JPH11165098A - 液体塗布ノズル及び液体塗布装置並びにそれらを用いた液体塗布方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 加工時の精度確保が比較的容易で、配管系や
塗布装置の複雑化あるいは生産性の低下を伴うこともな
く、均一な塗膜厚さを得ることができ、また、使用中に
ノズルの一部に不具合が発生してもノズル全体の交換を
要することなく対応することができる、液体塗布ノズル
及び液体塗布装置並びにそれらを用いた液体塗布方法を
提供する。 【解決手段】 塗布されるべき液体を貯える液体貯留部
２２と該液体貯留部につながる液体吐出口２３とが形成
された液体ノズルユニット２１を複数備え、各液体ノズ
ルユニットの液体貯留部は隣り合うノズルユニットとの
接続面２１ｆに開口する開口部２２ａを有しており、隣
り合うノズルユニットの開口部どうしが組み合わされて
全液体ノズルユニットの液体貯留部が連続した状態で、
全液体ノズルユニットを一体的に連結して液体塗布ノズ
ル２０を構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、塗布対象物表面
に液体を塗布する塗布工程に用いられる、液体塗布ノズ
ル及び液体塗布装置並びにそれらを用いた液体塗布方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、各種の工業製品の製造過
程には、製品の特定表面に所定性状の薄膜を形成するた
めに、対象表面に液体を塗布する塗布工程が設けられて
いる。例えば、カラーテレビ用の陰極線管（ＣＲＴ）の
場合には、その表示部分となる保護ガラスに、蛍光体入
りの液体を塗布することにより、赤（Ｒ）,緑（Ｇ）,青
（Ｂ）の３色の蛍光体層が形成される。このような塗布
工程では、できるだけ均一な厚さの薄膜を形成するため
に、塗布液を対象表面に対して極力均一に塗布すること
が求められるが、例えば、上記陰極線管あるいは各種基
板類（例えば半導体基板や光ディスク基板等）などのよ
うに、比較的幅広あるいは大面積のものの場合には、均
一に塗布することが一般に難しくなる。

【０００３】例えば、上記陰極線管の場合を例にとって
説明すれば、裏面（凹面）を上向きにして保持した保護
ガラスを傾動かつ低速回転させながら、上記凹面の中央
底部に所定の（蛍光体入りの）塗布液を供給し、回転に
よる遠心力と凹面の傾斜を利用して塗布液を凹面全体に
拡散させて塗布する方法が知られている。この場合、余
剰な塗布液は、保護ガラスを更に傾けることによって外
部に排出・回収されて再利用される。しかしながら、こ
の公知の方法では、塗布液の粘度によっては回転時の半
径方向に塗布ムラ（所謂ビーチムラ）が生じ易く、ま
た、特に塗膜厚さが厚くなると（例えば３００μｍ程度
にまで厚くなると）塗布作業に長時間を要し、更に、上
述のように余剰の塗布液は再利用されるのであるが、性
状の変化等があるので再利用にも限度があり、塗布液の
無駄な消費が避け難い、などの問題があった。

【０００４】そこで、本願発明者らは、特願平８−３３
３９１号において、図１８に示すように、一方向に長い
液体塗布ノズル１１０を塗布対象表面上に配置し、この
塗布ノズル１１０を、その長手方向に直交する方向に移
動させながら塗布を行うようにしたもの（以下、これを
第１の従来例という。）を提案した。この第１の従来例
では、液体塗布ノズル１１０は、一方向に長いその本体
中に、同方向に長い液体貯留部１１２が設けられ、この
液体貯留部１１２の下方に液体吐出口１１３が形成され
ている。この液体吐出口１１３は液体貯留部１１２と同
じ方向に、例えば、直径０.４mmの丸穴が４mmピッチに
並べて形成されたものである。液体導入口１１８から供
給された塗布液は、液体貯留部１１２内に一旦貯留さ
れ、圧力がノズル長手方向について一定とされた後、各
液体吐出口１１３より均一に線状に吐出される。

【０００５】この第１の従来例に係る液体塗布装置１０
１の概略及び塗布の状況を図１９に示す。この液体塗布
装置１０１は、基本的には、上記液体塗布ノズル１１０
と、塗布対象物Ｗ'（例えばカラーテレビ用の陰極線管
のパネル）を回転可能に支持するワーク支持部１０２
と、液体塗布ノズル１１０を塗布対象物Ｗ'上でＹ方向
（ノズル長手方向Ｘに直交する方向）に移動させるノズ
ル移動機構（不図示）とから構成されている。そして、
図に示されたセット状態において、塗布対象物Ｗ'の上
方に配置された液体塗布ノズル１１０を、液体吐出口１
１３から塗布液（例えば、蛍光体粒子が分散したスラリ
ー）を吐出させながらＹ方向に移動させることにより、
塗布対象表面上に塗布を行うようになっている。

【０００６】また、上記第１の従来例のように１本の長
い液体塗布ノズル１１０を用いる代わりに、図２０に示
すように、複数の短い液体塗布ノズル１２０を一方向へ
並べて用いること（以下、これを第２の従来例とい
う。）が考えられる。この場合、各液体塗布ノズル１２
０の長さは、上記第１の従来例における液体塗布ノズル
１１０と比べてかなり短く設定され、液体導入口１２
８，液体貯留部１２２および液体吐出口１２３をそれぞ
れ備えている。該液体吐出口１２３は、例えば、直径
０.４mmの丸穴が４mmピッチで一方向に並べられて形成
されたものである。

【０００７】複数の液体塗布ノズルは、液体吐出口１２
３が一方向に並ぶように配列された状態で、液体塗布装
置に取り付けられる。液体導入口１２８から供給された
塗布液は、液体貯留部１２２内で一時的に貯留され、圧
力がノズル長手方向について一定とされた後、各液体吐
出口１２３より吐出される。この液体塗布ノズル１２０
を用いた液体塗布装置は、ノズルが置き替わっただけで
上記第１の従来例のものと同等であり、したがって、液
体塗布方式についても、第１の従来例と同様に、塗布対
象物の上方に配置された一連の液体塗布ノズル１２０
を、各液体吐出口１２３から塗布液を吐出させながらＹ
方向（ノズル長手方向Ｘに直交する方向）に移動させる
ことにより、塗布対象表面上に塗布を行う。

【０００８】また、上記第１の従来例のように１本の長
い液体塗布ノズルを用いる代わりに、図２１に示すよう
に、１本の短い液体塗布ノズル１３０を使用し、これを
直交する２方向（Ｘ−Ｙ方向）に移動させながら液体を
塗布すること（以下、これを第３の従来例という。）が
考えられる。この場合、液体塗布ノズル１３０は、第２
の従来例における単体の液体塗布ノズル１２０と同様
に、液体導入口１３８，液体貯留部１３２および液体吐
出口１３３を備えている。液体吐出口１３３は、例え
ば、直径０.４mmの丸穴が４mmピッチで一方向に並んで
形成されたものである。液体導入口１３８から供給され
た塗布液は、液体貯留部１３２内で一時的に貯留され、
圧力がノズル長手方向について一定とされた後、各液体
吐出口１３３より吐出される。

【０００９】この液体塗布ノズルが組み込まれた液体塗
布装置１３１は、図２２に示されるように、液体塗布ノ
ズル１３０をＹ方向（ノズル長手方向Ｘに直交する方
向）に移動させるノズル移動機構に加えて、液体塗布ノ
ズル１３０をＸ方向に移動させるノズル移動機構を有し
ており、塗布対象物Ｗ'の上方に配置された液体塗布ノ
ズル１３０を、液体吐出口１３３から塗布液を吐出させ
ながら、Ｙ方向に移動させるとともに、Ｘ方向にも移動
させ、塗布対象物Ｗ'の全面を濡らすのに必要な回数だ
け往復させることにより、塗布対象表面上に塗布を行
う。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
従来例では、それぞれ、以下に述べるような難点があっ
た。すなわち、上記第１の従来例の場合には、液体塗布
ノズル１１０の一方向への長さが長くなりすぎ、液体吐
出口１１３の数も多くなるため、液体塗布ノズル１１０
を製作する際における精度の確保が困難になる。このた
め、加工の調整に多大な時間と手間とが必要となる。ま
た、第２の従来例では、液体塗布ノズル１２０の一方向
の長さは第１の従来例と比べて短いので、加工精度の確
保はさほど困難ではないが、各液体塗布ノズル１２０へ
の液体または気体供給のための配管系が液体塗布ノズル
１２０毎に必要となり、全体の構造が複雑になる。しか
も、隣合うノズルどうしの境目部分では、少なくとも両
ノズル１２０の端末プレートの板厚を合わせた分につい
ては液体吐出口１２３を設けることができないので、こ
の境目部分に対応する塗布対象表面上に規定の塗膜厚み
を確保することが難しくなる。

【００１１】更に、第３の従来例では、液体塗布ノズル
１３０の加工精度の確保はさほど困難ではなく、また配
管系も複雑になることはないが、塗布時に、Ｙ方向への
移動のみならず、Ｘ方向への往復移動も行う必要がある
ため、液体塗布装置１３１の構造が複雑化するとともに
塗布作業のタクトが遅くなり、特に、幅広の塗布対象物
の表面を塗布する場合には不利である。また、塗り上が
りまでに要する時間が長くなるため、特に、例えば蛍光
体粒子のように沈降し易い材料を含んだ塗布液を用いる
場合などには、塗布面内での粒子の分布の均一性を確保
することが難くなる。また更に、上記第１〜第３のいず
れの従来例においても、ノズルに、歪や割れあるいは目
詰まり等の不良が発生した場合は、一体物としてのノズ
ルをまるごと交換しなければならず、非効率的でコスト
的に不利である。特に、第１の従来例の液体塗布ノズル
の場合には、ノズル長さが長くて液体吐出口の数も多
く、加工にもそれだけ多大の手間が掛かっているので、
とりわけ非効率的である。

【００１２】本発明は、上記技術的課題に鑑みてなされ
たもので、加工時の精度確保が比較的容易で、配管系や
塗布装置の複雑化あるいは生産性の低下を伴うこともな
く、均一な塗膜厚さを得ることができ、また、使用中に
ノズルの一部に不具合が発生してもノズル全体の交換を
要することなく対応することができる、液体塗布ノズル
及び液体塗布装置並びにそれらを用いた液体塗布方法を
提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】このため、本願の請求項
１に係る発明（以下、これを第１の発明という。）は、
塗布されるべき液体を貯える液体貯留部と該液体貯留部
につながる液体吐出口とが形成された液体ノズルユニッ
トを複数備え、各液体ノズルユニットの液体貯留部は隣
り合うノズルユニットとの接続面に開口する開口部を有
しており、隣り合うノズルユニットの開口部どうしが組
み合わされて全液体ノズルユニットの液体貯留部が連続
した状態で、全液体ノズルユニットを一体的に連結して
構成されていることを特徴としたものである。

【００１４】また、本願の請求項２に係る発明（以下、
これを第２の発明という。）は、上記第１の発明におい
て、所定の気体を貯える気体貯留部と該気体貯留部につ
ながる気体吐出口とが形成された気体ノズルを備え、上
記気体吐出口が上記液体吐出口の周囲に対応するように
位置設定されていることを特徴としたものである。

