JP4217484B2 - 噴射装置および噴射装置における方法 - Google Patents

Description

本発明は、一般に粘性媒体の小滴を基板上に噴射する分野に関する。より詳細には、本発明は、噴射装置の性能を改善する方法、そして粘性媒体の小滴を基板上に噴射するための装置に関する。

上述の種類の装置は周知であり、主に、粘性媒体の小滴、たとえばはんだペーストまたは接着剤を、基板、たとえば電子回路板上に、構成部品を取り付ける前に噴射するために使用するように意図されている。そのような噴射装置の一例は、ＷＯ９９／６４１６７に開示されている。この噴射装置は、噴射する前に少量の媒体を容れるための放出室と、放出室と連通する放出ノズルと、放出ノズルを介して放出室から媒体を噴射するための放出手段と、放出室内に媒体を給送するための供給手段とを備える。ＷＯ００／６２５８７には、そのような噴射装置を備える組立体が開示されている。

電子回路板を製造する際には生産スピードが不可欠な要素である。これにより、基板に粘性媒体を供給するスピードを高めることが望まれており、これを実施する方法は、実際の噴射を「休む間もなく」、すなわち粘性媒体を堆積すべき基板上の各場所について停止することなく行うことである。電子回路板の製造スピードを改善するための他の方法は、オペレータの介在する必要性をなくす、または減らすことである。

これらの対策はどちらも、工程内で使用される装置の良好で信頼性の高い性能、ならびに高い精度および長期間の間の高レベルな再現性の維持を必要とする。電子産業の高品質要件や回路板内に見られる誤りの有害な帰結が、これらの要求をさらに強調している。

したがって、本発明の目的は、粘性媒体の小滴を基板上に噴射するための装置の性能を改善することである。

この目的および他の目的は、本発明に従って、独立請求項に定義された特徴を有する方法および装置を提供することによって達成される。好ましい実施例は、従属請求項に定義されている。

本発明の第１の態様によれば、小滴が通って噴射される噴射出口を備える、粘性媒体の小滴を基板上に噴射するための噴射装置の性能を改善する方法であって、噴射出口部で粘性媒体残さが蓄積することに起因する可能性のある噴射装置の性能に対する悪影響を防止するように、噴射出口を通過する気体流を送る段階と、噴射出口部に、噴射方向で見て噴射出口の下流に位置する壁を設ける段階と、壁内にオリフィスを設けて、噴射された小滴がオリフィスを通過することを可能にし、オリフィスおよび噴射出口が噴射方向で位置合わせされる段階とを含む方法が提供される。

本発明の第２の態様によれば、小滴が通って噴射される噴射出口を備える、粘性媒体の小滴を基板上に噴射するための噴射装置の性能を改善する方法において、噴射出口部で粘性媒体残さが蓄積することに起因する可能性のある噴射装置の性能に対する悪影響を防止するように、噴射出口を通過する気体流を送る段階であって、噴射出口部の気体流が、噴射された小滴の噴射経路と交差する流路に沿って配向される段階を含む方法が提供される。

本発明の第３の態様によれば、小滴が通って噴射される噴射出口を備える、粘性媒体の小滴を基板上に噴射するための噴射装置の性能を改善する方法において、噴射出口部で粘性媒体残さが蓄積することに起因する可能性のある噴射装置の性能に対する悪影響を防止するように、噴射出口を通過して空気流を送る段階であって、空気流が、個々の小滴の噴射の間、その合間、その後に吸引によって送られる段階を含む方法が提供される。

本発明の第４の態様によれば、粘性媒体の小滴を基板上に噴射する装置において、小滴が通って噴射される噴射出口を有するノズルと、気体流を生成するための流れ発生器と、噴射出口部で粘性媒体残さが蓄積することに起因する可能性のある噴射装置の性能に対する悪影響を防止するように、噴射出口を通過する気体流用の流路を設けるための流れガイドであって、噴射出口部に、噴射方向で見て噴射出口の下流に位置し、ノズルとの間に第１の空間を画定する壁を備える流れガイドと、壁内に設けられた第１のオリフィスであって、第１のオリフィスと噴射出口が、噴射された小滴の経路に沿って位置合わせされ、噴射された小滴が本質的に影響を受けずに第１のオリフィスを通過できるように設計されている第１のオリフィスとを備える装置であって、流れガイドが、噴射出口を通過して流路に沿って第１の空間内で気体流を送るように構成されている装置が提供される。

本発明の第５の態様によれば、粘性媒体の小滴を基板上に噴射する装置において、小滴が通って噴射される噴射出口を有するノズルと、気体流を生成するための流れ発生器と、噴射出口部で粘性媒体残さが蓄積することに起因する可能性のある噴射装置の性能に対する悪影響を防止するように、噴射出口を通過する気体流用の流路を設けるための流れガイドであって、噴射された小滴の噴射経路と交差する方向で流路を設けるように構成されている流れガイドとを備える装置が提供される。

本願においては、「粘性媒体」という用語は、はんだペースト、フラックス、接着剤、導電性接着剤、または基板上で構成部品を固定するために使用される任意の他の種類の媒体と解釈すべきであること、また、「基板」という用語は、プリント回路板（ＰＣＢ）、ボール・グリッド・アレイ（ＢＧＡ）用基板、チップ・スケール・パッケージ（ＣＳＰ）、クワッド・フラット・パッケージ（ＱＦＰ）、ウェハ、フリップ・チップなどと解釈すべきであることに留意されたい。

また、「噴射」という用語は、「流体ウェッティング」など接触分注工程に対して、流体噴射物を使用して粘性媒体の小滴を形成し、噴射物ノズルから基板上に発射する非接触分注工程と解釈すべきであること、また、「気体流」という用語は、空気、圧縮空気、窒素など任意の適切なタイプの気体、または気体タイプの任意の他の媒体の流れと解釈すべきであることに留意されたい。

したがって、本発明は、噴射出口部で粘性媒体残さが蓄積することに起因する可能性のある噴射装置の性能に対する悪影響を防止するために、噴射装置の噴射出口部で気体流を送ることに関する。

上述のように、噴射装置は一般に、粘性媒体の供給源と連通する放出室と、放出室と連通するノズルとを備える。小滴を噴射する前に、放出室に粘性媒体が供給される。次いで、放出室の容積が急速に縮小され、明確な量の粘性媒体が、ノズルのオリフィスまたは出口穴から基板上に高速で押し出され、したがって、基板上で粘性媒体の堆積物または斑点を形成する。噴射された量について、以下、小滴または噴射物という。

