれも耐熱衝撃性テストで割れ、クラックの発生がなく、３点曲げ強度が２０ｋｇｆ／ｃｍ²以上で、かつ導電率が７５０Ｓ／ｃｍ以上であった。また、Ｎｏ．１とＮｏ．２との比較から、下側に本発明のセッターを敷くだけでなく、上面にもセッターでカバーすることにより、ニッケル成分の減少が少なくて済み、ひいては気孔率、導電率が高くなることがわかる。
一方、アルミナ製セッター又は棚板に直接載置して製造されたセラミックスシートＮｏ．５〜８は、いずれもＸの値が１から大きくずれ、耐熱衝撃性、機械的強度、導電率が劣っていた。また、Ｎｏ．８については、アルミナセッターで上下を挟持したため、Ｘの値は０．７８と本発明の範囲からそれほど大きくずれているとはいえないが、ニッケル成分が両面で多く失われたため、気孔率が高く、耐熱衝撃性、機械的強度がＮｏ．５〜７よりも低かった。尚、Ｎｏ．８のように両面でニッケル成分が失われる場合であっても、重力により、より下側にニッケル成分が移動しやすくなって消費されるために、Ｘの値が本発明の範囲から外れたと考えられる。
Ｎｏ．９は、ＮｉＯ−ジルコニア製のセッターを用いた場合であるが、ＮｉＯとジルコニアの重量比率が本発明の範囲内にないために、セッターによるニッケル成分の減少防止効果が十分得られず、機械的強度、導電率が低くなった。

Claims (9)

1. 多孔性セラミックスシートの製造に用いられるセッターであって、前記多孔性セラミックスシートは酸化ニッケル及び安定化ジルコニアを含有してなるものであり、前記セッターは、気孔率が５〜５０％の多孔体であり、〔ＮｉＯ〕成分を４０〜９０重量％含有しているシート状セラミックス体であることを特徴とする多孔性セラミックスシート製造用セッター。
2. 前記安定化ジルコニアは、ＺｒＯ₂に、安定化剤としてＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯのアルカリ土類金属の酸化物；Ｙ₂Ｏ₃、Ｌａ₂Ｏ₃、ＣｅＯ₂、Ｐｒ₂Ｏ₃、Ｎｄ₂Ｏ₃、Ｓｍ₂Ｏ₃、Ｅｕ₂Ｏ₃、Ｇｄ₂Ｏ₃、Ｔｂ₂Ｏ₃、Ｄｙ₂Ｏ₃、Ｅｒ₂Ｏ₃、Ｔｍ₂Ｏ₃、Ｙｂ₂Ｏ₃の希土類元素の酸化物;またはＳｃ₂Ｏ₃、Ｂｉ₂Ｏ₃、Ｉｎ₂Ｏ₃から選ばれる１種若しくは２種以上の酸化物のいずれかを固溶させたものである請求項１に記載の多孔性セラミックスシート製造用セッター。
3. 原料粉末として酸化ニッケル粉末を４０〜９０重量％含有してなるスラリーをシート状に成形してなるグリーンシートを、１３００〜１５００℃で熱処理して得られる請求項１又は２に記載の多孔性セラミックスシート製造用セッター。
4. 原料粉末として安定化ジルコニア粉末２０〜５０重量％及び酸化ニッケル粉末５０〜８０重量％を含有してなるスラリーをシート状に成形してなるグリーンシートを、請求項１〜３のいずれかに記載のセッター上に載置した状態で、１２００〜１４００℃で焼成することを特徴とする多孔性セラミックスシートの製造方法。
5. 前記セッター上に載置された前記グリーンシートの上面を、さらに請求項１〜３のいずれかに記載のセッターでカバーした状態で焼成する請求項４に記載の多孔性セラミックスシートの製造方法。
6. 請求項４または５に記載の製造方法で製造された多孔性セラミックスシート。
7. 請求項６に記載の多孔性セラミックスシートであって、該シートの一面の安定化ジルコニアの（１１１）面のＸＲＤピーク強度に対する酸化ニッケルの（２００）面の比率Ｘａと、他面のジルコニアの（１１１）面のＸＲＤピーク強度に対する酸化ニッケルの（２００）面の比率Ｘｂの比Ｘが０．８５〜１．１８である多孔性セラミックスシート。
8. 面積が１００ｃｍ²以上、厚み５０〜１０００μｍである請求項６または７に記載の多孔性セラミックスシート。
9. 固体電解質型燃料電池に用いられる請求項６〜８のいずれかに記載の多孔性セラミックスシート。

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