【００１５】更に、本願の請求項３に係る発明（以下、
これを第３の発明という。）は、上記第２の発明におい
て、上記気体ノズルが複数の気体ノズルユニットで構成
され、各気体ノズルユニットの気体貯留部は隣り合うノ
ズルユニットとの接続面に開口する開口部を有してお
り、隣り合うノズルユニットの開口部どうしが組み合わ
されて全気体ノズルユニットの気体貯留部が連続した状
態で、全気体ノズルユニットを一体的に連結して構成さ
れていることを特徴としたものである。

【００１６】また更に、本願の請求項４に係る発明（以
下、これを第４の発明という。）は、上記第１〜第３の
発明のいずれか一において、上記各液体ノズルユニット
または各気体ノズルユニットの隣り合うノズルユニット
との接続面に、位置決め用の凹部もしくは凸部が設けら
れていることを特徴としたものである。

【００１７】また、本願の請求項５に係る発明（以下、
これを第５の発明という。）は、液体導入部と液体排出
部とを有して塗布されるべき液体を貯える液体貯留部
と、液体吐出口を有する複数の液体吐出ノズルユニット
とを備え、これら複数の液体吐出ノズルユニットが上記
液体排出部に配設されて該液体排出部を覆うことによ
り、各液体吐出ノズルユニットの液体吐出口が上記液体
貯留部に連通していることを特徴としたものである。

【００１８】更に、本願の請求項６に係る発明（以下、
これを第６の発明という。）は、上記第５の発明におい
て、上記液体貯留部の液体排出部の側面または近傍に、
液体塗布ノズルの長手方向に沿ったユニット保持部が形
成され、上記各液体吐出ノズルユニットは、上記ユニッ
ト保持部に保持され上記液体塗布ノズル長手方向に沿っ
て並んだ状態で一体的に連結されていることを特徴とし
たものである。

【００１９】また更に、本願の請求項７に係る発明（以
下、これを第７の発明という。）は、上記第５または第
６の発明において、気体導入口と気体排出部とを有して
所定の気体を貯える気体貯留部を備えた気体ノズルが設
けられ、上記気体排出部が各上記液体吐出ノズルユニッ
トの液体吐出口の周囲に対応するように位置設定されて
いることを特徴としたものである。

【００２０】また更に、本願の請求項８に係る発明（以
下、これを第８の発明という。）は、上記第７の発明に
おいて、上記気体ノズルは上記液体吐出口に対応する気
体吐出口を形成した複数の気体吐出ノズルユニットを備
え、これら複数の気体吐出ノズルユニットが上記気体排
出部に配設されて該気体排出部を覆うことにより、各気
体吐出ノズルユニットの気体吐出口が、上記気体貯留部
に連通し、かつ、上記液体吐出口の周囲に対応するよう
に位置していることを特徴としたものである。

【００２１】また更に、本願の請求項９に係る発明（以
下、これを第９の発明という。）は、上記第８の発明に
おいて、上記気体貯留部の気体排出部の側面または近傍
に、気体ノズルの長手方向に沿ったユニット保持部が形
成され、上記各気体吐出ノズルユニットは、上記ユニッ
ト保持部に保持され上記気体ノズル長手方向に沿って並
んだ状態で一体的に連結されていることを特徴としたも
のである。

【００２２】また更に、本願の請求項１０に係る発明
（以下、これを第１０の発明という。）は、上記第５〜
第９の発明のいずれか一において、上記各液体吐出ノズ
ルユニットまたは各気体吐出ノズルユニットの隣り合う
吐出ノズルユニットとの接続面に、位置決め用の凹部も
しくは凸部が設けられていることを特徴としたものであ
る。

【００２３】また更に、本願の請求項１１に係る発明
（以下、これを第１１の発明という。）は、上記第８〜
第１０の発明のいずれか一において、上記液体吐出ノズ
ルユニットと気体吐出ノズルユニットとが、上記液体吐
出口と気体吐出口とが所定間隔を隔てて対向するよう
に、所定の部材を介して連結されていることを特徴とし
たものである。

【００２４】また、本願の請求項１２に係る発明（以
下、これを第１２の発明という。）は、請求項１〜請求
項１１のいずれか一に記載された液体塗布ノズルと、該
液体塗布ノズルを塗布対象物上で該塗布対象物と相対移
動させる相対移動手段とを具備し、上記液体塗布ノズル
が、その液体吐出口と上記塗布対象物の被塗布面とが対
向するように配置されることを特徴としたものである。

【００２５】更に、本願の請求項１３に係る発明（以
下、これを第１３の発明という。）は、請求項１〜請求
項１１のいずれか一に記載された液体塗布ノズルを用い
て塗布対象物の被塗布面に所定の塗布液を塗布すること
を特徴としたものである。

【００２６】

【発明の作用および効果】本願の第１の発明によれば、
上記液体塗布ノズルは、複数の液体ノズルユニットをそ
の液体貯留部が連続した状態で一体的に連結して構成さ
れている。したがって、この液体塗布ノズルを製作する
際には、各液体ノズルユニット毎に加工すれば良い。す
なわち、多くの吐出口を有し高い精度が要求される液体
塗布ノズルを製作するに際して、長さの短いノズルユニ
ット毎に加工することができるので、長尺の一体物を加
工する場合に比べて容易に加工精度を確保できる。ま
た、使用中に液体塗布ノズルの一部に不具合が発生した
場合には、全体をメインテナンス若しくは交換・廃棄す
る必要はなく、その不具合部分を含むノズルユニットの
みの部分的な交換だけで対処することができ、長尺で一
体物のノズル全体の交換を要していた場合に比べて、メ
インテナンスに要するコストを大幅に低減させることが
できる。更に、使用時は液体貯留部が連続した一体物の
ノズルとして扱えるため、複数の長さが短い塗布ノズル
を単に並べただけの場合のように、塗布液供給用の配管
系をノズルユニット毎に設ける必要はないので装置が複
雑化することはなく、また、ノズルユニットどうしの境
目部分でも他の部分と同様のピッチで切れ目なく液体吐
出口を設けることができるので、均一な塗膜厚さを得る
ことができる。しかも、幅広の塗布対象物にも対応が容
易で、ノズル長手方向への往復塗布を行う必要もなく、
この点においても、塗布装置の複雑化を招くことはな
い。また更に、塗布対象物の幅が変更された場合には、
連結するノズルユニットの数や長さの組み合わせを変更
して液体塗布ノズルの塗布幅を変化させることにより、
容易に対応することができる。

【００２７】また、本願の第２の発明によれば、基本的
には、上記第１の発明と同様の効果を奏することができ
る。しかも、その上、所定の気体を貯える気体貯留部と
該気体貯留部につながる気体吐出口とが形成された気体
ノズルを備え、上記気体吐出口が上記液体吐出口の周囲
に対応するように位置設定されているので、液体貯留部
に塗布液を、気体貯留部に所定の気体をそれぞれ供給す
ることにより、液体吐出口から吐出される塗布液の流れ
の周囲に気体吐出口から気体を吐出させ、この気体の流
れによって塗布液の流れを絞ることができる。これによ
り、塗布液の流量をより微細に制御することができ、塗
布液の過剰な吐出をできるだけ抑制しつつ所定の塗膜厚
さを得ることが可能になる。

【００２８】更に、本願の第３の発明によれば、基本的
には、上記第２の発明と同様の効果を奏することができ
る。しかも、その上、上記気体ノズルは、複数の気体ノ
ズルユニットをその気体貯留部が連続した状態で一体的
に連結して構成されているので、上記第１の発明におい
て液体塗布ノズルを複数の液体ノズルユニットで構成し
たのと略同等の効果を気体ノズルにおいて奏することが
できる。すなわち、気体ノズルを製作する際には、長さ
の短いノズルユニット毎に加工することができるので、
長尺の一体物を加工する場合に比べて容易に加工精度を
確保できる。また、使用中に気体ノズルの一部に不具合
が発生した場合には、全体をメインテナンス若しくは交
換・廃棄する必要はなく、その不具合部分を含むノズル
ユニットのみの部分的な交換だけで対処することがで
き、長尺で一体物のノズル全体の交換を要していた場合
に比べて、メインテナンスに要するコストを大幅に低減
させることができる。更に、使用時は気体貯留部が連続
した一体物のノズルとして扱えるため、複数の長さが短
い気体ノズルを単に並べただけの場合のように、気体供
給用の配管系をノズルユニット毎に設ける必要はないの
で装置が複雑化することはない。また更に、塗布対象物
の幅が変更された場合には、連結するノズルユニットの
数や長さの組み合わせを変更して気体ノズルの幅を変化
させることにより、容易に対応することができる。

【００２９】また更に、本願の第４の発明によれば、基
本的には、上記第１〜第３の発明のいずれか一と同様の
効果を奏することができる。しかも、その上、上記各液
体ノズルユニットまたは各気体ノズルユニットの隣り合
うノズルユニットとの接続面に、位置決め用の凹部もし
くは凸部が設けられているので、上記各液体ノズルユニ
ットまたは各気体ノズルユニットをそれぞれ連結して一
体化するに際して、隣り合うノズルユニットとの位置決
めを、容易かつ正確に行うことができる。

【００３０】また、本願の第５の発明によれば、上記液
体塗布ノズルは、複数の液体吐出ノズルユニットが上記
液体排出部に配設されて構成されている。したがって、
この液体塗布ノズルを製作する際、高い精度が要求され
る液体吐出口を多数有する部分は、長さの短い各液体吐
出ノズルユニット毎に加工すれば良く、長尺の一体物を
加工する場合に比べて容易に加工精度を確保できる。ま
た、使用中に液体吐出ノズルユニットの一部に不具合が
発生した場合には、全体をメインテナンス若しくは交換
・廃棄する必要はなく、その不具合部分を含むノズルユ
ニットのみの部分的な交換だけで対処することができ、
長尺で一体物のノズル全体の交換を要していた場合に比
べて、メインテナンスに要するコストを大幅に低減させ
ることができる。しかも、この場合、第１〜第４の発明
における場合に比べて、より小さい部材の交換で済み、
コスト的により有利になる。更に、使用時は一体物のノ
ズルとして扱えるため、複数の長さが短い塗布ノズルを
単に並べただけの場合のように、塗布液供給用の配管系
をノズルユニット毎に設ける必要はないので装置が複雑
化することはなく、また、ノズルユニットどうしの境目
部分でも他の部分と同様のピッチで切れ目なく液体吐出
口を設けることができるので、均一な塗膜厚さを得るこ
とができる。しかも、幅広の塗布対象物にも対応が容易
で、ノズル長手方向への往復塗布を行う必要もなく、こ
の点においても、塗布装置の複雑化を招くことはない。
また更に、塗布対象物の幅が変更された場合には、連結
する液体吐出ノズルユニットの数や長さの組み合わせを
変更し、また、液体吐出口を設けていないノズルユニッ
トを適用して液体塗布ノズルの塗布幅を変化させること
により、容易に対応することができる。

【００３１】更に、本願の第６の発明によれば、基本的
には、上記第５の発明と同様の効果を奏することができ
る。しかも、その上、上記液体貯留部の液体排出部の側
面または近傍に、液体塗布ノズルの長手方向に沿ったユ
ニット保持部が形成されており、各液体吐出ノズルユニ
ットは、このユニット保持部に保持され液体塗布ノズル
長手方向に沿って並んだ状態で一体的に連結されている
ので、複数の液体吐出ノズルユニットを、一体的に連結
された状態で容易かつ確実に上記液体排出部に配設して
これを覆うことができる。