実際の噴射段階の間は、噴射された粘性媒体がノズルのオリフィスを通過し、放出室内に残る粘性媒体からちぎり取られ、したがって、基板に向かって移動する小滴または噴射物を形成する。噴射段階のある瞬間の間は、オリフィスを通過する粘性媒体が、基板に最も隣接して面するノズルのオリフィス周囲表面、すなわち噴射段階の合間に粘性媒体と接触しない表面と接触している。基板に隣接して面するオリフィスを囲むノズルの一部分について、以下「噴射出口」という。したがって、「噴射出口」という用語は、放出室に面するノズルの一部分、すなわち小滴の噴射の合間に粘性媒体と接触している部分を含まない。

粘性媒体を噴射したとき、表面と粘性媒体の間の短時間の接触中に、微量の媒体が噴射出口の表面に固着または膠着する傾向がある。これは、粘性媒体の特性により発生する。はんだペーストまたは他の粘性媒体が良好に基板に固着することが必要とされるため、粘性媒体を調製するとき、所望の粘着性を達成するために、いわゆる粘着付与剤がしばしば使用される。その結果、小滴の噴射に続いて、粘性媒体残さが噴射出口の表面に添着または固着したままになる可能性がある。粘性媒体残さは、噴射工程中に小滴からちぎり取られる望ましくない、しばしば微量の粘性媒体を指すことに留意されたい。この状況では、放出室から放出された後で、噴射装置の一部の表面に添着した量を指す。

本発明によれば、気体流が噴射出口を通過して送られ、気体流の大きさおよび速度は、気体流によって粘性媒体残さを噴射出口の領域から移送するのに十分である。従って、小滴の噴射に続いて、残さが望ましくない噴射出口部の表面に添着したままであるしばしば微量の粘性媒体は、表面から解き放たれ、気体流によって運び去られる。また、噴射出口を通過して送られた気体流は第１に、ある量の粘性媒体残さが表面に添着するのを防止することができる。

上記で指摘したように、噴射出口部での粘性媒体残さの存在と、その可能な蓄積は、噴射された小滴が噴射出口を通過するときその軌跡に対して悪影響を有する可能性がある。また、粘性媒体残さは、小滴の体積を変えるように、噴射された小滴と干渉する可能性がある。たとえば、噴射出口部に位置するある体積の粘性媒体残さは、その表面から離れ、代わりに、噴射された小滴に固着し、その中に組み込まれる可能性がある。さらに、残さは、噴射された小滴が残さと「衝突」したとき、粘性媒体の飛散を引き起こす可能性がある。したがって、噴射出口部に粘性媒体残さが存在すると、意図されたものに比べて、得られる堆積物の位置、形態、またはサイズの逸脱を引き起こす可能性がある。また、基板上で粘性媒体が飛散する可能性があり、飛散したものは、リフロー中に基板上で自由に動き回り、次いで、ブリッジ、短絡、信頼性の低下を引き起こす可能性がある。

したがって、粘性媒体残さの蓄積または盛上りは、噴射性能に対して、したがって噴射装置の全体性能に対して望ましくない影響を有する。具体的には、噴射出口部での粘性媒体残さの望ましくない存在は、噴射出口部での望ましくない材料の無秩序な蓄積により、特にある時間にわたって、装置の精度および再現性を低下させることになる。また、望ましくないオペレータの介在が課されることに通じ、オペレータの介在は、製造工程に中断をもたらし、それによって全体的な製造スピードを低下させる。

したがって、噴射出口部での粘性媒体残さの蓄積による噴射性能に対する負の作用を防止することが大変重要である。高い製造スピードを得るためには、製造工程を中断することなしにこの負の作用を防止できることが不可欠である。効果的な噴射工程を達成するためには、気体流を調節された方法で送ることが望ましい。たとえば、一続きの小滴を噴射した後で、噴射出口の表面から粘性媒体残さを除去し移送するために気体流を送ることによって、これを達成することができる。一実施例によれば、そのような一続きは、所定の数の噴射された小滴を構成する。別の一実施例によれば、その一続きは、所定の時間の間に噴射された小滴で構成される。好ましくは、一続きの噴射された小滴を考慮して、予めプログラムされた方式に従って気体流を送り、その方式を何らかの種類の制御手段によって制御する。

当然ながら、たとえば、所定の数の小滴に続いて、ただし所定の最大時間内で気体流が送られるように、これを組み合わせることができる。これは、気体流が特定の間隔で、そのような時間間隔内の噴射された小滴数が閾値を超えない限り送られることを意味する。超えた場合には、気体流と、時間間隔および噴射された小滴数がリセットされる。別の好ましい一実施例によれば、所与の時間の間、小滴が噴射されない各瞬間に気体流が送られる。基板交換または任意の他の理由による可能性のあるこれら所定の「休止」時に、噴射出口の表面から粘性媒体残さを除去するために気体流が送られる。

噴射出口部で気体流を送るための所定の、または予めプログラムされた瞬間の代わりに、気体流を「要求に応じて」送ることができる。次いで、粘性媒体残さが気体流を送るべき程度に噴射出口部に蓄積したかどうか検出するための何らかの種類の検出手段を設けることができる。検出手段は、カメラなど、当技術分野内で周知の任意の適切な検出手段とすることができよう。

本発明の好ましい実施例によれば、気体流は、小滴の実際の噴射中に送られる。次いで、気体流は、噴射周期、すなわち小滴が噴射される各時間と同期され、噴射出口部で気体流が送られる。好ましくは、噴射手順全体にわたって連続的な気体流を送ることによって、これを達成する。別法として、噴射工程が中止されたとき、またはその所定の時間後に気体流を休止する。

小滴の噴射中に気体流を送ることにより、いくつかの利点が得られる。第１に、小滴の噴射に続いて噴射出口表面に添着したどのような粘性媒体残さも、噴射出口の付近から即座に移送される。第２に、気体流は、小滴または噴射物からちぎり取られ、普通なら残さとして噴射出口の表面に固着するはずの微量の粘性媒体を、噴射出口から拾い上げて移送することができる。したがって、噴射出口部で粘性媒体残さが不利な量に盛り上がる、または蓄積することが防止され、それにより、噴射周期中に高い精度と再現性が維持される。

小滴の実際の噴射中に気体流を送ることによる他の利点は、粘性媒体の付随物を噴射出口の付近から拾い上げ、移送することができることである。付随物は、噴射中に粘性媒体の小滴または噴射物からちぎり取られ、したがっていわゆる付随物を形成して望ましくない微量の粘性媒体である。付随物は通常、小滴または噴射物と同じ全体的な方向を有するが、意図された堆積物から離隔された基板に付随物を衝突させる偏角を有する。これらの付随物は、リフロー中に基板上で自由に動き回り、上述のように、ブリッジ、短絡などを引き起こす可能性のある、はんだボールの形成を引き起こす可能性がある。したがって、粘性媒体付随物を防止することにより、粘性媒体を基板上に付着した結果が改善され、したがって、完成した基板の不合格率が低減される。

