JP4212472B2 - 改良された解像度を有する波面分析装置 - Google Patents
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Description
即ち、本発明によれば、夫々のサブ瞳孔の形状は関連する回折像が回折面内で1若しくは複数の優先軸線を呈するようになっており、かつ、これらのサブ瞳孔は、サブ瞳孔全体が平らな入射波面によって照射されるので、前記回折面内の1つのサブ瞳孔の回折像が隣りのサブ瞳孔から来た回折像に実質的に重なり合わないように、分析面内に配向(方位決め)されている。換言すれば、サブ瞳孔は、1つのサブ瞳孔の回折像の優先軸線が隣のサブ瞳孔の回折像の優先軸線に対してオフセットされるように、分析面内に配向されている。
−それらは製造容易である。
−関連する回折像は優先回折軸線を有する。
−変位した中央スポット
−中央スポットを直接に囲繞し、マトリックスの2つの主軸線に沿ってこの中央スポットの両側に位置する4つのスポット。
Claims (8)
- 分析面内に配置され、かつ、入射波面のサンプリングを可能にするだけの数のサブ瞳孔(C)を形成する、一組のサンプリング素子と、入射波面によって照射された異なるサブ瞳孔の回折スポットを分析する回折面、とを備えたハートマン型又はシャック−ハートマン型の波面分析装置であって、その特徴は、夫々のサブ瞳孔の形状は関連する回折像(FC)が前記回折面内において一若しくは複数の優先軸線(X1、Y1、X2、Y2)を呈するようになっており、かつ、これらのサブ瞳孔は、1つのサブ瞳孔の回折像の前記一若しくは複数の優先軸線が隣りのサブ瞳孔の回折像の優先軸線に対してオフセットされ、もって、回折像の重なり合いの制限を可能にするように、分析面内に配向されていることからなる波面分析装置。
- 前記サブ瞳孔は二次元マトリックスの形で分析面内に配置してあり、これらのサブ瞳孔は平行六面体形であり、1つのサブ瞳孔の回折像は2つの優先軸線を有し、かつ、夫々のサブ瞳孔は、当該サブ瞳孔の回折像の優先軸線が二次元マトリックスの2つの軸線に対してゼロでない角度をなすように、二次元マトリックスの2つの軸線に対して配向されていることを特徴とする請求項1に基づく装置。
- 前記サブ瞳孔は同一の形状を有し、これらのサブ瞳孔は、回折像の優先軸線が混同することなく平行になるように、二次元マトリックスの2つの軸線に対し同じ向きを有することを特徴とする請求項2に基づく装置。
- 前記サブ瞳孔は矩形の形状を有することを特徴とする請求項2又は3に基づく装置。
- 前記サブ瞳孔は方形の形状を有することを特徴とする請求項4に基づく装置。
- 前記サブ瞳孔は二次元の方形マトリックスの形で分析面内に配置してあり、前記サブ瞳孔は同一の方形の形状を有し、かつ、夫々のサブ瞳孔は二次元マトリックスの2つの軸線に対し角度θで配向してあり、この角度θは回折像の重なり合いを制限するべく最適化されるような値を有することを特徴とする請求項1から5のいづれかに基づく装置。
- 前記サンプリング素子は不透明のスクリーンに形成された所定形状の開口によって形成されていることを特徴とする請求項1から6のいづれかに基づく装置。
- 前記サンプリング素子は所定形状の開口に関連づけたマイクロレンズによって形成されていることを特徴とする請求項1から6のいづれかに基づく装置。
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