【００３２】また更に、本願の第７の発明によれば、基
本的には、上記第５または第６の発明と同様の効果を奏
することができる。しかも、その上、気体導入口と気体
排出部とを有して所定の気体を貯える気体貯留部を備え
た気体ノズルが設けられ、上記気体排出部が各上記液体
吐出ノズルユニットの液体吐出口の周囲に対応するよう
に位置設定されているので、液体貯留部に塗布液を、気
体貯留部に所定の気体をそれぞれ供給することにより、
液体吐出口から吐出される塗布液の流れの周囲に気体排
出部から気体を排出させ、この気体の流れによって塗布
液の流れを絞ることができる。これにより、塗布液の流
量をより微細に制御することができ、塗布液の過剰な吐
出をできるだけ抑制しつつ所定の塗膜厚さを得ることが
可能になる。

【００３３】また更に、本願の第８の発明によれば、基
本的には、上記第７の発明と同様の効果を奏することが
できる。しかも、その上、上記気体ノズルでは、気体吐
出口を形成した複数の気体吐出ノズルユニットが上記気
体排出部に配設されて該気体排出部を覆っている。した
がって、第５の発明において液体排出部に複数の液体吐
出ノズルユニットを配設したのと略同等の効果を気体側
において奏することができる。すなわち、気体ノズルを
製作する際、気体排出部を覆う部分については、長さの
短い気体吐出ノズルユニット毎に加工することができる
ので、長尺の一体物を加工する場合に比べて容易に加工
精度を確保できる。また、使用中に気体排出部を覆う部
分の一部に不具合が発生した場合には、全体をメインテ
ナンス若しくは交換・廃棄する必要はなく、その不具合
部分を含むノズルユニットのみの部分的な交換だけで対
処することができ、長尺で一体物のノズル全体の交換を
要していた場合に比べて、メインテナンスに要するコス
トを大幅に低減させることができる。更に、使用時は一
体物のノズルとして扱えるため、複数の長さが短い気体
ノズルを単に並べただけの場合のように、気体供給用の
配管系をノズルユニット毎に設ける必要はないので装置
が複雑化することはない。また更に、塗布対象物の幅が
変更された場合には、連結するノズルユニットの数や長
さの組み合わせを変更して全体の幅を変化させることに
より、容易に対応することができる。

【００３４】また更に、本願の第９の発明によれば、基
本的には、上記第８の発明と同様の効果を奏することが
できる。しかも、その上、上記気体貯留部の気体排出部
の側面または近傍に、気体ノズルの長手方向に沿ったユ
ニット保持部が形成されており、上記各気体吐出ノズル
ユニットは、上記ユニット保持部に保持され上記気体ノ
ズル長手方向に沿って並んだ状態で一体的に連結されて
いるので、複数の気体吐出ノズルユニットを、一体的に
連結された状態で容易かつ確実に上記気体排出部に配設
してこれを覆うことができる。

【００３５】また更に、本願の第１０の発明によれば、
基本的には、上記第５〜第９の発明のいずれか一と同様
の効果を奏することができる。しかも、その上、上記各
液体吐出ノズルユニットまたは各気体吐出ノズルユニッ
トの隣り合う吐出ノズルユニットとの接続面に、位置決
め用の凹部もしくは凸部が設けられているので、上記各
液体吐出ノズルユニットまたは各気体吐出ノズルユニッ
トをそれぞれ連結して一体化するに際して、隣り合う吐
出ノズルユニットとの位置決めを、容易かつ正確に行う
ことができる。

【００３６】また更に、本願の第１１の発明によれば、
基本的には、上記第８〜第１０の発明のいずれか一と同
様の効果を奏することができる。しかも、その上、上記
液体吐出ノズルユニットと気体吐出ノズルユニットと
が、上記液体吐出口と気体吐出口とが所定間隔を隔てて
対向するように、所定の部材を介して連結されているの
で、液体吐出口と気体吐出口とが容易かつ確実に位置決
めされ、また、両吐出口を容易かつ確実に所定間隔に保
持できる。これにより、気体の流れによって塗布液の流
れをより精度良く絞り、塗布液の流量をより一層微細に
制御することができるようになる。

【００３７】また、本願の第１２の発明によれば、請求
項１〜請求項１１に係る発明のいずれか一と同様の効果
を有する液体塗布装置を得ることができる。

【００３８】更に、本願の第１３の発明によれば、塗布
対象物の被塗布面に所定の塗布液を塗布するに際して、
請求項１〜請求項１１に係る発明のいずれか一と同様の
効果を奏することができる。

【００３９】

【実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、例えば、
テレビ用の陰極線管（ＣＲＴ）の表示部分となる保護ガ
ラスに蛍光体粒子を含有したスラリー状の塗布液を塗布
する工程に適用した場合について、添付図面を参照しな
がら詳細に説明する。まず、本発明の第１の実施の形態
について説明する。図１は、本実施の形態に係る液体塗
布装置１の概略構成を示す斜視図である。この図に示す
ように、上記液体塗布装置１は、基本的な構成要素とし
て、塗布対象物Ｗ（ワーク：例えばテレビ用の陰極線
管）を回転可能に支持するワーク支持台２と、ワークＷ
の塗布面（例えば上記陰極線管の保護ガラス表面）に所
定の塗布液（例えば蛍光体粒子を含有したスラリー状の
塗布液）を塗布するための液体塗布ノズル２０と、上記
ワーク支持台２の両側に配置された一対のパネル部材３
の上端にそれぞれ固定されて上記液体塗布ノズル２０の
移動（図１におけるＹ方向への移動）を支持する一対の
移動支持部１０とを備えている。上記液体塗布ノズル２
０は、その詳細な構成については後述するが、全体とし
て一定方向（図１におけるＸ方向）に伸びる棒状に形成
され、その上側には当該液体塗布ノズル２０を支持する
ベース板９が当接している。

【００４０】上記ワーク支持台２は、その上面側に、ワ
ークＷを取り付けるための一対の取付プレート２ａを有
するとともに、その下面側には、例えば電動モータ（不
図示）および減速機構（不図示）等を内蔵した回転駆動
部２Ｍを備えており、上記液体塗布ノズル２０によるワ
ークＷに対する塗布作業を終えた後、乾燥工程に先立っ
て、この回転駆動部２Ｍを作動させてワーク支持台２を
駆動し、ワークＷを所定の回転速度で回転させるように
なっている。このような回転を与えることにより、例え
ば、ワークＷの表面上に塗布液が過剰な部分があれば、
その過剰分を遠心力で飛散させることができる。

【００４１】上記一対の移動支持部１０は、図２および
図３にその内部の構成を詳しく示すように、液体塗布ノ
ズル２０の移動方向（Ｙ方向）に延びる一対のガイドレ
ール１１と、いずれか一側のガイドレール１１に沿って
延設された回転可能なボールネジ軸１２と、このボール
ネジ軸１２及び一側のガイドレール１１に嵌合して設け
られた駆動ブロック１３と、この駆動ブロック１３に対
応し他側のガイドレール１１に嵌合して設けられた従動
ブロック１４とを備えている。上記ボールネジ軸１２
は、その両端部近傍が一対の軸受１２ｂで支承されると
ともに、一方の軸端部には駆動モータ１２Ｍが連結され
ている。また、駆動ブロック１３には、一側のガイドレ
ール１１に案内される直線軸受１１ｂ及びボールネジ軸
１２に噛み合うボールナット１２ｎが設けられる一方、
従動ブロック１４には、他側のガイドレール１１に案内
される直線軸受１１ｂが設けられている。

【００４２】以上の構成要素が水平方向の開口を有する
ケース体１０ｃに収納されており、このケース体１０ｃ
（図１参照）の底板を介して、上記各ガイドレール１１
が液体塗布装置１のパネル部材３の上端に固定されてい
る。また、液体塗布ノズル２０を支持する上記ベース板
９の両端部は、上記駆動ブロック１３および従動ブロッ
ク１４にそれぞれ固定されている。そして、上記駆動モ
ータ１２Ｍを作動させることによりボールネジ軸１２が
所定回転数で回転させられると、このボールネジ軸１２
に噛み合うボールナット１２ｎを有する上記駆動ブロッ
ク１３が、ガイドレール１１で案内されながら、図にお
けるＹ方向に所定速度でスライド移動させられる。

【００４３】これに伴って、上記ベース板９が（つまり
液体塗布ノズル２０が）同方向に移動し、また、同時
に、上記従動ブロック１４がガイドレール１１で案内さ
れながらＹ方向にスライド移動させられる。換言すれ
ば、上記液体塗布ノズル２０が、一対のガイドレール１
１で案内されながら、その長手方向（図におけるＸ方
向）に直交する方向（Ｙ方向）へ所定速度で移動させら
れる。なお、液体塗布ノズル２０をＹ方向へ移動させる
ための駆動機構としては、上述のようなボールネジをも
のに限定されるものではなく、例えば、ベルト駆動ある
いはチェーン駆動のものなど、他の種々の機構を用いる
ことが可能である。

【００４４】上記駆動ブロック１３及び従動ブロック１
４のいずれか一方（本実施の形態では駆動ブロック１
３）には、上記液体塗布ノズル２０内に塗布液を供給す
る塗布液供給ホース１３Ｈが接続金具（不図示）を介し
て接続されている。そして、より好ましくは、従動ブロ
ック１４に、液体塗布ノズル２０内から塗布液を還流さ
せる塗布液還流ホース１４Ｈが接続金具（不図示）を介
して接続されている。図３に示されるように、上記塗布
液供給ホース１３Ｈは、例えばギヤポンプでなる塗布液
ポンプＰｇの吐出側に接続される一方、上記塗布液還流
ホース１４Ｈは、バルブ１７を介して塗布液ポンプＰｇ
の吸入側に接続されている。また、塗布液を蓄えるタン
クＴｋは、バルブ１８を介して上記塗布液ポンプＰｇの
吸入側に接続されている。

【００４５】そして、塗布液の供給を停止した際には、
バルブ１７が開いた状態でバルブ１８を閉じることによ
り、上記塗布液供給ホース１３Ｈ，塗布液還流ホース１
４Ｈ及び塗布液ポンプＰｇを含む閉ループ内で塗布液を
循環させることができる。このように、塗布液を循環さ
せることにより、塗布液の供給停止時に、配管やホース
１３Ｈ,１４Ｈおよび液体塗布ノズル２０内などに滞留
した塗布液中の蛍光体が、塗布液内で沈殿することを抑
制できる。なお、このような蛍光体の塗布液内での沈殿
を特に問題にしなくても良い場合には、上記塗布液供給
ホース１３Ｈのみを設ければ良く、塗布液還流ホース１
４Ｈは不要である。

【００４６】次に、上記液体塗布ノズル２０の構成につ
いて説明する。図４は、本実施の形態に係る液体塗布ノ
ズル２０の内部を一部露出させて示した斜視図である。
この図に示すように、上記液体塗布ノズル２０は、塗布
されるべき液体（塗布液）を貯える液体貯留部２２と該
液体貯留部２２につながる液体吐出口２３とが形成され
た液体吐出ノズルユニット２１を複数備え、これら複数
の液体吐出ノズルユニット２１を直列に連結して構成さ
れている。なお、上記図４は、これら液体吐出ノズルユ
ニット２１の一つを取り外した状態を示したものであ
る。