噴射工程中に噴射出口部で気体流を送ることによる他の利点は、噴射された小滴の軌跡に対する安定化作用を得られる可能性である。たとえば、本発明の一実施例によれば、気体流は、噴射された小滴の方向と反対の方向で噴射出口に向かって送られる、すなわち、噴射経路に沿って軸方向に配向される。流れは、噴射出口に達したとき案内され、その結果、噴射出口を離れる流れが容易に配向される。好ましくは、噴射された小滴または噴射物の軌跡または飛翔経路に対する安定化作用を有する本質的に層状の流れが得られるように、軸方向に配向された流れが本質的に均一に分配される。

本発明によれば、気体流は、流れ発生手段を介して生成される。本発明の好ましい一実施例によれば、流れ発生手段は、吸引発生手段の形態で、すなわち、真空エジェクタまたは任意の他の適切なタイプの吸引発生器の形態である。次いで、吸引発生手段は、気体流の方向で見て、噴射出口を囲む領域の下流に設けられる。

本発明の別の好ましい一実施例によれば、気体流を生成する代替方法は、好ましくは加圧気体源、または任意の他の適切なタイプのブロー発生器の形態で、ブロー発生手段を設けることである。次いで、当然ながら、ブロー発生手段は、噴射出口を囲む領域の上流に設けられる。吸引発生器に比べてブロー発生器を設ける１つの利点は、複数の雰囲気の圧力差を得ることができることである。

本発明の特定の一実施例によれば、気体流を生成するために、吸引発生手段とブロー発生手段の組合せが設けられる。次いで、ブロー発生手段および吸引発生手段は、噴射出口の反対側に適切に設けられる。

本発明の好ましい実施例によれば、噴射出口の付近、またはそれを囲む部分に対して、またはそこから気体流を案内するための案内手段が設けられる。

本発明の好ましい実施例によれば、気体流が噴射出口を通過して配向され、集束または集められ、その結果、噴射工程に悪影響を及ぼすことなしに、噴射出口表面からの粘性媒体残さの移送を最適化するためのレベルに流速が高められる。これは、噴射出口表面からの粘性媒体残さの効果的な除去を可能にし、粘性媒体残さが噴射出口表面に固着する可能性を低減し、それによって精度を改善し、噴射工程中に高い再現性を維持する。これは、噴射出口を通過して流路を狭めることによって達成することができる。

本発明の第１態様の実施例によれば、噴射装置は、噴射出口から離隔され、噴射出口部で噴射された小滴の方向で見て噴射出口の下流に位置する壁を備える。一例として、壁は、ノズル支持物の一部を構成することができるが、ノズルのためのどのような支持機能をも備えることなしに設けることができる。壁と噴射出口の間には、噴射出口部で、かつそこを通過して、気体流用のチャネルまたはガイドとして働く空間が形成される。

本発明の特定の一実施例によれば、噴射出口と壁の間に形成された空間は、気体流用のチャネルとして働く。このチャネル内で、この空間の一方の端部は入口として働き、反対側の端部は、気体流用の出口として働き、諸端部は、噴射出口の反対側に設けられる。好ましくは、入口として働く端部はブロー発生手段と連通し、出口として働く端部は吸引発生手段と連通する。別法として、ブロー発生手段または吸引発生手段だけが、それぞれ設けられる。噴射出口部の空間とそれぞれの流れ発生手段との間の連通は、流れ発生手段を噴射出口から離して設けることができるように、チャネルを介して提供することが好ましい。

壁は噴射経路内に位置するため、壁は、噴射出口と同心の開口またはオリフィスを備える。それにより、噴射された小滴は、オリフィスを介して壁を通過することができる。特定の一実施例によれば、壁のオリフィスもまた、噴射出口に向かって気体流用の入口として機能する。この実施例の利点は、噴射された小滴または噴射物の軌跡に対して安定化作用を有する層流を上述のように送ることができることである。さらに、この実施例では、噴射された小滴は、噴射された直後に強い向かい風に面することになる。意図された軌跡から角度をなして逸脱する噴射軌跡を有する小滴は、わずかな横風に遭遇することになる。噴射された小滴に対する横風の作用は、偏角の大きさによって決まることになる。その結果、噴射された小滴が壁によって収集されることになる程度に偏角を強めることができる。

別法として、１つまたは複数の他のオリフィスを壁内に設けることができ、次いで他のオリフィスは、噴射出口に向かって気体流用の入口として働く。

本発明の他の一実施例によれば、壁と、小滴が通って噴射される壁のオリフィスとを備えて、上述のように小滴の噴射中に生成される粘性媒体付随物が基板に達するのが防止される。これは、噴射された小滴はオリフィスを通過することができる一方、噴射された小滴の方向から逸脱する方向を有する付随物はオリフィスを外し、壁によって収集される寸法をオリフィスに与えることによって達成される。

壁のオリフィスが、噴射出口に向かって気体流用の入口を構成する実施例では、生成されたどのような付随物も、上述と同じように、その偏角により、壁によって収集することができるように偏角を強める横風に遭遇することになる。粘性媒体小滴に比べて、付随物はより低速かつ著しく体積が小さいため、付随物は、はるかに横風の作用を受けやすくなる。

当業者なら理解できるように、気体流は、壁によって収集された任意の粘性媒体、たとえば噴射された小滴または付随物が気体流によって壁から除去され移送されるように送ることができる。

本発明の一実施例によれば、粘性媒体残さを噴射出口から移送する気体流の能力を最適化する、または高めるための気体流の集束は、壁に適切な設計を与えることによって得られる。一実施例によれば、壁には、噴射出口部で、かつそれを囲んで、流路の面積を減少させ、それによって噴射出口を通過する流速を高める環状突起が備えられる。しかし、当業者なら理解できるように、本発明に従って粘性媒体を移送するための流速および能力において所望の増加を得るために、多数の異なる設計が可能である。

さらに、粘性媒体が添着する可能性のあるオリフィスを囲む表面積を最小限に抑えるように壁を設計することができる。例示的な一実施例によれば、基板に面する壁の側でオリフィス周りに斜面を設けることによって、これを達成する。次いで、小滴がオリフィスを通過するとき粘性媒体小滴に面する内向きオリフィス表面を著しく削減することができ、これにより、粘性媒体が壁面に添着し、噴射装置の性能に負の影響を及ぼす危険性が低減されることになる。さらに、オリフィス周りに斜面を設けると、オリフィス内への流体抵抗を低減し、それによって、より効率的な吸引と、乱流の危険性の低減とを可能にするという、さらなる利点が得られることになる。