【００４７】上記各液体吐出ノズルユニット２１は、例
えば鋼製で、縦断面の外形形状が５角形をなし、長手方
向における両端面２１ｆは互いに平行になっている。ま
た、上記液体貯留部２２は、縦断面の周縁形状が例えば
下部が細長い（より好ましくは、約６０度のテーパをな
す）略楕円形をなし、各液体吐出ノズルユニット２１を
長手方向について貫通して、両端面（つまり、隣り合う
ノズルユニット２１との接続面）に開口している。そし
て、その開口部２２ａは、各液体吐出ノズルユニット２
１について全て合同になるように形成されている。尚、
上記液体貯留部２２の縦断面の形状および寸法は、貯留
されている液体の液面の上下変動に対して液体の吐出圧
の変動ができるだけ抑制されるように、上述の形状が選
ばれ、また、寸法設定されている。

【００４８】上記各液体吐出ノズルユニット２１の両端
面２１ｆ（隣り合うノズルユニット２１との接続面）に
は、位置決め用の凹部２１ｈもしくは凸部２１ｇが設け
られ、隣り合うノズルユニット２１との間で、これら各
凹部２１ｈと各凸部２１ｇとが組み合わされて嵌合する
ことにより、隣り合うノズルユニット２１相互間の位置
決めが、容易かつ正確に行われる。このように隣り合う
ものどうしを正確に位置決めしながら、複数の液体吐出
ノズルユニット２１全てを連結することにより、全体と
して一定方向に伸びる棒状の液体塗布ノズル２０が形成
されている。このとき、隣り合うノズルユニット２１の
液体貯留部２２の開口部２２ａは全て合同であるので、
これら液体貯留部２２どうしが組み合わされて各ノズル
ユニット２１の液体貯留部２２が連続した状態で、全液
体吐出ノズルユニット２１が一体的に連結され、液体塗
布ノズル２０として構成されている。

【００４９】各液体吐出ノズルユニット２１の下部に
は、液体貯留部２２下部の６０度のテーパ部に連続して
つながる複数の液体吐出口２３が、ノズルユニット２１
の長手方向に並ぶように設けられている。この液体吐出
口２３は、例えば、直径０.４mmの丸穴で、４mmのピッ
チで並んでいる。したがって、上記のようにして液体塗
布ノズル２０を一体に構成することにより、多数の液体
吐出口２３が、液体塗布ノズル２０の下部に、その長手
方向（図におけるＸ方向）に沿って配列されることにな
る。なお、各液体吐出ノズルユニット２１は、その軸方
向の長さが例えば２cm〜６cm程度で、ワークＷの塗布対
象領域の同方向の長さに応じて、例えば３〜９個を連結
して使用される。

【００５０】各液体吐出ノズルユニット２１の両端面２
１ｆ（隣り合うノズルユニット２１との接続面）は、そ
の平行度等を含めた形状および表面仕上げについて所定
以上の精度に設定されており、隣り合うノズルユニット
２１間に一定以上の押圧力が作用することにより、より
好ましくは、接続面どうしの直接の面タッチで、液体貯
留部２２内に供給される塗布液が外部に漏洩することが
ないように、液密にシールされるようになっている。こ
の場合、ノズルユニット２１間は、より好ましくは、接
続面どうしの直接の面タッチでシールされており、一般
に締付圧力によって厚さの変動を来すパッキンやガスケ
ット等のシール部材は介装されていないので、一連に配
列された液体吐出口２３の位置精度に悪影響を及ぼすこ
とはない。

【００５１】この液体塗布ノズル２０の上面側には、上
述のように、当該液体塗布ノズル２０を支持する例えば
鋼製のベース板９が当接している。このベース板９の両
端部近傍には、液体塗布ノズル２０の全体長さを規定す
る一対の例えば鋼製の側板２９が、例えばボルト部材
（不図示）を用いて強固に固定されている。この側板２
９の内側面にも、位置決め用の凹部もしくは凸部（いず
れも不図示）が設けられており、この凹部もしくは凸部
が、側板２９に隣接する液体吐出ノズルユニット２１の
位置決め用凹部２１ｈもしくは凸部２１ｇと組み合わさ
れて嵌合することにより、液体塗布ノズル２０と各側板
２９及びベース板９とが一体的に連結される。また、上
記各側板２９には、液体塗布ノズル２０内の液体貯留部
２２に連通する一方、液体塗布装置１の塗布液供給ホー
ス１３Ｈまたは塗布液還流ホース１４Ｈに接続される接
続パイプ２８が取り付けられている。

【００５２】各液体吐出ノズルユニット２１の長さ（長
手方向寸法）および両側板２９間の間隔は、上述のよう
にして全ノズルユニット２１を一体的に連結するととも
に、これを上記両側板２９間に組み付けた際に、両端の
ノズルユニット２１と対応する側板２９との間および互
いに隣接するノズルユニット２１間に、液体貯留部２２
内の塗布液の外部への漏洩を確実に防止するに足る押圧
力を生じせしめるように設定されている。なお、このよ
うに各液体吐出ノズルユニット２１の長さ寸法および両
側板２９間の間隔を管理することによってノズルユニッ
ト２１間の押圧力を得る代わりに、上記側板２９の外部
から例えばバネ等により付勢力を加える機構を設け、こ
れにより、ノズルユニット２１間に所定の押圧力を生じ
せしめるようにすることも可能である。

【００５３】以上のように構成された液体塗布ノズル２
０を上記液体塗布装置１に組み付け、塗布液供給ホース
１３Ｈより接続パイプ２８を介して液体塗布ノズル２０
内に塗布液を供給する。この塗布液が液体貯留部３に貯
留されることにより全幅に渡っての圧力を均一化し、一
定圧力となった塗布液が液体吐出口２３より均一に線状
に吐出される。吐出量は、例えば、一本当たり１０〜２
０g／分である。塗布液は、上述のように、蛍光体粒子
が分散したスラリーである。次に、液体塗布ノズル２０
がＹ方向に移動する。液体塗布ノズル２０がワークＷの
有効塗布面上に達したとき液体吐出口２３から塗布液が
吐出される。吐出された塗布液はワークＷの有効塗布面
を幅方向(Ｘ方向)に同時に濡らす。液体塗布ノズル２０
が、ワークＷの有効塗布面上を横切ることにより、該ワ
ークＷの有効塗布面が全体に均一に濡れてゆき、その
後、液体塗布ノズル２０は塗布液の吐出を停止する。以
上により塗布が終了し、ワークＷは、その後、乾燥工程
に移行されるようになっている。

【００５４】以上、説明したように、本実施の形態によ
れば、上記液体塗布ノズル２０は、複数の液体ノズルユ
ニット２１をその液体貯留部２２が連続した状態で一体
的に連結して構成されている。したがって、この液体塗
布ノズル２０を製作する際には、各液体ノズルユニット
２１毎に加工すれば良い。すなわち、多くの吐出口２３
を有し、高い精度が要求される液体塗布ノズル２０を製
作するに際して、長さの短いノズルユニット２１毎に加
工することができるので、長尺の一体物を加工する場合
に比べて容易に加工精度を確保できる。また、使用中に
液体塗布ノズル２０の一部に不具合が発生した場合に
は、全体をメインテナンス若しくは交換・廃棄する必要
はなく、その不具合部分を含む液体ノズルユニット２１
のみの部分的な交換だけで対処することができ、長尺で
一体物のノズル全体の交換を要していた場合に比べて、
メインテナンスに要するコストを大幅に低減させること
ができる。

【００５５】更に、使用時は液体貯留部２２が連続した
一体物のノズルとして扱えるため、複数の長さが短い塗
布ノズルを単に並べただけの場合のように、塗布液供給
用の配管系をノズルユニット毎に設ける必要はないので
装置が複雑化することはなく、また、ノズルユニット２
１どうしの境目部分でも他の部分と同様のピッチで切れ
目なく液体吐出口２３を設けることができるので、均一
な塗膜厚さを得ることができる。しかも、幅広の塗布対
象物にも対応が容易で、ノズル長手方向への往復塗布を
行う必要もなく、この点においても、液体塗布装置１の
複雑化を招くことはない。また更に、塗布対象物Ｗの幅
が変更された場合には、連結する液体ノズルユニット２
１の数や長さの組み合わせを変更して液体塗布ノズル２
０の塗布幅を変化させることにより、容易に対応するこ
とができる。以上のように、加工時の精度確保が比較的
容易で、配管系や塗布装置の複雑化あるいは生産性の低
下を伴うこともなく、均一な塗膜厚さを得ることがで
き、また、使用中にノズルの一部に不具合が発生しても
液体塗布ノズル２０全体の交換を要することなく対応す
ることができるのである。

【００５６】また、上記各液体ノズルユニット２１の隣
り合うノズルユニット２１との接続面２１ｆには、位置
決め用の凹部２１ｈ，凸部２１ｇが設けられているの
で、上記各液体ノズルユニット２１を互いに連結して一
体化する際には、隣り合うノズルユニット２１との位置
決めを、きわめて容易かつ正確に行うことができる。

【００５７】なお、本実施の形態では、液体貯留部２２
や液体吐出口２３について形状や寸法あるいは位置関係
等を適宜指定したが、これらは所要の塗布条件を得るた
めに変更され得るものである。例えば、液体吐出口２３
は必ずしも丸穴でなくても良く、４mmピッチでなくて
も、更には一列に並ばなくても良い。液体ノズルユニッ
ト２１の長さは２cm〜６cmでなくてもかまわない。塗布
液の吐出量は塗布条件に合わされるべきで上述の値（一
本当たり１０〜２０g／分）に固定する必要はない。ま
た、各液体ノズルユニット２１の断面形状は必ずしも合
同でなくても良い。但し、液体ノズルユニット２１の接
合面２１ｆからの液漏れを防ぐために充分な精度が要求
される。或いは、接合面２１ｆにシール材を配しても良
い。但し、その場合には、液体吐出口２３のピッチ等が
局所的に大きく変化しないように留意しなければならな
い。また、本実施の形態では、陰極線管の蛍光面塗布工
程に適用されるものとして、塗布液は蛍光体スラリー、
塗布対象物Ｗは陰極線管のパネルとしたが、他の製品の
他の部材を塗布対象とし、他の塗布液を用いてもかまわ
ないことは言うまでもない。

【００５８】次に、本発明の第２の実施の形態について
説明する。図５は本発明の第２の実施の形態に係る液体
塗布ノズル３０について、その一部を露出させて示した
斜視図である。この液体塗布ノズル３０は、例えば、上
記第１の実施の形態と同じく陰極線管の蛍光面を塗布す
る工程に用いるものである。尚、以下の説明において、
上記第１の実施の形態における場合と同じものには同一
の符号を付し、それ以上の説明は省略する。

【００５９】上記図５に示すように、本実施の形態に係
る液体塗布ノズル３０は、第１の実施の形態における液
体塗布ノズル２０と同様に、塗布されるべき液体（塗布
液）を貯える液体貯留部３２と該液体貯留部３２につな
がる液体吐出口３３とが形成されたノズルユニット３１
を複数備え、これら複数のノズルユニット３１を直列に
連結して構成されている。なお、上記図５は、これらノ
ズルユニット３１の一つを取り外した状態を示したもの
である。上記各ノズルユニット３１は、上記第１の実施
の形態における場合と同様に、例えば鋼製で、縦断面の
外形形状が５角形をなし、長手方向における両端面３１
ｆは互いに平行になっている。また、上記液体貯留部３
２は、縦断面の周縁形状が例えば下部が細長い（より好
ましくは、約６０度のテーパをなす）略楕円形をなし、
各ノズルユニット３１を長手方向について貫通して、両
端面（つまり、隣り合うノズルユニット３１との接続
面）に開口している。そして、その開口部３２ａは、各
ノズルユニット３１について全て合同になるように形成
されている。尚、上記液体貯留部３２の縦断面の形状お
よび寸法は、貯留されている液体の液面の上下変動に対
して液体の吐出圧の変動ができるだけ抑制されるよう
に、上述の形状が選ばれ、また、寸法設定されている。

【００６０】本実施の形態では、上記各ノズルユニット
３１について、上記液体貯留部３２の上側を除く周囲を
取り囲むようにして、所定の気体（例えば圧縮エア）を
貯える気体貯留部３４と該気体貯留部３４につながる気
体吐出口３５とが形成されている。該気体吐出口３５
は、上記液体吐出口３３よりも大径の穴部で構成され、
液体吐出口３３の所定寸法だけ下方においてその周囲に
対応するように、つまり同軸に位置設定されている。上
記気体貯留部３４は、液体貯留部３２の両側方と下方と
を取り囲み、各ノズルユニット３１を長手方向について
貫通して、両端面（つまり、隣り合うノズルユニット３
１との接続面）に開口している。そして、その開口部３
４ａは、より好ましくは、各ノズルユニット３１につい
て全て合同になるように形成されている。

【００６１】上記各ノズルユニット３１の両端面３１ｆ
（隣り合うノズルユニット３１との接続面）には、第１
の実施の形態における場合と同様に、位置決め用の凹部
３１ｈもしくは凸部３１ｇが設けられ、隣り合うノズル
ユニット３１との間で、これら各凹部３１ｈと各凸部３
１ｇとが組み合わされて嵌合することにより、隣り合う
ノズルユニット３１相互間の位置決めが、容易かつ正確
に行われる。このように隣り合うものどうしを正確に位
置決めしながら、複数のノズルユニット３１全てを連結
することにより、全体として一定方向に伸びる棒状の液
体塗布ノズル３０が形成されている。このとき、隣り合
うノズルユニット３１の液体貯留部３２の開口部３２ａ
及び気体貯留部３４の開口部３４ａは、各々全て合同で
あるので、これら液体貯留部３２どうし及び気体貯留部
３４どうしが組み合わされて各ノズルユニット３１の液
体貯留部３２及び液体貯留部３４がそれぞれ連続した状
態で、全ノズルユニット３１が一体的に連結され、液体
塗布ノズル３０として構成されている。すなわち、本実
施の形態では、ノズルユニット３１が、本願請求項３に
記載した気体ノズルユニットと液体ノズルユニットとを
兼用している。

【００６２】各ノズルユニット３１の下部には、液体貯
留部３２下部の６０度のテーパ部に連続してつながる複
数の液体吐出口３３が、ノズルユニット３１の長手方向
に並ぶように設けられている。この液体吐出口３３は、
例えば、直径０.４mmの丸穴で、４mmのピッチで並んで
いる。また、上述のように、その例えば０.３mm下方に
は、液体吐出口３３よりも大径の（例えば、直径０.６m
mの）丸穴の気体吐出口３５が同一のピッチで並んでい
る。したがって、上記のようにして液体塗布ノズル３０
を一体に構成することにより、その下方に気体吐出口３
５が配置された多数の液体吐出口３３が、液体塗布ノズ
ル３０の下部に、その長手方向（図におけるＸ方向）に
沿って配列されることになる。なお、各ノズルユニット
３１は、その軸方向の長さが例えば２cm〜６cm程度で、
ワークＷの塗布対象領域の同方向の長さに応じて、例え
ば３〜９個を連結して使用される。

【００６３】各ノズルユニット３１の両端面３１ｆ（隣
り合うノズルユニット３１との接続面）は、その平行度
等を含めた形状および表面仕上げについて所定以上の精
度に設定されており、より好ましくは、上記第１の実施
の形態における場合と同様に、隣り合うノズルユニット
３１間に一定以上の押圧力が作用することにより、接続
面どうしの直接の面タッチで、液体貯留部３２内に供給
される塗布液、および、より好ましくは、気体貯留部３
４に供給されるエアが外部に漏洩することがないように
シールされるようになっている。この場合、ノズルユニ
ット３１間は、より好ましくは、接続面どうしの直接の
面タッチでシールされており、一般に締付圧力によって
厚さの変動を来すパッキンやガスケット等のシール部材
は介装されていないので、一連に配列された液体吐出口
３３の位置精度に悪影響を及ぼすことはない。

【００６４】この液体塗布ノズル２０の上面側には、第
１の実施の形態と同様に、当該液体塗布ノズル３０を支
持する例えば鋼製のベース板９が当接している。このベ
ース板９の両端部近傍には、液体塗布ノズル３０の全体
長さを規定する一対の例えば鋼製の側板３９が、例えば
ボルト部材（不図示）を用いて強固に固定されている。
この側板３９の内側面にも、位置決め用の凹部もしくは
凸部（いずれも不図示）が設けられており、この凹部も
しくは凸部が、側板３９に隣接するノズルユニット３１
の位置決め用凹部もしくは凸部と組み合わされて嵌合す
ることにより、液体塗布ノズル３０と各側板３９及びベ
ース板９とが一体的に連結される。また、上記各側板３
９には、液体塗布ノズル３０内の液体貯留部３２に連通
する一方、液体塗布装置１の塗布液供給ホース１３Ｈま
たは塗布液還流ホース１４Ｈに接続される接続パイプ３
８が取り付けられている。

【００６５】本実施の形態では、図２において破線で示
すように、液体塗布装置１の駆動ブロック１３に液体塗
布ノズル３０の気体貯留部３４に所定圧力の圧縮エアを
供給するエア供給ホース１３Ａが接続される一方、従動
ブロック１４には上記気体貯留部３４から出て来る圧縮
エアを還流させるするエア還流ホース１４Ａが接続され
ている。そして、上記各側板３９には、塗布液用の上記
接続パイプ３８の他に、液体塗布ノズル３０内の気体貯
留部３２に連通する一方、液体塗布装置１の上記エア供
給ホース１３Ａまたはエア還流ホース１４Ａに接続され
る、例えば２本の接続パイプ３７が取り付けられてい
る。

【００６６】各ノズルユニット３１の長さ（長手方向寸
法）および両側板３９間の間隔は、上述のようにして全
ノズルユニット３１を一体的に連結するとともに、これ
を上記両側板３９間に組み付けた際に、両端のノズルユ
ニット３１と対応する側板３９との間および互いに隣接
するノズルユニット３１間に、液体貯留部３２内の塗布
液、及び、より好ましくは、気体貯留部３４内のエアの
外部への漏洩を確実に防止するに足る押圧力を生じせし
めるように設定されている。なお、このように各液体吐
出ノズルユニット３１の長さ寸法および両側板３９間の
間隔を管理することによってノズルユニット３１間の押
圧力を得る代わりに、上記側板３９の外部から例えばバ
ネ等により付勢力を加える機構を設け、これにより、ノ
ズルユニット３１間に所定の押圧力を生じせしめるよう
にすることも可能である。

【００６７】以上のように構成された液体塗布ノズル３
０を上記液体塗布装置１に組み付け、塗布液供給ホース
１３Ｈより接続パイプ３８を介して液体塗布ノズル３０
内に塗布液を供給するとともに、エア供給ホース１３Ａ
より接続パイプ３７を介して液体塗布ノズル３０内に圧
縮エアを供給する。これにより、塗布液は液体貯留部３
２に一旦貯留されて全幅にわたる圧力が均一化され、一
定圧力となった塗布液は液体吐出口３３より均一に線状
に吐出される。同様に、気体（圧縮エア）は気体貯留部
３４に貯留されることにより全幅にわたる圧力が均一化
され、一定圧力となった気体は気体吐出口３５から均一
に吐出される。このとき、図６に示すように、気体吐出
口３５から吐出された気体は、液体吐出口３３から吐出
された塗布液の流れＦｐに沿うように吐出され、塗布液
を吐出方向にガイドする。この結果、塗布液の吐出流Ｆ
ｐは気体の圧力によって絞られ、このような気体による
絞り作用がない場合における液体吐出口３３”からの吐
出流Ｆｐ"（図７参照）に比べて、その吐出量が絞られ
ることになる。本実施の形態では、塗布液の吐出量は、
例えば、一本当たり５〜１５g／分である。また、塗布
液は第１の実施の形態の場合と同じく、蛍光体粒子が分
散したスラリーである。

【００６８】図８は、本実施の形態の変形例に係る液体
塗布ノズル４０を示している。この変形例では、分割さ
れた各ノズルユニット４１内には液体貯留部４２のみが
形成されている。各ノズルユニット４１は、その上端側
に所定幅のつば部４１ａを有しており、全ノズルユニッ
ト４１を連結した上で、その下方から一体物のカバー体
４６が組み合わされ、該カバー体４６の上端部がノズル
ユニット４１のつば部４１ａに固定されている。そし
て、このカバー体４６とノズルユニット４１との間に気
体貯留部４４が形成されている。上記カバー体４６の下
面には、好ましくは、その長手方向に伸びる所定幅のス
リット４５が設けられており、このスリット４５は、ノ
ズルユニット４１の液体吐出口４３の下方に位置してい
る。すなわち、このスリット４５が気体吐出口を形成し
ている。このように、気体吐出口４５をスリット状に形
成することにより、一連の丸穴状に形成する場合に比べ
て加工を簡素化することができる。尚、この代わりに、
上記図５に示した液体塗布ノズル３０と同様に、液体吐
出口４３と同軸に位置するように丸穴状の一連の気体吐
出口を液体吐出口４３と同じピッチで設けるようにして
も良いのは、勿論のことである。

【００６９】以上、説明したように、本実施の形態によ
れば、上記液体塗布ノズル３０,４０は、複数のノズル
ユニット３１,４１をその液体貯留部３２,４２が連続し
た状態で一体的に連結して構成されているので、基本的
には、上記第１の実施の形態と同様の効果を奏すること
ができる。しかも、その上、上記ノズルユニット３１,
４１には、液体貯留部３２,４２のみならず、所定の気
体（例えば所定圧力の圧縮エア）を貯える気体貯留部３
４,４４と該気体貯留部３４,４４につながる気体吐出口
３５,４５とが形成されており、該気体吐出口３５,４５
が上記液体吐出口３３,４３の周囲に対応するように位
置設定されているので、液体貯留部３２,４２に塗布液
を、気体貯留部３４,４４に所定の気体をそれぞれ供給
することにより、液体吐出口３３,４３から吐出される
塗布液の流れの周囲に気体吐出口３５,４５から気体を
吐出させ、この気体の流れによって塗布液の流れを絞る
ことができる。これにより、塗布液の流量をより微細に
制御することができ、塗布液の過剰な吐出をできるだけ
抑制しつつ所定の塗膜厚さを得ることが可能になる。