一代替実施例によれば、壁には、噴射出口に向かって気体用の流路を提供するための少なくとも１つのチャネルが備えられる。次いで、少なくとも１つのチャネルは、壁内に、かつ壁に沿って拡張部を有し、壁のオリフィス部に少なくとも１つのチャネル出口を備える。好ましくは、各チャネル出口または出口は、気体流が噴射出口に向かって配向されるように構成される。この実施例では、何らかの種類のブロー手段、好ましくはチャネル（群）と連通する加圧気体源によって気体流が送られることが好ましい。当然ながら、当業者なら理解できるように、これを吸引手段と組み合わせることができる。

本発明の他の例示的な一実施例によれば、噴射出口および壁は、単一の一体型構造内に含まれる。好ましくは、この一体型構造は、噴射された小滴の経路と交差する狭い流路を提供するためのチャネルを備える。次いで、「噴射出口」という用語は、流路の「上」側、すなわち放出室に面する流路の側部に面する一体型構造の一部分を指す。当業者なら理解できるように、壁は、上述のように噴射出口と同心のオリフィスを有するどのような適切な形態または形状とすることもできる。

本発明の第２態様の好ましい実施例によれば、気体流は、噴射された小滴の経路と交差する方向で送られる。特定の一実施例によれば、気体流は、噴射された小滴の経路に本質的に垂直に配向される。好ましくは、気体流は、噴射出口の表面を通過して送られ、それに沿って掃引している。

本発明の第２態様の実施例によれば、噴射出口の反対側に位置する吸引発生手段とブロー発生手段を共に使用する実施例の場合、本発明の第１態様に関連して述べたタイプの壁を設けることは不可欠でないことに留意されたい。したがって、噴射出口部での粘性媒体からの噴射装置の性能に対する悪影響を防止するのに十分な量および速度の気体流を、噴射出口を通過して送る可能性をおろそかにすることなしに、噴射出口と基板の間に開いた空間を設けることができよう。

本発明の好ましい実施例によれば、気体流によって噴射出口の付近から移送された粘性媒体を収集するための濾過手段が設けられる。吸引発生手段が設けられている実施例の場合、粘性媒体が吸引発生手段内で終わるのを防止するために、フィルタもまた設けられる。

さらに、気体流によって移送された粘性媒体が収集される収集空間を設けることができる。次いで、収集された粘性媒体は、再使用するために収集空間から収集することができる。好ましくは、収集空間または廃物貯蔵器は、気体流の方向で見てフィルタの前に位置する。

本発明の特徴を有する噴射装置は、アセンブリ（組立体）内に含まれることが好ましい。次いで、流れ発生手段は、噴射アセンブリから離れて位置し、気体または空気式インターフェース手段を介してアセンブリと連通し、インターフェース手段は、アセンブリ内に設けられた案内手段、すなわちチャネルを介して入口と連通することが好ましい。

本発明の他の目的および利点について、以下、例示的な実施例によって論じる。

本発明の好ましい実施例について、以下、添付の図面を参照しながら述べる。

図１は、本発明に従って、基板２上に粘性媒体の小滴を分注すること、すなわち噴射することによって基板２に堆積物を供給するための機械１の好ましい実施例の全体的な概略を示す。説明を容易にするために、粘性媒体は、以下、上記で定義した代替形態の１つであるはんだペーストと呼ぶ。同じ理由で、基板を電気回路板と呼び、気体を空気と呼ぶ。この実施例では、噴射機１はＸビーム３とＸワゴン４を備えるタイプであり、Ｘワゴン４は、Ｘレール１６を介してＸビーム３に連結され、Ｘレール１６に沿って往復移動可能である。Ｘビームは、Ｙレール１７に往復移動可能に連結され、それによってＸビーム３は、Ｘレール１６に垂直に移動可能である。Ｙレール１７は、噴射機１に剛性に取り付けられている。全体的に、移動はリニア・モータ（図示せず）によって実現される。

さらに、噴射機１は、噴射機１を介して回路板２を搬送するためのコンベヤ１８と、噴射が行われるとき回路板２をロックするためのロック装置１９とを備える。

ドッキング装置８は、アセンブリ５の解放可能な取付けを可能にするためにＸワゴン４に連結されている。アセンブリ５は、はんだペーストの小滴を分注する、すなわち噴射するように構成され、はんだペーストは、回路板２上で衝突し、堆積物を形成する。噴射機１はまた、この実施例ではカメラである視覚装置７を備える。カメラ７は、回路板２の位置および回転を決定するために、また、回路板２上の堆積物を見ることによって分注工程の結果を検査するために使用される。

さらに、噴射機１は、Ｘワゴン４上で配列された真空エジェクタ６と、圧縮空気源（図示せず）とを備える。真空エジェクタ６、ならびに圧縮空気源は、この実施例ではドッキング装置８の入力ニップル９（図２参照）と示されている補足的な空気導管インターフェース手段に連結可能な空気導管インターフェース手段を介してドッキング装置８と連通している。

当業者なら理解できるように、噴射機は、機械を動作させるソフトウェアを実行するための制御装置（明示的には図示せず）を備える。

簡単には、噴射機は以下のように動作する。回路板２が配置されるコンベヤ１８によって、回路板２が噴射機１内に給送される。回路板２がＸワゴン４の下で正しい位置にあるとき、回路板２は、ロック装置１９を用いて固定されている。カメラ７によって基準マーカを突き止め、基準マーカは、回路板２の表面上に予め配列され、その正確な位置を決定するために使用される。次いで、Ｘワゴンを所定の（予めプログラムされた）パターンで回路板２の上に移動し、所定の場所で噴射アセンブリ５を動作させることにより、はんだペーストが所望の場所で回路板２上に付着される。

次いで、図２〜３を参照しながら、本発明による噴射アセンブリ５の好ましい実施例について、より詳細に述べる。噴射アセンブリは、噴射アセンブリ５をドッキング装置のアセンブリ支持物１０（図２参照）に連結するための保持手段を有するアセンブリ・ホルダ１１を備える。さらに、この実施例では、噴射アセンブリ５は、はんだペーストを供給する供給容器１２と、アセンブリ・ハウジング１５とを備える。噴射アセンブリ５は、真空エジェクタ６と、入口４２を備える空気式インターフェース手段を介して加圧空気源とに連結され、インターフェース手段は、ドッキング装置１０の、出口４１を備える補足的な空気式インターフェース手段と気密係合してインターフェースするように位置決めされている。

図４〜７を参照しながら、アセンブリ・ハウジング内に封入されている装置の内容および機能について、より詳細に説明する。これらの断面図でわかるように、噴射アセンブリ５は、アセンブリ・ハウジング１５内でアクチュエータを支持するためのアクチュエータ・ロックねじ２０と、アクチュエータ２１を形成するように互いに積み重ねられたいくつかの薄い圧電要素によって形成され、ロックねじ２０に剛性に連結されている圧電アクチュエータ２１とを備える噴射装置を含む。噴射装置はさらに、アセンブリ・ハウジング１５に剛性に連結されたブッシング２５と、ロックねじ２０の位置と反対側で、圧電アクチュエータ２１の端部に剛性に連結されたプランジャ２３とを備える。プランジャ２３は、軸方向に移動可能であり、一方、ブッシング２５内の穿孔を介して摺動可能に伸びる。アセンブリ・ハウジング１５に対して弾性的にプランジャ２３の均衡を保つために、また、アクチュエータ２１に予圧を与えるために、カップばね２４が設けられている。放出制御装置（図示せず）は、はんだパターン印刷データに従って、圧電アクチュエータ２１に駆動電圧を断続的に印加し、それによってアクチュエータの断続的な延長を、したがってアセンブリ・ハウジング１５に対するプランジャの往復移動を引き起こす。