【００７０】更に、図５に示した例では、液体塗布ノズ
ル３０は、その気体貯留部３４についても、複数のノズ
ルユニット３１を一体的に連結して構成されているの
で、上記第１の実施の形態において液体塗布ノズルを複
数の液体ノズルユニットで構成したのと略同等の効果を
気体側についても奏することができる。すなわち、気体
貯留部３４を含む液体塗布ノズル３０を製作する際に
は、長さの短いノズルユニット３１毎に加工することが
できるので、長尺の一体物を加工する場合に比べて容易
に加工精度を確保できる。また、使用中にノズル３０の
一部に不具合が発生した場合には、全体をメインテナン
ス若しくは交換・廃棄する必要はなく、その不具合部分
を含むノズルユニット３１のみの部分的な交換だけで対
処することができ、長尺で一体物のノズル全体の交換を
要していた場合に比べて、メインテナンスに要するコス
トを大幅に低減させることができる。また更に、使用時
は気体貯留部３４が連続した一体物のノズルとして扱え
るため、複数の長さが短い気体ノズルを単に並べただけ
の場合のように、気体供給用の配管系をノズルユニット
毎に設ける必要はないので装置が複雑化することはな
い。また更に、塗布対象物Ｗの幅が変更された場合に
は、連結するノズルユニット３１の数や長さの組み合わ
せを変更して容易に対応することができる。

【００７１】次に、本発明の第３の実施の形態について
説明する。図９は本発明の第３の実施の形態に係る液体
塗布ノズル５０について、その一部を露出させて示した
斜視図である。この液体塗布ノズル５０は、例えば、上
記第１および第２の実施の形態と同じく陰極線管の蛍光
面を塗布する工程に用いるものである。上記図９に示す
ように、本実施の形態に係る液体塗布ノズル５０は、長
尺で一体物のノズル本体５０Ｂに、その長手方向に沿っ
て貫通するように所定断面形状の液体貯留部５２が形成
されている。上記ノズル本体５０Ｂは、例えば鋼製で、
縦断面の外形形状が５角形をなし、長手方向における両
端面は互いに平行になっている。また、上記液体貯留部
５２は、上記第１および第２の実施の形態における場合
と同様に、縦断面の周縁形状が例えば下部が細長い（よ
り好ましくは、約６０度のテーパをなす）略楕円形をな
し両端面に開口している。

【００７２】本実施の形態では、上記液体貯留部５２の
下端側には、例えば所定寸法（例えば、幅６mmで深さ１
０mm程度）のスリット状の液体排出部５２ａが形成され
ており、この液体排出部５２ａに、液体吐出口５３を有
する複数の液体吐出ノズルユニット５１が配設されてい
る。この液体吐出ノズルユニット５１は、図１０に詳し
く示すように、例えば、所定長さの略Ｖ字形のブロック
状に形成されており、このＶ字形に切り欠かれた切欠の
底部から下方に向けて貫通するように、例えば所定直径
（例えば０.４ｍｍ）の丸穴状の液体吐出口５３が所定
ピッチ（例えば４ｍｍピッチ）で設けられている。

【００７３】上記各液体吐出ノズルユニット５１の両端
面５１ｆ（隣り合う吐出ノズルユニット５１との接続
面）には、位置決め用の凹部５１ｈもしくは凸部５１ｇ
が設けられ、隣り合う吐出ノズルユニット５１との間
で、これら各凹部５１ｈと各凸部５１ｇとが組み合わさ
れて嵌合することにより、隣り合う吐出ノズルユニット
５１相互間の位置決めが、容易かつ正確に行われる。こ
のように隣り合うものどうしを正確に位置決めしなが
ら、複数の液体吐出ノズルユニット５１全てが連結され
ることにより、液体貯留部５２の液体排出部５２ａの下
方を覆って複数の液体吐出ノズルユニット５１が並べら
れ、一連の液体吐出口５３がノズル本体５０Ｂの長手方
向に沿って配列されることになる。

【００７４】本実施の形態では、上記液体貯留部５２の
液体排出部５２ａの両側面（または近傍でも良い）に、
液体塗布ノズル５０のノズル本体５０Ｂの長手方向に沿
った所定の断面寸法（例えば、幅６mmで深さ２mm程度）
の凹溝状のユニット保持部５０ａが形成され、上記各液
体吐出ノズルユニット５１は、図１１に示すように、上
記ユニット保持部５０ａに保持されノズル本体５０Ｂの
長手方向に沿って並んだ状態で一体的に連結されるよう
になっている。これにより、複数の液体吐出ノズルユニ
ット５１が上記液体排出部５２ａに配設されて該液体排
出部５２ａを覆い、各液体吐出ノズルユニット５１の各
液体吐出口５３が液体貯留部５２に連通することにな
る。なお、上記液体吐出ノズルユニット５１は、その軸
方向の長さが例えば２cm〜６cm程度で、ワークＷの塗布
対象領域の同方向の長さに応じて、例えば３〜９個を連
結して使用される。

【００７５】各液体吐出ノズルユニット５１の両端面５
１ｆ（隣り合う吐出ノズルユニット５１との接続面）
は、その平行度等を含めた形状および表面仕上げについ
て所定以上の精度に設定されており、第１および第２の
実施の形態における場合と同様に、隣り合う吐出ノズル
ユニット５１間に一定以上の押圧力が作用することによ
り、より好ましくは、接続面どうしの直接の面タッチ
で、塗布液が外部に漏洩することがないように、液密に
シールされるようになっている。この場合、ノズルユニ
ット５１間は、より好ましくは、接続面どうしの直接の
面タッチでシールされており、一般に締付圧力によって
厚さの変動を来すパッキンやガスケット等のシール部材
は介装されていないので、一連に配列された液体吐出口
５３の位置精度に悪影響を及ぼすことはない。

【００７６】この液体塗布ノズル５０のノズル本体５０
Ｂの両端部近傍には、液体塗布ノズル５０の全体長さを
規定する一対の例えば鋼製の側板５９が固定されてい
る。この側板５９の内側面にも、位置決め用の凹部もし
くは凸部（いずれも不図示）が設けられており、この凹
部もしくは凸部が、側板５９に隣接する液体吐出ノズル
ユニット５１の位置決め用凹部５１ｈもしくは凸部５１
ｇと組み合わされて嵌合される。また、上記各側板５９
には、液体塗布ノズル５０内の液体貯留部５２に連通す
る一方、液体塗布装置１の塗布液供給ホース１３Ｈまた
は塗布液還流ホース１４Ｈに接続される接続パイプ５８
が取り付けられている。上記塗布液供給ホース１３Ｈに
接続される接続パイプ５８が、本願請求項５に記載した
液体導入部に相当している。

【００７７】各液体吐出ノズルユニット５１の長さ（長
手方向寸法）および両側板５９間の間隔は、上述のよう
にして全吐出ノズルユニット５１を一体的に連結すると
ともに、これを上記両側板５９間に組み付けた際に、両
端の吐出ノズルユニット５１と対応する側板５９との間
および互いに隣接する吐出ノズルユニット５１間に、液
体貯留部５２内の塗布液の外部への漏洩を確実に防止す
るに足る押圧力を生じせしめるように設定されている。
なお、このように各液体吐出ノズルユニット５１の長さ
寸法および両側板５９間の間隔を管理することによって
ノズルユニット２１間の押圧力を得る代わりに、上記側
板５９の外部から例えばバネ等により付勢力を加える機
構を設け、これにより、吐出ノズルユニット５１間に所
定の押圧力を生じせしめるようにすることも可能であ
る。以上のように構成された液体塗布ノズル５０は、上
記第１および第２の実施の形態における場合と同様にし
て、上記液体塗布装置１に組み付けられて塗布作業に用
いられる。

【００７８】以上、説明したように、本実施の形態によ
れば、上記液体塗布ノズル５０は、複数の液体吐出ノズ
ルユニット５１が上記液体排出部５２ａに配設されて構
成されている。したがって、この液体塗布ノズル５０を
製作する際、高い精度が要求される液体吐出口５３を多
数有する部分は、長さの短い各液体吐出ノズルユニット
５１毎に加工すれば良く、長尺の一体物を加工する場合
に比べて容易に加工精度を確保できる。また、使用中に
液体吐出ノズルユニット５１の一部に不具合が発生した
場合には、全体をメインテナンス若しくは交換・廃棄す
る必要はなく、その不具合部分を含む吐出ノズルユニッ
ト５１のみの部分的な交換だけで対処することができ、
長尺で一体物のノズル全体の交換を要していた場合に比
べて、メインテナンスに要するコストを大幅に低減させ
ることができる。しかも、この場合、第１及び第２の実
施の形態における場合に比べて、より小さい部材の交換
で済み、コスト的により有利になる。

【００７９】更に、使用時は一体物のノズルとして扱え
るため、複数の長さが短い塗布ノズルを単に並べただけ
の場合のように、塗布液供給用の配管系をノズルユニッ
ト毎に設ける必要はないので装置が複雑化することはな
く、また、吐出ノズルユニット５１どうしの境目部分で
も他の部分と同様のピッチで切れ目なく液体吐出口５３
を設けることができるので、均一な塗膜厚さを得ること
ができる。しかも、幅広の塗布対象物にも対応が容易
で、ノズル長手方向への往復塗布を行う必要もなく、こ
の点においても、塗布装置１の複雑化を招くことはな
い。また更に、塗布対象物Ｗの幅が変更された場合に
は、連結する液体吐出ノズルユニット５１の数や長さの
組み合わせを変更し、また、例えば図１２に示すよう
に、液体吐出口を設けていないノズルユニット５７を適
用して液体塗布ノズル５０の塗布幅を変化させることに
より、容易に対応することができる。

【００８０】また、上記液体貯留部５２の液体排出部５
２ａの側面または近傍に、液体塗布ノズル５０の長手方
向に沿ったユニット保持部５０ａが形成されており、各
液体吐出ノズルユニット５１は、このユニット保持部５
０ａに保持され液体塗布ノズル長手方向に沿って並んだ
状態で一体的に連結されているので、複数の液体吐出ノ
ズルユニット５１を、一体的に連結された状態で容易か
つ確実に上記液体排出部５２ａに配設してこれを覆うこ
とができる。更に、上記各液体吐出ノズルユニット５１
の隣り合う吐出ノズルユニット５１との接続面５１ｆ
に、位置決め用の凹部５１ｈ，凸部５１ｇが設けられて
いるので、各液体吐出ノズルユニット５１をそれぞれ連
結して一体化するに際して、隣り合う吐出ノズルユニッ
ト５１との位置決めを、容易かつ正確に行うことができ
る。

【００８１】次に、本発明の第４の実施の形態について
説明する。図１３は本発明の第４の実施の形態に係る液
体塗布ノズル６０について、その一部を露出させて示し
た斜視図である。この液体塗布ノズル６０は、例えば、
上記各実施の形態と同じく陰極線管の蛍光面を塗布する
工程に用いるものである。上記図１３に示すように、本
実施の形態に係る液体塗布ノズル６０は、第３の実施の
形態におけるものと同じく、長尺で一体物のノズル本体
６０Ｂに、その長手方向に沿って貫通するように所定断
面形状の液体貯留部６２が形成されている。上記ノズル
本体６０Ｂは、例えば鋼製で、縦断面の外形形状が略矩
形状をなし、長手方向における両端面は互いに平行にな
っている。また、上記液体貯留部６２は、上記各実施の
形態における場合と同様に、縦断面の周縁形状が例えば
下部が細長い（より好ましくは、約６０度のテーパをな
す）略楕円形をなし両端面に開口している。

【００８２】上記液体貯留部６２の下端側には、例えば
所定寸法（例えば、幅６mmで深さ１０mm程度）のスリッ
ト状の液体排出部６２ａが形成されており、この液体排
出部６２ａに、図１４に示すように液体吐出口６３を有
する複数の液体吐出ノズルユニット６１が配設されてい
る。この液体吐出ノズルユニット６１は、例えば、所定
長さの略Ｖ字形のブロック状に形成されており、このＶ
字形に切り欠かれた切欠の底部から下方に向けて貫通す
るように、例えば所定直径（例えば０.４ｍｍ）の丸穴
状の液体吐出口６３が所定ピッチ（例えば４ｍｍピッ
チ）で設けられている。