さらに、噴射装置は、はんだペーストの小滴をその上に噴射すべき回路板２に対して動作可能に配向される放出ノズル２６を備える。ノズル２６内には、小滴が通って噴射される噴射オリフィス２７が含まれている。噴射オリフィス２７を囲み、基板２に面するノズル２６の表面を、噴射出口と呼ぶ。プランジャ２３は、ピストン穿孔３５を介して摺動可能に、かつ軸方向に移動可能に伸びているピストン部分を備え、プランジャ２３のピストン部分の端面は、ノズル２６に近接して構成されている。放出室２８は、プランジャ２３の端面の形状、ブッシング２５の内径、およびノズル・オリフィス２７によって画定される。圧電アクチュエータ２１の断続的な延長によって引き起こされる、ノズル２６に向かうプランジャ２３の軸方向の移動は、放出室２８の容積を急速に減少させ、したがって放出室２８内に容れられた任意のはんだペーストを急速に加圧し、ノズル・オリフィス２７を介して噴射させる。

はんだペーストは、給送装置を介して供給容器１２（図２参照）から放出室に供給される。給送装置は、管状穿孔３０内に部分的に設けられたモータ軸２９を有する電気モータ（図示せず）を備え、モータ軸は、管状穿孔３１を介してピストン穿孔３５と連通する出口３６まで、アセンブリ・ハウジング１５を介して伸びる。モータ軸２９の端部部分は、管状穿孔３０内にそれと同軸で設けられた回転可能な給送ねじ３２を形成する。回転可能な給送ねじ３２の不可欠な部分は、管状穿孔３０内でそれと同軸に配列された一連の弾性のエラストマー性Ｏリング３３によって囲まれており、回転可能な給送ねじ３２のねじ筋は、Ｏリング３３の最も内側の表面と摺動接触する。

上記加圧空気源（図示せず）から得られる加圧された空気は、供給容器１２内に容れられたはんだペーストに圧力を加えるように構成され、それにより、管状穿孔３０と連通する入口ポート３４にはんだペーストを給送する。供給制御装置（図示せず）によってモータに送られる電子制御信号は、モータ軸２９を、したがって回転可能な給送ねじ３２を所望の角度で、または所望の回転スピードで回転させる。次いで、回転可能な給送ねじ３２のねじ筋とＯリング３３の内面との間に取り込まれたはんだペーストは、モータ軸２９の回転動作に従って、入口ポート３４から出口ポート３６および管状穿孔３１を介してピストン穿孔３５に移動される。ピストン穿孔３５およびブッシング２５の上部に封止Ｏリング２２が設けられ、その結果、ピストン穿孔３５に向かって給送されたどのはんだペーストも、ピストン穿孔３５から流出してプランジャ２３の動作を妨害する可能性を防止する。

次いで、はんだペーストは、管状穿孔３０の出口ポート３６から導管３１およびチャネル３７を介して放出室２８内に給送される。チャネル３７は、プランジャ２３のピストン部分内に設けられ、チャネル３７は、プランジャ内に同軸に伸び、導管３１と連通する第１の部分と、第１の部分から放出室２８に面するプランジャの端面に、プランジャ２３と同軸に、かつその内部で伸びる第２の部分とを有する。

次いで図４〜５ｃに転じ、本発明の特定の好ましい実施例について述べる。図５ｂで最も明確にわかるように、噴射アセンブリ５の噴射装置は、噴射方向で見てノズル・オリフィス２７の下方または下流に位置する支持プレート１４を備える。支持プレート１４は貫通穴１３を備え、それを介して、噴射された小滴は、支持プレート１４によって邪魔される、または負の影響を受けることなしに通過することができる。したがって、穴１３は、ノズル・オリフィス２７と同心である。

この実施例によれば、噴射アセンブリ５は、ノズル・オリフィス２７、ノズル２６、支持プレート１４によって画定され、ピストン穿孔３５と同心の円盤状空間を画定する第１の部分と、ノズル２６および支持プレート１４によって画定され、第１の部分に連結され、ノズル２６の周りで同軸に延びる第２の部分と、アセンブリ・ハウジング１５およびブッシング２５によって画定され、ピストン穿孔３５に平行に第２の部分に連結され、第３の部分に面するブッシング２５の一部の周りで同軸に伸びる第３の部分とからなる空気流室３８を備える。

空気流室３８は、管状穿孔３１の反対側でピストン穿孔３５の側部に位置する空気流導管３９と連通する。空気流導管３９は、空気流室３８の第３の部分から空気流導管の第２の部分に伸びる第１の部分を備え、第１の部分は、ピストン穿孔３５に平行である。第２の部分は、導管３１と位置合わせされ、空気流室と、下記で述べる廃物容器５０との間にチャネルを設けるように構成された穿孔の形態である。

はんだペーストの断片を収集するために、解放可能に取り付けられた廃物容器５０が噴射アセンブリ５に連結されている。廃物容器５０は、その全体が示されている図５ａで最もよくわかる。廃物容器５０は、噴射アセンブリ５上のインターフェース手段部で、廃物容器５０上に構成された対応するインターフェース手段を介して、噴射アセンブリ５に連結されている。下記でより詳細に述べる廃物容器５０は、噴射アセンブリ５と真空エジェクタ６の間でインターフェースおよび連通を提供する。それにより、真空エジェクタによって生成された負圧または真空は、噴射アセンブリ５に、また、連通する空気流導管３９および空気流室３８に伝えられる。

廃物容器５０は、連結インターフェースと連通する、噴射アセンブリの空気流導管３９と位置合わせされた第１の部分と、第１の部分から垂直に伸びる第２の部分とを有する空気導管５３を備える。空気導管５３は、分離壁５４を超えて収集空間５５と連通し、収集空間は、噴射出口から除去されたはんだペースト残さを収集するように構成されている。

収集室５５の上部で、狭い空気導管５２が空気流を、収集室５５からフィルタ５７内に導く。フィルタ５７は従来のタイプであり、収集室５５内に収集されないはんだペーストのどのような断片も真空エジェクタに達しないようにするために設けられている。フィルタは、さらに長手方向穿孔５６内に設けられ、出口導管５８と連通している。