【００８３】本実施の形態では、上記液体貯留部６２の
上側を除く周囲を取り囲むようにして、所定の気体（例
えば圧縮エア）を貯える気体貯留部６４が形成され、該
気体貯留部６４の下端側には、気体貯留部６４に連通す
るスリット状の気体排出部６４ａが形成されている。こ
のスリット状の気体排出部６４ａは、上記液体排出部６
２ａに対して上下に並ぶように、つまり、そのスリット
の軸線が上下に平行に並ぶように位置している。このよ
うに、本実施の形態では、請求項７に記載した気体ノズ
ルが液体塗布ノズル６０のノズル本体６０Ｂに一体に形
成されている。

【００８４】また、本実施の形態では、上記液体吐出ノ
ズルユニット６１の下方に、例えば図１５に示すよう
に、液体吐出口６３よりも大径（例えば０.６ｍｍ）の
丸穴状の気体吐出口６５を配列した、例えば平板状の気
体吐出ノズルユニット６６が配置されており、該気体吐
出ノズルユニット６６は、図１４に示されるように、複
数の所定長さのピン部材６７によって液体吐出ノズルユ
ニット６１の下方に連結されている。そして、このピン
部材６７によって、互いに対向するように配置された両
吐出ノズルユニット６１,６６の間隔が所定寸法（例え
ば０.３ｍｍ程度）に保持されている。ここに、上記各
気体吐出口６５は、液体吐出口６３と同じピッチで配列
されることにより、液体吐出口６３の周囲に対応するよ
うに、つまり同軸に配置されている。

【００８５】更に、本実施の形態では、上記液体貯留部
６２の液体排出部６２ａの両側面（または近傍でも良
い）に、液体塗布ノズル６０のノズル本体６０Ｂの長手
方向に沿った所定の断面寸法（例えば、幅６mmで深さ２
mm程度）の凹溝状のユニット保持部６０ａが形成され、
上記各液体吐出ノズルユニット６１は、図１６に示すよ
うに、上記ユニット保持部６０ａに保持されノズル本体
６０Ｂの長手方向に沿って並んだ状態で一体的に連結さ
れるようになっている。これにより、複数の液体吐出ノ
ズルユニット６１が上記液体排出部６２ａに配設されて
該液体排出部６２ａを覆い、各液体吐出ノズルユニット
６１の各液体吐出口６３が液体貯留部６２に連通するこ
とになる。

【００８６】そして、このとき、液体吐出ノズルユニッ
ト６１に連結された気体吐出ノズルユニット６６は気体
排出部６４ａを覆い、各気体吐出口６５は気体貯留部６
４に連通することになる。なお、上記液体吐出ノズルユ
ニット６１及び気体吐出ノズルユニット６６は、その軸
方向の長さが例えば２cm〜６cm程度で、ワークＷの塗布
対象領域の同方向の長さに応じて、例えば３〜９個を連
結して使用される。

【００８７】各液体吐出ノズルユニット６１の両端面６
１ｆ（隣り合う吐出ノズルユニット６１との接続面）
は、その平行度等を含めた形状および表面仕上げについ
て所定以上の精度に設定されており、上記各実施の形態
における場合と同様に、隣り合う吐出ノズルユニット６
１間に一定以上の押圧力が作用することにより、より好
ましくは、接続面どうしの直接の面タッチで、塗布液が
外部に漏洩することがないように、液密にシールされる
ようになっている。この場合、吐出ノズルユニット６１
間は、より好ましくは、接続面どうしの直接の面タッチ
でシールされており、一般に締付圧力によって厚さの変
動を来すパッキンやガスケット等のシール部材は介装さ
れていないので、一連に配列された液体吐出口６３の位
置精度に悪影響を及ぼすことはない。

【００８８】この液体塗布ノズル６０のノズル本体６０
Ｂの両端部近傍には、具体的には図示しなかったが、液
体塗布ノズル６０の全体長さを規定する一対の例えば鋼
製の側板が固定されている。この側板の内側面にも、位
置決め用の凹部もしくは凸部（いずれも不図示）が設け
られており、この凹部もしくは凸部が、側板に隣接する
液体吐出ノズルユニット６１の位置決め用凹部６１ｈも
しくは凸部６１ｇと組み合わされて嵌合される。また、
上記各側板には、液体塗布ノズル６０内の液体貯留部６
２に連通する一方、液体塗布装置１の塗布液供給ホース
１３Ｈまたは塗布液還流ホース１４Ｈに接続される接続
パイプ（不図示）、および気体貯留部６４に連通する一
方、液体塗布装置１のエア供給ホース１３Ａまたはエア
還流ホース１４Ａに接続される接続パイプ（不図示）が
取り付けられている。上記塗布液供給ホース１３Ｈに接
続される側の接続パイプが液体貯留部６２の液体導入部
に相当し、エア供給ホース１３Ａに接続される側の接続
パイプが気体貯留部６４の気体導入部に相当している。

【００８９】各液体吐出ノズルユニット６１の長さ（長
手方向寸法）および両側板の間隔は、上述のようにして
全液体吐出ノズルユニット６１を一体的に連結するとと
もに、これを上記両側板間に組み付けた際に、両端の液
体吐出ノズルユニット６１と対応する側板との間および
互いに隣接する液体吐出ノズルユニット６１間に、液体
貯留部６２内の塗布液の外部への漏洩を確実に防止する
に足る押圧力を生じせしめるように設定されている。な
お、このように各液体吐出ノズルユニット６１の長さ寸
法および両側板間の間隔を管理することによって吐出ノ
ズルユニット６１間の押圧力を得る代わりに、上記側板
の外部から例えばバネ等により付勢力を加える機構を設
け、これにより、吐出ノズルユニット６１間に所定の押
圧力を生じせしめるようにすることも可能である。

【００９０】以上のように構成された液体塗布ノズル６
０を上記液体塗布装置１に組み付け、塗布液供給ホース
１３Ｈより接続パイプ（不図示）を介して液体貯留部６
２内に塗布液を供給するとともに、エア供給ホース１３
Ａより接続パイプを介して気体貯留部６４内に圧縮エア
を供給する。これにより、塗布液は液体貯留部６２に一
旦貯留されて全幅にわたる圧力が均一化され、一定圧力
となった塗布液は液体排出部６２ａを経て液体吐出ノズ
ルユニット６１の液体吐出口６３より均一に線状に吐出
される。同様に、気体（圧縮エア）は気体貯留部６４に
貯留されることにより全幅にわたる圧力が均一化され、
一定圧力となった気体は気体排出部６４ａを経て気体吐
出ノズルユニット６６の気体吐出口６５から均一に吐出
される。

【００９１】このとき、第２の実施の形態の場合と同様
に、気体吐出口６５から吐出された気体は、液体吐出口
６３から吐出された塗布液の流れに沿うように吐出さ
れ、塗布液を吐出方向にガイドする。この結果、塗布液
の吐出流は気体の圧力によって絞られ、このような気体
による絞り作用がない場合における液体吐出口６３から
の吐出流に比べて、その吐出量が絞られることになる。
本実施の形態では、塗布液の吐出量は、例えば、一本当
たり５〜１５g／分である。また、塗布液は上記各実施
の形態の場合と同じく、蛍光体粒子が分散したスラリー
である。尚、気体の吐出にそれほどの精度を必要としな
い場合は、上記のような板状の気体吐出ノズルユニット
６６を用いずに、気体貯留部６４のスリット状の気体排
出部６４ａをそのまま気体吐出口として利用することも
できる。

【００９２】以上、説明したように、本実施の形態によ
れば、上記液体塗布ノズル６０は、複数の液体吐出ノズ
ルユニット６１がその液体排出部６２ａに配設されてお
り、また、該液体排出部６２ａの側面または近傍に、液
体塗布ノズル６０の長手方向に沿ったユニット保持部６
０ａが形成され、各液体吐出ノズルユニット６１はこの
ユニット保持部６０ａに保持され同方向に沿って並んだ
状態で一体的に連結されているので、基本的には、上記
第３の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
しかも、その上、気体導入口（不図示）と気体排出部６
４ａとを有して所定の気体（圧縮エア）を貯える気体貯
留部６４を備え、上記気体排出部６４ａが各上記液体吐
出ノズルユニット６１の液体吐出口６３の周囲に対応す
るように位置設定されているので、液体貯留部６２に塗
布液を、気体貯留部６４に所定の気体をそれぞれ供給す
ることにより、液体吐出口６３から吐出される塗布液の
流れの周囲に気体排出部６４ａから気体を排出させ、こ
の気体の流れによって塗布液の流れを絞ることができ
る。これにより、塗布液の流量をより微細に制御するこ
とができ、塗布液の過剰な吐出をできるだけ抑制しつつ
所定の塗膜厚さを得ることが可能になる。

【００９３】また、本実施の形態では、気体吐出口６５
を形成した複数の気体吐出ノズルユニット６６が上記気
体排出部６４ａに配設されて該気体排出部６４ａを覆っ
ているので、液体排出部６２ａに複数の液体吐出ノズル
ユニット６１を配設したのと略同等の効果を気体側にお
いても奏することができる。すなわち、気体排出部６４
ａを覆う部分については、長さの短い気体吐出ノズルユ
ニット６６毎に加工することができるので、長尺の一体
物を加工する場合に比べて容易に加工精度を確保でき
る。また、使用中に気体排出部６４ａを覆う部分の一部
に不具合が発生した場合には、全体をメインテナンス若
しくは交換・廃棄する必要はなく、その不具合部分を含
む気体吐出ノズルユニット６６のみの部分的な交換だけ
で対処することができ、長尺で一体物のノズル全体の交
換を要していた場合に比べて、メインテナンスに要する
コストを大幅に低減させることができる。更に、使用時
は一体物のノズルとして扱えるため、複数の長さが短い
気体ノズルを単に並べただけの場合のように、気体供給
用の配管系をノズルユニット毎に設ける必要はないので
装置が複雑化することはない。また更に、塗布対象物の
幅が変更された場合には、連結するノズルユニット６６
の数や長さの組み合わせを変更して全体の幅を変化させ
ることにより、容易に対応することができる。

【００９４】更に、上記各液体吐出ノズルユニット６１
の隣り合う吐出ノズルユニット６１との接続面に、位置
決め用の凹部６１ｈもしくは凸部６１ｇが設けられてい
るので、上記各液体吐出ノズルユニット６１をそれぞれ
連結して一体化するに際して、隣り合う吐出ノズルユニ
ット６１との位置決めを、容易かつ正確に行うことがで
きる。また更に、上記液体吐出ノズルユニット６１と気
体吐出ノズルユニット６６とが、上記液体吐出口６３と
気体吐出口６５とが所定間隔を隔てて対向するように、
所定の部材（ピン部材６７）を介して連結されているの
で、液体吐出口６３と気体吐出口６５とが容易かつ確実
に位置決めされ、また、両吐出口６３,６５を容易かつ
確実に所定間隔に保持できる。これにより、気体の流れ
によって塗布液の流れをより精度良く絞り、塗布液の流
量をより一層微細に制御することができるようになる。