廃物容器５０は、廃物容器５０を真空にするために従来のタイプの真空エジェクタ６と解放可能に連結されている。真空エジェクタ６は、空気出口５８、コネクタ６０、空気管６１を介して廃物容器５０に連結されている。真空エジェクタは、噴射アセンブリ５および／または廃物容器５０から分離されて示されているが、当然ながら、真空エジェクタ６、噴射アセンブリ５、廃物容器５０のいくつかの他の配置または組合せを本発明の範囲内で考えることができる。

動作時には、真空エジェクタは廃物容器を真空にし、収集空間５５、狭い空気導管５２、長手方向穿孔５６およびフィルタ５７、出口導管５８、コネクタ６０、空気管６１の真空化を含む。この真空化は、図５ａに矢印によって示されているように、廃物容器を介して空気流を発生する。その結果、噴射アセンブリ５の空気流導管３８および空気流室３９もまた、インターフェースを介して真空になる。したがって、空気が出口穴１３を介して吸い込まれ、噴射された小滴の方向と逆の方向で強い空気流を生じさせる。この空気流は、噴射出口を通過し、上述の理由で、噴射出口に固着する可能性のあるはんだペーストのどのような望ましくない残さも除去することになる。

本発明の本実施例によれば、空気流は、各小滴を噴射する前、その間、およびその後に送られる。また、空気流は、噴射の所定の時間後、または所定の数の噴射された小滴に続いて断続的に送ることができよう。噴射出口部のはんだペースト残さの蓄積または盛上りを監視すること、および、蓄積があるレベルに達したとき空気の流れを送ることもまた企図されている。しかし、空気流は、噴射工程中、一定して送ることが好ましい。

空気は、空気流室３８を介して流れ、空気流導管３９を介して廃物容器５０内に進み続けることになる。空気流の力のため、噴射出口の付近から除去されたはんだペースト断片は、空気流室３８、空気流導管３９を介して廃物容器５０内に移送または搬送されることになる。廃物容器５０の内部では、空気が、空気導管５３を介し、分離壁５４を超えて収集室５５内に流れることになる。重力のため、空気流によって移送された多数のはんだペースト残さは、収集室５５内に落ちることになり、一方、空気流は、狭い導管５２内に進み続けることになる。空気流と共に狭い導管５２内に進み続ける可能性のあるはんだペーストのどのような残さも、フィルタ５７によって収集されることになり、したがって、はんだペーストの断片が出口導管５８に達するのを防止する。

さらに、噴射された小滴は、噴射された直後に強い向かい風に面しているので、意図された軌跡から角度をなして逸脱する噴射軌跡を有する小滴は、わずかな横風に遭遇することになる。噴射された小滴に対する横風の作用は、偏角の大きさによって決まることになる。その結果、噴射された小滴が穴１３を外し、代わりに、支持プレート１４によって収集されることになる程度に偏角を強めることができる。上記は、上述のどのような付随物の場合でもあり、その偏角のため、横風に遭遇し、支持プレート１４によって収集されることになる。次いで、空気流室内に存在する、または後から生成される空気流は、支持プレート１４によって収集されたどのようなはんだペーストも移送することになる。はんだペースト小滴に比べて、付随物はより低速かつ著しく体積が小さいため、付随物は、はるかに横風の影響を受けやすくなる。

本発明の一代替実施例によれば、支持プレート１４は、１つまたは複数の追加穴を備える。次いで、ノズル２７と同心に構成された穴１３は、主に噴射された小滴用の経路を提供するために使用され、一方、他の穴（群）は、空気流室３９内に空気の入口を提供するために使用される。当然ながら、他の穴（群）の位置決めおよび設計は、噴射出口部で、またはそこを通過して強制的な空気の流れが送られるようにしなければならない。

図７によれば、支持プレートの一代替実施例１１４が示されている。この実施例では、支持プレート１１４の壁が、噴射出口に向かってある角度で配向された穴１１３に隣接している。支持プレート１１４の図の設計では、空気流用の流路内に収縮が設けられ、噴射出口にすぐ隣接して空気流の速度を増加することになる。さらに、この実施例によれば、オリフィスの内向き表面、すなわち小滴がオリフィスを通過するとき粘性媒体小滴に面する表面が非常に小さい。これにより、粘性媒体が壁面に添着する危険性が減少する。

当業者なら理解できるように、本発明の範囲から逸脱することなく、噴射出口部で、またはそこを通過して流路を狭める多数の代替設計を考えることができる。

図６ａおよび６ｂを参照すると、本発明による装置の一代替実施例が示されている。噴射装置の全体的な機能は上述したものと同じであるため、さらに説明はしない。本実施例によれば、廃物容器５０および真空エジェクタ６が噴射アセンブリ５に取り付けられ、好ましくは解放可能に取り付けられている。しかし、廃物容器５０と噴射アセンブリ５の間にインターフェース手段がない。その代わりに、廃物容器５０の空気導管５３がノズル２６およびノズル２７の付近に伸びている。廃物容器の残りの部分、ならびに真空エジェクタは上述のものと変わらず、したがってさらに説明はしない。

上述のように、加圧空気源が空気式インターフェース手段を介して噴射アセンブリ５に連結され、加圧空気の主な仕事については上記で述べられている。この特定の実施例によれば、加圧空気はまた、噴射出口部で加圧空気を流すために使用される。これは、加圧空気の流れを源から、案内手段（図示せず）、すなわち空気導管またはチャネルを介して、ノズル２７およびその噴射出口に伸び、かつそれに対して配向されている加圧空気出口４０に配向することによって達成する。

図６ａおよび６ｂでわかるように、加圧空気出口４０は、廃物容器５０の入口５３の反対側に位置する。したがって、加圧空気によってもたらされる吹き付け作用が真空エジェクタ６の吸引と組み合わされ、はんだペーストの望ましくない残さを噴射出口から移送することになる。したがって、噴射された小滴の経路を横切って、かつ交差して空気が強く流れることになり、この空気流が、はんだペーストの望ましくない残さを噴射出口から移送することになる。

本実施例について支持プレートなしで示したが、当然ながら、この実施例にそのようなプレートが含まれることは、本発明の範囲内で考えることができる。次いで、図６ｂに矢印によって示されているように、そのような支持プレートとノズル２７の間に画定された室または空間内に、空気の流れが存在することになる。

空気流の力の大きさは、噴射された小滴の噴射軌跡に対する悪影響が空気流から生じないように制御しなければならないことになる。しかし、所与の方向における一定の少量の逸脱は、噴射するときに噴射アセンブリ、すなわちノズルの位置を調整することによって補償することができる。