【００９５】図１７は、本実施の形態の変形例に係る液
体塗布ノズル７０を示している。この変形例では、液体
貯留部７２の液体排出部７２ａの両側面（または近傍で
も良い）に、図１６で示したものと同様の、液体吐出ノ
ズルユニット７１を保持するユニット保持部７０ａが形
成されるとともに、気体貯留部７４の気体排出部７４ａ
の両側面（または近傍でも良い）に、液体塗布ノズル７
０のノズル本体７０Ｂの長手方向に沿った所定の断面寸
法の凹溝状のユニット保持部７０ｂが形成され、各気体
吐出ノズルユニット７６は、上記ユニット保持部７０ｂ
に保持されノズル本体７０Ｂの長手方向に沿って並んだ
状態で一体的に連結されるようになっている。これによ
り、複数の気体吐出ノズルユニット７６が上記気体排出
部７４ａに配設されて該気体排出部７４ａを覆い、各気
体吐出ノズルユニット７６の各気体吐出口７５が気体貯
留部７４に連通する。また、各気体吐出口７５が、液体
吐出ノズルユニット７１の液体吐出口７３の所定距離下
方において、同軸に配置されることになる。

【００９６】この変形例によれば、基本的には、上記第
４の実施の形態と同様の効果を奏することができ、その
上、上記気体貯留部７４の気体排出部７４ａの側面また
は近傍に、ノズルの長手方向に沿ったユニット保持部７
０ｂが形成されており、上記各気体吐出ノズルユニット
７６は、上記ユニット保持部７０ｂに保持されノズル長
手方向に沿って並んだ状態で一体的に連結されているの
で、複数の気体吐出ノズルユニット７６を、一体的に連
結された状態で容易かつ確実に上記気体排出部７４ａに
配設してこれを覆うことができる。

【００９７】なお、上記各実施の形態では、液体塗布ノ
ズルの各部あるいは各部品等について形状や寸法あるい
は位置関係等を適宜指定したが、これらは所要の塗布条
件を得るために変更され得るものである。例えば、液体
吐出口は必ずしも丸穴でなくても良く、４mmピッチでな
くても、更には一列に並ばなくても良い。液体ノズルユ
ニットの長さは２cm〜６cmでなくてもかまわない。塗布
液の吐出量は塗布条件に合わされるべきで上述の値に固
定する必要はない。また、各液体ノズルユニットあるい
は液体吐出ノズルユニットの断面形状は必ずしも合同で
なくても良い。但し、液体ノズルユニットあるいは液体
吐出ノズルユニットの接合面からの液漏れを防ぐために
充分な精度が要求される。或いは、接合面にシール材を
配しても良い。但し、その場合には、液体吐出口のピッ
チ等が局所的に大きく変化しないように留意しなければ
ならない。また、本実施の形態では、陰極線管の蛍光面
塗布工程に適用されるものとして、塗布液は蛍光体スラ
リー、塗布対象物Ｗは陰極線管のパネルとしたが、他の
製品の他の部材を塗布対象とし、他の塗布液を用いた液
体塗布にも適用することができる。このように、本発明
は、以上の実施態様に限定されるものではなく、その要
旨を逸脱しない範囲において、種々の改良あるいは設計
上の変更が可能であることは言うまでもない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施の形態に係る液体塗布装
置の概略構成を示す斜視図である。

【図２】 上記液体塗布装置の移動支持部の要部を部分
的に示す斜視図である。

【図３】 上記液体塗布装置の側面説明図である。

【図４】 上記第１の実施の形態に係る液体塗布ノズル
の斜視図である。

【図５】 第２の実施の形態に係る液体塗布ノズルの斜
視図である。

【図６】 上記第２の実施の形態に係る液体塗布ノズル
の液体吐出口と気体吐出口を示す部分断面説明図であ
る。

【図７】 気体による絞りがない場合における液体吐出
口からの塗布液の流れを示す部分断面説明図である。

【図８】 上記第２の実施の形態の変形例に係る液体塗
布ノズルの部分斜視図である。

【図９】 第３の実施の形態に係る液体塗布ノズルの斜
視図である。

【図１０】 上記第３の実施の形態に係る液体ノズルユ
ニットの斜視図である。

【図１１】 上記第３の実施の形態に係る液体ノズルユ
ニットの組み込み状態を示す縦断面説明図である。

【図１２】 上記第３の実施の形態に係る液体塗布ノズ
ルに用いられる、液体吐出口の無いノズルユニットの斜
視図である。

【図１３】 第３の実施の形態に係る液体塗布ノズルの
部分斜視図である。

【図１４】 上記第３の実施の形態に係る液体吐出ノズ
ルユニット及び気体吐出ノズルユニットの斜視図であ
る。

【図１５】 上記第３の実施の形態に係る気体吐出ノズ
ルユニットの斜視図である。

【図１６】 上記第３の実施の形態に係る液体吐出ノズ
ルユニット及び気体吐出ノズルユニットの組み込み状態
を示す縦断面説明図である。

【図１７】 上記第３の実施の形態の変形例に係る液体
吐出ノズルユニット及び気体吐出ノズルユニットの組み
込み状態を示す縦断面説明図である。

【図１８】 第１の従来例に係る液体塗布ノズルの斜視
図である。

【図１９】 上記第１の従来例に係る液体塗布装置の斜
視図である。

【図２０】 第２の従来例に係る液体塗布ノズルの斜視
図である。

【図２１】 第３の従来例に係る液体塗布ノズルの斜視
図である。

【図２２】 上記第３の従来例に係る液体塗布装置の斜
視図である。

【符号の説明】

１…液体塗布装置 １０…移動支持部 ２０,３０,４０,５０,６０,７０…液体塗布ノズル ２１…液体ノズルユニット ２１ｆ,３１ｆ,４１ｆ,５１ｆ…接続面 ２１ｇ,３１ｇ,４１ｇ,５１ｇ,６１ｇ…凸部 ２１ｈ,３１ｈ,４１ｈ,５１ｈ,６１ｈ…凹部 ２２,３２,４２,５２,６２,７２…液体貯留部 ２２ａ,３２ａ…開口部 ２３,３３,４３,５３,６３,７３…液体吐出口 ３１,４１…ノズルユニット ３４,４４,６４,７４…気体貯留部 ３５,４５,６５,７５…気体吐出口 ５０ａ,６０ａ,７０ａ,７０ｂ…ユニット保持部 ５１,６１,７１…液体吐出ノズルユニット ５２ａ,６２ａ,７２ａ…液体排出部 ６４ａ,７４ａ…気体排出部 ６７…ピン部材 Ｗ…ワーク（塗布対象物）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小谷 博之 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 中 裕之 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 松永 浩二 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 井上 孝夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 塗布されるべき液体を貯える液体貯留部
   と該液体貯留部につながる液体吐出口とが形成された液
   体ノズルユニットを複数備え、各液体ノズルユニットの
   液体貯留部は隣り合うノズルユニットとの接続面に開口
   する開口部を有しており、隣り合うノズルユニットの開
   口部どうしが組み合わされて全液体ノズルユニットの液
   体貯留部が連続した状態で、全液体ノズルユニットを一
   体的に連結して構成されていることを特徴とする液体塗
   布ノズル。
2. 【請求項２】 所定の気体を貯える気体貯留部と該気体
   貯留部につながる気体吐出口とが形成された気体ノズル
   を備え、上記気体吐出口が上記液体吐出口の周囲に対応
   するように位置設定されていることを特徴とする請求項
   １に記載の液体塗布ノズル。
3. 【請求項３】 上記気体ノズルが複数の気体ノズルユニ
   ットで構成され、各気体ノズルユニットの気体貯留部は
   隣り合うノズルユニットとの接続面に開口する開口部を
   有しており、隣り合うノズルユニットの開口部どうしが
   組み合わされて全気体ノズルユニットの気体貯留部が連
   続した状態で、全気体ノズルユニットを一体的に連結し
   て構成されていることを特徴とする請求項２に記載の液
   体塗布ノズル。
4. 【請求項４】 上記各液体ノズルユニットまたは各気体
   ノズルユニットの隣り合うノズルユニットとの接続面
   に、位置決め用の凹部もしくは凸部が設けられているこ
   とを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一に記載
   の液体塗布ノズル。
5. 【請求項５】 液体導入部と液体排出部とを有して塗布
   されるべき液体を貯える液体貯留部と、液体吐出口を有
   する複数の液体吐出ノズルユニットとを備え、これら複
   数の液体吐出ノズルユニットが上記液体排出部に配設さ
   れて該液体排出部を覆うことにより、各液体吐出ノズル
   ユニットの液体吐出口が上記液体貯留部に連通している
   ことを特徴とする液体塗布ノズル。
6. 【請求項６】 上記液体貯留部の液体排出部の側面また
   は近傍に、液体塗布ノズルの長手方向に沿ったユニット
   保持部が形成され、上記各液体吐出ノズルユニットは、
   上記ユニット保持部に保持され上記液体塗布ノズル長手
   方向に沿って並んだ状態で一体的に連結されていること
   を特徴とする請求項５に記載の液体塗布ノズル。
7. 【請求項７】 気体導入口と気体排出部とを有して所定
   の気体を貯える気体貯留部を備えた気体ノズルが設けら
   れ、上記気体排出部が各上記液体吐出ノズルユニットの
   液体吐出口の周囲に対応するように位置設定されている
   ことを特徴とする請求項５または請求項６に記載の液体
   塗布ノズル。
8. 【請求項８】 上記気体ノズルは上記液体吐出口に対応
   する気体吐出口を形成した複数の気体吐出ノズルユニッ
   トを備え、これら複数の気体吐出ノズルユニットが上記
   気体排出部に配設されて該気体排出部を覆うことによ
   り、各気体吐出ノズルユニットの気体吐出口が、上記気
   体貯留部に連通し、かつ、上記液体吐出口の周囲に対応
   するように位置していることを特徴とする請求項７に記
   載の液体塗布ノズル。
9. 【請求項９】 上記気体貯留部の気体排出部の側面また
   は近傍に、気体ノズルの長手方向に沿ったユニット保持
   部が形成され、上記各気体吐出ノズルユニットは、上記
   ユニット保持部に保持され上記気体ノズル長手方向に沿
   って並んだ状態で一体的に連結されていることを特徴と
   する請求項８に記載の液体塗布ノズル。
10. 【請求項１０】 上記各液体吐出ノズルユニットまたは
    各気体吐出ノズルユニットの隣り合う吐出ノズルユニッ
    トとの接続面に、位置決め用の凹部もしくは凸部が設け
    られていることを特徴とする請求項５〜請求項９のいず
    れか一に記載の液体塗布ノズル。
11. 【請求項１１】 上記液体吐出ノズルユニットと気体吐
    出ノズルユニットとが、上記液体吐出口と気体吐出口と
    が所定間隔を隔てて対向するように、所定の部材を介し
    て連結されていることを特徴とする請求項８〜請求項１
    ０のいずれか一に記載の液体塗布ノズル。
12. 【請求項１２】 請求項１〜請求項１１のいずれか一に
    記載された液体塗布ノズルと、該液体塗布ノズルを塗布
    対象物上で該塗布対象物と相対移動させる相対移動手段
    とを具備し、上記液体塗布ノズルが、その液体吐出口と
    上記塗布対象物の被塗布面とが対向するように配置され
    ることを特徴とする液体塗布装置。
13. 【請求項１３】 請求項１〜請求項１１のいずれか一に
    記載された塗布ノズルを用いて塗布対象物の被塗布面に
    所定の塗布液を塗布することを特徴とする液体塗布方
    法。