以上、本発明についてその例示的な実施例を使用して述べたが、当業者なら理解できるように、添付の特許請求の範囲に定義されている本発明の範囲から逸脱することなく、代替形態、修正形態、およびその組合せを実施することができる。たとえば、本発明は、噴射アセンブリの使用に制限されない。それどころか、噴射アセンブリなしで粘性媒体を噴射するための機械における本発明の装置および方法は、容易に実現され、本発明の範囲内に含まれる。

本発明による噴射装置を備える、はんだペーストを付着するための機械の全体的な概略を示す斜視図である。 ドッキング装置および本発明の噴射アセンブリの一実施例の上方からの略図である。 図２に示されたアセンブリの下側を示す略図である。 本発明の一実施例による噴射装置を備えるアセンブリの中央部分の第１実施例の断面図である。 図４に示された実施例の代替断面図である。 図５ａの一部分をより詳細に示す拡大断面図である。 図５ａの一部分をより詳細に示す拡大断面図である。 アセンブリの中央部分の代替実施例を示す、図５ａに類似の図である。 図６ａの一部分をより詳細に示す拡大断面図である。 本発明による装置の代替実施例の拡大断面図である。

Claims (54)

1. 粘性媒体の供給源に接続された放出室と、小滴が噴射される噴射出口と、放出室の容積を急速に縮小して、粘性媒体を前記噴射出口から基板上に押し出すアクチュエータ、とを備える、粘性媒体の小滴を基板上に噴射するための噴射装置の性能を改善する方法であって、
   前記噴射出口部で粘性媒体残さが蓄積することに起因する可能性のある前記噴射装置の性能に対する悪影響を防止するように、前記噴射出口を通過する気体流を送る段階と、
   前記噴射出口部に、噴射方向で見て前記噴射出口の下流に位置する壁を設ける段階と、
   前記壁内にオリフィスを設けて、噴射された小滴が前記オリフィスを通過することを可能にし、前記オリフィスおよび前記噴射出口が噴射方向で位置合わせされる段階とを含む方法。
2. 小滴の噴射中に生成され、噴射された小滴の全体的な方向から逸脱する望ましくない粘性媒体付随物が前記壁によって収集されるような寸法を有する前記オリフィスを設ける段階を含む、請求項１に記載の方法。
3. 前記壁によって収集された粘性媒体が前記気体流によって前記壁から除去されるように前記気体流が送られる、請求項２に記載の方法。
4. 前記壁と前記噴射出口の間に、噴射出口を通過する前記気体流用の経路を設ける段階を含む、請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の方法。
5. 前記噴射出口に隣接する前記気体流が集束され、前記噴射出口を通過して前記気体流の速度が増加するように前記壁を設計する段階を含む、請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の方法。
6. 前記気体流が、前記オリフィスを介し、前記噴射出口に向かって、前記壁と噴射出口の間に設けられた経路に沿って径方向で前記噴射出口から離れて送られる、請求項４または請求項５に記載の方法。
7. 前記噴射出口部の前記気体流が、噴射された小滴の噴射経路と交差する流路に沿って配向される、請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の方法。
8. 前記気体流が、前記噴射出口に沿って掃引する、請求項７に記載の方法。
9. 前記流路が、前記噴射出口部で前記噴射経路に本質的に垂直である、請求項７または請求項８に記載の方法。
10. 粘性媒体の供給源に接続された放出室と、小滴が噴射される噴射出口と、放出室の容積を急速に縮小して、粘性媒体を前記噴射出口から基板上に押し出すアクチュエータ、とを備える、粘性媒体の小滴を基板上に噴射するための噴射装置の性能を改善する方法であって、
    前記噴射出口部で粘性媒体残さが蓄積することに起因する可能性のある前記噴射装置の性能に対する悪影響を防止するように、前記噴射出口を通過する気体流を送る段階であって、前記噴射出口部の前記気体流が、噴射された小滴の噴射経路と交差する流路に沿って配向される段階を含む方法。
11. 前記気体流が、前記噴射出口に沿って掃引する、請求項１０に記載の方法。
12. 前記流路が、前記噴射出口部で前記噴射経路に本質的に垂直である、請求項１０または請求項１１に記載の方法。
13. 粘性媒体残さが前記噴射出口から除去されるように前記気体流が送られる、請求項１から請求項１２までのいずれか一項に記載の方法。
14. 前記気体流が、一続きの噴射された小滴の噴射に続いて送られる、請求項１から請求項１３までのいずれか一項に記載の方法。
15. 前記気体流が、所定の数の噴射された小滴に続いて送られる、請求項１から請求項１４までのいずれか一項に記載の方法。
16. 粘性媒体残さがないまま前記噴射出口が保たれるように前記気体流が送られる、請求項１から請求項１３までのいずれか一項に記載の方法。
17. 前記気体流が、前記小滴の噴射中に送られる、請求項１６に記載の方法。
18. 前記気体流が、小滴の噴射の間、その合間、その後に連続的に送られる、請求項１から請求項１７までのいずれか一項に記載の方法。
19. 小滴の噴射中に生成された望ましくない粘性媒体付随物の存在が減少し、前記付随物が前記気体流によって移送されるように前記気体流が送られる、請求項１から請求項１８までのいずれか一項に記載の方法。
20. 前記噴射出口を通過して前記気体流の速度が増加するように、前記噴射出口に隣接して前記気体流を配向し集束する段階を含む、請求項１から請求項１９までのいずれか一項に記載の方法。
21. 粘性媒体残さを前記噴射出口から移送する前記気体流の能力が増大するように、前記噴射出口に隣接して前記気体流を配向し集束する段階を含む、請求項１から請求項２０までのいずれか一項に記載の方法。
22. 前記気体流を送るための吸引発生手段を設ける段階を含む、請求項１から請求項２１までのいずれか一項に記載の方法。
23. 前記気体流を送るためのブロー発生手段を設ける段階を含む、請求項１から請求項２２までのいずれか一項に記載の方法。
24. 前記気体流を送るために、吸引発生手段とブロー発生手段を組合せで設ける段階を含む、請求項１から請求項２３までのいずれか一項に記載の方法。
25. 前記気体流を、前記噴射出口を通過した後で、粘性媒体廃物区画内に配向する段階と、
    前記気体流によって前記噴射出口から移送された粘性媒体を、前記廃物区画内に収集する段階と
    を含む、請求項１から請求項２４までのいずれか一項に記載の方法。
26. 前記気体流が前記噴射出口を通過した後で、前記気体流を、フィルタを介して配向する段階と、
    前記気体流によって前記噴射出口から移送された粘性媒体を、前記フィルタによって収集する段階と
    を含む、請求項１から請求項２５までのいずれか一項に記載の方法。
27. 前記気体流を提供するために使用される気体が空気である、請求項１から請求項２６までのいずれか一項に記載の方法。
28. 前記気体流を提供するために使用される気体が窒素である、請求項１から請求項２６までのいずれか一項に記載の方法。
29. 粘性媒体の供給源に接続された放出室と、小滴が噴射される噴射出口と、放出室の容積を急速に縮小して、粘性媒体を前記噴射出口から基板上に押し出すアクチュエータ、とを備える、粘性媒体の小滴を基板上に噴射するための噴射装置の性能を改善する方法であって、
    前記噴射出口部で粘性媒体残さが蓄積することに起因する可能性のある前記噴射装置の性能に対する悪影響を防止するように、前記噴射出口を通過して空気流を送る段階であって、前記空気流が、個々の小滴の噴射の間、その合間、その後に吸引によって送られる段階を含む方法。
30. 粘性媒体の小滴を基板上に噴射する装置において、
    粘性媒体の供給源に接続された放出室と、
    前記小滴が噴射される噴射出口を有するノズルと、
    放出室の容積を急速に縮小して、粘性媒体を前記噴射出口から基板上に押し出すアクチュエータと、
    気体流を生成するための流れ発生器と、
    前記噴射出口部で粘性媒体残さが蓄積することに起因する可能性のある前記噴射装置の性能に対する悪影響を防止するように、前記噴射出口を通過する前記気体流用の流路を設けるための流れガイドであって、
    前記噴射出口部に、噴射方向で見て前記噴射出口の下流に位置し、前記ノズルとの間に 第１の空間を画定する壁を備える流れガイドと、
    前記壁内に設けられた第１のオリフィスであって、第１のオリフィスと前記噴射出口が、噴射された小滴の経路に沿って位置合わせされ、噴射された小滴が本質的に影響を受けずに第１のオリフィスを通過できるように設計されている第１のオリフィスとを備える装置であって、
    前記流れガイドが、前記噴射出口を通過して流路に沿って前記第１の空間内で前記気体流を送るように構成されている装置。
31. 前記壁および前記噴射出口が、１つの一体型構造として形成される、請求項３０に記載の装置。
32. 前記第１の空間が、前記気体流用の入口および出口を備える、請求項３０または請求項３１に記載の装置。
33. 前記入口および前記出口が、前記噴射出口の反対側に設けられ、その結果、前記気体流が前記噴射された小滴の経路と交差する、請求項３２に記載の装置。
34. 前記入口と連通するブロー発生器を備える、請求項３３に記載の装置。
35. 前記第１のオリフィスが、前記第１の空間内への前記気体流用の前記入口を構成する、請求項３２に記載の装置。
36. 前記壁内に少なくとも１つの第２のオリフィスをさらに備え、前記第２のオリフィスが、前記第１の空間内への前記気体流用の前記入口を構成する、請求項３２に記載の装置。
37. 前記流れガイドが、前記気体流用の流路を前記壁内に設けるために前記壁内を走る少なくとも１つのチャネルを備える、請求項３２に記載の装置。
38. 前記少なくとも１つのチャネルが、前記噴射出口部で前記第１の空間に向かって少なくとも１つの開口を備え、前記開口が、前記第１の空間内への前記気体流用の前記入口を構成する、請求項３７に記載の装置。
39. 前記少なくとも１つの開口が、前記噴射出口部で配向されている、請求項３８に記載の装置。
40. 前記第１のオリフィスの寸法が、噴射された小滴は前記第１のオリフィスを通過することができ、一方、小滴の噴射中に生成された、噴射された小滴の全体的な方向から逸脱する粘性媒体付随物は前記壁によって収集されるほどである、請求項３０から請求項３９までのいずれか一項に記載の装置。
41. 前記壁が、前記噴射出口部で前記気体流用の流路を狭めるように構成され、その結果、前記噴射出口を通過する流速が増加する、請求項３０から請求項４０までのいずれか一項に記載の装置。
42. 前記壁が、前記噴射出口部で前記気体流用の流路を狭めるように構成され、その結果、粘性媒体残さを前記噴射出口の付近から移送するための前記気体流の能力が増大する、請求項３０から請求項４１までのいずれか一項に記載の装置。
43. 前記壁が、前記第１のオリフィス部で少なくとも１つの突起を備え、前記突起が、前記狭められた流路を提供するように前記噴射出口に向かって配向される、請求項４１または請求項４２に記載の装置。
44. 前記基板に面し、前記第１のオリフィスを囲む前記壁の表面が斜面である、請求項３０から請求項４３までのいずれか一項に記載の装置。
45. 粘性媒体の小滴を基板上に噴射する装置において、
    粘性媒体の供給源に接続された放出室と、
    前記小滴が噴射される噴射出口を有するノズルと、
    放出室の容積を急速に縮小して、粘性媒体を前記噴射出口から基板上に押し出すアクチュエータと、
    気体流を生成するための流れ発生器と、
    前記噴射出口部で粘性媒体残さが蓄積することに起因する可能性のある前記噴射装置の性能に対する悪影響を防止するように、前記噴射出口を通過する前記気体流用の流路を設けるための流れガイドであって、噴射された小滴の噴射経路と交差する方向で前記流路を 設けるように構成されている流れガイドとを備える装置。
46. 前記流れガイドが、前記噴射出口に沿って前記気体流を配向するように構成されている、請求項４５に記載の装置。
47. 前記流れガイドが、前記噴射出口部で前記噴射経路に本質的に垂直に前記気体流を配向するように構成されている、請求項４５または請求項４６に記載の装置。
48. 前記気体流の方向で見て前記噴射出口の下流に構成されたフィルタを備え、前記フィルタが、前記気体流によって移送された粘性媒体を収集するように構成されている、請求項３０から請求項４７までのいずれか一項に記載の装置。
49. 前記気体流の方向で見て前記噴射出口の下流に構成された収集空間を備え、前記収集空間が、前記気体流によって移送された粘性媒体を収集するように構成されている、請求項３０から請求項４８までのいずれか一項に記載の装置。
50. 前記流れ発生器がブロー発生器を含み、前記流れガイドが、前記ブロー発生器から前記噴射出口を通過して流路を提供するように構成されている、請求項３０から請求項４９までのいずれか一項に記載の装置。
51. 前記流れ発生器が吸引発生器を含み、前記第２の流れガイドが、前記噴射出口と前記吸引発生器の間に流路を提供するように構成されている、請求項３０から請求項４９までのいずれか一項に記載の装置。
52. 前記流れ発生器が、吸引発生器およびブロー発生器を含み、前記流れガイドが、前記ブロー発生器と前記噴射出口の間、および前記噴射出口と前記吸引発生器の間に流路を提供するように構成されている、請求項３０から請求項４９までのいずれか一項に記載の装置。
53. 粘性媒体残さがないまま前記ノズルを保つために使用される気体が空気である、請求項３０から請求項５２までのいずれか一項に記載の装置。
54. 粘性媒体残さがないまま前記ノズルを保つために使用される気体が窒素である、請求項３０から請求項５２までのいずれか一項に記載の装置。

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